JP7141430B2 - 材料の熱処理のための装置、特に、材料中に含まれている材料成分の熱分離のための装置 - Google Patents
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Description
12 筐体
14 ハウジングジャケット
16 処理チャンバ
18 処理面
19 真空接続部の領域
20;20a、20b 材料導入口(接線方向若しくは上から)
21 導入口領域
22 材料排出口
221 排出装置(排出ホッパ)
23 排出口領域
24 駆動ユニット
26 ロータ
28;280 シャフト;中空シャフト
29 シャフトのセンターロッド
30 拡散要素
301 搬送要素
302 分配要素
303 ワイパブレード
304 剛性拡散要素
32 凝縮室
34 凝縮器
36 貫通開口部
38 角型ウェブプレート
38a、b ウェブプレートの屋根側
40 搬送リブ
42 ウェブプレートの刃先
44 搬送リブの半径方向外縁
46 中央領域
48 分配要素の歯
50 歯の刃先
52 上部
54 ラビリンスシーリング
56 真空接続部
58 (接続)シート
60 飛沫防止ジャケット
62 軸受シュー
64 プレート(中空シャフトの上部閉鎖)
66 ピン
68 内管
681 内管の外壁
682 内管の内壁
683 内管冷媒循環ダクト
69 窓
70 外管
701 外管の外壁
702 外管の内壁
703 外管冷媒循環ダクト
72 冷媒供給管
74 冷媒流入管
76 冷媒タンク
78 冷媒流出管
80 凝縮器底部
81 凝縮物捕集カップ
82 凝縮物排出部
83 円筒状スカート
85 保護プレート
91 カバープレート
92 軸受け筒
94 搬送コイル
96;960 分配装置;分配プレート
98 プレート底部
100 プレート壁
102 分配開口部
104 プレート縁部の突起
106 Uレール(スミスロータ)
108 凝縮器支持台
110 シリンダ
112a、b 下部中央ロータ軸受
114 凝縮器のピン
116 ロータの天板
118 材料排出口の円錐形容器
120 レール
122 バー
124 下部
126 円周軸受
130 材料捕集チャンバ
131 凝縮器管
132 材料捕集チャンバの上部壁
133 材料捕集チャンバのジャケット
134 材料貫通路
135 排出ホッパのジャケット
136 材料捕集チャンバのジャケットへの熱媒体供給部
137 排出ホッパのジャケットへの熱媒体供給部
138 フレーム
139 材料捕集チャンバのジャケットからの熱媒体排出部
140 フレームの円筒状下部
141 排出ホッパからの熱媒体排出部
142 フレームの円錐状上部
144 貫通孔
146 張り出し部
148 張り出し部の切妻屋根の形をした上端部
150 熱媒体供給管
152 中間フランジリング
154 ロータの底板
156 材料カップ
158 ローラー軸受
A 軸方向
Claims (14)
- 材料の熱処理のための短経路蒸発器であって、
処理チャンバ(16)を包囲すると共に、軸方向(A)に延びる回転対称の処理面(18)を形成する、加熱可能なハウジングジャケット(14)を備えた筐体(12)と、
前記筐体の導入口領域(21)に配置された、処理される材料を前記処理チャンバに導入するための材料導入口(20)と、
前記筐体の排出口領域(23)の下方側に配置された、前記処理チャンバから材料を排出するための材料排出口(22)と、
前記処理チャンバ内に配置されると共に、同軸上に延びており、前記処理面上に物質薄膜を形成するための、駆動可能なロータ(26)であって、前記ロータは、拡散要素(30)が、外周に分布されるように配置されたシャフト(28)を有し、前記拡散要素(30)の半径方向の最外側の端部は、前記処理面から離間している、ロータ(26)と、
内部に、凝縮器(34)が配置されると共に、熱処理中に材料から漏れるガス状材料成分が、流入することができる凝縮室(32)であって、前記シャフトは、前記凝縮室(32)を包囲すると共に、貫通開口部(36)を有する中空シャフトの形式とされており、熱処理中に材料から漏れるガス状材料成分は、前記貫通開口部(36)を通って前記凝縮室(32)へ流入できる、凝縮室(32)と、
前記凝縮室(32)内で凝縮された材料成分を排出するための凝縮物排出部(82)と、
前記凝縮室(32)と流体接続された、凝縮されないガス状材料成分を除去するための真空接続部(56)と、を有する短経路蒸発器において、
前記真空接続部(56)は、材料の搬送方向から見て前記処理面(18)の下流側に位置する前記筐体(12)の領域に配置されており、
前記材料排出口(22)は、軸方向下方側へ続いており、かつ、軸方向において前記処理チャンバ(16)に隣接する排出装置に含まれており、
該短経路蒸発器は、前記処理チャンバ(16)において処理された材料が前記材料排出口(22)から下方側に直接排出されるように設計されている、ことを特徴とする、短経路蒸発器。 - 該材料の熱処理とは、材料中に含まれている材料成分の熱分離とされている請求項1に記載の短経路蒸発器。
- 前記真空接続部(56)は、前記凝縮室(32)に、真空を直接的に適用するように設計されている、ことを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載の短経路蒸発器。
- 前記ロータ(26)が、前記材料排出口の側の端部領域に取り付けられた、下部ロータ軸受(112a;112b)を有している、ことを特徴とする、請求項1から請求項3の何れか1項に記載の短経路蒸発器。
- 前記下部ロータ軸受(112a;112b)は、中央に配置されている、ことを特徴とする、請求項4に記載の短経路蒸発器。
- さらに、前記材料導入口(20;20a、20b)を介して導入された材料を前記処理面(18)上に分配するための分配装置(96)を有しており、前記分配装置(96)は、前記ロータ(26)上に配置されると共に、プレート底部(98)と、前記プレート底部を半径方向に囲むプレート壁(100)と、を有する分配プレート(960)の形式とされており、前記プレート壁は、周方向に互いに離間した分配開口部(102)を有することを特徴とする、請求項1から請求項5の何れか1項に記載の短経路蒸発器。
- 前記プレート壁(100)は、前記プレート底部を半径方向に囲むと共に、前記プレート底部に対して垂直に延びることを特徴とする、請求項6の何れか1項に記載の短経路蒸発器。
- 前記短経路蒸発器は、前記導入口領域(21)において、中空シャフト(280)の形式の前記シャフトを隙間なく包囲する飛沫防止ジャケット(60)を有する、ことを特徴とする、請求項1に記載の短経路蒸発器。
- 前記飛沫防止ジャケット(60)は、搬送要素(301)と、2つの周方向に連続する搬送要素を連結するシート(58)と、によって形成されている、ことを特徴とする、請求項8に記載の短経路蒸発器。
- 前記凝縮器(34)は、内管(68)と、前記内管を同軸に包囲する外管(70)と、を有しており、前記内管(68)及び前記外管(70)は、少なくとも部分的に互いに離間している、外壁(681、701)と内壁(682、702)とを、それぞれが有しており、前記内管の内部には、内管冷媒循環ダクト(683)を形成すると共に、前記外管の内部には、外管冷媒循環ダクト(703)を形成し、前記内管冷媒循環ダクトと前記外管冷媒循環ダクトとは、互いに流体接続されている、ことを特徴とする、請求項1から請求項9の何れか1項に記載の短経路蒸発器。
- 冷媒供給管(72)は、前記内管冷媒循環ダクト(683)及び前記外管冷媒循環ダクト(703)の一方に開口しており、冷媒流出管(78)は、もう一方の冷媒循環ダクト(703又は683)から離れている、ことを特徴とする、請求項10に記載の短経路蒸発器。
- 前記凝縮器(34)は、前記排出口領域(23)において、静止型カバープレート(91)によって同軸に包囲されている、ことを特徴とする、請求項1から請求項11の何れか1項に記載の短経路蒸発器。
- 前記短経路蒸発器又は前記処理チャンバの内部の0.001hPaから50hPaの処理圧力範囲における、材料の熱処理のための、請求項1から請求項12の何れか1項に記載の短経路蒸発器の使用。
- 前記短経路蒸発器又は前記処理チャンバの内部の0.001hPaから1hPaの処理圧力範囲における、材料の熱処理のための、請求項1から請求項12の何れか1項に記載の短経路蒸発器の使用。
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