JP7155425B2 - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
dPx/dx+dPy/dy=0
ここでX、Yはそれぞれ磁区像の横方向、縦方向の座標で、試料面内に存在する。Px、Pyは、それぞれX、Y方向の磁化に相当する2次電子スピン偏極度である。
Px(i、j)-Px(i-1、j)+Py(i、j)-Py(i、j-1)=0
この左辺をプロットして画像化したものを磁化量勾配像と記し、これを解析すれば簡易的に歪の有無が判断できる。この磁化量勾配像の作成においては、隣接画素間のデータを(数2)に基づいて順次演算すればよい。つまり、画像取得を完了せずとも、走査中においても既にデータを取得した部分に関しては解析を始めることが可能である。また、従来のスピンSEMのデータ処理時に必要なスピン偏極度のオフセットやドリフトの処理は、基本的に不要となり、極めて簡単に歪の有無の可視化が可能である。
(Px(i+2、j)+Px(i+1、j))/2-(Px(i、j)+Px(i-1、j))/2+(Py(i、j+2)+Py(i、j+1))/2-(Py(i、j)+Py(i、j-1)/2=0
(数3)における平均の取り方は、X成分の演算はX方向に隣接する2画素のみ((数3)の第1項と第2項)、Y成分の演算はY方向に隣接する2画素のみ((数3)の第3項と第4項)を扱っているが、ここには特に制約はない。平均をとる画素の数や位置関係も様々に考えられる。
|Px(i、j)- Px(i-1、j)+Py(i、j)- Py(i、j-1)|= 0
(数4)が成り立てば材料内に歪はなく、成り立たない場合は歪を有することになる。(数4)の左辺は、ゼロ、または正の数であるため、この項を画素ごとに画像上においてグレースケールで表示すれば、歪の有無が判別しやすくなる。
101 試料
102 電子源
103 スピン偏極度検出器
104 1次電子線
105 電子光学系
106 電子光学系
107 対物レンズ
108 2次電子
115 磁区
116 磁壁
117 磁化X成分磁区像
118 磁化Y成分磁区像
119 処理部
120 主記憶装置
121 解析プログラム
130 補助記憶装置
131 データベース
140 インターフェース
150 表示装置
162 入力装置
Claims (8)
- 試料における歪を評価する走査電子顕微鏡であって、
前記試料から放出された2次電子の2次電子スピン偏極度を測定するスピン検出器と、
前記スピン検出器で測定された2次電子スピン偏極度データを解析する解析装置と、を有し、
前記解析装置は、
隣接画素の前記2次電子スピン偏極度データの差を演算することにより、前記試料における前記歪を評価することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 前記解析装置は、
前記2次電子スピン偏極度の直交する2成分を個別に解析し、
各成分における前記隣接画素の前記2次電子スピン偏極度データの差を演算し、
各成分の演算結果を足し合わせることにより、前記試料における前記歪を評価することを特徴とする請求項1に記載の走査電子顕微鏡。 - 前記解析装置は、
各成分の前記演算結果を足し合わせた結果の絶対値を演算することにより、前記試料における前記歪を評価することを特徴とする請求項2に記載の走査電子顕微鏡。 - 前記解析装置は、
各成分の前記演算結果を走査電子線の走査電子線位置に従い可視化することにより、前記試料における前記歪を評価することを特徴とする請求項2に記載の走査電子顕微鏡。 - 前記解析装置は、
前記走査電子線が走査中に演算を行い、各成分の前記演算結果を順次可視化することを特徴とする請求項4に記載の走査電子顕微鏡。 - 前記解析装置は、表示装置を有し、
各成分の前記演算結果を前記表示装置に表示することにより、前記可視化を行うことを特徴とする請求項4に記載の走査電子顕微鏡。 - 前記解析装置は、
前記演算結果が所定の閾値より大きな領域を、前記歪を有する領域として前記表示装置に表示することを特徴とする請求項6に記載の走査電子顕微鏡。 - 試料における歪を評価する走査電子顕微鏡であって、
前記試料から放出された2次電子の2次電子スピン偏極度を測定するスピン検出器と、前記スピン検出器で測定された2次電子スピン偏極度データを解析する解析装置と、を有し、
前記解析装置は、
少なくとも前記2次電子スピン偏極度の直交する2成分を検出し、
各成分における微分値を演算することにより、前記試料における前記歪を評価することを特徴とする走査電子顕微鏡。
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