JP7179960B2 - マシンの制御システムおよび方法ならびにホストコンピュータ - Google Patents
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Description
本開示は、一般的にマシン制御の分野に関し、より特定的には、ホストコンピュータならびにマシンの制御システムおよび方法に関する。
情報化時代においては、情報技術が急速に発展し、さまざまな電子デバイスが開発され、これにより、人間の実生活のニーズが満たされると同時に、半導体産業の発展が大きく前進している。このような発展により、半導体エッチング機器に対する要件がより高くなっている。
本開示は、既存の技術における技術的課題のうちの1つを少なくとも解決することを目的とし、ホストコンピュータならびにマシンの制御システムおよび方法を提供する。ホストコンピュータならびにマシンの制御システムおよび方法は、マシンの機能フローの編集可能な機能を実現し得、マシンの機能フローの追加/修正の柔軟性、利便性および自動化の程度を向上し得る。したがって、マンパワーおよび時間コストが節約され得る。
サービス構成ユニットにより構成されるとともにマシンの機能フローを実行するよう使用されるアクション指示情報に従って、マシンの機能フローのアイテムをアイテム毎に編集することと、
マシンの機能フローの編集されたアイテムを機能フローユニットに格納することと、
機能フローユニットを始動し、かつ、必要に応じてマシンの機能フローの格納されたアイテムを実行するよう、制御ユニットに下位のコンピュータを制御させることとを含む。
論理指示は、マシンの機能フローの実行シーケンス、実行時間、および/または、実行条件を制御するよう使用される。
マシンの機能フローが待機指示まで実行されると、実行条件が満たされたか否か、もしくは、待機時間が決定された時間に達したか否かが判断され、yesであれば、次のアイテムが実行される。
マシンの機能フローがサイクル開始指示まで実行されると、サイクル開始指示とサイクル終了指示との間のアイテムが、所定の時間の間、自動的かつ周期的に実行され、または、
マシンの機能フローがサイクル開始指示まで実行されると、実行条件が満たされたか否かが判断され、yesであれば、サイクル開始指示とサイクル終了指示との間のアイテムが、所定時間の間、周期的に実行される。
マシンの機能フローが開始指示まで実行されると、実行条件が満たされたか否かが判断され、yesであれば、開始指示と終了指示との間のアイテムが実行され、そうでなければ、開始指示と終了指示との間のアイテムは実行されず、または、
論理指示は、開始指示と、中間指示と、終了指示とをさらに含み、
マシンの機能フローが開始指示まで実行されると、実行条件が満たされたか否かが判断され、yesであれば、開始指示と中間指示との間のアイテムが実行され、中間指示と終了指示との間のアイテムは実行されず、そうでなければ、中間アイテムと終了指示との間のアイテムが実行され、開始指示と中間指示との間のアイテムは実行されない。
本開示がホストコンピュータならびにマシンの制御システムおよび方法を提供する技術的ソリューションにおいて、ホストコンピュータは、制御ユニットと、サービス構成ユニットと、機能フローユニットとを含む。制御ユニットは、マシンの機能フローのアイテムを実行するよう、下位のコンピュータを制御するように構成される。サービス構成ユニットは、マシンの機能フローを実行するよう使用されるアクション指示情報を有するように構成され、かつ、制御ユニットと相互作用するように構成される。機能フローユニットは、ユーザによって編集されたマシンの機能フローのアイテムを格納し、かつ、制御ユニットと相互作用するように構成される。オペレータは、マシンの機能フローのアクション指示情報を編集するために必要とされるとともにサービス構成ユニットによって提供される機能を使用するよう選択を行い得る。すなわち、機能の追加が完了する。編集された機能が実行される必要がある場合、編集された機能を直接的に実行するために、機能フローユニットおよび対応する動作ボタンのみが始動される必要がある。したがって、本開示によって提供されるホストコンピュータは、マシンの機能フローの編集可能な機能を実現するように構成され得、これにより、マシンの機能フローの追加/修正の柔軟性、利便性、および自動化の程度が向上される。したがって、マンパワーおよび時間コストが節約され得る。
当業者が本開示の技術的ソリューションをより良好に理解するために、本開示と一貫するホストコンピュータならびにマシンの制御システムおよび方法が、添付の図面に関連して詳細に記載される。
S1において、サービス構成ユニット12によって構成されるとともにマシンの機能フローを実行するよう使用されるアクション指示情報に従って、マシンの機能フローのアイテムをアイテム毎に編集することと、
S2において、マシンの機能フローの編集されたアイテムを機能フローユニット13に格納することと、
S3において、機能フローユニット13を始動し、かつ、必要に応じてマシンの機能フローの格納されたアイテムを実行するよう、制御ユニット11に下位のコンピュータ2を制御させることとを含む。
アイテム1は、Pendulum Valveのposition値を1000に設定するよう、下位のコンピュータのサービスが呼び出されることを意味する。
アイテム3、OpenValve, valveId = HeValve1
アイテム4、OpenValve, valveId = HeValve2
アイテム5、ifstop
アイテム2~アイテム5は、HeValve1またはHeValve2のいずれかのバルブが閉じられると、当該2つのバルブのバルブ開放サービスが実行されることを意味する。
アイテム6は、top位置の温度が60℃に設定されることを意味する。
アイテム7は、温度を上昇させるための待機時間が1000msであることを意味する。
アイテム9、waitfor, waittime = 1000 ms
アイテム10、whilestop
アイテム8~アイテム10は、サイクルを形成する。top位置の温度が60℃に達したか否かが周期的に判断され、top位置の温度が60℃に達していなければ、システムは1000ms待機し続ける。余分な時間が同時に設定され、60000ms後に温度が60℃に達さなければ、システムは、アイテム8とアイテム10との間のサイクルから出て、下方に実行を継続する。
アイテム11は、middle1の位置のtemperatureを40℃に設定することを意味する。
アイテム12は、温度を上昇させるための待機時間が20000msであることを意味する。
アイテム14、OpenValve, valveId = FastRough
アイテム15、else
アイテム16、OpenValve, valveId = SlowRough
アイテム17、ifstop
アイテム18、CloseValve, valveId = HeValve1
アイテム13~アイテム18は、条件判断を形成しており、middle1の位置のtemperatureが40℃に達していなければ、FastRoughのバルブが開放され得、そうでなければ、SlowRoughのバルブが開放され得る。アイテム18は、HeValve1のバルブを閉じることを意味する。
Claims (11)
- ホストコンピュータであって、
制御ユニットと、サービス構成ユニットと、機能フローユニットとを含み、
前記制御ユニットは、マシンの機能フローのアイテムを実行するよう、下位のコンピュータを制御するように構成され、
前記サービス構成ユニットは、前記マシンの前記機能フローを実行するよう使用されるアクション指示情報を有するように構成され、かつ、前記制御ユニットと相互作用するように構成され、
前記機能フローユニットは、ユーザによって編集された前記マシンの前記機能フローのアイテムを格納し、かつ、前記制御ユニットと相互作用するように構成され、
前記マシンの前記機能フローの前記アイテムは、論理指示を含み、前記論理指示は、前記マシンの前記機能フローの実行シーケンス、実行時間、および/または、実行条件を制御するよう使用される、ホストコンピュータ。 - 自動編集ユニットをさらに含み、前記制御ユニットは、前記自動編集ユニットを介して前記サービス構成ユニットと相互作用するように構成され、前記サービス構成ユニットによって構成され前記マシンの機能フローを実行するために使用される前記アクション指示情報に従って、アイテムごとに前記マシンアイテムの前記機能フローの前記アイテムを編集する、請求項1に記載のホストコンピュータ。
- 自動管理ユニットをさらに含み、前記制御ユニットは、前記自動管理ユニットを介して前記機能フローユニットと相互作用するように構成され、前記機能フローユニットを始動し、必要に応じて下位コンピュータに前記マシンの前記機能フローの前記格納されたアイテムを実行させる、請求項1に記載のホストコンピュータ。
- 前記機能フローユニットの格納ファイルのフォーマットは、XMLを含み、および/または、
前記サービス構成ユニットの構成ファイルのフォーマットは、XMLを含む、請求項1に記載のホストコンピュータ。 - マシンの制御システムであって、
請求項1~4のいずれか1項に記載のホストコンピュータと、
前記ホストコンピュータによって送信されたサービスおよび前記サービスのパラメータを受信し、前記サービスおよび前記パラメータに従って前記マシンの機能フローのアイテムを実行するように構成される下位のコンピュータとを含む、マシンの制御システム。 - マシンの制御方法であって、
請求項1~4のいずれか1項に記載のホストコンピュータを使用することにより前記マシンの機能フローを編集することと、
サービス構成ユニットにより構成されるとともに前記マシンの前記機能フローを実行するよう使用されるアクション指示情報に従って、前記マシンの前記機能フローのアイテムをアイテム毎に編集することと、
前記マシンの前記機能フローの編集されたアイテムを機能フローユニットに格納することと、
前記機能フローユニットを始動し、かつ、必要に応じて前記マシンの前記機能フローの格納された前記アイテムを実行するよう、制御ユニットに下位のコンピュータを制御させることとを含み、
前記マシンの前記機能フローの前記アイテムは、論理指示を含み、前記論理指示は、前記マシンの前記機能フローの実行シーケンス、実行時間、および/または、実行条件を制御するよう使用される、マシンの制御方法。 - 前記サービス構成ユニットにより構成されるとともに前記マシンの前記機能フローを実行するよう使用される前記アクション指示情報に従って、前記マシンの前記機能フローの前記アイテムをアイテム毎に編集した後、かつ、前記マシンの前記機能フローの編集されたアイテムを機能フローユニットに格納する前に、
前記マシンの前記機能フローの前後するアイテム同士の間のタイムインターバルを設定することをさらに含む、請求項6に記載のマシンの制御方法。 - 前記マシンの前記機能フローの前記アイテムは、さらにアクション指示サービスを含む、請求項6に記載のマシンの制御方法。
- 前記論理指示は、待機指示を含み、前記マシンの前記機能フローが前記待機指示まで実行されると、決定された時間の間待機した後に、次のアイテムが実行され、または、
前記マシンの前記機能フローが前記待機指示まで実行されると、実行条件が満たされたか否か、もしくは、前記決定された時間に待機時間が達したか否かが判断され、yesであれば、前記次のアイテムが実行される、請求項6に記載のマシンの制御方法。 - 前記論理指示は、サイクル開始指示およびサイクル終了指示をさらに含み、
前記マシンの前記機能フローが前記サイクル開始指示まで実行されると、前記サイクル開始指示と前記サイクル終了指示との間のアイテムが、所定の時間の間、自動的かつ周期的に実行され、または、
前記マシンの前記機能フローが前記サイクル開始指示まで実行されると、前記実行条件が満たされたか否かが判断され、yesであれば、前記サイクル開始指示と前記サイクル終了指示との間の前記アイテムは、前記所定時間の間、周期的に実行される、請求項6に記載のマシンの制御方法。 - 前記論理指示は、開始指示および終了指示をさらに含み、
前記マシンの前記機能フローが前記開始指示まで実行されると、前記実行条件が満たされたか否かが判断され、yesであれば、前記開始指示と前記終了指示との間のアイテムが実行され、そうでなければ、前記開始指示と前記終了指示との間の前記アイテムは実行されず、または、
前記論理指示は、前記開始指示と、中間指示と、前記終了指示とをさらに含み、
前記マシンの前記機能フローが前記開始指示まで実行されると、前記実行条件が満たされたか否かが判断され、yesであれば、前記開始指示と前記中間指示との間のアイテムが実行され、前記中間指示と前記終了指示との間のアイテムは実行されず、そうでなければ、前記中間指示と前記終了指示との間の前記アイテムが実行され、前記開始指示と前記中間指示との間の前記アイテムは実行されない、請求項6に記載のマシンの制御方法。
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