JP7186848B1 - 気密試験装置及び気密試験方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明の一実施形態について、詳細に説明する。
管固定部10A,10Bは、管T1を所定の位置で固定するためのものである。管固定部10Aは固定端11Aを有し、管固定部10Bは押圧端11Bを有する。固定端11Aは、気密試験装置1において一定の位置に固定されている。管T1の一端には、他の管T1の挿し口を挿入可能な受口が形成され、管T1の他端には、他の管T1の受口に挿入可能な挿し口が形成されている。固定端11Aには管T1の受口側の端部が当接する。なお、挿し口及び受口が形成された管T1は一例であり、管T1は、必ずしも挿し口及び受口が形成されているものに限定されない。
真空ポンプ12は、管T1の内部を真空にするポンプである。真空ポンプ12には配管18が接続されており、配管18にはバルブ14が設けられている。配管18は、別の配管17に接続されている。配管17の一部は貫通孔16の内部に配置されている。バルブ14が開いている場合、真空ポンプ12は、配管17及び配管18を介して管T1の内部と連通する。
被覆治具20Aは、管T1の受口側の端部を被覆する。被覆治具20Bは、管T1の挿し口側の端部を被覆する。被覆治具20Aには、当該被覆治具20Aの内部にエアーが注入されるエアー注入口22aが形成されている。
図4は、部分被覆治具21の構成を示す図である。図4において、符号401は部分被覆治具21の正面図であり、符号402は符号401のA1-A1線矢視断面図である。図4に示すように、部分被覆治具21は、押圧治具22と口径対応治具23とを備える。押圧治具22は、押圧機構30に接続される治具である。口径対応治具23は、管T1の口径に対応した形状を有し、管T1に当接する。口径対応治具23は、押圧治具22のそれぞれに着脱可能である。
図1に示すように、フード40は、管固定部10A,10Bに固定された管T1を覆うものである。フード40は、図示しない複数のチェーンによって吊り下げられている。ガス注入器50は、フード40が管T1を覆った状態で、フード40と管T1の外面との間の空間に検知用ガスを注入する。検知用ガスは、大気中における存在比率が極めて小さいガスである。検知用ガスの具体例として、He(ヘリウム)またはAr(アルゴン)が挙げられる。
気密試験装置1による気密試験方法としては、まず、管T1を昇降させる図示しない昇降装置に管T1を設置する。次に、当該昇降装置によって管T1を所定の高さまで持ち上げ、上記昇降装置によって持ち上げられた管T1を、管固定部10A,10Bにより所定の位置で固定する(管固定ステップ)。このとき、管固定部10Aの固定端11Aを、パッキンP1を介して管T1の受口側の端部に当接させるとともに、管固定部10Bの押圧端11Bを、パッキンP2を介して管T1の挿し口側の端部に当接させることにより、管T1の内部を密閉する。
本発明の他の実施形態について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、上記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
20、20A、20B、20C 被覆治具
21、21C 部分被覆治具
22 押圧治具
22a エアー注入口
22b エアー排出口
23 口径対応治具
24 クランプ機構
Claims (6)
- 管の両端に当接し、当該両端を前記管の軸方向に押圧することで、前記管を所定の位置で固定する管固定部と、
前記管の端部を被覆する被覆治具とを備え、
前記被覆治具には、当該被覆治具の内部にエアーが注入されるエアー注入口が形成され、
前記被覆治具は、前記端部の周方向において互いに異なる範囲を被覆する、少なくとも2つの部分被覆治具を組み合わせることで構成され、
当該部分被覆治具のそれぞれが、前記管の径方向において前記管の管軸中心に向かって押圧されることで、前記端部を被覆する、気密試験装置。 - 前記部分被覆治具のそれぞれは、
前記管の径方向において前記管の管軸中心に向かって前記部分被覆治具を押圧する押圧機構に接続される押圧治具と、
前記管の口径に対応した形状を有し、前記管に当接する口径対応治具とを備え、
前記口径対応治具は、前記押圧治具のそれぞれに着脱可能である請求項1に記載の気密試験装置。 - 前記押圧治具に対して前記口径対応治具をクランプするクランプ状態と、前記押圧治具に対して前記口径対応治具をアンクランプするアンクランプ状態とを切替可能なクランプ機構をさらに備える請求項2に記載の気密試験装置。
- 前記被覆治具は、少なくとも3つの前記部分被覆治具を組み合わせることで構成される請求項1から3のいずれか1項に記載の気密試験装置。
- 前記被覆治具には、当該被覆治具の内部からエアーを排出するエアー排出口が形成されている請求項1から4のいずれか1項に記載の気密試験装置。
- 管固定部を用いて、管の両端を前記管の軸方向に押圧することで、管を所定の位置で固定する管固定ステップと、
前記管の端部の周方向において互いに異なる範囲を被覆する、少なくとも2つの部分被覆治具を組み合わせることで構成される被覆治具を用いて、当該部分被覆治具のそれぞれを、前記管の径方向において前記管の管軸中心に向かって押圧することで前記端部を被覆する被覆ステップと、
前記被覆治具に形成されたエアー注入口から前記被覆治具の内部にエアーを注入するエアー注入ステップとを含む、気密試験方法。
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