JP7174794B2 - 薄型ビームスプリッタ - Google Patents
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Description
本願は、2017年3月21日に出願され“LOW-PROFILE BEAM SPLITTER”と題された米国仮特許出願第62/474,543号および2017年10月11日に出願され“LOW-PROFILE BEAM SPLITTER”と題された米国仮特許出願第62/570,995号に対する優先権を主張するものであり、これらの内容は、全体が記載されているかのように、参照によりこれらの全体が参照により本明細書中に明示的かつ完全に援用される。
本願明細書は、例えば、以下の項目も提供する。
(項目1)
光学デバイスであって、
透過型回折光学要素を備える第1の表面と、
前記第1の表面に対して垂直である第2の表面と、
前記第2の表面に対してある角度で配列される第3の表面であって、前記第3の表面は、第1の状態の光に対して反射性であり、第2の状態の光に対して透過性である、第3の表面と
を備え、
前記透過型回折光学要素は、垂直に前記第1の表面上に入射するコリメートされた入力ビームを受け取ることであって、前記コリメートされた入力ビームは、前記第1の状態を有する光を備える、ことと、第1の回折ビームが、前記第3の表面に向かって指向され、前記第1の表面と略平行な方向に前記第3の表面によって反射されるように、前記コリメートされた入力ビームを第1の回折角における少なくとも第1の回折ビームに変換することとを行うように構成される、光学デバイス。
(項目2)
前記第1の回折ビームは、前記第2の表面において前記光学デバイスから出射し、前記光学デバイスはさらに、前記第1の回折ビームを受け取るための前記第2の表面に隣接する空間光変調器を備え、前記空間光変調器は、前記第1の回折ビームを、第1の変調されたビームに変換することであって、前記第1の変調されたビームは、前記第2の状態を有する光を備える、ことと、前記第2の表面に向かって戻るように前記第1の変調されたビームを指向することとを行うように構成される、項目1に記載の光学デバイス。
(項目3)
前記空間光変調器は、シリコン上液晶(LCOS)空間光変調器またはデジタル光処理(DLP)空間光変調器である、項目2に記載の光学デバイス。
(項目4)
前記第2の表面の反対側に第4の表面をさらに備え、前記第4の表面は、前記第2の表面を通過した後に前記第1の変調されたビームを受け取り、かつ透過させるように構成され、前記第4の表面は、湾曲している、項目2に記載の光学デバイス。
(項目5)
前記透過型回折光学要素はさらに、第2の回折ビームが、前記第2の表面に向かって指向され、全内部反射を介して前記第3の表面に向かって前記第2の表面によって反射され、前記第1の表面と略平行な方向に前記第3の表面によって反射されるように、前記コリメートされた入力ビームを第2の回折角における第2の回折ビームに変換するように構成される、項目1に記載の光学デバイス。
(項目6)
前記反射された第1の回折ビームおよび前記反射された第2の回折ビームは、空間光変調器によって受け取られ、前記反射された第1の回折ビームおよび前記反射された第2の回折ビームは、組み合わせて空間光変調器全体を照明する、項目5に記載の光学デバイス。
(項目7)
前記第1、第2、および第3の表面は、平面的である、項目1に記載の光学デバイス。
(項目8)
前記第2の表面は、曲面である、項目1に記載の光学デバイス。
(項目9)
前記第1、第2、および第3の表面は、ウェッジを形成する、項目1に記載の光学デバイス。
(項目10)
前記ウェッジは、少なくとも約1.5の屈折率を備える、項目9に記載の光学デバイス。
(項目11)
前記第3の表面は、偏光ビーム分割表面を備える、項目1に記載の光学デバイス。
(項目12)
前記第2の表面に対する前記第3の表面の角度は、45度未満である、項目1に記載の光学デバイス。
(項目13)
前記第2の表面に対する前記第3の表面の角度は、約30度である、項目12に記載の光学デバイス。
(項目14)
前記第1の回折角は、0度を上回る、項目1に記載の光学デバイス。
(項目15)
前記第1の回折角は、約30度である、項目14に記載の光学デバイス。
(項目16)
前記透過型回折光学要素は、複数の回折特徴を備える、項目1に記載の光学デバイス。
(項目17)
前記第1の回折角は、前記複数の回折特徴の周期に基づく、項目16に記載の光学デバイス。
(項目18)
光学デバイスであって、
反射型回折光学要素を備える第1の表面と、
前記第1の表面に対して垂直である第2の表面と、
前記第2の表面に対してある角度で配列される第3の表面であって、前記第3の表面は、第1の状態の光に対して反射性であり、第2の状態の光に対して透過性である、第3の表面と
を備え、
前記反射型回折光学要素は、発散入力ビームを受け取ることであって、前記発散入力ビームは、前記第1の状態を有する光を備える、ことと、第1のコリメートおよび回折されたビームが、前記第3の表面に向かって指向され、前記第1の表面と略平行な方向に前記第3の表面によって反射されるように、前記発散入力ビームを第1の回折角における少なくとも第1のコリメートおよび回折されたビームに変換することとを行うように構成される、
光学デバイス。
(項目19)
前記第1のコリメートおよび回折されたビームは、前記第2の表面において前記光学デバイスから出射し、前記光学デバイスはさらに、前記第1のコリメートおよび回折されたビームを受け取るための前記第2の表面に隣接する空間光変調器を備え、前記空間光変調器は、前記第1のコリメートおよび回折されたビームを、第1の変調されたビームに変換することであって、前記第1の変調されたビームは、前記第2の状態を有する光を備える、ことと、前記第2の表面に向かって戻るように前記第1の変調されたビームを指向することとを行うように構成される、項目18に記載の光学デバイス。
(項目20)
前記空間光変調器は、シリコン上液晶(LCOS)空間光変調器またはデジタル光処理(DLP)空間光変調器である、項目19に記載の光学デバイス。
(項目21)
前記第2の表面の反対側に第4の表面をさらに備え、前記第4の表面は、前記第2の表面を通過した後に前記第1の変調されたビームを受け取り、かつ透過させるように構成され、前記第4の表面は、湾曲している、項目19に記載の光学デバイス。
(項目22)
前記反射型回折光学要素はさらに、第2のコリメートおよび回折されたビームが、前記第2の表面に向かって指向され、全内部反射を介して前記第3の表面に向かって前記第2の表面によって反射され、前記第1の表面と略平行な方向に前記第3の表面によって反射されるように、前記発散入力ビームを第2の回折角における第2のコリメートおよび回折されたビームに変換するように構成される、項目18に記載の光学デバイス。
(項目23)
前記反射された第1のコリメートおよび回折されたビームおよび前記反射された第2のコリメートおよび回折されたビームは、空間光変調器によって受け取られ、前記反射された第1のコリメートおよび回折されたビームおよび前記反射された第2のコリメートおよび回折されたビームは、組み合わせて空間光変調器全体を照明する、項目22に記載の光学デバイス。
(項目24)
前記反射型回折光学要素は、複数の角度または側方分離された発散入力ビームを受け取るように、かつそれらを低減された量の角度または側方分離を伴ってコリメートおよび回折されたビームに変換するように構成される、項目18に記載の光学デバイス。
(項目25)
前記複数の角度または側方分離された発散入力ビームを出力するための複数の側方分離された光源をさらに備える、項目24に記載の光学デバイス。
(項目26)
前記反射型回折光学要素は、第1の角度において前記複数の角度または側方分離された発散入力ビームのうちの第1の入力ビームを受け取ることと、前記第1の入力ビームを光学経路に沿って前記第3の表面に向かって指向される対応する第1のコリメートおよび回折されたビームに変換することと、第2の角度において前記複数の角度または側方分離された発散入力ビームのうちの第2の入力ビームを受け取ることと、前記第2の入力ビームを前記光学経路に沿って前記第3の表面に向かって指向される第2のコリメートおよび回折されたビームに変換することとを行うように構成される、項目24に記載の光学デバイス。
(項目27)
前記第1、第2、および第3の表面は、平面的である、項目18に記載の光学デバイス。
(項目28)
前記第2の表面は、曲面である、項目18に記載の光学デバイス。
(項目29)
前記第1、第2、および第3の表面は、ウェッジを形成する、項目18に記載の光学デバイス。
(項目30)
前記ウェッジは、少なくとも約1.5の屈折率を備える、項目29に記載の光学デバイス。
(項目31)
前記第3の表面は、偏光ビーム分割表面を備える、項目18に記載の光学デバイス。
(項目32)
前記第2の表面に対する前記第3の表面の角度は、45度未満である、項目18に記載の光学デバイス。
(項目33)
前記第2の表面に対する前記第3の表面の角度は、約30度である、項目32に記載の光学デバイス。
(項目34)
前記第1の回折角は、0度を上回る、項目18に記載の光学デバイス。
(項目35)
前記第1の回折角は、約30度である、項目34に記載の光学デバイス。
(項目36)
前記第1の回折角は、前記反射型回折光学要素の回折特徴の周期に基づく、項目18に記載の光学デバイス。
(項目37)
前記反射型回折光学要素は、ホログラムを備える、項目18に記載の光学デバイス。
(項目38)
ユーザの頭部上に装着されるように構成される頭部搭載型ディスプレイ(HMD)であって、前記HMDは、
フレームと、
前記フレームによって支持され、画像を前記ユーザの眼に投影するように構成される投影光学系と、
前記投影光学系と光学通信する光プロジェクタシステムであって、前記光プロジェクタシステムは、前記画像を用いて符号化される変調された光を提供するように構成され、前記光プロジェクタシステムは、
入力ビームを放出するための光源と、
光学デバイスであって、前記光学デバイスは、
回折光学要素を伴う第1の表面と、
前記第1の表面に対して垂直である第2の表面と、
前記第2の表面に対してある角度で配列される第3の表面であって、前記第3の表面は、第1の状態の光に対して反射性であり、第2の状態の光に対して透過性である、第3の表面と
を備え、
前記回折光学要素は、入力ビームを受け取ることであって、前記入力ビームは、前記第1の状態を有する光を備える、ことと、第1の回折ビームが、前記第3の表面に向かって指向され、前記第1の表面と略平行な方向に前記第3の表面によって反射されるように、前記入力ビームを第1の回折角における少なくとも第1の回折ビームに変換することとを行うように構成される、光学デバイスと、
空間光変調器であって、前記空間光変調器は、前記光学デバイスによって空間光変調器に送達される前記入力ビームを使用して、前記変調された光を生成するように構成される、空間光変調器と
を備える、光プロジェクタシステムと
を備える、HMD。
(項目39)
前記回折光学要素は、透過型回折光学要素を備える、項目38に記載のHMD。
(項目40)
前記回折光学要素は、反射型回折光学要素を備える、項目38に記載のHMD。
(項目41)
前記回折光学要素は、回折格子を備える、項目38に記載のHMD。
(項目42)
前記回折光学要素は、ホログラムを備える、項目38に記載のHMD。
(項目43)
前記光学デバイスと前記光源との間に配置されるコリメータをさらに備える、項目38に記載のHMD。
(項目44)
前記投影光学系は、
内部結合光学要素と、
外部結合光学要素と
を備え、
前記内部結合光学要素は、前記変調された光を受け取り、かつ内部結合するように構成され、
前記外部結合光学要素は、前記ユーザの眼に向かって前記内部結合された光を外部結合するように構成される、項目38に記載のHMD。
(項目45)
前記投影光学系は、導波管のスタックを備える、項目44に記載のHMD。
(項目46)
各導波管は、前記導波管のスタックのうちの1つ以上の他の導波管と比較して、異なる量の発散を伴って光を外部結合するように構成される、項目45に記載のHMD。
(項目47)
光学デバイスであって、
回折光学要素を備える第1の表面と、
前記第1の表面に対して垂直である第2の表面と、
前記第2の表面に対してある角度で配列される第3の表面であって、前記第3の表面は、第1の状態の光に対して反射性であり、第2の状態の光に対して透過性である、第3の表面と
を備え、
前記回折光学要素は、入力ビームを受け取ることであって、前記入力ビームは、前記第1の状態を有する光を備える、ことと、第1の回折ビームが、前記第3の表面に向かって指向され、前記第1の表面と略平行な方向に前記第3の表面によって反射されるように、前記入力ビームを第1の回折角における少なくとも第1の回折ビームに変換することとを行うように構成される、光学デバイス。
(項目48)
前記回折光学要素は、透過型回折光学要素を備える、項目47に記載の光学デバイス。
(項目49)
前記回折光学要素は、反射型回折光学要素を備える、項目47に記載の光学デバイス。
(項目50)
前記回折光学要素は、回折格子を備える、項目47に記載の光学デバイス。
(項目51)
前記回折光学要素は、ホログラムを備える、項目47に記載の光学デバイス。
(項目52)
前記入力ビームは、前記光学デバイスから分離しているコリメータによってコリメートされる、項目47に記載の光学デバイス。
(項目53)
前記回折光学要素は、前記入力ビームを第1のコリメートおよび回折されたビームに変換するように構成される、項目47に記載の光学デバイス。
(項目54)
前記第1および第2の状態は、それぞれ、第1の偏光状態および第2の偏光状態である、項目47に記載の光学デバイス。
(項目55)
画像情報をユーザに伝送する方法であって、前記方法は、
光学デバイスを提供することであって、前記光学デバイスは、第1の表面と、前記第1の表面に対して垂直である第2の表面と、前記第2の表面に対してある角度で配列される第3の表面であって、前記第3の表面は、第1の状態の光に対して反射性であり、第2の状態の光に対して透過性である、第3の表面とを備える、ことと、
前記第1の表面上に入射する入力ビームを生成することであって、前記入力ビームは、前記第1の表面に対して垂直に進行し、第1の状態を有する、ことと、
前記第1の表面上に透過型回折光学要素を提供し、第1の回折ビームが、前記第3の表面に向かって指向され、前記第1の表面と略平行な方向に前記第3の表面によって反射されるように、前記入力ビームを第1の回折角における少なくとも第1の回折ビームに変換することと、
空間光変調器を使用して、画像情報を用いて、少なくとも前記反射された第1の回折ビームを変調することであって、前記空間光変調器は、前記空間光変調器に対して垂直である前記反射された第1の回折ビームを受け取ることと、第2の状態を有する変調された光ビームを生成することとを行うように構成される、ことと、
1つ以上の投影光学構成要素を使用して、前記変調された光ビームを受け取ることと、
前記1つ以上の投影光学構成要素を使用して、前記画像情報を前記ユーザに投影することと
を含む、方法。
(項目56)
前記光学デバイスに隣接して配置されるコリメータを用いて、前記入力ビームをコリメートすることをさらに含む、項目55に記載の方法。
(項目57)
前記第2の表面に対する前記第3の表面の角度は、45度未満である、項目55に記載の方法。
(項目58)
前記第2の表面に対する前記第3の表面の角度は、約30度である、項目57に記載の方法。
(項目59)
前記第1の回折角は、0度を上回る、項目55に記載の方法。
(項目60)
前記第1の回折角は、約30度である、項目59に記載の方法。
(項目61)
画像情報をユーザに伝送する方法であって、前記方法は、
光学デバイスを提供することであって、前記光学デバイスは、第1の表面と、前記第1の表面に対して垂直である第2の表面と、前記第2の表面に対してある角度で配列される第3の表面であって、前記第3の表面は、第1の状態の光に対して反射性であり、第2の状態の光に対して透過性である、第3の表面とを備える、ことと、
前記第1の表面上に入射する発散入力ビームを生成することであって、前記発散入力ビームは、第1の状態を有する、ことと、
前記第1の表面上に反射型回折光学要素を提供し、第1のコリメートおよび回折されたビームが、前記第3の表面に向かって指向され、前記第1の表面と略平行な方向に前記第3の表面によって反射されるように、前記発散入力ビームを第1の回折角における少なくとも第1のコリメートおよび回折されたビームに変換することと、
空間光変調器を使用して、画像情報を用いて、少なくとも前記反射された第1の回折ビームを変調することであって、前記空間光変調器は、前記空間光変調器に対して垂直である前記反射された第1の回折ビームを受け取ることと、第2の状態を有する変調された光ビームを生成することとを行うように構成される、ことと、
1つ以上の投影光学構成要素を使用して、前記変調された光ビームを受け取ることと、
前記1つ以上の投影光学構成要素を使用して、前記画像情報を前記ユーザに投影することと
を含む、方法。
(項目62)
前記反射型回折光学要素を使用し、第2のコリメートおよび回折されたビームが、前記第2の表面に向かって指向され、全内部反射を介して前記第3の表面に向かって前記第2の表面によって反射され、前記第1の表面と略平行な方向に前記第3の表面によって反射されるように、前記発散入力ビームを第2の回折角における第2のコリメートおよび回折されたビームに変換することをさらに含む、項目61に記載の方法。
(項目63)
複数の角度または側方分離された発散入力ビームを生成し、前記反射型回折光学要素を使用して、それらを低減された量の角度または側方分離を伴ってコリメートおよび回折されたビームに変換することをさらに含む、項目61に記載の方法。
(項目64)
前記第2の表面に対する前記第3の表面の角度は、45度未満である、項目61に記載の方法。
(項目65)
前記第2の表面に対する前記第3の表面の角度は、約30度である、項目64に記載の方法。
(項目66)
前記第1の回折角は、0度を上回る、項目61に記載の方法。
(項目67)
前記第1の回折角は、約30度である、項目66に記載の方法。
頭部搭載型ディスプレイ(HMD)は、光プロジェクタシステムを使用し、画像情報を用いて入力光を符号化し、次いで、1つ以上の光学要素を介して、結果として生じる変調された光をユーザに反射または透過させ得る、空間光変調器(SLM)に、光源からの入力光を指向することによって、仮想現実(VR)、拡張現実(AR)、または複合現実(MR)コンテンツをユーザに表示してもよい。ビームスプリッタ(BS)が、SLMに向かって入力光を指向するため、かつSLMから変調された光を受け取り、(場合によっては、1つ以上の介在光学構成要素を介して)それをユーザに向かって指向するために、光プロジェクタシステムで使用されてもよい。
例示的HMDデバイス
導波管スタックアセンブリの実施例
例示的光プロジェクタシステム
薄型光プロジェクタシステムの実施例
薄型ビームスプリッタの実施例
例示的実施形態
付加的考慮事項
Claims (26)
- ビームスプリッタであって、
回折光学要素を備える第1の表面と、
前記第1の表面に対して垂直である第2の表面と、
前記第2の表面に対して45度未満の角度で配列されるビーム分割表面と
を備え、
前記ビームスプリッタは、前記第1の表面における入力ビームに応答して第2の表面全体を照明するように構成される、ビームスプリッタ。 - 前記回折光学要素は、透過型回折光学要素である、請求項1に記載のビームスプリッタ。
- 前記ビーム分割表面は、第1の状態の光に対して反射性であり、第2の状態の光に対して透過性であり、前記透過型回折光学要素は、垂直に前記第1の表面上に入射するコリメートされた入力ビームを受け取ることであって、前記コリメートされた入力ビームは、前記第1の状態を有する光を備える、ことと、第1の回折ビームが、前記ビーム分割表面に向かって指向され、前記第1の表面と略平行な方向に前記ビーム分割表面によって反射されるように、前記コリメートされた入力ビームを第1の回折角における少なくとも第1の回折ビームに変換することとを行うように構成される、請求項2に記載のビームスプリッタ。
- 前記第1の回折ビームは、前記第2の表面において前記ビームスプリッタから出射し、空間光変調器が、前記第1の回折ビームを受け取るために前記第2の表面に隣接して提供され、前記空間光変調器は、前記第1の回折ビームを、第1の変調されたビームに変換することであって、前記第1の変調されたビームは、前記第2の状態を有する光を備える、ことと、前記第2の表面に向かって戻るように前記第1の変調されたビームを指向することとを行うように構成される、請求項3に記載のビームスプリッタ。
- 前記空間光変調器は、シリコン上液晶(LCOS)空間光変調器またはデジタル光処理(DLP)空間光変調器である、請求項4に記載のビームスプリッタ。
- 前記第2の表面の反対側に第3の表面をさらに備え、前記第3の表面は、前記第2の表面を通過した後に前記第1の変調されたビームを受け取り、かつ透過させるように構成され、前記第3の表面は、湾曲している、請求項4に記載のビームスプリッタ。
- 前記透過型回折光学要素はさらに、第2の回折ビームが、前記第2の表面に向かって指向され、全内部反射を介して前記ビーム分割表面に向かって前記第2の表面によって反射され、前記第1の表面と略平行な方向に前記ビーム分割表面によって反射されるように、前記コリメートされた入力ビームを第2の回折角における第2の回折ビームに変換するように構成される、請求項2に記載のビームスプリッタ。
- 前記反射された第1の回折ビームおよび前記反射された第2の回折ビームは、空間光変調器によって受け取られ、前記反射された第1の回折ビームおよび前記反射された第2の回折ビームは、組み合わせて空間光変調器全体を照明する、請求項7に記載のビームスプリッタ。
- 前記第1、第2、およびビーム分割表面は、平面的である、請求項1に記載のビームスプリッタ。
- 前記第2の表面は、曲面である、請求項1に記載のビームスプリッタ。
- 前記第1、第2、およびビーム分割表面は、ウェッジを形成する、請求項1に記載のビームスプリッタ。
- 前記ウェッジは、少なくとも約1.5の屈折率を備える、請求項11に記載のビームスプリッタ。
- 前記ビーム分割表面は、偏光ビーム分割表面を備える、請求項1に記載のビームスプリッタ。
- 前記第2の表面に対する前記ビーム分割表面の角度は、約30度である、請求項1に記載のビームスプリッタ。
- 前記第1の回折角は、0度を上回る、請求項3に記載のビームスプリッタ。
- 前記第1の回折角は、約30度である、請求項15に記載のビームスプリッタ。
- 前記回折光学要素は、複数の回折特徴を備える、請求項1に記載のビームスプリッタ。
- 前記回折光学要素は、反射型回折光学要素である、請求項1に記載のビームスプリッタ。
- 前記ビーム分割表面は、第1の状態の光に対して反射性であり、第2の状態の光に対して透過性であり、前記反射型回折光学要素は、発散入力ビームを受け取ることであって、前記発散入力ビームは、前記第1の状態を有する光を備える、ことと、第1のコリメートおよび回折されたビームが、前記ビーム分割表面に向かって指向され、前記第1の表面と略平行な方向に前記ビーム分割表面によって反射されるように、前記発散入力ビームを第1の回折角における少なくとも第1のコリメートおよび回折されたビームに変換することとを行うように構成される、請求項18に記載のビームスプリッタ。
- 前記第1のコリメートおよび回折されたビームは、前記第2の表面において前記ビームスプリッタから出射し、空間光変調器が、前記第1のコリメートおよび回折されたビームを受け取るために前記第2の表面に隣接して提供され、前記空間光変調器は、前記第1のコリメートおよび回折されたビームを、第1の変調されたビームに変換することであって、前記第1の変調されたビームは、前記第2の状態を有する光を備える、ことと、前記第2の表面に向かって戻るように前記第1の変調されたビームを指向することとを行うように構成される、請求項19に記載のビームスプリッタ。
- 前記反射型回折光学要素はさらに、第2のコリメートおよび回折されたビームが、前記第2の表面に向かって指向され、全内部反射を介して前記ビーム分割表面に向かって前記第2の表面によって反射され、前記第1の表面と略平行な方向に前記ビーム分割表面によって反射されるように、前記発散入力ビームを第2の回折角における第2のコリメートおよび回折されたビームに変換するように構成される、請求項19に記載のビームスプリッタ。
- 前記反射された第1のコリメートおよび回折されたビームおよび前記反射された第2のコリメートおよび回折されたビームは、空間光変調器によって受け取られ、前記反射された第1のコリメートおよび回折されたビームおよび前記反射された第2のコリメートおよび回折されたビームは、組み合わせて空間光変調器全体を照明する、請求項21に記載のビームスプリッタ。
- 前記反射型回折光学要素は、複数の発散入力ビームを受け取るように構成され、前記複数の発散入力ビームは、相互に対して角度分離されるかまたは側方分離されており、前記反射型回折光学要素はさらに、前記複数の発散入力ビームを低減された量の角度分離または側方分離を伴ってコリメートおよび回折されたビームに変換するように構成される、請求項19に記載のビームスプリッタ。
- 前記複数の発散入力ビームを出力するための複数の側方分離された光源をさらに備える、請求項23に記載のビームスプリッタ。
- 前記反射型回折光学要素は、第1の角度において前記複数の発散入力ビームのうちの第1の入力ビームを受け取ることと、前記第1の入力ビームを光学経路に沿って前記ビーム分割表面に向かって指向される対応する第1のコリメートおよび回折されたビームに変換することと、第2の角度において前記複数の発散入力ビームのうちの第2の入力ビームを受け取ることと、前記第2の入力ビームを前記光学経路に沿って前記ビーム分割表面に向かって指向される第2のコリメートおよび回折されたビームに変換することとを行うように構成される、請求項24に記載のビームスプリッタ。
- 前記反射型回折光学要素は、ホログラムを備える、請求項18に記載のビームスプリッタ。
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