JP7145414B2 - リードフレームおよびその製造方法、ならびに半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
以下、第1の実施の形態について、図1乃至図10を参照して説明する。なお、以下の各図において、同一部分には同一の符号を付しており、一部詳細な説明を省略する場合がある。
まず、図1および図2により、本実施の形態による半導体装置を作製するためのリードフレームの概略について説明する。図1は、本実施の形態によるリードフレームを示す平面図であり、図2は、本実施の形態によるリードフレームを示す断面図である。
次に、図5および図6により、本実施の形態による半導体装置について説明する。図5および図6は、本実施の形態による半導体装置を示す図である。
次に、図1および図2に示すリードフレーム10の製造方法について、図8(a)-(e)を用いて説明する。なお、図8(a)-(e)は、リードフレーム10の製造方法を示す断面図(図2に対応する図)である。
次に、図5および図6に示す半導体装置20の製造方法について、図9(a)-(f)を用いて説明する。
次に、図11乃至図14を参照して第2の実施の形態について説明する。図11乃至図14は第2の実施の形態を示す図である。図11乃至図14に示す第2の実施の形態は、リードめっき部12の構成が異なるものであり、他の構成は上述した第1の実施の形態と略同一である。図11乃至図14において、図1乃至図10に示す第1の実施の形態と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
図11に示すリードフレーム10において、第2レジスト層32は、互いに隣接するパッケージ領域10a同士を跨がるように形成されている。第2レジスト層32は、パッケージ領域10a同士の間において、リードめっき部12によって覆われることなく表面側に露出している。すなわち、互いに隣接する(図11の左右の)パッケージ領域10aのリードめっき部12同士は、表面側開口部12dを介して互いに離間している。この表面側開口部12dにおいて、第2レジスト層32は表面側に露出している。
図12は、図11に示すリードフレーム10を用いて作製された半導体装置20を示している。図12において、リードめっき部12の外側を向く端面12cが、封止樹脂23によって覆われている。また、リードめっき部12のくぼみ部16の外側には、樹脂凹部23aが形成されている。この樹脂凹部23aは、リードめっき部12のくぼみ部16から連続して形成されている。
次に、図13(a)-(e)を参照して、図11に示すリードフレーム10の製造方法について説明する。
次に、図14(a)-(f)を参照して、図12に示す半導体装置20の製造方法について説明する。
10a パッケージ領域
11 ダイパッドめっき部
12 リードめっき部
12a 厚肉部分
12b 薄肉部分
15 内部端子
16 くぼみ部
17 外部端子
20 半導体装置
21 半導体素子
22 ボンディングワイヤ
23 封止樹脂
31 第1レジスト層
32 第2レジスト層
Claims (10)
- 基板と、
前記基板上に配置されたダイパッドめっき部と、
前記基板上であって、前記ダイパッドめっき部から離間して配置されたリードめっき部と、
前記基板上に配置されたレジスト層と、を備え、
前記リードめっき部のうち、前記ダイパッドめっき部の反対側の裏面にくぼみ部が形成され、
前記レジスト層は、前記くぼみ部内に充填されている、リードフレーム。 - 前記基板上に、それぞれ半導体装置に対応する複数のパッケージ領域が形成され、
前記ダイパッドめっき部及び前記リードめっき部は、各パッケージ領域にそれぞれ形成され、
互いに隣接する前記パッケージ領域同士を跨がるように前記レジスト層が形成され、前記パッケージ領域同士の間において、前記レジスト層は、前記リードめっき部によって覆われている、請求項1記載のリードフレーム。 - 前記基板上に、それぞれ半導体装置に対応する複数のパッケージ領域が形成され、
前記ダイパッドめっき部及び前記リードめっき部は、各パッケージ領域にそれぞれ形成され、
互いに隣接する前記パッケージ領域同士を跨がるように前記レジスト層が形成され、前記パッケージ領域同士の間において、前記レジスト層は、前記リードめっき部によって覆われることなく表面側に露出している、請求項1記載のリードフレーム。 - 半導体装置において、
ダイパッドめっき部と、
前記ダイパッドめっき部から離間して配置されたリードめっき部と、
前記ダイパッドめっき部上に搭載された半導体素子と、
前記半導体素子と前記リードめっき部とを電気的に接続する接続部材と、
前記ダイパッドめっき部と、前記リードめっき部と、前記半導体素子と、前記接続部材とを封止する封止樹脂とを備え、
前記リードめっき部のうち、前記ダイパッドめっき部の反対側の裏面にくぼみ部が形成され、
前記くぼみ部は、前記封止樹脂から外方に露出している、半導体装置。 - 前記リードめっき部のうち、前記ダイパッドめっき部の反対側を向く端面が、前記封止樹脂から外方に露出している、請求項4記載の半導体装置。
- 前記リードめっき部のうち、前記ダイパッドめっき部の反対側を向く端面が、前記封止樹脂に覆われている、請求項4記載の半導体装置。
- リードフレームの製造方法において、
基板を準備する工程と、
前記基板上に、所定のパターン形状を有する第1レジスト層と、所定のパターン形状を有するとともに前記第1レジスト層の厚みよりも薄い第2レジスト層とを、それぞれ形成する工程と、
電解めっきにより、前記基板上に、前記第2レジスト層の厚みよりも厚く、かつ前記第1レジスト層の厚みよりも薄く金属を析出させ、ダイパッドめっき部及びリードめっき部を形成する工程と、
前記第1レジスト層を除去する工程と、を備え、
前記リードめっき部のうち、前記ダイパッドめっき部の反対側の裏面にくぼみ部が形成され、
前記第2レジスト層は、前記くぼみ部内に充填されている、リードフレームの製造方法。 - 前記第1レジスト層は、前記第2レジスト層に重ならないように設けられる、請求項7記載のリードフレームの製造方法。
- 前記基板上に前記第2レジスト層を形成した後、前記第1レジスト層が形成され、前記第1レジスト層は、前記基板上とともに、前記第2レジスト層上にも形成される、請求項7記載のリードフレームの製造方法。
- 半導体装置の製造方法において、
請求項1乃至3のいずれか一項記載のリードフレームを準備する工程と、
前記リードフレームの前記ダイパッドめっき部上に、半導体素子を搭載する工程と、
前記半導体素子と前記リードめっき部とを接続部材により電気的に接続する工程と、
前記ダイパッドめっき部と、前記リードめっき部と、前記レジスト層と、前記半導体素子と、前記接続部材とを封止樹脂により封止する工程と、
前記基板及び前記レジスト層をそれぞれ除去する工程と、
前記封止樹脂を半導体装置毎に分離する工程とを備えた、半導体装置の製造方法。
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WO2015145651A1 (ja) | 2014-03-27 | 2015-10-01 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP2018117043A (ja) | 2017-01-18 | 2018-07-26 | 大日本印刷株式会社 | リードフレーム基板およびその製造方法、ならびに半導体装置およびその製造方法 |
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