JP7192814B2 - 基板加工方法および構造体 - Google Patents
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基板をレーザ加工する基板加工方法であって、
キャリアシート上に紫外線吸収層を設け、
前記紫外線吸収層上に接着層を設け、
前記接着層上に前記基板を配置し、
前記接着層と接触する表面に対して反対側の前記基板の表面に紫外線レーザ光を照射し、前記基板を貫通する溝を形成する、基板加工方法が提供される。
キャリアシートと、
前記キャリアシート上に設けられた紫外線吸収層と、
前記紫外線吸収層上に設けられた接着層と、
前記接着層上に配置された基板と、を有し、
前記基板を貫通する溝を備える、構造体が提供される。
10a 表面
12 キャリアシート
14 紫外線吸収層
16 接着層
L レーザ光(紫外線レーザ光)
Claims (9)
- 基板をレーザ加工する基板加工方法であって、
キャリアシート上に紫外線吸収層を設け、
前記紫外線吸収層上に接着層を設け、
前記接着層上に前記基板を配置し、
前記接着層と接触する表面に対して反対側の前記基板の表面に紫外線レーザ光を照射し、前記基板を貫通する溝を形成し、
前記基板が、樹脂基板であって、
前記紫外線吸収層が、前記紫外線レーザ光によって硬化する、基板加工方法。
- 前記紫外線吸収層が、前記キャリアシートに比べて紫外線の吸収率が高い、請求項1に記載の基板加工方法。
- 前記紫外線吸収層が、前記接着層に比べて紫外線の吸収率が高い、請求項1または2に記載の基板加工方法。
- 前記キャリアシートが、ポリオレフィン樹脂材料から作製されている、請求項1から3のいずれか一項に記載の基板加工方法。
- 前記紫外線吸収層と前記接着層が、同系の材料から作製されている、請求項1から4のいずれか一項に記載の基板加工方法。
- 前記紫外線吸収層と前記接着層が、アクリル系樹脂材料から作製されている、請求項5に記載の基板加工方法。
- 前記紫外線吸収層が、前記キャリアシートの熱膨張率と前記接着層の熱膨張率との間の熱膨張率を備える材料から作製されている、請求項1から6のいずれか一項に記載の基板加工方法。
- 前記接着層が、感圧接着剤の層である、請求項1から7のいずれか一項に記載の基板加工方法。
- キャリアシートと、
前記キャリアシート上に設けられた紫外線吸収層と、
前記紫外線吸収層上に設けられた接着層と、
前記接着層上に配置された基板と、を有し、
前記基板を貫通する溝を備え、
前記基板が、樹脂基板であって、
前記紫外線吸収層が、紫外線レーザ光によって硬化する材料から作製され、
前記紫外線吸収層における前記溝に対応する部分が、硬化している、構造体。
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JP2013021105A (ja) | 2011-07-11 | 2013-01-31 | Nitto Denko Corp | ダイシング用粘着シート、及び、ダイシング用粘着シートを用いた半導体装置の製造方法 |
JP2014034397A (ja) | 2012-08-07 | 2014-02-24 | Dainippon Printing Co Ltd | 医療用包装材 |
WO2017188168A1 (ja) | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 日本ゼオン株式会社 | 光学フィルムの製造方法 |
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