JP7190097B2 - 測定器用の玉軸受ガイドユニットを有する測定システム - Google Patents
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Description
11 表面
12 物体
14 送り軸
15 測定システム
16 測定アーム
17 測定素子
18 測定アーム収容ユニット
19 収容体
20 回転部
24 モータユニット
25 電気モータ
26 固定子
27 回転子
28 永久磁石
29 固定子の外端
30 軸ピン
31 固定子の壁部
32 回転子巻線
33 積層鉄心
38 キャリアスリーブ
39 玉軸受ガイドユニット
40 玉軸受ガイドスリーブ
41 玉
42 リングフランジ
46 磁気アキシアル軸受装置
47 第1のアキシアル磁気軸受
48 第2のアキシアル磁気軸受
49 ハウジング
50 ハウジングの外端
51 ハウジングの壁部
55 第1のリング磁石
56 支持リング
57 第2のリング磁石
58 第3のリング磁石
59 軸方向延在部
60 第4のリング磁石
61 第5のリング磁石
67 測定装置
68 スケール部
69 検出ユニット
70 送信機
71 受信機
72 スケール領域
76 電気巻線端子
77 スターポイント
78 電気測定アーム端子
79 接触素子
80 電気端子装置
81 電気端子
82 端子クランプ
83 板
84 電気的接続装置
85 スパイラル導体
86 スパイラル導体の外端
87 半径方向最内巻き
88 締結リング
88a 締結リングの側壁
88b 締結リングの環状基部
89 非円領域
90 スリーブ状キャリア
91 絶縁リング
92 スリーブ状キャリアのフランジ
93 固定リング
97 コイルばね
98 重量補償装置
99 設定装置
103 接触ピン
104 導体
105 リボンケーブル
106 プリント基板
α リード角
A 軸方向
D 回転軸
F1 第1の磁力
F2 第2の磁力
F3 第3の磁力
F4 第4の磁力
Mx 水平測定方向
Mz 垂直測定方向
MK 補償トルク
S 螺旋経路
U 周方向
Claims (16)
- 測定アーム(16)を配置するように構成された測定アーム収容ユニット(18)と、
軸ピン(30)を有する固定アセンブリ(52)であって、前記軸ピン(30)が回転軸(D)に沿って軸方向(A)に延在する、固定アセンブリ(52)と、
前記測定アーム収容ユニット(18)が、前記軸ピン(30)を中心に回転可能に取り付けられ、前記軸ピン(30)に沿って前記軸方向(A)に変位可能に取り付けられるように、測定アーム収容ユニット(18)を前記軸ピン(30)に取り付ける玉軸受ガイドスリーブ(40)と、
前記測定アーム収容ユニット(18)の前記軸ピン(30)に沿った軸方向位置を定めるように構成された磁気アキシアル軸受装置(46)と
を備える、測定器(10)用の測定システム。 - 前記磁気アキシアル軸受装置(46)が、玉軸受ガイドスリーブ(40)の前記軸ピン(30)に沿った前記軸方向(A)の軸方向位置を定めるように構成されていることを特徴とする、請求項1に記載の測定システム。
- 前記磁気アキシアル軸受装置(46)が、前記測定アーム収容ユニット(18)の軸方向一方側の第1のアキシアル磁気軸受(47)、及び前記測定アーム収容ユニット(18)の軸方向他方側の第2のアキシアル磁気軸受(48)を備えることを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載の測定システム。
- 前記第1のアキシアル磁気軸受(47)が、前記測定アーム収容ユニット(18)と前記固定アセンブリ(52)との間に前記軸方向(A)に作用する第1の磁力(F1)を発生させるように構成されていることを特徴とする、請求項3に記載の測定システム。
- 前記第2のアキシアル磁気軸受(48)が、前記測定アーム収容ユニット(18)と前記固定アセンブリ(52)との間に前記軸方向(A)に作用する第2の磁力(F2)を発生させるように構成されていることを特徴とする、請求項4に記載の測定システム。
- 前記第1の磁力(F1)が前記第2の磁力(F2)と反対に作用することを特徴とする、請求項5に記載の測定システム。
- 前記第1の磁力(F1)及び前記第2の磁力(F2)が互いに向けられていることを特徴とする、請求項5に記載の測定システム。
- 少なくとも前記第1のアキシアル磁気軸受(47)又は前記第2のアキシアル磁気軸受(48)のいずれか一方が、前記玉軸受ガイドスリーブ(40)と前記固定アセンブリ(52)との間に前記軸方向(A)に作用する第3の磁力(F3)を発生させるように構成されていることを特徴とする、請求項3~請求項7のいずれか1項に記載の測定システム。
- 少なくとも前記第1のアキシアル磁気軸受(47)又は前記第2のアキシアル磁気軸受(48)のいずれか一方が、前記玉軸受ガイドスリーブ(40)と前記測定アーム収容ユニット(18)との間に前記軸方向(A)に作用する第4の磁力(F4)を発生させるように構成されていることを特徴とする、請求項3~請求項8のいずれか1項に記載の測定システム。
- 第3の磁力(F3)が第4の磁力(F4)と反対に作用することを特徴とする、請求項8に従属する請求項9に記載の測定システム。
- 第3の磁力(F3)及び第4の磁力(F4)が互いに向けられていることを特徴とする、請求項8に従属する請求項9に記載の測定システム。
- 前記第1のアキシアル磁気軸受(47)及び前記第2のアキシアル磁気軸受(48)のうち少なくとも一方が、前記回転軸(D)と同軸に配置された少なくとも2つのリング磁石を備えることを特徴とする、請求項3~請求項11のいずれか1項に記載の測定システム。
- 前記玉軸受ガイドスリーブ(40)が、それぞれが1つの玉(41)用の複数の玉座を備え、前記玉(41)が前記回転軸(D)を中心に螺旋経路に沿って配置されていることを特徴とする、請求項1~請求項12のいずれか1項に記載の測定システム。
- 測定値を検出するために、スケール部(68)及び前記スケール部(68)と協働する検出ユニット(69)を備える測定装置(67)が設けられ、前記スケール部(68)又は前記検出ユニット(69)が前記測定アーム収容ユニット(18)に接続されており、前記測定アーム収容ユニット(18)と一緒に前記回転軸(D)を中心に回転可能に配置されていることを特徴とする、請求項1~請求項13のいずれか1項に記載の測定システム。
- 前記回転軸(D)と同軸に配置され共同回転のために前記測定アーム収容ユニット(18)に接続された回転子(27)を備える、モータユニット(24)が設けられていることを特徴とする、請求項1~請求項14のいずれか1項に記載の測定システム。
- 前記測定アーム収容ユニット(18)及び前記回転子(27)が、前記玉軸受ガイドスリーブ(40)によって前記軸ピン(30)に取り付けられた共通のキャリアスリーブ(38)に配置されていることを特徴とする、請求項15に記載の測定システム。
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Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102017113699B3 (de) | 2017-06-21 | 2018-06-28 | Carl Mahr Holding Gmbh | Messsystem mit einer Kugelführungseinheit für ein Messgerät |
DE102017113695B3 (de) * | 2017-06-21 | 2018-12-27 | Carl Mahr Holding Gmbh | Wippenloses Messsystem für ein Messgerät |
US20220106760A1 (en) * | 2019-02-12 | 2022-04-07 | Jia Yi Chin | Pile set measurement apparatus |
GB2582375B (en) * | 2019-03-22 | 2022-07-06 | Taylor Hobson Ltd | Metrological apparatus and method of manufacture |
CN114440743B (zh) * | 2022-01-28 | 2024-03-01 | 中国铁建重工集团股份有限公司 | 一种轴承套圈圆度检测装置及其检测方法 |
CN116734710B (zh) * | 2023-08-09 | 2023-10-27 | 陕西省外经贸建设集团有限公司 | 一种房屋建筑墙面施工平整度测量装置 |
CN116793180B (zh) * | 2023-08-29 | 2023-10-31 | 山西建筑工程集团有限公司 | 一种防撞墙偏位测量装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005181233A (ja) | 2003-12-24 | 2005-07-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 測定用プローブ及び光学式測定装置 |
JP2010276513A (ja) | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機用検出器 |
JP2012526268A (ja) | 2009-05-07 | 2012-10-25 | カール マール ホールディング ゲーエムベーハー | 表面形状の測定方法および装置 |
DE102012108707A1 (de) | 2012-09-17 | 2014-05-28 | Breitmeier Messtechnik Gmbh | Oberflächenprofil- und/oder Rauheitsmessgerät |
JP2017044615A (ja) | 2015-08-27 | 2017-03-02 | 株式会社ミツトヨ | プローブヘッド回転機構 |
Family Cites Families (53)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3152731C2 (de) | 1981-02-14 | 1986-11-27 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokio/Tokyo | Konturmeßinstrument |
JPS60224012A (ja) | 1984-04-20 | 1985-11-08 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 三次元測定機のz軸構造 |
JP2585992B2 (ja) | 1987-05-19 | 1997-02-26 | 株式会社ニコン | 電動プロ−ブのプロ−ブ角度制御装置 |
DE3717459A1 (de) | 1987-05-23 | 1988-12-01 | Zeiss Carl Fa | Handgefuehrtes koordinatenmessgeraet |
US5189806A (en) | 1988-12-19 | 1993-03-02 | Renishaw Plc | Method of and apparatus for scanning the surface of a workpiece |
NL8901010A (nl) | 1989-04-21 | 1990-11-16 | Pelt & Hooykaas | Driedimensionale meetinrichting. |
DE4013742C2 (de) | 1990-04-28 | 1994-06-30 | Focus Mestechnik Gmbh & Co Kg | Abtastkopf für eine Maschine zum Ausmessen der Mikrooberflächenkontur von Werkstücken |
DE4225533A1 (de) * | 1992-08-01 | 1994-02-03 | Hottinger Messtechnik Baldwin | Elektrischer Wegsensor |
DE4238139C2 (de) | 1992-11-12 | 2002-10-24 | Zeiss Carl | Koordinatenmeßgerät |
US5621978A (en) | 1993-07-14 | 1997-04-22 | Sarauer; Alan J. | Bar for coordinate measuring machine |
DE4437033C2 (de) | 1994-10-17 | 1996-08-22 | Mahr Gmbh Goettingen | Vorschubgerät für die Oberflächenmessung nach dem Tastschnitt-Verfahren |
DE19521845C2 (de) | 1995-06-16 | 1998-08-27 | Stegmann Max Antriebstech | Drehwinkelmeßvorrichtung |
SE9600078L (sv) | 1996-01-09 | 1997-05-12 | Johansson Ab C E | Anordning för dimensionsbestämning av tredimensionella mätobjekt |
DE19617022C1 (de) | 1996-04-27 | 1997-12-11 | Mahr Gmbh | Konturenmeßgerät |
GB9612587D0 (en) | 1996-06-15 | 1996-08-21 | Renishaw Plc | Rotary bearing and drive mechanisms |
DE19630823C1 (de) | 1996-07-31 | 1997-12-11 | Zeiss Carl Fa | Koordinatenmeßgerät mit Kollisionsschutz |
JP2976203B1 (ja) * | 1998-05-27 | 1999-11-10 | セイコー精機株式会社 | 磁気軸受 |
JP3992853B2 (ja) | 1998-09-30 | 2007-10-17 | 株式会社ミツトヨ | 表面追従型測定機 |
DE29904767U1 (de) | 1999-03-16 | 1999-06-02 | Fa. Carl Zeiss, 89518 Heidenheim | Koordinatenmeßgerät mit einem biegesteifen Meßtisch |
DE10006753A1 (de) | 2000-02-15 | 2001-08-16 | Zeiss Carl | Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes |
WO2002027269A1 (de) | 2000-09-28 | 2002-04-04 | Carl Zeiss | Kalibrierung eines messenden sensors auf einem koordinatenmessgerät mit einer kugel und zwei parameterfeldern |
JP2002340503A (ja) | 2001-05-16 | 2002-11-27 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機における被測定物の相対姿勢調整方法 |
US20030037451A1 (en) | 2001-08-27 | 2003-02-27 | Sarauer Alan J. | Vehicle frame measuring device |
US7073271B2 (en) * | 2002-02-14 | 2006-07-11 | Faro Technologies Inc. | Portable coordinate measurement machine |
DE10214490B4 (de) | 2002-03-26 | 2010-12-02 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Korrektur von Führungsfehlern bei einem Koordinatenmeßgerät |
GB2392966B (en) * | 2002-09-13 | 2006-05-31 | Black & Decker Inc | Rotary tool with overload clutch |
GB0326532D0 (en) | 2003-11-13 | 2003-12-17 | Renishaw Plc | Method of error compensation |
US7036238B2 (en) | 2003-12-22 | 2006-05-02 | Mitutoyo Corporation | Width-measuring method and surface texture measuring instrument |
US7294948B2 (en) | 2004-10-25 | 2007-11-13 | Novatorque, Inc. | Rotor-stator structure for electrodynamic machines |
DE102005007002B4 (de) | 2005-02-16 | 2006-12-28 | Carl Mahr Holding Gmbh | Rauheitsmessgerät mit wechselbarem Tastarm |
GB0508395D0 (en) | 2005-04-26 | 2005-06-01 | Renishaw Plc | Method for scanning the surface of a workpiece |
DE102007018444C5 (de) | 2007-04-19 | 2011-02-17 | Carl Mahr Holding Gmbh | Tastschnitt-Messeinrichtung mit Tastermagazin zur Oberflächen- und Konturmessung |
DE102007019833B4 (de) | 2007-04-25 | 2012-12-13 | T & S Gesellschaft für Längenprüftechnik mbH | Tastsystem zur Vermessung einer Oberfläche eines Werkstücks |
DE102009019129A1 (de) | 2009-04-29 | 2010-11-04 | Breitmeier Messtechnik Gmbh | Vorrichtung zur Positionierung eines Sensors |
CN102859316B (zh) * | 2010-04-30 | 2016-08-31 | 瑞尼斯豪公司 | 计量仪器 |
EP2384851B1 (en) | 2010-05-03 | 2018-01-03 | Tesa Sa | Coordinate Measuring System with rotatory adapter |
CN101852582A (zh) | 2010-05-28 | 2010-10-06 | 河北理工大学 | 弯管内壁几何参数测量装置及测量方法 |
US8701301B2 (en) | 2011-04-19 | 2014-04-22 | Mitutoyo Corporation | Surface texture measuring instrument |
DE102012107211B4 (de) * | 2012-01-10 | 2016-07-14 | Tedrive Steering Systems Gmbh | Servolenkbaugruppe mit Differenzwinkelsensorik |
CN102768028A (zh) | 2012-06-04 | 2012-11-07 | 天津大学 | 单关节臂在线原位测量方法及装置 |
FR2993333B1 (fr) * | 2012-07-11 | 2014-08-22 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de transmission de mouvement a reducteur epicycloidal, reducteur epicycloidal et bras de manipulation |
JP6133678B2 (ja) | 2013-05-01 | 2017-05-24 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定装置およびその制御方法 |
CN103882892B (zh) * | 2014-03-26 | 2016-04-20 | 国家电网公司 | 一种静载荷位移传感器安装辅助装置 |
JP6282517B2 (ja) * | 2014-04-09 | 2018-02-21 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定機 |
DE102014110801B4 (de) | 2014-07-30 | 2016-08-25 | Hexagon Metrology Gmbh | Verfahren zur Ausrichtung eines an einem Koordinatenmessgerät angeordneten Rauheitssensors sowie Koordinatenmessgerät zur Durchführung des Verfahrens |
DE102015004525B4 (de) | 2015-04-08 | 2019-09-26 | Liebherr-Aerospace Lindenberg Gmbh | Lenkbares Flugzeugfahrwerk |
DE102015105978B3 (de) | 2015-04-20 | 2016-09-15 | Carl Mahr Holding Gmbh | Haltevorrichtung für eine optische Messeinrichtung |
CN205497222U (zh) * | 2016-02-29 | 2016-08-24 | 无锡市海鸿精工机械制造有限公司 | 一种轴承内外圈精密磨削多功能机床的内孔自动测量装置 |
DE102017106425B4 (de) | 2017-03-24 | 2020-02-06 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Von einem Koordinatenmessgerät verfahrbare Vorrichtung zum Positionieren eines Messinstruments bezüglich eines Werkstücks |
DE102017113709B4 (de) | 2017-06-21 | 2019-01-24 | Carl Mahr Holding Gmbh | Messarmaufnahmeeinrichtung eines Messsystems |
DE102017113695B3 (de) | 2017-06-21 | 2018-12-27 | Carl Mahr Holding Gmbh | Wippenloses Messsystem für ein Messgerät |
DE102017113699B3 (de) | 2017-06-21 | 2018-06-28 | Carl Mahr Holding Gmbh | Messsystem mit einer Kugelführungseinheit für ein Messgerät |
JP7261560B2 (ja) | 2018-10-31 | 2023-04-20 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定方法および表面性状測定装置 |
-
2017
- 2017-06-21 DE DE102017113699.1A patent/DE102017113699B3/de active Active
-
2018
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- 2018-06-19 GB GB1810001.6A patent/GB2565884B/en active Active
- 2018-06-20 US US16/013,711 patent/US10962347B2/en active Active
- 2018-06-20 CN CN201810635879.5A patent/CN109099879B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005181233A (ja) | 2003-12-24 | 2005-07-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 測定用プローブ及び光学式測定装置 |
JP2012526268A (ja) | 2009-05-07 | 2012-10-25 | カール マール ホールディング ゲーエムベーハー | 表面形状の測定方法および装置 |
JP2010276513A (ja) | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機用検出器 |
DE102012108707A1 (de) | 2012-09-17 | 2014-05-28 | Breitmeier Messtechnik Gmbh | Oberflächenprofil- und/oder Rauheitsmessgerät |
JP2017044615A (ja) | 2015-08-27 | 2017-03-02 | 株式会社ミツトヨ | プローブヘッド回転機構 |
Also Published As
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