JP7172890B2 - 光モジュール - Google Patents

Description

本開示は、光モジュールに関するものである。

半導体発光素子からの光を出射する発光部と、発光部からの光を走査する走査部とを含む光モジュールが知られている（たとえば、特許文献１～３参照）。このような光モジュールは、発光部からの光を所望の経路に沿って走査することにより、文字や図形などを描画することができる。

特開２０１４－１８６０６８号公報 特開２０１４－５６１９９号公報 国際公開第２００７／１２０８３１号

上記光モジュールによって投影される画像において、台形歪みが生ずる場合がある。そこで、台形歪みを十分に補正することが可能な光モジュールを提供することを目的の１つとする。

本開示に従った光モジュールは、レーザダイオードと、レーザダイオードからの光を走査するミラーを含むＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）と、レーザダイオードおよびＭＥＭＳを取り囲み、レーザダイオードおよびＭＥＭＳを封止する保護部材と、を備える。保護部材は、レーザダイオードから出射される光の外部への出射口である窓部を有する第１部材と、窓部を閉塞するように配置され、レーザダイオードから出射されてミラーに入射する光の光軸と、ミラーにおいてレーザダイオードからの光を反射する反射面とのなす角に基づいて決定される形状を有し、光モジュールによって投影される画像の台形歪みを補正するレンズと、を含む。レンズは、反射面において反射された光が入射する表面の領域である第１の領域と、第１の領域に入射した光が出射する表面の領域である第２の領域と、第１の領域および第２の領域を繋ぐ表面の領域である第３の領域と、を有する。第３の領域は、窓部の外縁を取り囲む領域に接合される環状の接合部を含む。第３の領域には、保護部材およびレンズにより取り囲まれる内部空間の外部に位置する凹部である第１凹部が形成されている。

本開示によれば、投影される画像の台形歪みを十分に補正可能な光モジュールを提供することができる。

図１は、実施の形態１における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。 図２は、キャップを取り外した状態における実施の形態１の光モジュールの構造を示す概略斜視図である。 図３は、レンズの構造を示す概略斜視図である。 図４は、レンズの構造を示す概略斜視図である。 図５は、レンズの構造を示す概略斜視図である。 図６は、キャップおよびレンズの構造を示す概略断面図である。 図７は、キャップおよびレンズの構造を示す概略断面図である。 図８は、レンズの配置状態を示す概略図である。 図９は、実施の形態１における光モジュールの構造を示す概略図である。 図１０は、実施の形態１における光モジュールの構造を示す概略図である。 図１１は、投影される画像の台形歪みを示す図である。 図１２は、角度θ_Ｓと台形歪み量Ｗとの関係を示す図である。 図１３は、実施の形態１における光モジュールの製造方法の概略を示すフローチャートである。 図１４は、キャップにレンズを設置した状態を示す概略図である。 図１５は、実施の形態２の光モジュールにおけるレンズの構造を示す概略断面図である。 図１６は、実施の形態２の光モジュールにおけるレンズの構造を示す概略断面図である。

［本開示の実施形態の説明］
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。本開示の光モジュールは、レーザダイオードと、レーザダイオードからの光を走査するミラーを含むＭＥＭＳと、レーザダイオードおよびＭＥＭＳを取り囲み、レーザダイオードおよびＭＥＭＳを封止する保護部材と、を備える。保護部材は、レーザダイオードから出射される光の外部への出射口である窓部を有する第１部材と、窓部を閉塞するように配置され、レーザダイオードから出射されてミラーに入射する光の光軸と、ミラーにおいてレーザダイオードからの光を反射する反射面とのなす角に基づいて決定される形状を有し、光モジュールによって投影される画像の台形歪みを補正するレンズと、を含む。レンズは、反射面において反射された光が入射する表面の領域である第１の領域と、第１の領域に入射した光が出射する表面の領域である第２の領域と、第１の領域および第２の領域を繋ぐ表面の領域である第３の領域と、を有する。第３の領域は、窓部の外縁を取り囲む領域に接合される環状の接合部を含む。第３の領域には、保護部材およびレンズにより取り囲まれる内部空間の外部に位置する凹部である第１凹部が形成されている。

本開示の光モジュールは、投影される画像の台形歪みを補正するレンズを含む。台形歪みを有効に補正するためには、光モジュールの組立てにおいて、レンズを第１部材に対して適切に設置する必要がある。しかし、レンズを設置する際に、レンズの中心軸と、第２の領域から出射される光の光軸とがずれてしまう場合がある。なお、上記の第２の領域から出射される光の光軸とは、ＭＥＭＳを駆動させない状態における、第２の領域から出射される光の光軸である。このような場合、投影される画像の台形歪みの補正が不十分となる。これに対して、本開示の光モジュールのレンズの第３の領域には、内部空間の外部に位置するように第１凹部が形成されている。そのため、本開示の光モジュールにおいては、たとえば以下のようにレンズを第１部材に設置することができる。まず、レンズを第１部材に対して、ある程度設置状態を調整可能な状態で、仮に設置する。その後、保護部材によってレーザダイオードおよびＭＥＭＳを取り囲み、レーザダイオードおよびＭＥＭＳに対する第１部材の相対的な位置を確定させた後に、第１凹部を保持してレンズの第１部材に対する設置状態を調整する。レンズの中心軸と、第２の領域から出射される光の光軸とが十分な精度で一致するように調整した後、レンズを第１部材に対して完全に固定する。このようにすることで、レーザダイオードおよびＭＥＭＳに対する第１部材の設置状態の誤差を、レンズの設置状態の調整により相殺することができる。したがって、本開示の光モジュールによれば、レンズの中心軸と第２の領域から出射される光の光軸とを精度良く一致させて、投影される画像の台形歪みを十分に補正することができる。

上記光モジュールにおいては、レンズの中心軸に沿う方向に平面的に見て、一対の第１凹部が中心軸を挟むように形成されてもよい。このようにすることで、レンズの中心軸の両側において、レンズを保持することができる。したがって、窓部に対するレンズの相対的な位置を調整することが容易となる。

上記光モジュールにおいて、第１凹部は、レンズの中心軸に垂直な平面に沿って延びる溝状の形状を有してもよい。このようにすることにより、線状の領域においてレンズを保持して、レンズの位置を調整することができる。したがって、窓部に対するレンズの相対的な位置を調整することが容易となる。

上記光モジュールにおいて、第１部材は、窓部を取り囲み、レンズの中心軸に沿う方向に凹んだ表面の部分である段差部を含んでもよい。段差部は、段差部の一部の部分であり、環状の第１の面と、第１の面の外周から第１の面に交差する方向に延びる第２の面と、を含んでもよい。接合部は、第１の面に接合されてもよい。このような構成とすることで、段差部に合わせてレンズが取り付けられる。したがって、レンズを第１部材に取り付けることが容易となる。

上記光モジュールにおいて、レンズの中心軸に沿う方向に平面的に見て、レンズの外形形状は、互いに平行な一対の第１の辺と、第１の辺に垂直な一対の第２の辺と、を有する長方形状を有してもよい。一方の第２の辺と、一方の第２の辺と対向する第２の面の領域との第１の辺に沿った方向である第１方向における最短距離と、他方の第２の辺と、他方の第２の辺と対向する第２の面の領域との第１方向における最短距離との合計が２００μｍ以上であってもよい。一方の第１の辺と、一方の第１の辺と対向する第２の面の領域との第１方向に直交する第２方向における最短距離と、他方の第１の辺と、他方の第１の辺と対向する第２の面の領域との第２方向における最短距離との合計が２００μｍ以上であってもよい。レンズを平面的に見たときの第１の辺および第２の辺のそれぞれと、段差部における第２の面との間に、上記のような隙間を形成することで、第１方向および第２方向において、窓部に対するレンズの相対的な位置を調整することが容易となる。

上記光モジュールの第２の領域には、レンズの中心軸を示す目印が形成されてもよい。このような構成とすることで、上記目印を視認しつつ、窓部に対するレンズの相対的な位置を調整することができる。したがって、レンズの中心軸と第２の領域から出射される光の光軸とのずれを調整することがさらに容易となる。

上記光モジュールにおいて、接合部は、窓部の外縁の周方向において材料の異なる複数の接着剤により窓部の外縁を取り囲む領域に接合されてもよい。このようにすることで、接合部の周方向において接合状態を変化させることができる。

上記光モジュールは、複数のレーザダイオードと、複数のレーザダイオードから出射される光を合波するフィルタと、をさらに備えてもよい。このような構成とすることで、複数のレーザダイオードから出射された光をフィルタによって合波し、合波された光を出射することができる。

上記光モジュールにおいて、複数のレーザダイオードは、赤色の光を出射する赤色レーザダイオードと、緑色の光を出射する緑色レーザダイオードと、青色の光を出射する青色レーザダイオードと、を含んでもよい。このような構成とすることで、所望の色の光を形成することができる。

［本開示の実施形態の詳細］
次に、本開示にかかる光モジュールの実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。

（実施の形態１）
まず、図１～図１２を参照して実施の形態１について説明する。図１は、実施の形態１における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。図２は、図１のキャップを取り外した状態に対応する斜視図である。図６は、図１中の線分Ａ－Ａで切断した場合の断面図である。図７は、図１中の線分Ｂ－Ｂで切断した場合の断面図である。図８は、Ｚ軸方向に平面的にレンズを見た時の平面図である。図９は、キャップを断面にて、他の部品を平面視にて示したＸ－Ｙ平面における概略図である。図１０は、キャップを断面にて、他の部品を平面視にて示したＸ－Ｚ平面における概略図である。

特に図１、図２および図９を参照して、本実施の形態における光モジュール１は、光を形成する光形成部２０と、光形成部２０を取り囲み、光形成部２０を封止する保護部材２とを備える。保護部材２は、ベース体としての基部１０と、基部１０に対して溶接された第１部材としてのキャップ４０と、を含む。つまり、光形成部２０は、保護部材２によりハーメチックシールされている。基部１０は、平板状の形状を有する。光形成部２０は、基部１０の一方の主面１０Ａ上に配置される。キャップ４０は、光形成部２０を覆うように基部１０の一方の主面１０Ａ上に接触して配置される。基部１０の他方の主面１０Ｂ側から一方の主面１０Ａ側まで貫通し、一方の主面１０Ａ側および他方の主面１０Ｂ側の両側に突出するように、複数のリードピン５１が基部１０に設置されている。基部１０とキャップ４０とにより取り囲まれる空間である内部空間Ｒには、たとえば乾燥空気などの水分が低減（除去）された気体が封入されている。キャップ４０には、窓部４０Ａが形成されている。窓部４０Ａを閉塞するようにレンズ４２が配置されている。本実施の形態において、レンズ４２は、樹脂製である。本実施の形態において、保護部材２は、内部を気密状態とする気密部材である。

特に図２、図９および図１０を参照して、光形成部２０は、ベース部材４と、レーザダイオード８１，８２，８３と、フィルタ９７，９８，９９と、ＭＥＭＳ１２０とを含む。

ベース部材４は、電子温度調整モジュール３０と、ベース板６０と、ＭＥＭＳベース６５とを含む。電子温度調整モジュール３０は、平板状の形状を有する吸熱板３１および放熱板３２と、電極を挟んで吸熱板３１と放熱板３２との間に並べて配置される半導体柱３３とを含む。吸熱板３１および放熱板３２は、たとえばアルミナからなっている。放熱板３２が基部１０の一方の主面１０Ａに接触するように、電子温度調整モジュール３０は基部１０の一方の主面１０Ａに配置される。

吸熱板３１に接触するように、吸熱板３１上にベース板６０と、ＭＥＭＳベース６５とが配置される。ベース板６０は、板状の形状を有する。ベース板６０は、平面的に見て長方形形状（正方形形状）を有する一方の主面６０Ａを有している。ベース板６０の一方の主面６０Ａは、レンズ搭載領域６１と、チップ搭載領域６２と、フィルタ搭載領域６３とを含んでいる。チップ搭載領域６２は、一方の主面６０Ａの一の辺を含む領域に、当該一の辺に沿って形成されている。レンズ搭載領域６１は、チップ搭載領域６２に隣接し、かつチップ搭載領域６２に沿って配置されている。フィルタ搭載領域６３は、一方の主面６０Ａの上記一の辺と向かい合う他の辺を含む領域に、当該他の辺に沿って配置されている。チップ搭載領域６２、レンズ搭載領域６１およびフィルタ搭載領域６３は、互いに平行である。

レンズ搭載領域６１におけるベース板６０の厚みと、フィルタ搭載領域６３におけるベース板６０の厚みとは、等しい。レンズ搭載領域６１とフィルタ搭載領域６３とは同一平面に含まれる。チップ搭載領域６２におけるベース板６０の厚みは、レンズ搭載領域６１およびフィルタ搭載領域６３に比べて大きい。その結果、レンズ搭載領域６１およびフィルタ搭載領域６３に比べて、チップ搭載領域６２の高さ（レンズ搭載領域６１を基準とした高さ、すなわちレンズ搭載領域６１に垂直な方向における高さ）が高くなっている。

チップ搭載領域６２上には、平板状の第１サブマウント７１、第２サブマウント７２および第３サブマウント７３が、一方の主面６０Ａの上記一の辺に沿って並べて配置されている。第１サブマウント７１と第３サブマウント７３とに挟まれるように、第２サブマウント７２が配置されている。第１サブマウント７１上に、第１レーザダイオードとしての赤色レーザダイオード８１が配置されている。第２サブマウント７２上に、第２レーザダイオードとしての緑色レーザダイオード８２が配置されている。第３サブマウント７３上に、第３レーザダイオードとしての青色レーザダイオード８３が配置されている。赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３の光軸の高さ（一方の主面６０Ａのレンズ搭載領域６１を基準面とした場合の基準面と光軸との距離；Ｚ軸方向における基準面との距離）は、第１サブマウント７１、第２サブマウント７２および第３サブマウント７３により調整されて一致している。

レンズ搭載領域６１上には、第１レンズ９１、第２レンズ９２および第３レンズ９３が配置されている。第１レンズ９１、第２レンズ９２および第３レンズ９３は、それぞれ表面がレンズ面となっているレンズ部９１Ａ，９２Ａ，９３Ａを有している。第１レンズ９１、第２レンズ９２および第３レンズ９３は、レンズ部９１Ａ，９２Ａ，９３Ａとレンズ部９１Ａ，９２Ａ，９３Ａ以外の領域とが一体成型されている。第１レンズ９１、第２レンズ９２および第３レンズ９３のレンズ部９１Ａ，９２Ａ，９３Ａの中心軸、すなわちレンズ部９１Ａ，９２Ａ，９３Ａの光軸は、それぞれ赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３の光軸に一致する。第１レンズ９１、第２レンズ９２および第３レンズ９３は、それぞれ赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３から出射される光のスポットサイズを変換する（ある投影面におけるビーム形状を所望の形状に整形する）。第１レンズ９１、第２レンズ９２および第３レンズ９３により、赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３から出射される光の形状が所望の形状になるようにスポットサイズが変換される。第１レンズ９１、第２レンズ９２および第３レンズ９３により、赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３から出射される光がコリメート光に変換される。

フィルタ搭載領域６３上には、第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９が配置される。赤色レーザダイオード８１と第１レンズ９１とを結ぶ直線上に、第１フィルタ９７が配置される。緑色レーザダイオード８２と第２レンズ９２とを結ぶ直線上に、第２フィルタ９８が配置される。青色レーザダイオード８３と第３レンズ９３とを結ぶ直線上に、第３フィルタ９９が配置される。第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９は、それぞれ互いに平行な主面を有する平板状の形状を有している。第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９は、たとえば波長選択性フィルタである。第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９は、たとえば誘電体多層膜フィルタである。

より具体的には、第１フィルタ９７は、赤色の光を反射する。第２フィルタ９８は、赤色の光を透過し、緑色の光を反射する。第３フィルタ９９は、赤色の光および緑色の光を透過し、青色の光を反射する。このように、第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９は、特定の波長の光を選択的に透過および反射する。その結果、第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９は、赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３から出射された光を合波する。

ＭＥＭＳベース６５は、三角柱（直三角柱）形状を有する。三角柱の一の側面において吸熱板３１に接触するように、ＭＥＭＳベース６５は吸熱板３１上に配置される。ＭＥＭＳベース６５の他の側面上に、ミラー１２１を含むＭＥＭＳ１２０が配置される。ＭＥＭＳベース６５およびＭＥＭＳ１２０は、第３フィルタ９９から見て第２フィルタ９８とは反対側に配置される。本実施の形態において、ミラー１２１は円盤状の形状を有する。ミラー１２１は、フィルタ９７，９８，９９によって合波された光を反射する反射面１２１Ａを有する。その結果、ミラー１２１を含むＭＥＭＳ１２０により、フィルタ９７，９８，９９によって合波された光を走査することができる。

特に図９を参照して、赤色レーザダイオード８１、第１レンズ９１のレンズ部９１Ａおよび第１フィルタ９７は、赤色レーザダイオード８１の光の出射方向に沿う一直線上に並んで（Ｙ軸方向に並んで）配置されている。緑色レーザダイオード８２、第２レンズ９２のレンズ部９２Ａおよび第２フィルタ９８は、緑色レーザダイオード８２の光の出射方向に沿う一直線上に並んで（Ｙ軸方向に並んで）配置されている。青色レーザダイオード８３、第３レンズ９３のレンズ部９３Ａおよび第３フィルタ９９は、青色レーザダイオード８３の光の出射方向に沿う一直線上に並んで（Ｙ軸方向に並んで）配置されている。

赤色レーザダイオード８１の出射方向、緑色レーザダイオード８２の出射方向および青色レーザダイオード８３の出射方向は、互いに平行である。第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９の主面は、それぞれ赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３の出射方向（Ｙ軸方向）に対して４５°傾斜している。

フィルタ９７，９８，９９によって合波された光の光軸がミラー１２１の反射面１２１Ａに対して傾斜している場合、光モジュール１によって投影される画像には台形歪みが生じる。特に図１０を参照して、ＭＥＭＳを駆動させない状態におけるフィルタ９７，９８，９９によって合波された光の光軸とミラー１２１における反射面１２１Ａとのなす角は、θ_Ｍである。特に図１１を参照して、スクリーンＳに投影される画像の台形歪み量Ｗ（％）は、例えば、水平方向における画像の最大の長さＢ_３と、水平方向における画像の最小の長さＢ_１との差の、水平方向における画面中心Ａを含む画像の長さＢ_２に対する割合をいい、下記式により求められる。なお、画面中心Ａとは、画像の水平方向における中央点であり、かつ水平方向に垂直な方向における中央点をいう。

台形歪み量Ｗ（％）＝（Ｂ_３－Ｂ_１）／Ｂ_２×１００

図１２は、スクリーンＳの設置角度θ_Ｓ（Ｘ－Ｙ平面に対するスクリーンＳの傾斜角度）を変化させた場合の台形歪み量Ｗを示す図である。θ_Ｍがθ_Ｍ１、θ_Ｍ２、θ_Ｍ３の３つの場合について示している。θ_Ｍ１は５０°、θ_Ｍ２は４５°、θ_Ｍ３は４０°である。なお、本実施の形態において、角度θ_Ｍは４５°である。図１２に基づき、角度θ_Ｍおよび角度θ_Ｓを変化させた場合の台形歪み量Ｗを求めることができる。

レンズ４２は、光モジュール１によって投影される画像の台形歪みを補正可能な補正レンズである。レンズ４２は、上記により求められた台形歪み量Ｗに基づいて決定される形状を有する。特に図３～図５を参照して、レンズ４２は、第１の領域４３１と、第２の領域４３２と、第３の領域４３３と、を有する。第１の領域４３１は、ミラー１２１の反射面１２１Ａにおいて反射される光が入射する表面の領域である。第１の領域４３１は、Ｚ軸方向において反射面１２１Ａと対向するように配置される。第１の領域４３１は、Ｚ軸方向において第２の領域側に凹んだ曲面状の形状を有する。Ｚ軸方向に平面的に見て、第１の領域は、長方形状の形状を有する。第１の領域４３１の外縁の一対の長辺に対応する部分を含む平面からの距離は、第１の領域４３１のＹ軸方向において一定であり、Ｘ軸方向において中央から離れるにしたがって小さくなっている。第２の領域４３２は、第１の領域４３１の入射した光が出射する表面の領域である。第２の領域４３２は、Ｚ軸方向において第１の領域が位置する側とは反対側に配置される。第２の領域４３２は、第１の領域４３１とは反対側に突出した曲面状の形状を有する。Ｚ軸方向に平面的に見て、第２の領域４３２は、長方形状の形状を有する。第２の領域４３２の外縁の一対の短辺に対応する部分を含む平面からの距離は、第２の領域４３２のＸ軸方向において一定であり、Ｙ軸方向において中央から離れるにしたがって小さくなっている。第３の領域４３３は、第１の領域４３１および第２の領域４３２を繋ぐ表面の領域である。第２の領域４３２の外周に隣接する領域には、レンズ４２の中心軸Ｐを示す４つの目印４６１が間隔をあけて形成されている。ここで、レンズ４２の中心軸Ｐとは、Ｚ軸方向に平面的に見た時の第２の領域４３２の中心点Ｔ（特に図８を参照）を通り、Ｘ－Ｙ平面に垂直な軸をいう。

第３の領域４３３は、第１部分４４１、第２部分４４２、第３部分４４３、第４部分４４４、接合部としての第５部分４４５、第６部分４４６、第７部分４４７、第８部分４４８、第９部分４４９、第１０部分４５０および第１１部分４５１を含む。Ｚ軸方向に平面的に見て、長方形状を有する第２の領域４３２の一方の短辺に対応する領域に平面状の第１部分４４１が接続され、他方の短辺に対応する領域に平面状の第３部分４４３が接続されている。Ｚ軸方向に平面的に見て、第２の領域４３２の一方の長辺に対応する領域に平面状の第２部分４４２が接続され、他方の長辺に対応する領域に平面状の第４部分４４４が接続されている。第１部分４４１および第３部分４４３は、Ｙ軸方向に間隔をあけて平行に配置される。第２部分４４２および第４部分４４４は、Ｘ軸方向に間隔をあけて平行に配置される。第１部分４４１と、第２部分４４２および第４部分４４４とのなす角が垂直となるように配置される。第３部分４４３と、第２部分４４２および第４部分４４４とのなす角が垂直となるように配置される。第１部分４４１と、第３部分４４３とは、同一の形状を有する。第２部分４４２と、第４部分４４４とは、同一の形状を有する。第１部分４４１および第３部分４４３には、一対の第１凹部４３４，４３５が形成されている。第１凹部４３４，４３５は、Ｘ軸方向に延びる溝状の形状を有する。第１凹部４３４は、Ｘ軸方向において第１部分４４１の一方の端部から他方の端部にまで至るように直線状に形成されている。第１凹部４３５は、Ｘ軸方向において第３部分４４３の一方の端部から他方の端部にまで至るように直線状に形成されている。第１凹部４３４と、第１凹部４３５とは、平行に延びる。第１凹部４３４，４３５は、第２部分４４２から第４部分４４４までを貫通するように形成されている。

第５部分４４５は、第１部分４４１、第２部分４４２、第３部分４４３および第４部分４４４に連なって配置される。第５部分４４５は、環状の平面形状を有する。第５部分４４５の内縁および外縁は、互いに相似形状を有し、かつ重心が重なる長方形形状を有する。第５部分４４５の内縁および外縁の長辺同士および短辺同士は互いに平行である。Ｚ軸方向において、第１部分４４１、第２部分４４２、第３部分４４３および第４部分４４４の第２の領域４３２に接続される側と反対側の端部は、第５部分４４５の内縁に接続される。すなわち、Ｚ軸方向における第１部分４４１、第２部分４４２、第３部分４４３および第４部分４４４の第２の領域４３２に接続される側と反対側の端部は、長方形を構成する。

第７部分４４７、第８部分４４８、第９部分４４９および第１０部分４５０は、それぞれ外縁が長方形形状を有する平面状の形状を有している。第７部分４４７と第９部分４４９とは、同一形状を有している。第８部分４４８と第１０部分４５０とは、同一形状を有している。第７部分４４７と第９部分４４９とは、Ｙ軸方向に間隔を置いて互いに平行に配置されている。第８部分４４８と第１０部分４５０とは、Ｘ軸方向に間隔を置いて互いに平行に配置されている。第７部分４４７は、第５部分４４５の外縁の一方の短辺に、その一方の長辺において接続されている。第９部分４４９は、第５部分４４５の外縁の他方の短辺に、その一方の長辺において接続されている。第８部分４４８は、第５部分４４５の外縁の一方の長辺に、その一方の長辺において接続されている。第１０部分４５０は、第５部分４４５の外縁の他方の長辺に、その一方の長辺において接続されている。第７部分４４７、第８部分４４８、第９部分４４９および第１０部分４５０は、第５部分４４５に対して垂直に配置されている。

第６部分４４６は、環状の平面形状を有する。第６部分４４６は、第５部分４４５と同一形状を有する。第７部分４４７、第８部分４４８、第９部分４４９および第１０部分４５０の外縁の他方の長辺は、第６部分４４６の外縁に接続されている。第６部分４４６の外縁の一方の短辺が第７部分４４７に接続され、他方の短辺が第９部分４４９に接続されている。第６部分４４６の外縁の一方の長辺が第８部分４４８に接続され、他方の長辺が第１０部分４５０に接続されている。図５を参照して、Ｚ軸方向に平面的に見て長方形形状を有する第１の領域４３１の長辺に対応する外縁の領域と第６部分４４６の内縁の長辺に対応する領域とが接続されている。第１の領域４３１の短辺に対応する外縁の領域と第６部分４４６の内縁の短辺に対応する領域とは、第６部分４４６に対して垂直な平面である一対の第１１部分４５１により接続されている。

特に図６および図７を参照して、キャップ４０の内壁面４１１には、窓部４０Ａを取り囲み、Ｚ軸方向に凹んだ段差部４０Ｂが形成されている。段差部４０Ｂは、第１の面４０１と、第２の面４０２と、を含む。第１の面４０１は、環状の平面形状を有する。第２の面４０２は、第１の面４０１の外周から第１の面４０１に直交する方向（Ｚ軸方向）に延びる。レンズ４２の第５部分４４５は、第１の面４０１に接合されている。レンズ４２の第１部分４４１、第２部分４４２、第３部分４４３および第４部分４４４の一部の領域は、窓部４０Ａから露出するように配置されている。第１凹部４３４，４３５は、保護部材２およびレンズ４２により取り込まれる内部空間Ｒの外部に位置するように配置されている。

Ｙ軸方向において、レンズ４２の第１部分４４１と、第１部分４４１に対向する窓部４０Ａを構成する壁面４０３の領域との間には、隙間Ｌ_１が形成されている。同様に、第３部分４４３と、第３部分４４３に対向する壁面４０３の領域との間には、隙間Ｌ_２が形成されている。隙間Ｌ_１のＹ軸方向における最短距離と、隙間Ｌ_２のＹ軸方向における最短距離との合計は、２００μｍ以上５００μｍ以下である。第７部分４４７と、第７部分に対向する第２の面４０２の領域との間には、隙間Ｌ_３、Ｌ_４が形成されている。隙間Ｌ_３のＹ軸方向における最短距離と、隙間Ｌ_４のＹ軸方向における最短距離との合計は、２００μｍ以上５００μｍ以下である。Ｘ軸方向において、第２部分４４２と、第２部分４４２に対向する壁面４０３の領域との間には隙間Ｌ_６が形成されている。同様に、第４部分４４４と、第４部分４４４と対向する壁面４０３の領域との間には隙間Ｌ_５が形成されている。隙間Ｌ_５のＸ軸方向における最短距離と、隙間Ｌ_６のＸ軸方向における最短距離との合計は、２００μｍ以上５００μｍ以下である。第７部分４４７と、第７部分に対向する第２の面４０２の領域との間には、隙間Ｌ_７、Ｌ_８が形成されている。隙間Ｌ_７のＸ軸方向における最短距離と、隙間Ｌ_８のＸ軸方向における最短距離との合計は、２００μｍ以上５００μｍ以下である。

第５部分４４５の内縁および外縁の長辺に沿う領域は、第２接着剤４７２によって第１の面４０１に固定されている。第５部分４４５の内縁および外縁の短辺に沿う領域は、第１接着剤４７１によって第１の面４０１に固定されている。本実施の形態においては、第１接着剤４７１および第２接着剤４７２は、紫外線硬化型の接着剤である。第１接着剤４７１のヤング率は、例えば２００ＭＰａ以上である。本実施の形態における第２接着剤４７２のヤング率は、例えば１５～４０ＭＰａ以上である。第１接着剤４７１のヤング率は、第２接着剤４７２のヤング率よりも高い。

次に、本実施の形態における光モジュール１の動作について説明する。特に図９および図１０を参照して、赤色レーザダイオード８１から出射された赤色の光は、光路Ｌ_１に沿って進行する。この赤色の光は、第１レンズ９１のレンズ部９１Ａに入射し、光のスポットサイズが変換される。具体的には、たとえば赤色レーザダイオード８１から出射された赤色の光がコリメート光に変換される。第１レンズ９１においてスポットサイズが変換された赤色の光は、光路Ｌ_１に沿って進行し、第１フィルタ９７に入射する。

第１フィルタ９７は赤色の光を反射するため、赤色レーザダイオード８１から出射された光は光路Ｌ_４に沿ってさらに進行し、第２フィルタ９８に入射する。第２フィルタ９８は赤色の光を透過するため、赤色レーザダイオード８１から出射された光は光路Ｌ_４に沿ってさらに進行し、第３フィルタ９９に入射する。第３フィルタ９９は赤色の光を透過するため、赤色レーザダイオード８１から出射された光は光路Ｌ_４に沿ってさらに進行し、ミラー１２１に到達する。

緑色レーザダイオード８２から出射された緑色の光は、光路Ｌ_２に沿って進行する。この緑色の光は、第２レンズ９２のレンズ部９２Ａに入射し、光のスポットサイズが変換される。具体的には、たとえば緑色レーザダイオード８２から出射された緑色の光がコリメート光に変換される。第２レンズ９２においてスポットサイズが変換された緑色の光は、光路Ｌ_２に沿って進行し、第２フィルタ９８に入射する。

第２フィルタ９８は緑色の光を反射するため、緑色レーザダイオード８２から出射された光は光路Ｌ_４に沿ってさらに進行し、第３フィルタ９９に入射する。第３フィルタ９９は緑色の光を透過するため、緑色レーザダイオード８２から出射された光は光路Ｌ_４に沿ってさらに進行し、ミラー１２１に到達する。

青色レーザダイオード８３から出射された青色の光は、光路Ｌ_３に沿って進行する。この青色の光は、第３レンズ９３のレンズ部９３Ａに入射し、光のスポットサイズが変換される。具体的には、たとえば青色レーザダイオード８３から出射された青色の光がコリメート光に変換される。第３レンズ９３においてスポットサイズが変換された青色の光は、光路Ｌ_３に沿って進行し、第３フィルタ９９に入射する。

第３フィルタ９９は青色の光を反射するため、青色レーザダイオード８３から出射された光は光路Ｌ_４に沿ってさらに進行し、ミラー１２１に到達する。

このようにして、赤色、緑色および青色の光が合波されて形成された光（合波光）が光路Ｌ_４に沿ってミラー１２１へと到達する。そして、ミラー１２１が駆動されることにより合波光が走査される。このように合波光をスクリーンＳに投影することで、文字、図形などが描画される。

次に、本実施の形態１における光モジュール１の製造方法について説明する。図１３を参照して、実施の形態１における光モジュール１の製造方法においては、まず、工程（Ｓ１０）として、基部１０と、基部１０上に配置され、レーザダイオード８１，８２，８３を含む光形成部２０とを含む第一構造体を準備する工程が実施される。この工程（Ｓ１０）では、レーザダイオード８１，８２，８３を含む各種部品が図２に基づく上記説明に従って組み合された基部１０および光形成部２０を含む第一構造体が準備される。

次に、工程（Ｓ２０）として、レンズ４２をキャップ４０に仮に設置する工程が実施される。特に、図６、図７および図１４を参照して、レンズ４２をキャップ４０に対して、ある程度設置状態を調整可能な状態で、仮に設置する。すなわち、レンズ４２の第５部分４４５を第１接着剤４７１および第２接着剤４７２によって、キャップ４０の第１の面４０１に取り付ける。第１接着剤４７１および第２接着剤４７２は、紫外線硬化型の接着剤であるため、レンズ４２をキャップ４０に保持させることができる。一方で、紫外線が照射されるまではキャップ４０に対するレンズ４２の位置をある程度調整可能である。

次に、工程（Ｓ３０）として、キャップ４０を配置する工程が実施される。特に、図２および図１４を参照して、工程（Ｓ２０）において、レンズ４２が仮に設置されたキャップ４０を、レーザダイオード８１，８２，８３およびＭＥＭＳ１２０が基部１０およびキャップ４０に取り囲まれるように基部１０上に配置する。より具体的には、キャップ４０の開口部の外径が、基部１０の主面１０Ａに全周に亘って接続するように配置される。キャップ４０は、取り外し可能な状態で基部１０に対して固定される。

次に、工程（Ｓ４０）として、レンズ４２の中心軸Ｐを調整する工程が実施される。キャップ４０の基部１０に対する相対的な位置を確定させた後に、第１凹部４３４，４３５を調整部材により保持して、レンズ４２のキャップ４０に対する設置状態を調整する。第２の領域４３２に形成された目印４６１に基づいて、レンズ４２をＸ－Ｙ平面に沿って移動させて、レンズ４２の中心軸Ｐと、第２の領域４３２から出射される光の光軸とが一致するようにレンズ４２のキャップ４０に対する位置が調整される。この際、ＭＥＭＳ１２０を駆動しない状態で、レンズ４２の中心軸Ｐが第２の領域４３２から出射される光の光軸に一致するように調整される。

次に、工程（Ｓ５０）として、レンズ４２をキャップ４０に固定する工程が実施される。工程（Ｓ４０）において、レンズ４２の中心軸Ｐと、第２の領域４３２から出射される光の光軸とが十分な精度で一致するように調整した後、接着剤４７１，４７２に紫外線を照射して、レンズ４２をキャップ４０に対して完全に固定する。そして、工程（Ｓ６０）として、レーザダイオード８１，８２，８３およびＭＥＭＳ１２０を含む光形成部２０を封止する工程が実施される。より具体的には、キャップ４０が基部１０に対して溶接される。たとえばＹＡＧ（Ｙｉｔｔｒｉｕｍ Ａｌｕｍｉｎｉｕｍ Ｇａｒｎｅｔ）レーザ溶接、抵抗溶接などの手法により溶接が実施される。このように溶接が実施されることで、基部１０およびキャップ４０に取り囲まれた内部空間Ｒが気密状態となる。すなわち、レーザダイオード８１，８２，８３は、基部１０とキャップ４０とによりハーメチックシールされる。基部１０とキャップ４０とにより取り囲まれる内部空間Ｒには、たとえば乾燥空気などの水分が低減（除去）された気体が封入される。

本実施の形態の光モジュール１におけるレンズ４２の第３の領域４３３には、内部空間Ｒの外部に位置するように第１凹部４３４，４３５が形成されている。そのため、上記説明のように工程（Ｓ２０）においてレンズ４２をキャップ４０に仮に設置し、工程（Ｓ４０）においてレンズ４２をキャップ４０に仮に設置した状態で、第１凹部４３４，４３５を保持して、レンズ４２のキャップ４０に対する設置状態を調整し、レンズ４２の中心軸Ｐと、第２の領域４３２から出射される光の光軸とが十分な精度で一致するように調整することができる。このようにすることで、レーザダイオード８１，８２，８３およびＭＥＭＳ１２０に対するキャップ４０の設置状態の誤差を、レンズ４２の設置状態の調整により相殺することができる。したがって、本実施の形態における光モジュール１によれば、レンズ４２の中心軸Ｐと第２の領域４３２から出射される光の光軸とを精度良く一致させて、投影される画像の台形歪みを十分に補正することができる。

上記実施の形態において、レンズ４２の第５部分４４５は、キャップ４０の内壁面４１１に形成された段差部４０Ｂの第１の面４０１に接合されている。この構成は本開示において必須の構成ではないが、このようにすることで、基部１０とキャップ４０とにより取り囲まれる内部空間Ｒの気密状態が維持し易くなる。

上記実施の形態において、特に図３および図８を参照して、レンズの中心軸Ｐに沿う方向（Ｚ軸方向）に平面的に見て、一対の第１凹部４３４，４３５が中心軸Ｐを挟むように形成されている。この構成は本開示において必須の構成ではないが、レンズ４２の中心軸Ｐの両側において、レンズを保持することができる。したがって、窓部４０Ａに対するレンズ４２の相対的な位置を調整することが容易となる。

上記実施の形態において、一対の第１凹部４３４，４３５は、レンズの中心軸Ｐに垂直な平面（Ｘ－Ｙ平面）に沿って延びる溝状の形状を有する。この構成は本開示において必須の構成ではないが、このようにすることにより、線状の領域においてレンズ４２を保持して、レンズ４２の位置を調整することができる。したがって、窓部４０Ａに対するレンズ４２の相対的な位置を調整することが容易となる。

上記実施の形態において、キャップ４０は、窓部４０Ａを取り囲み、レンズの中心軸Ｐに沿う方向（Ｚ軸方向）に凹んだ表面の部分である段差部４０Ｂを含む。段差部４０Ｂは、環状の第１の面４０１と、第１の面４０１の外周から第１の面４０１に交差する方向に延びる第２の面４０２と、を含む。レンズ４２の第５部分４４５は、第１の面４０１に接合されている。この構成は本開示において必須の構成ではないが、このような構成とすることで、段差部４０Ｂに合わせてレンズ４２が取り付けられる。したがって、レンズ４２をキャップ４０に取り付けることが容易となる。

特に図８を参照して、レンズの中心軸Ｐに沿う方向（Ｚ軸方向）に平面的に見て、レンズ４２の第５部分４４５は、互いに平行な一対の第１の辺（短辺）と、第１の辺に垂直な一対の第２の辺（長辺）と、を有する長方形状の形状を有する。一方の第２の辺と、一方の第２の辺と対向する第２の面の領域との第１の辺に沿った方向である第１方向（Ｘ軸方向）における最短距離と、他方の前記第２の辺と、他方の第２の辺と対向する第２の面４０２の領域との第１方向における最短距離との合計（Ｌ_７，Ｌ_８の合計）が２００μｍ以上５００μｍ以下である。一方の第１の辺と、一方の第１の辺と対向する第２の面の領域との第１方向に直交する第２方向（Ｙ軸方向）における最短距離と、他方の第１の辺と、他方の第１の辺と対向する第２の面の領域との第２方向における最短距離との合計（Ｌ_３，Ｌ_４の合計）が２００μｍ以上５００μｍ以下である。

Ｚ軸方向に平面的に見て、レンズ４２の第２の領域４３２は、互いに平行な一対の第３の辺（短辺）と、第１の辺に垂直な一対の第４の辺（長辺）と、を有する長方形状の形状を有する。一方の第４の辺と、一方の第４の辺に対向する窓部４０Ａを構成する壁面４０３の領域とのＸ軸方向における最短距離と、他方の第４の辺と、他方の第４の辺に対向する壁面４０３の領域とのＸ軸方向における最短距離との合計（Ｌ_５，Ｌ_６の合計）が２００μｍ以上５００μｍ以下である。一方の第３の辺と、一方の第３の辺に対向する壁面４０３の領域とのＹ軸方向における最短距離と、他方の第３の辺と、他方の第３の辺に対向する壁面４０３の領域とのＹ軸方向における最短距離との合計（Ｌ_１，Ｌ_２の合計）が２００μｍ以上５００μｍ以下である。この構成は本開示において必須の構成ではないが、このような隙間を形成することで、Ｘ軸方向およびＹ軸方向において、窓部４０Ａに対するレンズ４２の相対的な位置を調整することが容易となる。レンズ４２の成形精度や窓部４０Ａに対するレンズ４２の相対的な位置を調整可能な範囲を考慮して、Ｌ_１，Ｌ_２の合計値、Ｌ_３，Ｌ_４の合計値、Ｌ_５，Ｌ_６の合計値およびＬ_７，Ｌ_８の合計値の下限は、２００μｍであることが好ましい。また、上記合計値のそれぞれが５００μｍを超えると、窓部４０Ａに対するレンズ４２の相対的な位置を調整し難くなる可能性がある。したがって、Ｌ_１，Ｌ_２の合計値、Ｌ_３，Ｌ_４の合計値、Ｌ_５，Ｌ_６の合計値およびＬ_７，Ｌ_８の合計値の上限は、５００μｍであることが好ましい。

上記実施の形態において、第２の領域４３２には、レンズ４２の中心軸Ｐを示す目印４６１が形成されてもよい。この構成は本開示において必須の構成ではないが、このような構成とすることで、上記目印４６１を視認しつつ、窓部４０Ａに対するレンズ４２の相対的な位置を調整することができる。したがって、レンズ４２の中心軸Ｐと第２の領域４３２から出射される光の光軸とのずれを調整することがさらに容易となる。

上記実施の形態において、第５部分４４５の内縁および外縁の短辺に沿う領域は、第２接着剤４７２よりもヤング率の高い第１接着剤４７１によって第１の面４０１に固定されている。第５部分４４５の内縁および外縁の長辺に沿う領域は、第２接着剤４７２によって第１の面４０１に固定されている。このように第５部分４４５の周方向においてヤング率の異なる複数の接着剤によって固定することで、レンズ４２において歪みが生じ難くすることができる。

（実施の形態２）
次に、本願の光モジュールの実施の形態２について説明する。実施の形態２の光モジュール１は基本的には実施の形態１の光モジュール１と同様の構造を有し、同様の効果を奏する。しかしながら、実施の形態２においては、レンズ４２がキャップ４０の外壁面に形成される段差部４０Ｂに配置される点において、実施の形態１の場合とは異なっている。以下、実施の形態１の場合とは異なる点について主に説明する。

図１５および図１６を参照して、キャップ４０の外壁面４１２には、窓部４０Ａを取り囲み、Ｚ軸方向に凹んだ段差部４０Ｂが形成されている。段差部４０Ｂは、第１の面４０１と、第２の面４０２と、を含む。レンズ４２の第６部分４４６は、第１の面４０１に接合されている。Ｙ軸方向において、レンズ４２の第７部分４４７と、第７部分に対向する第２の面４０２の領域との間には、隙間Ｌ_３、Ｌ_４が形成されている。Ｘ軸方向において、第７部分４４７と、第７部分に対向する第２の面４０２の領域との間には、隙間Ｌ_７、Ｌ_８が形成されている。レンズ４２の第１部分４４１、第２部分４４２、第３部分４４３、第４部分４４４および第５部分４４５が窓部４０Ａから露出するように配置されている。したがって、第１凹部４３４，４３５は、保護部材２およびレンズ４２により取り込まれる内部空間Ｒの外部に位置するように配置されている。このように、レンズ４２の第６部分４４６が、キャップ４０の外壁面４１２に形成された第１の面４０１に接合されることで、レンズ４２をキャップ４０に取り付けることが容易となる。

上記実施の形態２の構造を有する光モジュール１によっても、実施の形態１と同様に、レンズ４２の中心軸Ｐと第２の領域４３２から出射される光の光軸とを精度良く一致させて、投影される画像の台形歪みを十分に補正することができる。

なお、上記の実施の形態においては、光モジュール１は、赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３を含む構成としたが、これに限らず、いずれか１色または２色、すなわち、赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３のうち１つまたは２つを含む構成であればよい。また、赤外光等を加えて、光モジュール１から出射される光が４つ以上としてもよい。また、上記実施の形態においては、第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９として波長選択性フィルタが採用される場合を例示したが、これらのフィルタは、たとえば偏波合成フィルタであってもよい。また、レーザダイオード８１，８２，８３としてチップ状のレーザダイオードが採用される場合について説明したが、レーザダイオードのチップが、たとえばＣＡＮタイプのような金属製の容器内に封入された構造を有するものを採用するようにしてもよい。

なお、上記の実施の形態においては、樹脂製のレンズ４２が採用される場合について説明したが、これに限らず、レンズ４２はガラスであってもよい。この場合、低融点ガラスを加熱して溶融させて、レンズ４２をキャップ４０の第１の面４０１に固定するようにしてもよい。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、どのような面からも制限的なものではないと理解されるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって規定され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

本開示の光モジュールは、投影される画像の台形歪みを補正することが求められる場合において特に有利に適用される。

１ 光モジュール
２ 保護部材
４ ベース部材
１０ 基部
１０Ａ，１０Ｂ，６０Ａ 主面
２０ 光形成部
３０ 電子温度調整モジュール
３１ 吸熱板
３２ 放熱板
３３ 半導体柱
４０ キャップ
４０Ａ 窓部
４０Ｂ 段差部
４２ レンズ
５１ リードピン
６０ ベース板
６１ レンズ搭載領域
６２ チップ搭載領域
６３ フィルタ搭載領域
６５ ＭＥＭＳベース
７１ 第１サブマウント
７２ 第２サブマウント
７３ 第３サブマウント
８１ 赤色レーザダイオード
８２ 緑色レーザダイオード
８３ 青色レーザダイオード
９１ 第１レンズ
９１Ａ，９２Ａ，９３Ａ レンズ部
９２ 第２レンズ
９３ 第３レンズ
９７ 第１フィルタ
９８ 第２フィルタ
９９ 第３フィルタ
１２０ ＭＥＭＳ
１２１ ミラー
１２１Ａ 反射面
４０１ 第１の面
４０２ 第２の面
４０３ 壁面
４１１ 内壁面
４１２ 外壁面
４３１ 第１の領域
４３２ 第２の領域
４３３ 第３の領域
４３４，４３５ 第１凹部
４４１ 第１部分
４４２ 第２部分
４４３ 第３部分
４４４ 第４部分
４４５ 第５部分
４４６ 第６部分
４４７ 第７部分
４４８ 第８部分
４４９ 第９部分
４５０ 第１０部分
４５１ 第１１部分
４６１ 目印
４７１ 第１接着剤
４７１ 接着剤
４７１，４７２ 接着剤
４７２ 第２接着剤

Claims (9)

1. 光モジュールであって、
   レーザダイオードと、
   前記レーザダイオードからの光を走査するミラーを含むＭＥＭＳと、
   前記レーザダイオードおよび前記ＭＥＭＳを取り囲み、前記レーザダイオードおよび前記ＭＥＭＳを封止する保護部材と、を備え、
   前記保護部材は、
   前記レーザダイオードから出射される光の外部への出射口である窓部を有する第１部材と、
   前記窓部を閉塞するように配置され、前記レーザダイオードから出射されて前記ミラーに入射する光の光軸と、前記ミラーにおいて前記レーザダイオードからの光を反射する反射面とのなす角に基づいて決定される形状を有し、前記光モジュールによって投影される画像の台形歪みを補正するレンズと、を含み、
   前記レンズは、前記反射面において反射された光が入射する表面の領域である第１の領域と、前記第１の領域に入射した光が出射する表面の領域である第２の領域と、前記第１の領域および前記第２の領域を繋ぐ表面の領域である第３の領域と、を有し、
   前記第３の領域は、前記窓部の外縁を取り囲む領域に接合される環状の接合部を含み、
   前記第３の領域には、前記保護部材および前記レンズにより取り囲まれる内部空間の外部に位置する凹部である第１凹部が形成されている、光モジュール。
2. 前記レンズの中心軸に沿う方向に平面的に見て、一対の前記第１凹部が前記中心軸を挟むように形成されている、請求項１に記載の光モジュール。
3. 前記第１凹部は、前記レンズの中心軸に垂直な平面に沿って延びる溝状の形状を有する、請求項１または請求項２に記載の光モジュール。
4. 前記第１部材は、前記窓部を取り囲み、前記レンズの中心軸に沿う方向に凹んだ表面の部分である段差部を含み、
   前記段差部は、
   前記段差部の一部の部分であり、環状の第１の面と、
   前記第１の面の外周から前記第１の面に交差する方向に延びる第２の面と、を含み、
   前記接合部は、前記第１の面に接合される、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の光モジュール。
5. 前記レンズの中心軸に沿う方向に平面的に見て、前記レンズの外形形状は、互いに平行な一対の第１の辺と、前記第１の辺に垂直な一対の第２の辺と、を有する長方形状を有し、
   一方の前記第２の辺と、前記一方の第２の辺と対向する前記第２の面の領域との前記第１の辺に沿った方向である第１方向における最短距離と、他方の前記第２の辺と、前記他方の第２の辺と対向する前記第２の面の領域との前記第１方向における最短距離との合計が２００μｍ以上であり、
   一方の前記第１の辺と、前記一方の第１の辺と対向する前記第２の面の領域との前記第１方向に直交する第２方向における最短距離と、他方の前記第１の辺と、前記他方の第１の辺と対向する前記第２の面の領域との前記第２方向における最短距離との合計が２００μｍ以上である、請求項４に記載の光モジュール。
6. 前記第２の領域には、前記レンズの中心軸を示す目印が形成されている、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の光モジュール。
7. 前記接合部は、前記窓部の外縁の周方向において材料の異なる複数の接着剤により前記窓部の前記外縁を取り囲む領域に接合される、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の光モジュール。
8. 複数の前記レーザダイオードと、
   前記複数のレーザダイオードから出射される光を合波するフィルタと、をさらに備える、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の光モジュール。
9. 前記複数のレーザダイオードは、
   赤色の光を出射する赤色レーザダイオードと、
   緑色の光を出射する緑色レーザダイオードと、
   青色の光を出射する青色レーザダイオードと、を含む、請求項８に記載の光モジュール。

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