JP7142644B2 - ガラスパネル及びガラスパネルにおける吸引孔の規定方法 - Google Patents
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Description
本発明は、対向する一対のガラス板と、前記一対のガラス板間にスペーサーを配置して形成される間隙部と、前記一対のガラス板の周縁部をその全周に亘って接合して前記間隙部を気密に封止する周辺封止用金属材料とを備え、前記一対のガラス板の内の一方のガラス板は、そのガラス板において表裏に貫通して前記間隙部内の空気を吸引する吸引孔と、前記吸引孔を介して前記間隙部が減圧された状態で前記吸引孔及びその吸引孔の周りにまで至って覆うことにより前記吸引孔を封止する吸引孔封止用金属材料とを有するガラスパネル及びガラスパネルにおける吸引孔の規定方法に関する。
従来、吸引孔封止用金属材料による前記吸引孔の封止部の状態を、規定してあるガラスパネルはなかった（該当する公知文献が見当たらない）。
上述した従来のガラスパネルにおいて、吸引孔封止用金属材料による前記吸引孔の封止部は、前記一方のガラス板の大気側表面で前記吸引孔の周りに形成されている吸引孔封止用金属材料のはみ出し部において、前記一方のガラス板の大気側表面との接触部の密着性が十分であれば、間隙部における減圧状態が長く維持されるが、不十分であれば、ガラス板に対して、風圧や、ふき取り掃除の際の圧力等の外力が作用したり、日射によるガラス板の表裏間の温度差や、室内外の温度差等で発生する反り現象によって、ガラス板に対する吸引孔封止用金属材料のはみ出し部の接触部が剥がされ、間隙部に対するリークが発生してその減圧度が低下する虞があるという問題が生じる。
従って、本発明の目的は、上記問題点を解消し、一方のガラス板の大気側表面で吸引孔の周りに形成されている吸引孔封止用金属材料のはみ出し部における封止状態が長く維持されるガラスパネル及びガラスパネルにおける吸引孔の規定方法を提供するところにある。
本発明の第１の特徴構成は、対向する一対のガラス板と、前記一対のガラス板間にスペーサーを配置して形成される間隙部と、前記一対のガラス板の周縁部をその全周に亘って接合して前記間隙部を気密に封止する周辺封止用金属材料とを備え、前記一対のガラス板の内の一方のガラス板は、そのガラス板において表裏に貫通して前記間隙部内の空気を吸引する吸引孔と、前記吸引孔を介して前記間隙部が減圧された状態で前記吸引孔及びその吸引孔の周りにまで至って覆うことにより前記吸引孔を封止する吸引孔封止用金属材料とを有するガラスパネルであって、前記一方のガラス板の大気側表面で前記吸引孔の周りに形成されている前記吸引孔封止用金属材料のはみ出し部において、前記一方のガラス板の大気側表面との接触部に、他方のガラス板側から見た時に光が乱反射して白く光る白曇り部を面積比にして３０％以下に設定し、且つ、前記白曇り部が、前記吸引孔封止用金属材料のはみ出し部の外周縁部から前記吸引孔の外周縁部に至る連設部を形成していない。
本発明の第１の特徴構成によれば、例えば、図２０に示す概念図のように、前記白曇り部１８が前記吸引孔封止用金属材料のはみ出し部の外周縁部から前記吸引孔の外周縁部に至る連設部を形成していると、前述の外力や反り現象に対する耐久性が悪くなる傾向がある。これに対し、前記白曇り部の割合を３０％以下に設定し、且つ、前記白曇り部が、前記吸引孔封止用金属材料のはみ出し部の外周縁部から前記吸引孔の外周縁部に至る連設部を形成していなければ、前述の外力や反り現象に対する耐久性を有するのみならず、耐酸性を確保できる。
本発明の第２の特徴構成は、前記白曇り部の割合を更に１０％以下に設定し、且つ、前記白曇り部が、前記吸引孔封止用金属材料のはみ出し部の外周縁部から前記吸引孔の外周縁部に至る連設部を形成していないものである。
本発明の第２の特徴構成によれば、前述の外力や反り現象に対する耐久性を有するのは言うまでもなく、耐酸性のみならず、耐アルカリ性も期待できる。
つまり、建物の窓ガラスに使用された場合に、その窓ガラスに対する窓拭きなどで、アルカリ性洗剤が使われることが多く、その場合でも、白曇り部の割合が、１０％以下であれば、白曇り部がアルカリによりたとえ侵されても、接触部が剥がされることなく間隙部のリークは防止できる。
本発明の第３の特徴構成は、前記白曇り部は、前記吸引孔封止用金属材料の酸化物である。
本発明の第４の特徴構成は、前記吸引孔封止用金属材料の主成分は、Ｓｎが７２～９９．９％に対し、Ｚｎ、Ａｌ、Ｓｉ及びＴｉの内のいずれかの成分を含有し、鉛の含有量が重量％で０．１％未満である。
本発明の第４の特徴構成によれば、含有するＺｎ、Ａｌ、Ｓｉ及びＴｉの内のいずれかの成分と、ガラス板表面の酸素とが結合して接合強度を向上させることが出来る。
本発明の第５の特徴構成は、前記白曇り部の面積比における割合の下限値は、０．１％である。
本発明の第６のガラスパネルにおける吸引孔の規定方法の特徴構成は、対向する一対のガラス板と、前記一対のガラス板間にスペーサーを配置して形成される間隙部と、前記一対のガラス板の周縁部をその全周に亘って接合して前記間隙部を気密に封止する周辺封止用金属材料と、前記一対のガラス板の内の一方のガラス板は、そのガラス板において表裏に貫通して前記間隙部内の空気を吸引する吸引孔とを備え、前記吸引孔を介して前記間隙部が減圧された状態で前記吸引孔及びその吸引孔の周りにまで至って吸引孔封止用金属材料で覆うことにより前記吸引孔を封止するガラスパネルにおいて、前記吸引孔に前記吸引孔封止用金属材料を直接供給して前記吸引孔の周りに前記吸引孔封止用金属材料のはみ出し部が形成される場合に、前記一方のガラス板の大気側表面で前記吸引孔の周りに形成されている前記吸引孔封止用金属材料のはみ出し部において、前記一方のガラス板の大気側表面との接触部に、他方のガラス板側から見た時に光が乱反射して白く光る白曇り部が面積比にして３０％以下であるものであり、且つ、前記白曇り部が、前記吸引孔封止用金属材料のはみ出し部の外周縁部から前記吸引孔の外周縁部に至る連設部を形成していないものを、前記吸引孔の封止部における前記吸引孔封止用金属材料と前記ガラス板との密着性及び耐酸性が良好と判定する。
本発明の第６のガラスパネルにおける吸引孔の規定方法の特徴構成は、対向する一対のガラス板と、前記一対のガラス板間にスペーサーを配置して形成される間隙部と、前記一対のガラス板の周縁部をその全周に亘って接合して前記間隙部を気密に封止する周辺封止用金属材料と、前記一対のガラス板の内の一方のガラス板は、そのガラス板において表裏に貫通して前記間隙部内の空気を吸引する吸引孔とを備え、前記吸引孔を介して前記間隙部が減圧された状態で前記吸引孔及びその吸引孔の周りにまで至って吸引孔封止用金属材料で覆うことにより前記吸引孔を封止するガラスパネルにおいて、前記吸引孔に前記吸引孔封止用金属材料を直接供給して前記吸引孔の周りに前記吸引孔封止用金属材料のはみ出し部が形成される場合に、前記一方のガラス板の大気側表面で前記吸引孔の周りに形成されている前記吸引孔封止用金属材料のはみ出し部において、前記一方のガラス板の大気側表面との接触部に、他方のガラス板側から見た時に光が乱反射して白く光る白曇り部が面積比にして３０％以下であるものであり、且つ、前記白曇り部が、前記吸引孔封止用金属材料のはみ出し部の外周縁部から前記吸引孔の外周縁部に至る連設部を形成していないものを、前記吸引孔の封止部における前記吸引孔封止用金属材料と前記ガラス板との密着性及び耐酸性が良好と判定する。
以下に本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１において、ガラスパネルＰは、対向する一対のガラス板１Ａ，１Ｂと、一対のガラス板１Ａ，１Ｂ間に、マトリックス状に一定のスペーサーピッチＰｄで複数の柱状のスペーサー２を介在させることにより形成される間隙部Ｖと、間隙部Ｖの周縁部Ｖ１をシールする周辺封止用金属材料３と、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの内の一方のガラス板１Ａを貫通する吸引孔４とを有する。吸引孔４は、その吸引孔４の周りにまで至って覆う吸引孔封止用金属材料１５で封止されてある。
図１において、ガラスパネルＰは、対向する一対のガラス板１Ａ，１Ｂと、一対のガラス板１Ａ，１Ｂ間に、マトリックス状に一定のスペーサーピッチＰｄで複数の柱状のスペーサー２を介在させることにより形成される間隙部Ｖと、間隙部Ｖの周縁部Ｖ１をシールする周辺封止用金属材料３と、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの内の一方のガラス板１Ａを貫通する吸引孔４とを有する。吸引孔４は、その吸引孔４の周りにまで至って覆う吸引孔封止用金属材料１５で封止されてある。
ガラスパネルＰにおいて、２枚のガラス板１Ａ，１Ｂは透明なフロートガラスであり、間隙部Ｖが１．３３Ｐａ（１．０×１０-2Ｔｏｒｒ）以下に減圧されている。これは、間隙部Ｖは、その内部の空気が吸引孔４を介して排出されることによって減圧され、間隙部Ｖの減圧状態を維持するために周辺封止用金属材料３及び吸引孔封止用金属材料１５によって封止されている。
スペーサー２は円柱状であり、その直径が０．３～１．０ｍｍ程度、高さが３０μｍ～１．０ｍｍ程度である。このスペーサー２は、ガラス板１Ａ，１Ｂに作用する大気圧に起因する圧縮応力を負荷されても坐屈しない材料、例えば、圧縮強度が４．９×１０8Ｐａ（５×１０3ｋｇｆ／ｃｍ2）以上の材料、好ましくは、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）等により形成されている。
図３は、図１のガラスパネルＰの製造方法を示すフローチャートである。まず、フロートガラスから成る所定の厚さの２枚のガラス素板（不図示）を所定の寸法、例えば、１２００ｍｍ×９００ｍｍに夫々切断し、同一形状且つ同一サイズであるガラス板１Ａ，１Ｂを準備し（ステップＳ３１）、ガラス板１Ａに、その四隅のうちいずれか１つの近傍において吸引孔４をドリル等によって穿設する（ステップＳ３２）（穿設ステップ）。
次に、クリーンルームやケミカルクリーンルーム等の空気の汚染状態を化学的又は物理的に制御可能な空間内において、純水ブラシ洗浄、液体洗浄法、光洗浄の少なくとも１つの方法を用いて一対のガラス板１Ａ，１Ｂを洗浄する（ステップＳ３３）（洗浄ステップ）。この液体洗浄法では、純水、脱イオン水などが用いられる。また、洗浄液は、例えば、アルカリ洗剤又はオゾン水を含有する。また、該洗浄液には、研磨材が含有されていてもよい。研磨材としては、例えば酸化セリウムを主成分とする微粒子が用いられる。
そして、吸引孔４が穿設されていない洗浄されたガラス板１Ｂに、複数のスペーサー２をマトリックス状に一定のスペーサーピッチＰｄで配置し、洗浄されたガラス板１Ａを重ね合わせることで、一対のガラス板１Ａ，１Ｂのペアリングを行う（ステップＳ３４）。
さらに、ペアリングされた一対のガラス板１Ａ，１Ｂをほぼ水平に保ち、溶解温度が２５０℃以下である周辺封止用金属材料３を用いて、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部Ｖ１を封止する（ステップＳ３５）（周辺封止）。
図４は、図３のステップＳ３５における周辺封止を説明するのに用いられる図である。
図４において、金属導入装置５は、高部６ａと、高部６ａより低い低部６ｂとを有して段差状に形成された定盤６を有し、高部６ａにおいて一対のガラス板１Ａ，１Ｂを保持すると共に、低部６ｂにおいて一対のガラス板１Ａ，１Ｂにハンダを供給する供給塔７を保持する。段差状定盤６の低部６ｂには、上記一対のガラス板１Ａ，１Ｂに沿って２本のレール部材１２が配され、上記供給塔７はレール部材１２上を走行する移動機構１３の上に載置されている。
図４において、金属導入装置５は、高部６ａと、高部６ａより低い低部６ｂとを有して段差状に形成された定盤６を有し、高部６ａにおいて一対のガラス板１Ａ，１Ｂを保持すると共に、低部６ｂにおいて一対のガラス板１Ａ，１Ｂにハンダを供給する供給塔７を保持する。段差状定盤６の低部６ｂには、上記一対のガラス板１Ａ，１Ｂに沿って２本のレール部材１２が配され、上記供給塔７はレール部材１２上を走行する移動機構１３の上に載置されている。
供給塔７は、液相又は固相のハンダを貯留する横断面長方形の坩堝部９と、坩堝部９の側壁部に内蔵されると共に坩堝部９内に貯留されたハンダを加熱する電熱ヒーター１０と、坩堝部９の底部に連通すると共に一対のガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部Ｖ１の外側に向かって開口する断面長尺状の導入路１１と、導入路１１の中位に水平に配された導入板８とを備える。導入板８は、導入路１１から延伸して一対のガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部Ｖ１に嵌入しており、これにより、ハンダは、その表面張力と相俟って間隙部Ｖに侵入する。
加えて、坩堝部９内で液位ΔＨにあるハンダの重力が導入板８の部位においてハンダに印加され、これにより、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部Ｖ１へのハンダの侵入を促進する。
加えて、坩堝部９内で液位ΔＨにあるハンダの重力が導入板８の部位においてハンダに印加され、これにより、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部Ｖ１へのハンダの侵入を促進する。
また、図５に示すように、導入板８は、その移動方向で上下に複数回波打つ状態の屈曲部８Ａが間隔を空けて２箇所に形成された形状の物でも良い（蛇腹形状）。
つまり、屈曲部８Ａを有する導入板８の移動によって、バネ作用を有する屈曲部８Ａが、ガラス板の表面を軽く擦りつけるようになり、ハンダのガラス面への付着性をより向上させて、間隙部Ｖの気密性が確実化される効果を発揮できるようになる。
つまり、屈曲部８Ａを有する導入板８の移動によって、バネ作用を有する屈曲部８Ａが、ガラス板の表面を軽く擦りつけるようになり、ハンダのガラス面への付着性をより向上させて、間隙部Ｖの気密性が確実化される効果を発揮できるようになる。
また、導入板８は、バネ作用を有する弓状の形状や、屈曲部を有さない平板状であっても良い。ただし、上述の理由により、屈曲部８Ａを有する導入板８の方が有利である。
一方、移動機構１３は、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部Ｖ１に沿ってレール部材１２上を一定速度で移動するので、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの開先部分１４から導入板８を間隙部Ｖに挿入すると、周辺封止用金属材料３が導入板８を介して一対のガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部Ｖ１全体に亘って侵入する。これにより、一対のガラス板１Ａ，１Ｂ間に形成された間隙部Ｖの周縁部Ｖ１を、周辺封止用金属材料３によって気密に封止される。
図６に示すように、開先部分１４とは、ガラスパネルＰの角部に設けてあり、導入板８を間隙部Ｖに挿入する際に、容易に実施できるよう、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの間隙部Ｖ側の角部を面取りしてある箇所である。
続くステップＳ３６において、吸引孔４の近傍において排気カップで吸引孔４を覆うようにガラス板１Ａの大気側の主面に取付け、この排気カップに接続された不図示のロータリーポンプやターボ分子ポンプによる吸引により、間隙部Ｖの圧力を１．３３Ｐａ以下にまで減圧するべく間隙部Ｖの気体分子を外部へ排出する真空引きを行う（ステップＳ３６）。
ただし、本ステップで用いるポンプは上述のロータリーポンプやターボ分子ポンプに限られず、排気カップに接続でき、吸引可能なものであればよい。
次いで、吸引孔４を覆い被さるように吸引孔封止用金属材料１５を滴下させて、吸引孔４の近傍のガラス表面と吸引孔封止用金属材料１５を接着させて封止する（ステップＳ３７）。
これにより、一対のガラス板１Ａ，１Ｂ間に形成された間隙部Ｖが密閉される。
これにより、一対のガラス板１Ａ，１Ｂ間に形成された間隙部Ｖが密閉される。
尚、上述した各工程のうち、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの主面を洗浄して（ステップＳ３３）から吸引孔４の近傍のガラス表面と吸引孔封止用金属材料１５を接着させて封止する（ステップＳ３７）までの各工程は、夫々、空気の汚染状態を化学的又は物理的に制御可能な空間内で実施される。
本実施の形態では、液体洗浄法を用いて一対のガラス板１Ａ，１Ｂを洗浄するが、これに限るものではなく、純水ブラシ洗浄法、超音波洗浄法、アルカリ水洗浄法、加熱洗浄法、真空（凍結）洗浄法、ＵＶ洗浄法、オゾン洗浄法、及びプラズマ洗浄法の少なくとも１つを用いて一対のガラス板１Ａ，１Ｂを洗浄してもよい。これにより、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの主面から分解又は飛散し得る気体分子の発生を抑制することができ、もってガラスパネルＰの初期性能を長時間に亘って発揮することができる。
本実施の形態では、周辺封止用金属材料３として、溶解温度が２５０℃以下であるハンダ、例えば９１．２Ｓｎ－８．８Ｚｎ（共晶点温度：１９８℃）の組成を有するハンダにＴｉを加えたハンダを用いて一対のガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部Ｖ１を封止する。しかし、周辺封止用金属材料３（ハンダ）は、これに限るものではなく、Ｓｎ、Ｃｕ、Ｉｎ、Ｂｉ、Ｚｎ、Ｐｂ、Ｓｂ、Ｇａ、及びＡｇから成る群から選択された少なくとも１つの材料を含む金属材料であって溶解温度が２５０℃以下となる封着材を用いて一対のガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部Ｖ１を封止してもよい。
また、上記周辺封止用金属材料３は、Ｔｉに代わって、又は、Ｔｉに加えて、Ａｌ、Ｃｒ、及びＳｉから成る群から選択された少なくとも１つの材料を含んでいてもよい。これにより、周辺封止用金属材料３と一対のガラス板１Ａ，１Ｂのガラス成分との接着性を向上させることができる。
本実施の形態では、吸引孔封止用金属材料１５として、溶解温度が２５０℃以下であるハンダ、例えば９１．２Ｓｎ－８．８Ｚｎ（共晶点温度：１９８℃）の組成を有するハンダにＴｉを加えたハンダを用いて吸引孔４を封止する。しかし、吸引孔封止用金属材料１５（ハンダ）は、これに限るものではなく、Ｓｎ、Ｃｕ、Ｉｎ、Ｂｉ、Ｚｎ、Ｐｂ、Ｓｂ、Ｇａ、及びＡｇから成る群から選択された少なくとも１つの材料を含む金属材料であって溶解温度が２５０℃以下となる封着材を用いて吸引孔４を封止してもよい。
尚、Ｓｎを選択した場合、９０％以上あればよく、また、Ｃｕを添加したＳｎの場合、Ｃｕの量は、０．１％以下にする必要がある。
尚、Ｓｎを選択した場合、９０％以上あればよく、また、Ｃｕを添加したＳｎの場合、Ｃｕの量は、０．１％以下にする必要がある。
また、上記吸引孔封止用金属材料１５は、Ｔｉに代わって、又は、Ｔｉに加えて、Ａｌ、Ｃｒ、及びＳｉから成る群から選択された少なくとも１つの材料を含んでいてもよい。
さらに、吸引孔封止用金属材料１５は、周辺封止用金属材料３と異なる成分のハンダを用いても良い。
尚、吸引孔封止用金属材料１５または周辺封止用金属材料３にＴｉ（チタン）を含有させることにより、ガラスの密着性が向上する。
さらに、吸引孔封止用金属材料１５は、周辺封止用金属材料３と異なる成分のハンダを用いても良い。
尚、吸引孔封止用金属材料１５または周辺封止用金属材料３にＴｉ（チタン）を含有させることにより、ガラスの密着性が向上する。
本実施の形態では、間隙部Ｖの圧力を１．３３Ｐａ以下にまで減圧するが、これに限るものではなく、ほぼ真空になるまで間隙部Ｖの圧力を減圧してもよい。これにより、ガラスパネルＰの断熱性能を更に高めることができる。
本実施の形態では、一対のガラス板厚みＴｇの下限は、０．３ｍｍ以上である。また、好ましくは、０．５ｍｍ以上である。さらに好ましくは、１ｍｍ以上である。一対のガラス板厚みＴｇが薄ければガラス自体の蓄熱量が小さくなるので、周辺封止の際に、単位時間あたりの空気中への放熱量が上昇し、周辺封止用金属材料３が冷却されやすい。従って、溶融した周辺封止用金属材料３の固化を促進させることが可能となる。ただし、ガラス板は薄くなるとガラス板の剛性が低下するため、同じ大きさの外力によるガラス板の変形量が大きくなる。従って、ガラスパネルＰにおいて、吸引孔４の間隙部側表面付近に発生する引張応力が大きくなる。
一対のガラス板厚みＴｇの上限は、１５ｍｍ以下である。好ましくは、１２ｍｍ以下である。さらに好ましくは、１０ｍｍ以下である。厚いガラス板を用いるとガラス板の剛性は増加するため、同じ大きさの外力によるガラス板の変形量が小さくなる。従って、ガラスパネルＰにおいて、吸引孔４の間隙部側表面付近に発生する引張応力が小さくなるため、長期耐久性が向上する。一方で、ガラス板厚みＴｇが厚くなると、吸引孔封止の際に、吸引孔封止用金属材料１５の吸引孔４への流入量が減少する。そのため、間隙部側の吸引孔封止用金属材料１５のはみ出しが小さくなり、吸引孔４の間隙部側表面付近に発生する引張応力を緩和させることが困難となる。
一対のガラス板１Ａ，１Ｂは、フロートガラスであるが、これに限るものではない。一対のガラス板１Ａ，１Ｂには、上記のような用途に応じて、例えば、型板ガラス、表面処理により光拡散機能を備えたすりガラス、網入りガラス、線入ガラス板、強化ガラス、倍強化ガラス、低反射ガラス、高透過ガラス板、セラミックガラス板、熱線や紫外線吸収機能を備えた特殊ガラス、又は、これらの組み合わせ等、種々のガラスを適宜選択して使用することができる。
さらに、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの組成についても、ソーダ珪酸ガラス、ソーダ石灰ガラス、ホウ珪酸ガラス、アルミノ珪酸ガラス、各種結晶化ガラス等を使用することができる。
さらに、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの組成についても、ソーダ珪酸ガラス、ソーダ石灰ガラス、ホウ珪酸ガラス、アルミノ珪酸ガラス、各種結晶化ガラス等を使用することができる。
本実施の形態では、開先部分１４はガラス板１Ａ，１Ｂの間隙部Ｖ側の角部を平面状に面取りしているが、これに限られるものではなく、曲面状に面取りをする等、導入板８を容易に挿入可能とする形態であれば、適宜選択してガラス板１Ａ，１Ｂに設ける事ができる。
本実施の形態では、スペーサーピッチＰｄは、５～１００ｍｍであり、好ましくは、５～８０ｍｍ、さらに好ましくは、５～６０ｍｍである。
また、スペーサー２はステンレス鋼により形成されているが、これに限るものではない。スペーサー２は、例えば、インコネル、鉄、アルミニウム、タングステン、ニッケル、クロム、チタン等の金属、炭素鋼、クロム鋼、ニッケル鋼、ニッケルクロム鋼、マンガン鋼、クロムマンガン鋼、クロムモリブデン鋼、珪素鋼、真鍮、ハンダ、ジュラルミン等の合金、又は、セラミックやガラス等、高剛性を有するもので形成されてもよい。また、スペーサー２も、円柱状に限らず、角形状や球状等の各種形状であってもよい。
本実施の形態では、間隙部高Ｖｈは３０μｍ～１ｍｍである。ただし、スペーサー２の高さと略同一である。
尚、間隙部Ｖには、間隙部Ｖ内の気体分子を吸着するべく蒸発型ゲッターを用いたり、加熱されて活性化することにより気体分子を吸着して除去する非蒸発型ゲッターを用いたりしてもよく、また、非蒸発型ゲッターと蒸発型ゲッターとを併用してもよい。また、間隙部Ｖにおいて、ゲッター材（吸着剤）及び吸着剤収容孔は２ヶ所以上でもよい。
本実施の形態では、周辺封止用金属材料３は、金属導入装置５を用いて形成されたが、これに限定されるものではない。周辺封止用金属材料３は、陽極接合法、超音波接合法、多段接合法、レーザー接合法及び圧着接合法のいずれか一つの接合方法を用いて形成されてもよい。これにより、周辺封止用金属材料３の一対のガラス板１Ａ，１Ｂへの付着性を向上させることができる。
また、ガラスパネルＰの平面に対する厚み方向視における周辺封止用金属材料３の幅Ｒｗは１ｍｍ以上１０ｍｍ以下である。幅Ｒｗが１ｍｍより小さいと、ガラスパネルＰの間隙部Ｖの封止を保持することが困難となる。また、１０ｍｍを超えると、周辺金属封止材料３を通じて発生する熱交換量が過大となる。さらに好ましくは、幅Ｒｗは１ｍｍ以上５ｍｍ以下である。この場合、ガラスパネルＰの間隙部Ｖの封止を保持する事に加え、さらに熱交換量を低減させることができる。
本実施の形態では、封止後の吸引孔封止用金属材料１５がガラス板１Ａの大気側表面より突出している部分を突出部１６とする。突出部１６の突出部直径Ｄｗ（図１のガラス板１Ａと接触する接触部３３の幅と同じ）は２～３０ｍｍである。さらに好ましくは、２～１５ｍｍである。ただし、突出部直径Ｄｗはいずれの場合も後述の吸引孔径Ｓｗよりは大きい。
また、突出部１６の突出部厚みＤｇは０．１～２０ｍｍである。好ましくは、０．１～１０ｍｍである。
また、突出部１６の突出部厚みＤｇは０．１～２０ｍｍである。好ましくは、０．１～１０ｍｍである。
本実施の形態では、吸引孔径Ｓｗは、２～１０ｍｍである。好ましくは２～５ｍｍである。強化ガラスの場合は、吸引孔径Ｓｗは、ガラス厚より大きく１０ｍｍ以下が望ましい。これは、風冷強化の際に、吸引孔４を通じて風を通すためである。
また、吸引孔４の上部及び少なくとも下部の少なくともいずれか一方の縁部は曲面状に形成されていてもよく、または面取りされていてもよい（縁部に微小面を設けていてもよい）。
前記吸引孔封止用金属材料１５による吸引孔４の封止部において、一方のガラス板１Ａの大気側表面で吸引孔４の周りに形成されている突出部（吸引孔封止用金属材料のはみ出し部と称する）１６は、一方のガラス板１Ａの大気側表面との接触部３３における密着性が重要である。その接触部３３の全てに、一方のガラス板１Ａの裏側から見た時に吸引孔封止用金属材料１５の金属光沢があれば十分密着しており、間隙部Ｖにおける減圧状態が長く維持される。しかし、密着が不十分であれば、ガラス板１Ａに対して、風圧や、ふき取り掃除の際の圧力等の外力が作用したり、日射によるガラス板１Ａの表裏間の温度差や、室内外の温度差等で発生する反り現象によって、ガラス板１Ａに対する吸引孔封止用金属材料のはみ出し部１６の接触部３３が剥がされる。そして、間隙部Ｖに対するリークが発生してその減圧度が低下する虞があるために、その接触部３３の密着性を測定する必要がある。
尚、前記吸引孔封止用金属材料の主成分は、Ｓｎが７２～９９．９％に対し、Ｚｎ、Ａｌ、Ｓｉ及びＴｉの内のいずれかの成分を含有し、鉛の含有量が重量％で０．１％未満である。
[実験例１]
そこで、前記接触部３３の密着性を測定するために、次の測定装置を準備すると共に、各種耐久試験を行った。
そこで、前記接触部３３の密着性を測定するために、次の測定装置を準備すると共に、各種耐久試験を行った。
〔接触面測定装置〕
図７に示すように、下から光が均等に照射される照射パネル装置２３の上に、測定物であるガラスパネルＰ（被写体）が、吸引孔４を設けたガラス板１Ａが下側になるように設けられてある。その照射パネル装置２３の上方に、被写体に対して左右両側から夫々４５度の角度で吸引孔４周りの吸引孔封止用金属材料のはみ出し部１６のガラス板に対する接触部３３を照射するように、蛍光灯を内蔵し、且つ、内部を黒く塗装あるいは、黒い布で覆って映り込み防止をした撮影ボックス２４を左右一対設ける。照射パネル装置２３の中央上方には、被写体の前記吸引孔封止用金属材料のはみ出し部１６を撮影するカメラ２５を設置して接触面測定装置２６を構成してある。
図７に示すように、下から光が均等に照射される照射パネル装置２３の上に、測定物であるガラスパネルＰ（被写体）が、吸引孔４を設けたガラス板１Ａが下側になるように設けられてある。その照射パネル装置２３の上方に、被写体に対して左右両側から夫々４５度の角度で吸引孔４周りの吸引孔封止用金属材料のはみ出し部１６のガラス板に対する接触部３３を照射するように、蛍光灯を内蔵し、且つ、内部を黒く塗装あるいは、黒い布で覆って映り込み防止をした撮影ボックス２４を左右一対設ける。照射パネル装置２３の中央上方には、被写体の前記吸引孔封止用金属材料のはみ出し部１６を撮影するカメラ２５を設置して接触面測定装置２６を構成してある。
尚、照射パネル装置２３は、蛍光灯１０Ｗ２本、色温度５０００Ｋ、照度：５５００ｌｘであり、撮影ボックス２４は、２７Ｗ蛍光灯(昼光色)、照度４８００ｌｘで設けてある。
また、カメラ設定は、Ｆ値３．５、シャッタースピード：１／２００秒、ＩＳＯ感度１００に設定する。
また、カメラ設定は、Ｆ値３．５、シャッタースピード：１／２００秒、ＩＳＯ感度１００に設定する。
前記接触部３３において、上記接触面測定装置２６で測定すると、吸引孔封止用金属材料１５がガラス板１Ａに接着している場合には、金属光沢になって撮影ボックス２４からの４５度の入射光は、ほぼ１００％近くそのまま反射して出射光がカメラ２５には入らず黒く映る。よって、吸引孔封止用金属材料のはみ出し部１６に接着不良の部分や、酸化金属などの不純物が析出していれば、撮影ボックス２４からの光が乱反射して金属光沢の無い白く光る白曇り部が現れる。
〔白曇り部の検出実験〕
白曇り部を計測するのに、レーザー顕微鏡により接触部３３をガラス板を通して見ることにより、ガラス板界面と接する吸引孔封止用金属材料のはみ出し部１６を計測すると、白曇り部の凹凸のある空隙部が検出された。
白曇り部を計測するのに、レーザー顕微鏡により接触部３３をガラス板を通して見ることにより、ガラス板界面と接する吸引孔封止用金属材料のはみ出し部１６を計測すると、白曇り部の凹凸のある空隙部が検出された。
そこで、前記接触部３３における白曇り部の割合（白曇り率）を算出するのに、吸引孔封止用金属材料のはみ出し部１６より外側の部分は、照射パネル装置２３の下からの照度の大きい透過光を、背景として切り分け、金属光沢部と白曇り部とを２値化して、白曇り部の占める割合を数値に出す。
尚、白曇り率の算出と同時に、白曇り部が吸引孔封止用金属材料のはみ出し部１６の外周縁部から吸引孔４の外周縁部に至る連設部（例えば、図２０に示す概念図のような白曇り部１８）の有無も検出する。
尚、白曇り率の算出と同時に、白曇り部が吸引孔封止用金属材料のはみ出し部１６の外周縁部から吸引孔４の外周縁部に至る連設部（例えば、図２０に示す概念図のような白曇り部１８）の有無も検出する。
〔応力検出装置〕
また、間隙部Ｖの真空が保たれているかを検出するために、図８に示す応力検出装置２７によって調べる。
応力検出装置２７は、照射パネル装置２３の上に第１偏光板２８を載置し、その第１偏光板２８の上に検出用のガラスパネルＰを載置し、ガラスパネルＰの上に第２偏光板２９を載置し、第１偏光板２８と第２偏光板２９の偏光方向が直角になるように設置して構成する。
つまり、照射パネル装置２３による下からの光は、第１偏光板２８と第２偏光板２９とにより透過しないものである。しかし、第１偏光板２８と第２偏光板２９との間のガラスパネルＰにおける間隙部Ｖが真空又は略真空であれば、大気圧により押圧されてスペーサー２の近傍部のみが偏光されて光を透過して、リークなしと判定する。これに対し、間隙部Ｖが大気圧であれば、スペーサー２近傍部には偏光が生じないために、スペーサー２近傍部はその他の部分と同様に光を通さず、リークがあると判定する。
また、間隙部Ｖの真空が保たれているかを検出するために、図８に示す応力検出装置２７によって調べる。
応力検出装置２７は、照射パネル装置２３の上に第１偏光板２８を載置し、その第１偏光板２８の上に検出用のガラスパネルＰを載置し、ガラスパネルＰの上に第２偏光板２９を載置し、第１偏光板２８と第２偏光板２９の偏光方向が直角になるように設置して構成する。
つまり、照射パネル装置２３による下からの光は、第１偏光板２８と第２偏光板２９とにより透過しないものである。しかし、第１偏光板２８と第２偏光板２９との間のガラスパネルＰにおける間隙部Ｖが真空又は略真空であれば、大気圧により押圧されてスペーサー２の近傍部のみが偏光されて光を透過して、リークなしと判定する。これに対し、間隙部Ｖが大気圧であれば、スペーサー２近傍部には偏光が生じないために、スペーサー２近傍部はその他の部分と同様に光を通さず、リークがあると判定する。
〔繰り返し曲げ試験〕
また、ガラスパネルＰの接触部３３は、風圧や、ふき取り掃除の際の圧力等の外力が作用したり、日射によるガラス板１Ａの表裏間の温度差や、室内外の温度差等で発生する反り現象によって、ガラス板１Ａに対する吸引孔封止用金属材料のはみ出し部１６の接触部３３が剥がされる。これにより、間隙部Ｖに対するリークが発生してその減圧度が低下する虞があるために、その接触部３３の密着性を測定する必要があり、次の繰り返し曲げ試験（反り耐久性試験）を行う。
図９Ａ，９Ｂ，９Ｃに示すように、周縁部Ｖ１及び吸引孔４をハンダ（吸引孔封止用金属材料１５）で封止した幅２００ｍｍ、長さ３５０ｍｍ、吸引孔４の封止部が端から５０ｍｍにあるガラスパネルＰを、左右２６７ｍｍスパンで硬質ゴムブロック３０で支持する。そして、そのガラスパネルＰの中央部分を直径５０ｍｍの加圧ブロック３１で繰り返し荷重をかけてガラスに曲げ応力が作用するように試験を行い、応力検査装置を用いて試験後の間隙部のリークの有無を検出する。
また、ガラスパネルＰの接触部３３は、風圧や、ふき取り掃除の際の圧力等の外力が作用したり、日射によるガラス板１Ａの表裏間の温度差や、室内外の温度差等で発生する反り現象によって、ガラス板１Ａに対する吸引孔封止用金属材料のはみ出し部１６の接触部３３が剥がされる。これにより、間隙部Ｖに対するリークが発生してその減圧度が低下する虞があるために、その接触部３３の密着性を測定する必要があり、次の繰り返し曲げ試験（反り耐久性試験）を行う。
図９Ａ，９Ｂ，９Ｃに示すように、周縁部Ｖ１及び吸引孔４をハンダ（吸引孔封止用金属材料１５）で封止した幅２００ｍｍ、長さ３５０ｍｍ、吸引孔４の封止部が端から５０ｍｍにあるガラスパネルＰを、左右２６７ｍｍスパンで硬質ゴムブロック３０で支持する。そして、そのガラスパネルＰの中央部分を直径５０ｍｍの加圧ブロック３１で繰り返し荷重をかけてガラスに曲げ応力が作用するように試験を行い、応力検査装置を用いて試験後の間隙部のリークの有無を検出する。
尚、室温は１０℃～２０℃で、繰り返し回数は４０００回（１回／日として４０００日（１０年以上分））、４秒押し込み１秒無荷重にする。これらの試験は、環境の変化としての（温度差４０℃、曲率半径２４４４４ｍｍ、変形量０.３６）に相当の中心部分の押し込み量になる。
〔耐酸性試験〕
吸引孔封止用金属材料のはみ出し部１６において、酸性洗浄剤や酸性溶液との接触に伴う金属の腐食に対する耐性を測定すべく、ガラスパネルをＨ2ＳＯ4溶液（５％）に４８時間浸漬した後に応力検出装置を用いて、試験後の間隙部の真空リークの有無を検出する。
吸引孔封止用金属材料のはみ出し部１６において、酸性洗浄剤や酸性溶液との接触に伴う金属の腐食に対する耐性を測定すべく、ガラスパネルをＨ2ＳＯ4溶液（５％）に４８時間浸漬した後に応力検出装置を用いて、試験後の間隙部の真空リークの有無を検出する。
〔耐アルカリ性試験〕
ガラスパネルＰを、ＮａＯＨ溶液（１％）に４８時間浸漬した後に応力検出装置を用いて、試験後の間隙部の真空リークの有無を検出する。
ガラスパネルＰを、ＮａＯＨ溶液（１％）に４８時間浸漬した後に応力検出装置を用いて、試験後の間隙部の真空リークの有無を検出する。
上記の各種耐久試験結果を、以下の表１に示す。
表１の結果から、前記接触部３３において、白曇り部の割合が０．１％以上～５０％以下で、繰り返し試験において吸引孔４からのリークが無く、建築用窓ガラスとして普通に使用できる状態を示し、０．１％以上～３０％以下で、且つ、白曇り部が、吸引孔封止用金属材料のはみ出し部１６の外周縁部から吸引孔４の外周縁部に至る連設部を形成していないという条件を満たせば、耐酸性があると判定できる。また、０．１％以上～１０％以下で、且つ、前記白曇り部が、前記吸引孔封止用金属材料のはみ出し部１６の外周縁部から前記吸引孔４の外周縁部に至る連設部を形成していないという条件を満たせば、耐アルカリ性があると判定できる。
[実験例２]
前記接触部３３の密着性の測定において、一方のガラス板１Ａの間隙部側表面で吸引孔４の周りに吸引孔封止用金属材料１５がはみ出している場合、接触部３３の密着性をより精度よく測定するためには、一対のガラス板１Ａ，１Ｂから成るガラスパネルＰを、別々のガラス板１Ａとガラス板１Ｂとに分解する必要がある。そして、吸引孔４の存在するガラス板１Ａのみを、間隙部側表面が上になるように照射パネル装置２３の上に載置して、接触面測定装置２６で測定する。
ただし、ガラス板１Ａの間隙部側表面で、吸引孔４からその外側にはみ出た吸引孔封止用金属材料１５が、ガラス板１Ａとガラス板１Ｂ１２から成るガラスパネルＰの分解後に、単板からなるガラス板１Ａの間隙部側表面で、吸引孔４の外側に残っている場合、その吸引孔封止用金属材料１５を研磨により取り除き、研磨処理後に速やかに接触面測定装置２６で撮影する（尚、撮影条件は前述の実験例１と同様である）。また、ガラス板１Ａの間隙部側表面に膜が形成されている場合は、膜を研磨により取り除き、研磨処理後に速やかに接触面測定装置２６で撮影する。
前記接触部３３の密着性の測定において、一方のガラス板１Ａの間隙部側表面で吸引孔４の周りに吸引孔封止用金属材料１５がはみ出している場合、接触部３３の密着性をより精度よく測定するためには、一対のガラス板１Ａ，１Ｂから成るガラスパネルＰを、別々のガラス板１Ａとガラス板１Ｂとに分解する必要がある。そして、吸引孔４の存在するガラス板１Ａのみを、間隙部側表面が上になるように照射パネル装置２３の上に載置して、接触面測定装置２６で測定する。
ただし、ガラス板１Ａの間隙部側表面で、吸引孔４からその外側にはみ出た吸引孔封止用金属材料１５が、ガラス板１Ａとガラス板１Ｂ１２から成るガラスパネルＰの分解後に、単板からなるガラス板１Ａの間隙部側表面で、吸引孔４の外側に残っている場合、その吸引孔封止用金属材料１５を研磨により取り除き、研磨処理後に速やかに接触面測定装置２６で撮影する（尚、撮影条件は前述の実験例１と同様である）。また、ガラス板１Ａの間隙部側表面に膜が形成されている場合は、膜を研磨により取り除き、研磨処理後に速やかに接触面測定装置２６で撮影する。
〔白曇り評価方法〕
図１０に示すように、カメラ２５に受像される光は、受光部に入って来た光の強さを０から２５５の段階に区分してピクセル毎に記録されている。ガラス内を屈折した光がガラスと接触部３３との界面に到達したときに、接触部３３が鏡面である場合は、光は、接触部３３で反射して、ガラス面を進むため、接触部３３直上に設置したカメラ２５には、接触部３３で反射した光は受光されない。一方、接触部３３に異物等がある場合は、異物に光が当たったときに乱反射した一部がカメラ２５の受光部に入ってくるため、異物が存在するところが白く映り込むことになり、接触部３３で存在する異物の割合を感知することができる。
この時に、接触部３３とカメラ２５の間に、ガラス板や膜が存在する場合、界面との反射によって、接触部３３に到達する光量が変化する。散乱する光の量は、入射される光の量に比例するので、接触部３３まで到達する光量に比例してカメラ２５の受光部に入ってくる散乱光も変化する。
従って、複層の状態で評価する場合、複層状態で、膜がガラス表面に付着していない条件下では、白曇りの閾値は、６０～２４５である。しかし、膜がガラス面に付着している場合は、膜での反射によって、接触部３３に到達する光量が変化してしまい、白曇りの閾値が変化してしまう恐れがある。
そこで、白曇り率を評価するために、複層ガラスを解体して単板にし、接触部３３に到達する光量に合わせて、単板での白曇りと認定するコントラストの範囲を以下のような手順で設定した。
複層ガラスで解析した白曇り率と同じになるように、単板でのコントラストの閾値を調整して、複層ガラスで得られた白曇り率と同じになるようにコントラストの閾値を設定した。
複層ガラスから単板に解体したときに、吸引孔４部分のハンダが吸引孔４内で切れてしまうため、その部分で乱反射することから、吸引孔４の面積を差し引いて、接触部３３の白曇り率を算定した。なお、吸引孔４のハンダがはみ出している場合は、ガラス面と面一になるようにセリコ研磨を行った。その場合も、吸引孔４部分は、白曇りとなるので、吸引孔４の面積部分を差し引いて接触部３３の白曇り率を算定した。
その結果、閾値を５７～２４５の範囲に設定した結果、複層ガラスで評価した白曇り率と同じ値を得られることが分かった。なお、撮影面側のガラス面に膜が形成されている場合は、セリコ研磨により、膜除去後に評価を行う。
図１０に示すように、カメラ２５に受像される光は、受光部に入って来た光の強さを０から２５５の段階に区分してピクセル毎に記録されている。ガラス内を屈折した光がガラスと接触部３３との界面に到達したときに、接触部３３が鏡面である場合は、光は、接触部３３で反射して、ガラス面を進むため、接触部３３直上に設置したカメラ２５には、接触部３３で反射した光は受光されない。一方、接触部３３に異物等がある場合は、異物に光が当たったときに乱反射した一部がカメラ２５の受光部に入ってくるため、異物が存在するところが白く映り込むことになり、接触部３３で存在する異物の割合を感知することができる。
この時に、接触部３３とカメラ２５の間に、ガラス板や膜が存在する場合、界面との反射によって、接触部３３に到達する光量が変化する。散乱する光の量は、入射される光の量に比例するので、接触部３３まで到達する光量に比例してカメラ２５の受光部に入ってくる散乱光も変化する。
従って、複層の状態で評価する場合、複層状態で、膜がガラス表面に付着していない条件下では、白曇りの閾値は、６０～２４５である。しかし、膜がガラス面に付着している場合は、膜での反射によって、接触部３３に到達する光量が変化してしまい、白曇りの閾値が変化してしまう恐れがある。
そこで、白曇り率を評価するために、複層ガラスを解体して単板にし、接触部３３に到達する光量に合わせて、単板での白曇りと認定するコントラストの範囲を以下のような手順で設定した。
複層ガラスで解析した白曇り率と同じになるように、単板でのコントラストの閾値を調整して、複層ガラスで得られた白曇り率と同じになるようにコントラストの閾値を設定した。
複層ガラスから単板に解体したときに、吸引孔４部分のハンダが吸引孔４内で切れてしまうため、その部分で乱反射することから、吸引孔４の面積を差し引いて、接触部３３の白曇り率を算定した。なお、吸引孔４のハンダがはみ出している場合は、ガラス面と面一になるようにセリコ研磨を行った。その場合も、吸引孔４部分は、白曇りとなるので、吸引孔４の面積部分を差し引いて接触部３３の白曇り率を算定した。
その結果、閾値を５７～２４５の範囲に設定した結果、複層ガラスで評価した白曇り率と同じ値を得られることが分かった。なお、撮影面側のガラス面に膜が形成されている場合は、セリコ研磨により、膜除去後に評価を行う。
ところで、図１１Ａ、１１Ｂの拡大写真で示すように、図１１Ａが白曇り部の割合１０％以下の状態を示す。これに対して、図１１Ｂが白曇り部の割合が、５０％よりも多い状態を示すものである。
また、前記白曇り部の面積比における割合の下限値は、測定可能な有限値を含むものである。
また、前記白曇り部の面積比における割合の下限値は、測定可能な有限値を含むものである。
本発明は、断熱性能の高いガラスパネルとして利用することができる。例えば、建築用・乗物用（自動車・鉄道車両・船舶等の窓ガラス）、または冷蔵庫や保温装置等の各種装置の扉や壁部等において、長期耐久性を要する断熱性ガラスパネルとして利用することができる。
〔別実施形態〕
１、前記吸引孔４及びその吸引孔の周りにまで至って覆う吸引孔封止用金属材料１５は、吸引孔４に充填される金属材料と、吸引孔周りにまで至る部分の金属材料とは、同一組成の物でも、又は、異なる組成の物でもよい。
１、前記吸引孔４及びその吸引孔の周りにまで至って覆う吸引孔封止用金属材料１５は、吸引孔４に充填される金属材料と、吸引孔周りにまで至る部分の金属材料とは、同一組成の物でも、又は、異なる組成の物でもよい。
〔吸引孔の金属封止装置〕
以下、吸引孔の封止に関して、図１２～図１９に基づいて説明する。
尚、符号及び各部の名称などは、前述の実施形態の説明に使用した符号及び名称とが重複したり、異なる各部名称を用いる場合がある。
以下、吸引孔の封止に関して、図１２～図１９に基づいて説明する。
尚、符号及び各部の名称などは、前述の実施形態の説明に使用した符号及び名称とが重複したり、異なる各部名称を用いる場合がある。
以下の実施形態は、一対のガラス板１Ａ，１Ｂ間に、スペーサー２を配置して間隙部Ｖを形成し、前記両ガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部を周辺封止用金属材料３で接合して前記間隙部Ｖを気密に封止し、前記間隙部Ｖ内の空気を吸引する吸引孔４を、前記一対のガラス板１Ａ，１Ｂの内の一方のガラス板において表裏に貫通させて設けてあるガラスパネルにおいて、溶融した吸引孔封止用金属材料１５を前記吸引孔４に供給してその吸引孔４を封止するガラスパネルＰの吸引孔封止装置５０、及び、溶融した吸引孔封止用金属材料１５を前記吸引孔４及び吸引孔４周辺の大気側ガラス面上に供給して前記吸引孔４を封止するガラスパネルＰの吸引孔封止方法に関し、詳しくは、前記ガラスパネルＰは間隙部の空気を吸引孔４から吸引して、その吸引孔４を吸引孔封止装置５０により封止するいわゆる真空ガラスと称するものである。
［背景技術］
［背景技術］
従来、前記ガラスパネルの吸引孔封止装置及び吸引孔封止方法は、吸引孔の近傍に載置された吸引孔封止用金属材料を加熱して溶融状態にする加熱装置を設け、その加熱装置により溶融状態に加熱され、表面張力により形状がほぼ保持された金属材料を、ウェイトが上面に載置されたカバー材により、溶融金属材料を吸引孔に流入するように押しつぶす装置を使用することが提案されていた（例えば、特許文献１参照）。
［先行技術文献］
［先行技術文献］
［特許文献］
［特許文献１］特開２００２－１３７９４０号公報
［発明の概要］
［発明が解決しようとする課題］
［特許文献１］特開２００２－１３７９４０号公報
［発明の概要］
［発明が解決しようとする課題］
上述した従来の吸引孔封止装置及び吸引孔封止方法では、加熱して溶融状態になっている金属材料には、その表面に酸化金属の被膜が形成されていることが多く、図１９Ａ～図１９Ｃに示すように、押しつぶし装置１６０’により押しつぶすと（図１９Ａ→図１９Ｂ）、その酸化金属被膜１５０’が無秩序な大きさや形状に破れ、溶融状態の液状の吸引孔封止用金属材料１５’と共にガラス板の大気側と接触部に流入してしまい（図１９Ｃ）、吸引孔４’周りのガラス板１’Ａとの密着性の弱い部分が発生してしまうという問題点がある。
以下に本実施形態を図面に基づいて説明する。尚、図面において従来例と同一の符号で表示した部分は、同一又は相当の部分を示している。
本実施形態に係るガラスパネルＰは、図１に示すように、一対のガラス板１Ａ，１Ｂ間に、スペーサー２を配置して間隙部Ｖを形成し、両ガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部Ｖ１を低融点の周辺封止用金属材料（ハンダ）３で接合して間隙部Ｖを気密に封止し（周辺封止工程（ステップＳ３５））、間隙部Ｖ内の空気を吸引する吸引孔４を、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの内の一方のガラス板１Ａにおいて表裏に貫通させて設けて、前記吸引孔４から間隙部Ｖ内の空間の空気を吸引して、間隙部Ｖを真空又は真空に近い減圧状態にした状態で、吸引孔４を吸引孔封止用金属材料１５で封止して（吸引孔封止工程）真空パネルと称するものに構成してある。
尚、前記真空封止工程において間隙部Ｖ内の空気を減圧する前には、予め、間隙部Ｖ内のガラス表面を清浄化するためにオゾン置換工程を施す。
つまり、オゾン置換工程において、まず、ガラスパネルＰの間隙部Ｖ内をロータリーポンプ（図外）にて真空排気する。その排気完了後にオゾンを間隙部Ｖ内に流入させ、その後に、ロータリーポンプを再び接続して間隙部Ｖ内の真空排気を行う。
前記ガラスパネルＰにおいて、吸引孔４から空気を吸引して外部に排除した後に、その吸引孔４を、吸引孔封止用金属材料１５で封止する吸引孔封止装置５０については、図１２～図１６に示すように構成してある。
ガラスパネルＰの吸引孔封止装置５０は、固形状の吸引孔封止用金属材料１５をその融点まで加熱する加熱部６０と、加熱部６０において加熱溶融して表面張力により角の丸くなった吸引孔封止用金属材料１５の表面に突き刺し自在な押し込みピン形状の先鋭部材７０と、先鋭部材７０により形成される吸引孔封止用金属材料１５の表面の突き刺し孔から流出する溶融金属を吸引孔４に誘導する溶融金属誘導部８０とを有する。
前記加熱部６０には、吸引孔封止用金属材料１５を受けることが出来るロート型の金属製受け具９０を設けてある（受け具９０の外周部に電熱線を巻いて加熱自在に構成）。また、吸引孔４に溶融金属を誘導する供給口１００を受け具９０の下部に設けて溶融金属誘導部８０に形成してある。また、前記吸引孔封止装置５０には、圧縮バネ１１０を介して先鋭部材７０を受け具９０の上方に配置し、先鋭部材７０のピン先を下方に押し下げることで下方の溶融した吸引孔封止用金属材料１５を上下貫通突き刺し操作自在にする操作機構１２０を設けてある。
前記供給口１００は、アルミナの円筒管を用いている。つまり、アルミナ等のセラミックスから成る円筒管は、ハンダ（吸引孔封止用金属材料１５）との線膨張係数差が、次の表２に示すように６以上あり（望ましくは１７以上）、冷却時の収縮率がハンダより小さいために、ハンダと円筒管との密着性が悪く、従ってハンダと供給口１００は固着しない。
さらに、吸引孔封止装置５０は、前記吸引孔４を囲繞するようにガラス板１Ａに対して密接自在なカップ１３０を有し、そのカップ１３０の内側に、加熱部６０、受け具９０、並びに、溶融金属誘導部８０が収容可能に形成される。さらに、カップ１３０には、カップ１３０の内側空間を減圧可能な吸気部と、カップ１３０の内側を気密状態で前記操作機構１２０をカップ１３０の外から操作自在なピン押し込み操作装置１４０とが設けられてある。
つまり、前記吸引孔封止装置５０によって、加熱部６０により加熱されて溶融した吸引孔封止用金属材料１５は、表面張力により略角の取れた液状の塊となる（図１２参照）。吸引孔封止用金属材料１５の表面に、例えば卵の薄皮のように酸化被膜１５０が形成されていたとしても、先鋭部材７０により表面を突き刺すことで、その酸化被膜１５０の突き刺し部に穴が形成され（図１３参照）、その突き刺し部からは主として溶融金属が流出する（図１４、図１６参照）。流出した溶融金属は溶融金属誘導部８０により吸引孔４に誘導されるために、酸化金属が吸引孔４に混入するのを防止しやすくなる（図１５参照）。
従って、吸引孔４及びその周囲のガラス表面との接触部３３には、酸化金属の混入していない状態で吸引孔封止用金属材料１５がガラスと接着し、間隙部Ｖの気密性を確保できる。
従って、吸引孔４及びその周囲のガラス表面との接触部３３には、酸化金属の混入していない状態で吸引孔封止用金属材料１５がガラスと接着し、間隙部Ｖの気密性を確保できる。
〔別実施形態〕
以下に他の実施の形態を説明する。
なお、以下の他の実施形態において、上記実施形態と同様の部材には同一の符号を附してある。
〈１〉 前記吸引孔４の吸引孔封止用金属材料１５を、溶融した状態で先鋭部材７０により突き刺すのに、前記実施形態においては、図１２～図１６に示すように、上から下方に貫通するように突き刺した。これに代えて、図１８Ａ～図１８Ｂに示すように、斜め下方から溶融金属材料の下面部を突き刺したり、図１７Ａ～図１７Ｂに示すように、溶融金属材料の側面を突き刺して、吸引孔封止用金属材料１５の表面が酸化被膜１５０に覆われていても、純度の高い溶融金属材料を吸引孔４に流し込んでも良い。
尚、図１７、図１８は、説明図であるために、吸引孔封止用金属材料１５の流動経路上の段部を表す横線は、省略する。
以下に他の実施の形態を説明する。
なお、以下の他の実施形態において、上記実施形態と同様の部材には同一の符号を附してある。
〈１〉 前記吸引孔４の吸引孔封止用金属材料１５を、溶融した状態で先鋭部材７０により突き刺すのに、前記実施形態においては、図１２～図１６に示すように、上から下方に貫通するように突き刺した。これに代えて、図１８Ａ～図１８Ｂに示すように、斜め下方から溶融金属材料の下面部を突き刺したり、図１７Ａ～図１７Ｂに示すように、溶融金属材料の側面を突き刺して、吸引孔封止用金属材料１５の表面が酸化被膜１５０に覆われていても、純度の高い溶融金属材料を吸引孔４に流し込んでも良い。
尚、図１７、図１８は、説明図であるために、吸引孔封止用金属材料１５の流動経路上の段部を表す横線は、省略する。
尚、上述のように、図面との対照を便利にするために符号を記したが、該記入により本発明は添付図面の構成に限定されるものではない。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施し得ることは勿論である。
上記実施形態において、対向する一対のガラス板と、前記一対のガラス板間にスペーサーを配置して形成される間隙部と、前記一対のガラス板の周縁部を接合して前記間隙部を気密に封止する周辺封止用金属材料とを備え、前記一対のガラス板の内の一方のガラス板は、そのガラス板において表裏に貫通して前記間隙部内の空気を吸引する吸引孔を有するガラスパネルにおいて、溶融した吸引孔封止用金属材料１５を前記吸引孔４に供給してその吸引孔４を封止するガラスパネルの吸引孔封止装置５０であって、前記吸引孔封止用金属材料１５をその融点まで加熱する加熱部６０と、前記加熱部６０において前記吸引孔封止用金属材料１５の表面に突き刺し自在な先鋭部材７０と、前記先鋭部材による前記吸引孔封止用金属材料１５の突き刺し部から流出する溶融金属を前記吸引孔４に誘導する溶融金属誘導部８０とを有する。この吸引孔封止装置５０の効果としては、加熱部６０により加熱されて溶融した金属材料は、表面張力により略角の取れた液状の塊となり（図１２参照）、その表面に、例えば卵の薄皮のように酸化被膜１５０が形成されていたとしても、先鋭部材７０により表面を突き刺すことで、その酸化被膜１５０の突き刺し部に穴が形成され（図１３参照）、その突き刺し部からは主として溶融金属が流出し（図１４、図１６参照）、溶融金属は溶融金属誘導部８０により吸引孔４に誘導されるために、酸化金属が吸引孔４に混入するのを防止しやすくなる（図１５参照）。
従って、吸引孔４及びその周囲のガラス表面には、酸化金属の混入していない状態で吸引孔封止用金属材料１５がガラス板の大気側表面との接触部３３と接着し、間隙部の気密性を確保できる。
従って、吸引孔４及びその周囲のガラス表面には、酸化金属の混入していない状態で吸引孔封止用金属材料１５がガラス板の大気側表面との接触部３３と接着し、間隙部の気密性を確保できる。
また、上記記載の吸引孔封止装置５０は、前記加熱部６０が吸引孔封止用金属材料１５を受けるロート型の受け具９０を有し、前記吸引孔４に溶融金属を誘導する供給口１００が、前記受け具９０の下部に設けられて前記溶融金属誘導部８０に形成されてあり、前記先鋭部材７０を前記受け具９０の上方に配置すると共に前記先鋭部材７０によって下方の金属材料を上下貫通突き刺し操作自在にする操作機構１２０を有する。この吸引孔封止装置５０の効果としては、受け具９０に吸引孔封止用金属材料１５を載せて加熱することで、ロート型の受け具９０上の金属材料は、表面張力で角の取れた液状の塊となり、その表面に酸化被膜１５０が形成されなくて流動性の良い状態であれば、受け具９０の下部に設けた供給口１００より吸引孔４に溶融金属が流入して吸引孔４は封止される。
しかし、例え溶融金属の表面に酸化被膜１５０が形成されていて流動性が低下していたとしても、操作機構１２０により先鋭部材７０を、溶融して液状の塊となっている金属材料に上から下に貫通するように突き刺し操作することで、下側に突き刺し孔が形成され、その突き刺し孔より主として溶融金属が酸化金属膜１５０を巻き込むことなく供給口１００を介して吸引孔４に流下供給される。
従って、簡単な構造の吸引孔封止装置５０により、吸引孔４を金属材料で気密に封止できる。
しかし、例え溶融金属の表面に酸化被膜１５０が形成されていて流動性が低下していたとしても、操作機構１２０により先鋭部材７０を、溶融して液状の塊となっている金属材料に上から下に貫通するように突き刺し操作することで、下側に突き刺し孔が形成され、その突き刺し孔より主として溶融金属が酸化金属膜１５０を巻き込むことなく供給口１００を介して吸引孔４に流下供給される。
従って、簡単な構造の吸引孔封止装置５０により、吸引孔４を金属材料で気密に封止できる。
さらに、上記記載の吸引孔封止装置５０は、前記ガラスパネルＰが前記間隙部Ｖを減圧状態で封止する真空パネルであって、前記吸引孔４を囲繞するようにガラス板に対して密接自在なカップ１３０を有し、そのカップ１３０の内側に、前記加熱部６０、前記受け具９０、並びに、前記溶融金属誘導部８０が収容可能に形成されると共に、前記カップ１３０の内側空間を減圧可能な吸気部が、前記カップ１３０に設けられ、前記操作機構１２０が、前記カップ１３０の外から操作自在に構成されてある。この吸引孔封止装置５０の効果は、ガラス板に形成した吸引孔４に対して囲繞するように、カップ１３０をガラス板に密接させることで、カップ１３０に設けた吸気部より前記間隙部Ｖの減圧をすることが出来る。しかも、カップ内の加熱部６０により予め受け具９０に載せた吸引孔封止用金属材料１５を加熱溶融し、操作機構１２０をカップ１３０の外から操作して、受け具９０上の金属材料に先鋭部材７０を突き刺して下方の吸引孔４に主として溶融金属を供給して吸引孔４を封止することが出来る。
従って、コンパクトな装置で間隙部Ｖの減圧と、吸引孔４の封止ができる。
従って、コンパクトな装置で間隙部Ｖの減圧と、吸引孔４の封止ができる。
対向する一対のガラス板と、前記一対のガラス板１Ａ，１Ｂ間にスペーサー２を配置して形成される間隙部Ｖと、前記一対のガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部を接合して前記間隙部Ｖを気密に封止する周辺封止用金属材料とを備え、前記間隙部Ｖ内の空気を吸引する吸引孔を前記一対のガラス板１Ａ，１Ｂの内の一方のガラス板において表裏に貫通させて設けてあるガラスパネルＰにおいて、溶融した吸引孔封止用金属材料１５を前記吸引孔４に供給してその吸引孔４を封止するガラスパネルの吸引孔封止方法であって、固形の前記吸引孔封止用金属材料１５をその融点まで加熱して、その吸引孔封止用金属材料１５の表面を先鋭部材７０で突き刺し、その先鋭部材７０による前記吸引孔封止用金属材料１５の突き刺し部から、溶融した金属材料を流出させて前記吸引孔４に供給して前記吸引孔４を封止する。このガラスパネルの吸引孔封止方法の効果は、融点まで加熱して溶融した金属材料は、表面張力により略角の取れた液状の塊となり、その表面に、例えば卵の薄皮のように酸化被膜１５０が形成されていたとしても、先鋭部材７０により表面を突き刺すことで、その酸化被膜１５０の突き刺し部に穴が形成され、その突き刺し部から主として溶融金属が流出し、酸化金属１５０が吸引孔４に混入することなく溶融金属を吸引孔４周辺の大気側ガラス表面に供給できる。
従って、吸引孔４及びその周囲のガラス表面には、酸化金属１５０の混入していない状態で吸引孔封止用金属材料１５が吸引孔４周辺の大気側ガラス表面にある接触部３３と接着し、間隙部Ｖの気密性を確保できる。
従って、吸引孔４及びその周囲のガラス表面には、酸化金属１５０の混入していない状態で吸引孔封止用金属材料１５が吸引孔４周辺の大気側ガラス表面にある接触部３３と接着し、間隙部Ｖの気密性を確保できる。
１Ａ，１Ｂ：ガラス板、２：スペーサー（ピラー）、３：周辺封止用金属材料（ハンダ）、４：吸引孔、４ｅ：エッジ、５：金属導入装置、６：定盤、６ａ：高部、６ｂ：低部、７：供給塔、８：導入板、８Ａ：屈曲部、９：坩堝部、１０：伝熱ヒーター、１１：導入路、１２：レール部材、１３：移動機構、１４：開先部分、１５：吸引孔封止用金属材料（ハンダ）、１６：吸引孔封止用金属材料のはみ出し部（突出部）、３３：接触部、Ｖ：間隙部、Ｖ１：周縁部、Ｐ：ガラスパネル、Ｄｗ：突出部直径、Ｄｇ：突出部厚み、Ｔｇ：ガラス板厚み、Ｐｄ：スペーサーピッチ（間隔）、Ｒｗ：幅、Ｓｗ：吸引孔径
Claims (6)
- 対向する一対のガラス板と、
前記一対のガラス板間にスペーサーを配置して形成される間隙部と、
前記一対のガラス板の周縁部をその全周に亘って接合して前記間隙部を気密に封止する周辺封止用金属材料とを備え、
前記一対のガラス板の内の一方のガラス板は、そのガラス板において表裏に貫通して前記間隙部内の空気を吸引する吸引孔と、前記吸引孔を介して前記間隙部が減圧された状態で前記吸引孔及びその吸引孔の周りにまで至って覆うことにより前記吸引孔を封止する吸引孔封止用金属材料とを有するガラスパネルであって、
前記一方のガラス板の大気側表面で前記吸引孔の周りに形成されている前記吸引孔封止用 金属材料のはみ出し部において、前記一方のガラス板の大気側表面との接触部に、他方のガラス板側から見た時に光が乱反射して白く光る白曇り部を面積比にして３０％以下に設定し、且つ、前記白曇り部が、前記吸引孔封止用金属材料のはみ出し部の外周縁部から前記吸引孔の外周縁部に至る連設部を形成していないガラスパネル。 - 請求項１に記載のガラスパネルにおいて、前記白曇り部の割合を更に１０％以下に設定し、且つ、前記白曇り部が、前記吸引孔封止用金属材料のはみ出し部の外周縁部から前記吸引孔の外周縁部に至る連設部を形成していないガラスパネル。
- 前記白曇り部は、前記吸引孔封止用金属材料の酸化物である請求項１または２のいずれかに記載のガラスパネル。
- 前記吸引孔封止用金属材料の主成分は、Ｓｎが７２～９９．９％に対し、Ｚｎ、Ａｌ、Ｓｉ及びＴｉの内のいずれかの成分を含有し、鉛の含有量が重量％で０．１％未満である請求項１～３のいずれか１項に記載のガラスパネル。
- 前記白曇り部の面積比における割合の下限値は、０．１％である請求項１～４のいずれか１項に記載のガラスパネル。
- 請求項１記載の対向する一対のガラス板と、
前記一対のガラス板間にスペーサーを配置して形成される間隙部と、
前記一対のガラス板の周縁部をその全周に亘って接合して前記間隙部を気密に封止する周辺封止用金属材料と、
前記一対のガラス板の内の一方のガラス板は、そのガラス板において表裏に貫通して前記間隙部内の空気を吸引する吸引孔とを備え、
前記吸引孔を介して前記間隙部が減圧された状態で前記吸引孔及びその吸引孔の周りにまで至って吸引孔封止用金属材料で覆うことにより前記吸引孔を封止するガラスパネルにおいて、
前記吸引孔に前記吸引孔封止用金属材料を直接供給して前記吸引孔の周りに前記吸引孔封止用金属材料のはみ出し部が形成される場合に
、前記一方のガラス板の大気側表面で前記吸引孔の周りに形成されている前記吸引孔封止用 金属材料のはみ出し部において、前記一方のガラス板の大気側表面との接触部に、他方のガラス板側から見た時に光が乱反射して白く光る白曇り部が面積比にして３０％以下であるものであり、且つ、前記白曇り部が、前記吸引孔封止用金属材料のはみ出し部の外周縁部から前記吸引孔の外周縁部に至る連設部を形成していないものを、前記吸引孔の封止部における前記吸引孔封止用金属材料と前記ガラス板との密着性及び耐酸性が良好と判定するガラスパネルにおける吸引孔の規定方法。
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