JP2004526962A - 分光装置および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
本発明は、試料を分析するために分光が用いられ、試料が走査されて2または3次元のマップを作ることができる装置および方法に関する。
【背景技術】
【0002】
本件特許出願人の先行特許文献1においては、試料がレーザーからの単色光にて照射され、結果として生ずるラマンスペクトルの特定なスペクトル線を選択するために散乱光が分析される。この分析は、回折格子の如き分散素子により行うことができ、あるいはこれは非分散可調フィルタを用いて行うことができる。結果として生ずるラマン散乱光は、2次元の光検出器アレイである電荷結合素子(CCD)に焦点を結ばせることができる。
【0003】
特許文献2は、上述のような分光方法を開示しており、試料と分析器との間の光路中に空間フィルタ(すなわち共焦点スリット)を使用することによって1次元の共焦点性が達成される。試料の所定の焦点面からの散乱光に対応して光検出器の所定領域内で受光した光のみが検出されると同時に、試料の所定の焦点面外からの散乱光に対応して光検出器の所定領域外から受光する光を無視するという処理によって、第2の次元の共焦点性が作られる。この方法において、試料のマップを作り出すことが望まれる場合、試料をX−Yラスタ走査にて移動させる必要がある。
【0004】
他の分光技術が知られており、例えば特許文献3に記述されているように、電子顕微鏡が分光システム、例えばラマン,光ルミネッセンスまたは陰極ルミネセンス分光と組み合わされる。本発明はまた、このような技術に対しても適用可能である。
【0005】
【特許文献1】
欧州特許出願第543578号
【特許文献2】
欧州特許出願第542962号
【特許文献3】
国際出願公開第99/58939号
【特許文献4】
国際出願公開第01/94897号
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の第1の形態は、試料を照明または照射して散乱光のスペクトルを得るステップと、このスペクトルを分析するステップと、分析されたスペクトルの少なくとも一部を光検出器に送り、試料の所定面からの散乱光が光検出器の所定領域にタイトな焦点を結ぶと共に試料の他の面からの散乱光が光検出器により拡散した焦点を結ぶステップとを具え、前記所定領域にて受光する光が、所定領域外からの光を含まないか、あるいはこの所定領域外からの光とは分離して検出され、これにより試料の他の面からの散乱光の影響を減らす分光方法であって、試料の所定面の第1の点からの光が第1の位置にある光検出器の所定領域にて検出されると共に試料の所定面の第2の点からの光が第2の位置にある光検出器の所定領域にて検出されるように、受光される光を検出する光検出器の所定領域の位置が移動可能であることを特徴とする分光方法を与える。
【0007】
好ましくは、光検出器の前記所定領域で光を検出するステップが一次元の共焦点作用を与える。この目的のため、所定領域は細長くすることができる。
【0008】
好ましくは、スリットが配備されたスクリーンを具え、散乱光が通過する空間フィルタを設けることにより、共焦点作用が第2の次元にてもたらされ、試料の所定面からの光がスリットを通過するが、試料の他の面からの光がスクリーンによって遮断されるようになっている。
【0009】
好ましくは、スリットが移動可能であり、第1の位置にある試料の第1の点のみからの光が光検出器へとスリットを通過できると共に第2の位置にある試料の第2の点のみからの光が光検出器へとスリットを通過できるようになっている。
【0010】
光検出器は、光検出素子の2次元アレイを具えることができる。波数に対するスリット横断方向のアレイの位置を、スリットの初期位置に対して較正可能であり、較正補正がこのスリットのそれぞれ連続する位置に対して行われる。
【0011】
試料から空間フィルタまでの散乱光の通路として、試料と空間フィルタとの間に少なくとも1本の光ファイバを設けることにより、この分光装置を試料から離して配置することができる。
【0012】
本発明の第2の形態は、試料を照明または照射して散乱光のスペクトルを得るステップと、このスペクトルを分析するステップと、分析されたスペクトルの少なくとも一部を光検出器に送るステップとを具え、散乱光を共焦点開口に通して望まざる面からの光が光検出器に送られるのを減らし、共焦点開口が移動可能であって、第1の位置にある試料の第1の点からの光が光検出器へと共焦点開口を通過できると共に第2の位置にある試料の第2の点からの光が光検出器へと共焦点開口を通過できるようになっている分光方法を与える。
【0013】
この第2の形態において、共焦点開口が第1の形態の場合のようにスリットであってよい。波数に対する光検出器の位置もまた、第1の形態の場合のように較正されることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0014】
さて、本発明の好ましい実施形態が添付図面を参照して例示により記述されよう。
【0015】
この装置の第1の実施形態は、特許文献3に開示された装置に基づいて示される。
【0016】
図1に示されるように、入力レーザービーム10は、光路に対して45°に置かれたダイクロイックフィルタ12によって90°反射され、その後、対物レンズ14によって試料16上の一点に焦点を結ばれる。あるいは、特許文献1で説明されているように、ダイクロイックフィルタが小さな入射角であってもよい。代わりに、ノッチフィルタを用いることができる。試料上のこの点からの散乱光は、対物レンズ14によって集光され、平行ビームにコリメートされ、そしてダイクロイックフィルタ12を通過する。このダイクロイックフィルタは、入力ビームと同じ周波数を持ったレイリー散乱光を遮断するが、ラマン散乱光を通過させる。ラマン散乱光は、スリット24を有するスクリーン22を具えた空間フィルタにてレンズ18によりタイトな焦点を結ぶ。対物レンズの焦点から散乱する光は、スリット24を通過する。焦点の前後から散乱する光の大部分は、これがスリット24で焦点を結ばないようにスクリーン22により遮断される。従って、スリットはこの散乱光に対して一次元の共焦点性を与える。スリット24を通過した光は、レンズ26によって平行ビームにコリメートされ、(スペクトル)分析器28を通過する。この分析器は、スペクトルを作り出す(すなわち回折格子が用いられた場合)か、あるいは(例えば非分散可調フィルタを用いることにより)単一の周波数に由来する光を選択することができる。レンズ30は、電荷結合素子(CCD)32であってよい光検出器上に、分析された光のタイトな焦点を結ばせる。
【0017】
CCD32は、コンピュータ33に接続された画素40の2次元アレイ(図2に示されている)を具え、このコンピュータは画素のそれぞれからデータを獲得して分析する。(スペクトル)分析器28が非分散可調フィルタを具えている場合、ラマン周波数の選択された光がCCD32に焦点を結ぶ。レンズ14の焦点からの光は、CCDの42にタイトな焦点を結ぶことをもたらされるが、焦点の前後からの光は、44にてより拡散した焦点を結ぶことになる。
【0018】
CCD32に入射する光が2本の線45の間にのみ向けられる結果、図3に見られるように、空間フィルタは水平方向に一次元の共焦点性を与える。しかしながら、焦点外からの若干の光がなおかつスリットを通過し、CCDに受光される可能性がある。これを解決するため、図3に示されるように、焦点19からの光を受光する2本の線46の間の画素40からのデータが共に縦に格納され、2本の線46の外側からの無関係な光が無視される。これらの画素を共に格納することは、コンピュータ33またはCCDチップ32の何れかにてなされることができる。この分析は、縦方向に一次元の共焦点性を与え、「仮想スリット」として作用する。空間フィルタおよび仮想スリットの結果は、試料上の1点に対応するCCD上の1グループの画素47である。
【0019】
回折格子または他の分散素子が分析器28として用いられる場合、ラマンスペクトルは図4に示されるような線にてCCD32を横切って分散する。一次元の共焦点作用を得るため、コンピュータまたはCCDチップは、2本の線46の間の領域にあって仮想スリットを形成するCCDのこれらの画素のみからデータを獲得するようにプログラムされている。上述のように、このデータは縦に格納される。試料の焦点面から外れた光に対応するCCDの他の場所からの光は排除される。
【0020】
空間フィルタの使用は、共焦点性の第2の次元を加える。スリットがない場合、焦点19外で散乱した帯域48に対応する光は、複数対の破線49,50の間にある、より広い領域で表示されよう。
【0021】
この技術を用いた場合、試料の2次元マップを構築することが可能である。これは、試料を動かさずに次のように行うことができる。
【0022】
試料を走査するため、レーザーが試料に対して焦点をぼかされ、試料全体または少なくとも一部が照明されるようになっている。
【0023】
試料は、「仮想スリット」を上下に動かすことにより、垂直方向に走査される。これは、画素の指定された列を変更するコンピュータによって達成され、この画素の指定された列は一緒に格納して分析される。CCDの画素のそれぞれの列が試料の対応する列からの散乱光を受光するように、「仮想スリット」を1回に1列動かすことにより、試料を動かすことなく1次元のマップをこの試料から作成することができる。
【0024】
従って、図5に示されるように、「仮想のスリット」が位置A'にある時、試料の列Aからの散乱光が分析される。「仮想スリット」が位置B'にある時、試料の列Bからの散乱光が分析される。
【0025】
試料のそれぞれの列はまた、水平方向に走査されることができる。これは、スリットの位置を光路と直角に水平移動可能とすることによって達成される。これは、図1のモータ25によって達成可能である。スリットの位置が変化するため、試料の異なる点からの散乱光がスリットを通過することができるようになる一方、他の点からの散乱光はスクリーンによって遮断される。
【0026】
図6は、第1の位置にある空間フィルタのスリットを示している。試料上の点Cからの散乱光は、スリットを通過してCCDの点C'に入射するようになっている。しかしながら、スリットが図7に示された位置に移動した場合、点Cからの散乱光はスクリーンによって遮断されるのに対し、点Dからの散乱光がスリットを通過してCCDの点D'に入射するようになっている。
【0027】
普通、分光装置は較正される。特に、検出器を横切るx方向(すなわち分析器28が回折格子の如き分散素子の場合、スペクトルが分散する方向)のそれぞれの位置に対応した波数kを知ることが必要である。これは、X軸較正として知られており、特許文献4に開示されている。しかしながら、スリットの位置が変更されるのでX軸較正における誤差が結果として生じ、これは望ましくは補正されるべきである。スリットおよび「仮想スリット」の動作を制御するコンピュータは、CCDからのデータを分析する際、スリットのそれぞれの位置に関するX軸較正に対して誤差調整を加えるべきである。
【0028】
あるいは、試料に対してレーザーの焦点がぼかされる場合、分析される光を単一露光にて取り込むことができる。この場合、上述したようにスリットを水平方向に動かすことにより、試料が走査される。しかしながら、「仮想スリット」を垂直方向には動かさない。その代わり、画素のそれぞれの列が、試料の対応する列からの光を受光する静止した「仮想スリット」として作用する。
【0029】
第2の実施形態において、分光装置は図8のような走査型電子顕微鏡(SEM)と組み合わされる。この分光装置の構成要素が図1におけるそれと類似している場合、同じ参照符号が用いられ、さらに記述される必要性はない。走査型電子顕微鏡82からの電子線80が試料を走査し、この電子線による試料の照射が陰極線ルミネセンスをもたらす。この放射光は、放物面鏡84によって分光装置へと反射される。空間フィルタのスリットおよびCCDの「仮想スリット」の動作は、同じコンピュータによって制御され、電子線と同期して動くようにタイミングを調整される結果、試料の2次元共焦点マップが光検出器にて作り出される。これは、電子線が1回に付き試料の1点に焦点を結ぶという利点を有し、それで試料の隣接する点からの干渉がない。
【0030】
図9は、本発明の第3の実施形態を示しており、試料を照明するために走査型レーザーが用いられている。この実施形態は、ビームステアリングユニット90がレーザーとダイクロイックフィルタとの間に付設されることを除き、図1に示された実施形態と全く同じである。ビームステアリングユニットは、それぞれ相互に直交する軸を中心として共に独立に傾斜可能な2つの反射鏡92および94を具えることができ、焦点を合わせたレーザービームが2次元(x−y)ラスター走査にて試料の表面を横切って走査されるようになっている。空間フィルタのスリットおよびCCDの「仮想スリット」は、先の実施形態と同じコンピュータの制御の下で、走査型レーザービームと同期して移動しよう。
【0031】
図10は本発明の一実施形態を示し、これは図8および図9で示された装置の組み合わせである。この実施形態において、試料は、第2の実施形態にて記述されたような走査型電子顕微鏡82から電子線80により、あるいは第3の実施形態にて記述されたような走査型レーザーからの光96により、走査可能である。
【0032】
走査型電子顕微鏡または試料および光源から分光装置を引き離すことを望ましい場合がある。図11は、分光装置が走査型電子顕微鏡から離され、光が試料から1本以上の光ファイバ100を通って分光装置まで送られる配置を例示している。
【0033】
1本以上の光ファイバ100は、図12に示されるような光ファイバの2次元アレイ102を具えることができる。先の実施形態にて記述されたように、光検出器の仮想スリットをy方向に動かすことにより、試料はy方向に走査され、スリット22をx方向に動かすことにより、試料はx方向に走査される。スリットは、分光装置とこの分光装置に隣接する光ファイバ102の端部Aとの間に配置される。あるいは、スリット22を固定位置に保持すると共に分光装置に隣接する光ファイバ102の端部Aをx方向に動かすことにより、試料をx方向に走査させることができる。従って、仮想スリットのy方向におけるすべての位置に対し、光ファイバ102の端部Aがx方向に沿って走査される。この方法は、スリットが固定された位置のままとなっているので、スリットのそれぞれの位置に対するX較正を補正する必要がないという利点を有する。
【0034】
それ故、光ファイバ100はSEMに隣接する端部Bにて固定され、分光装置に隣接する端部Aにて固定または移動可能の何れかにすることができる。
【0035】
この説明は、ラマン分光について言及しているけれども、上述の方法はまた、他の型式の分光、例えば蛍光,陰極ルミネセンスおよび光ルミネッセンスにも好適である。
【図面の簡単な説明】
【0036】
【図1】ラマン分析装置の第1実施形態の概略図である。
【図2】図1で用いられた電荷結合素子の概略平面図である。
【図3】空間フィルタおよび仮想スリットを使用した図2の電荷結合素子の概略平面図である。
【図4】分散素子を使用した電荷結合素子の概略平面図である。
【図5】仮想スリットを示す第1実施形態の概略図である。
【図6】可動スリットを示す第1実施形態の概略平面図である。
【図7】可動スリットを示す第1実施形態の概略平面図である。
【図8】走査型電子顕微鏡を分光装置と組み合わせた第2実施形態の概略図である。
【図9】走査型レーザーを用いた第3実施形態の概略図である。
【図10】図8および図9にそれぞれ例示された第2および第3実施形態の組み合わせを具えた本発明の一実施形態の概略図である。
【図11】走査型電子顕微鏡が分光装置から離れている図8に例示された実施形態の概略図である。
【図12】走査型電子顕微鏡と分光装置とをつなぐ2次元光ファイバアレイの概略図である。
Claims (26)
- 試料を照明または照射して散乱光のスペクトルを得るステップと、
このスペクトルを分析するステップと、
分析されたスペクトルの少なくとも一部を光検出器に送り、試料の所定面からの散乱光が光検出器の所定領域にタイトな焦点を結ぶと共に試料の他の面からの散乱光が光検出器により拡散した焦点を結ぶステップと
を具え、前記所定領域にて受光する光が、所定領域外からの光を含まないか、あるいはこの所定領域外からの光とは分離して検出され、これにより試料の他の面からの散乱光の影響を減らす分光方法であって、
試料の所定面の第1の点からの光が第1の位置にある光検出器の所定領域にて検出されると共に試料の所定面の第2の点からの光が第2の位置にある光検出器の所定領域にて検出されるように、受光される光を検出する光検出器の所定領域の位置が移動可能であることを特徴とする分光方法。 - 光検出器の前記所定領域で光を検出するステップは、一次元の共焦点作用を与える請求項1に記載の分光方法。
- スリットが配備されたスクリーンを具え、散乱光が通過する共焦点開口を設けることにより、共焦点作用が第2の次元にてもたらされ、試料の所定面からの光がスリットを通過するが、試料の他の面からの光がスクリーンによって遮断されるようになっている請求項2に記載の分光方法。
- 散乱光を共焦点開口に通して望まざる面からの光が光検出器に送られるのを減じ、
共焦点開口が移動可能であって、第1の位置にある試料の第1の点からの光が光検出器へと共焦点開口を通過できると共に第2の位置にある試料の第2の点からの光が検出器へと共焦点開口を通過できるようになっている請求項1から請求項3の何れかに記載の分光方法。 - 光検出器は、光検出素子の2次元アレイを具えている請求項1から請求項3の何れかに記載の分光方法。
- 光検出器は光検出素子のアレイを具え、波数に対するスリット横断方向のアレイの位置を、スリットの初期位置に対して較正可能であり、較正補正がこのスリットのそれぞれ連続する位置に対して行われる請求項4に記載の分光方法。
- 試料から共焦点開口までの散乱光の通路として、少なくとも1本の光ファイバが試料と共焦点開口との間に設けられている請求項3から請求項6の何れかに記載の分光方法。
- 共焦点開口が静止すると共に共焦点開口に隣接する光ファイバの端部が移動可能であり、第1の位置にある試料の第1の点からの光が光検出器へと共焦点開口のスリットを通過できると共に第2の位置にある試料の第2の点からの光が光検出器へとスリットを通過できるようになっている請求項7に記載の分光方法。
- 走査型電子顕微鏡が試料を照射するために用いられる請求項1から請求項8の何れかに記載の分光方法。
- 試料を照明または照射して散乱光のスペクトルを得るステップと、
このスペクトルを分析するステップと、
分析されたスペクトルの少なくとも一部を光検出器に送るステップと
を具え、散乱光を共焦点開口に通して望まざる面からの光が光検出器に送られるのを減じ、
共焦点開口が移動可能であって、第1の位置にある試料の第1の点からの光が光検出器へと共焦点開口を通過できると共に第2の位置にある試料の第2の点からの光が検出器へと共焦点開口を通過できるようになっている分析方法。 - 共焦点開口がスリットを持ったスクリーンを具えている請求項10に記載の分光方法。
- 光検出器が光検出素子のアレイを具え、波数に対するアレイ上の位置が共焦点開口の初期位置に対して較正可能であり、較正補正がこの開口のそれぞれ連続する位置に対して行われる請求項10または請求項11に記載の分光方法。
- 試料から共焦点開口までの散乱光の通路として、少なくとも1本の光ファイバが試料と共焦点開口との間に設けられている請求項10から請求項12の何れかに記載の分光方法。
- 試料を照明または照射して散乱光のスペクトルを得るための照明または照射手段と、
スペクトルを分析するための分析手段と、
分析されたスペクトルの少なくとも一部を検出する光検出器であって、試料の所定面からの散乱光が光検出器の所定領域にタイトな焦点を結ぶと共に試料の他の面からの散乱光が光検出器に対してより拡散した焦点を結ぶ光検出器と、
前記所定領域にて受光する光が、所定領域外からの光を含まないか、あるいはこの所定領域外からの光とは分離して検出されることを可能にする選択手段であって、これにより試料の他の面からの散乱光の影響を減らす選択手段と
を具え、前記選択手段は、試料の所定面の第1の点からの光が第1の位置にある光検出器の所定領域にて検出されると共に試料の所定面における第2の点からの光が第2の位置にある光検出器の所定領域にて検出されるように、受光した光を検出する光検出器の領域が移動可能であることを特徴とする分光装置。 - 光検出器の前記所定領域で光を検出できるようにする選択手段は、一次元の共焦点作用を与える請求項14に記載の分光装置。
- スリットが配備されたスクリーンを具え、散乱光が通過する共焦点開口により共焦点作用が第2の次元にてもたらされ、試料の所定面からの光がスリットを通過するが、試料の他の面からの光がスクリーンによって遮断されるようになっている請求項15に記載の分光装置。
- 散乱光を共焦点開口に通して望まざる面からの光が光検出器に送られるのを減じ、
共焦点開口が移動可能であって、第1の位置にある試料の第1の点からの光が光検出器へと共焦点開口を通過できると共に第2の位置にある試料の第2の点からの光が光検出器へと共焦点開口を通過できるようになっている請求項14から請求項16の何れかに記載の分光装置。 - 光検出器が光検出素子の2次元アレイを具えている請求項14から請求項17の何れかに記載の分光装置。
- 光検出器が光検出素子のアレイを具え、較正手段が設けられて波数に対するスリット横断方向のアレイの位置をスリットの初期位置に対して較正すると共にスリットのそれぞれ連続する位置に対して較正補正を行う請求項17に記載の分光装置。
- 試料から共焦点開口までの散乱光の通路として、少なくとも1本の光ファイバが試料と共焦点開口との間に設けられている請求項16から請求項19の何れかに記載の分光装置。
- 共焦点開口が静止すると共に共焦点開口に隣接する光ファイバの端部が移動可能であり、第1の位置にある試料の第1の点からの光が光検出器へと共焦点開口のスリットを通過できると共に第2の位置にある試料の第2の点からの光が光検出器へとスリットを通過できるようになっている請求項20に記載の分光装置。
- 照射手段が走査型電子顕微鏡を具えている請求項14から請求項21の何れかに記載の分光装置。
- 試料を照明または照射して散乱光のスペクトルを得る照明または照射手段と、
スペクトルを分析する分析手段と、
分析されたスペクトルの少なくとも一部を検出する光検出器と、
共焦点開口であって、前記散乱光をこの共焦点開口に通して望まざる面からの光が光検出器に送られるのを減らす共焦点開口と
を具え、共焦点開口が移動可能であって、第1の位置にある試料の第1の点からの光が光検出器へと開口を通過できると共に第2の位置にある試料の第2の点からの光が検出器へと開口を通過できるようになっている分光装置。 - 共焦点開口は、スリットを持ったスクリーンを具えている請求項23に記載の分光装置。
- 光検出器が光検出素子のアレイを具え、較正手段が設けられて波数に対するアレイの位置を開口の初期位置に対して較正すると共に開口のそれぞれ連続する位置に対する較正を補正する請求項23または請求項24に記載の分光装置。
- 試料から共焦点開口までの散乱光の通路として、少なくとも1本の光ファイバが試料と共焦点開口との間に設けられている請求項23から請求項25の何れかに記載の分光装置。
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Cited By (4)
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---|---|---|---|---|
JP2009510498A (ja) * | 2005-09-29 | 2009-03-12 | カール ツァイス マイクロイメージング ゲーエムベーハー | 顕微鏡検査方法および顕微鏡 |
JP2016054152A (ja) * | 2010-05-27 | 2016-04-14 | サントル・ナショナル・ドゥ・ラ・ルシェルシュ・シャンティフィクCentre National De La Recherche Scientifique | 順応性のあるカソードルミネッセンス検出システム及びそのようなシステムを採用したマイクロスコープ |
JP2021525944A (ja) * | 2018-05-30 | 2021-09-27 | ガタン インコーポレイテッドGatan,Inc. | 波長分解され角度分解されたカソードルミネッセンスのための装置 |
KR20230096183A (ko) * | 2021-12-22 | 2023-06-30 | (주)얼라인드제네틱스 | 고효율 다중 스펙트럼 검출을 위한 라인 공초점 세포 계수기 |
Families Citing this family (15)
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US7329860B2 (en) | 2005-11-23 | 2008-02-12 | Illumina, Inc. | Confocal imaging methods and apparatus |
EP1953791A1 (en) * | 2007-02-05 | 2008-08-06 | FEI Company | Apparatus for observing a sample with a particle beam and an optical microscope |
DE102007024140A1 (de) * | 2007-05-23 | 2008-11-27 | Takata-Petri Ag | Vibratorbaugruppe für ein Kraftfahrzeug |
DE102009046211B4 (de) * | 2009-10-30 | 2017-08-24 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Detektionsvorrichtung und Teilchenstrahlgerät mit Detektionsvorrichtung |
US8532398B2 (en) | 2010-03-26 | 2013-09-10 | General Electric Company | Methods and apparatus for optical segmentation of biological samples |
CN102236174B (zh) * | 2010-04-28 | 2013-05-08 | 北京国科世纪激光技术有限公司 | 空间滤波系统 |
NL2005080C2 (en) * | 2010-07-14 | 2012-01-17 | Univ Delft Tech | Inspection apparatus and replaceable door for a vacuum chamber of such an inspection apparatus. |
FR2968402B1 (fr) | 2010-12-07 | 2013-02-15 | Ecole Polytech | Systeme et procede d'imagerie multitechniques pour l'analyse chimique, biologique ou biochimique d'un echantillon. |
US8913241B2 (en) * | 2012-07-23 | 2014-12-16 | Corning Incorporated | Hyperspectral imaging system and method for imaging a remote object |
WO2014143234A1 (en) | 2013-03-14 | 2014-09-18 | Integrated Plasmonics Corporation | Self-aligned spatial filter |
CZ305388B6 (cs) | 2014-03-26 | 2015-08-26 | Tescan Orsay Holding, A.S. | Analytický systém s Ramanovým mikroskopem a elektronovým mikroskopem |
US9995627B2 (en) | 2014-07-31 | 2018-06-12 | Smiths Detection Inc. | Raster optic device for optical hyper spectral scanning |
CN106199996B (zh) * | 2016-08-30 | 2018-12-25 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 利用衍射图样定标空间滤波器中小孔位置的方法 |
US11415519B2 (en) * | 2020-01-16 | 2022-08-16 | Nova Ltd | Accurate Raman spectroscopy |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3037983C2 (de) * | 1980-10-08 | 1983-03-31 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Verfahren und Vorrichtung zur lichtinduzierten rastermikroskopischen Darstellung von Probenparametern in ihrer räumlichen Verteilung |
US5510894A (en) * | 1988-12-22 | 1996-04-23 | Renishaw Plc | Spectroscopic apparatus and methods |
DE69203830T3 (de) | 1991-06-08 | 2002-08-14 | Renishaw Plc | Konfokale spektroskopie. |
DE69203215T2 (de) | 1991-11-16 | 1995-11-09 | Renishaw Plc, Wotton-Under-Edge, Gloucestershire | Spektroskopisches Gerät und Verfahren. |
US5697373A (en) * | 1995-03-14 | 1997-12-16 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Optical method and apparatus for the diagnosis of cervical precancers using raman and fluorescence spectroscopies |
JP3560120B2 (ja) * | 1997-10-29 | 2004-09-02 | 横河電機株式会社 | 共焦点顕微鏡 |
US6002476A (en) * | 1998-04-22 | 1999-12-14 | Chemicon Inc. | Chemical imaging system |
JP4392990B2 (ja) | 1998-05-09 | 2010-01-06 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 電子顕微鏡および分光システム |
JP2000275527A (ja) | 1999-03-24 | 2000-10-06 | Olympus Optical Co Ltd | 像検出装置 |
GB0013408D0 (en) | 2000-06-02 | 2000-07-26 | Renishaw Plc | Calibration and use of spectroscope apparatus |
-
2001
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-
2002
- 2002-03-14 US US10/471,415 patent/US7139071B2/en not_active Expired - Fee Related
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- 2002-03-14 AU AU2002249339A patent/AU2002249339A1/en not_active Abandoned
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009510498A (ja) * | 2005-09-29 | 2009-03-12 | カール ツァイス マイクロイメージング ゲーエムベーハー | 顕微鏡検査方法および顕微鏡 |
JP2016054152A (ja) * | 2010-05-27 | 2016-04-14 | サントル・ナショナル・ドゥ・ラ・ルシェルシュ・シャンティフィクCentre National De La Recherche Scientifique | 順応性のあるカソードルミネッセンス検出システム及びそのようなシステムを採用したマイクロスコープ |
JP2021525944A (ja) * | 2018-05-30 | 2021-09-27 | ガタン インコーポレイテッドGatan,Inc. | 波長分解され角度分解されたカソードルミネッセンスのための装置 |
JP7194202B2 (ja) | 2018-05-30 | 2022-12-21 | ガタン インコーポレイテッド | 波長分解され角度分解されたカソードルミネッセンスのための装置および方法 |
US11764032B2 (en) | 2018-05-30 | 2023-09-19 | Gatan, Inc. | Apparatus for wavelength resolved angular resolved cathodoluminescence |
KR20230096183A (ko) * | 2021-12-22 | 2023-06-30 | (주)얼라인드제네틱스 | 고효율 다중 스펙트럼 검출을 위한 라인 공초점 세포 계수기 |
KR102645654B1 (ko) | 2021-12-22 | 2024-03-13 | (주)얼라인드제네틱스 | 고효율 다중 스펙트럼 검출을 위한 라인 공초점 세포 계수기 |
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