JP7139286B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
<改善の余地の詳細>
以下に、改善の余地の詳細について説明する。
以下、本実施の形態の半導体装置の構造について、図1~図4を用いて説明する。図1は、本実施の形態の半導体装置の平面図である。図2は、図1のA-A線における断面図である。図3は、本実施の形態の半導体装置であるMOSFETおよびその内蔵ダイオードを示す回路図である。図4は、本実施の形態の半導体装置のうち、半導体チップおよびその下の基板を示す拡大断面図である。
改善の余地として上述したように、SiCを用いた半導体装置では、BPDの存在に起因して積層欠陥が拡張し、通電劣化現象が起こり得る。このような半導体装置の特性劣化は、半導体チップを構成する半導体基板の結晶方向に左右される。本実施の形態の半導体装置100では、図1に示すように、図の右に向かう方向が<11-20>方向となるように、半導体チップ108がドレイン配線パターン106上に搭載されている。
図8および図9に、本実施の形態の変形例1である半導体装置を示す。本変形例の半導体装置100は、半導体チップ108が、<1-100>方向に成長する積層欠陥を含む点が、図1~図7を用いて説明した半導体装置と異なる。また、本変形例の半導体装置100の溝2の延在方向は、図1~図7を用いて説明した半導体装置の溝1の延在方向と異なる。
本変形例では、図1~図7を用いて説明した半導体装置を備えたパワーモジュールについて説明する。図10はパワーモジュール700の平面図であり、図11は図10のC-C線における断面図である。パワーモジュール700は底部に放熱ベース701を有し,放熱ベース701上に放熱ベース用接合部材(放熱ベース用接続部材)702を介して半導体装置100が接合されている。放熱ベース用接合部材702の材料としては、半田などが挙げられる。ただし、放熱ベース701と半導体装置100の接合は、半導体装置100と半導体チップ108との接合工程よりも後に行われる工程であるため、放熱ベース用接合部材702の材料には、接合部材109よりも融点が低い材料を用いることが望ましい。
図1~図7を用い、絶縁層103と配線パターンとを含む絶縁基板を用いることについて上述したが、導体(例えば金属層)のみから成る基板(例えば金属基板)の上面に溝を複数並べて形成し、それらの溝の上に半導体チップを接合してもよい。つまり、図12および図13に示すように、基板126は、ドレイン配線パターンとして用いられる金属基板である。図12はパワーモジュール700の平面図であり、図13は図12のD-D線における断面図である。
図1~図7に示した半導体装置では、溝1の短手方向の幅が一定であったが、本変形例では、当該短手方向において、半導体チップ108の端部の下の溝1の幅が小さくなっている。すなわち、本変形例では、図14のE-E線における断面(図15参照)に示すように、横方向における半導体チップ108の端部の直下の溝1の幅は、半導体チップ108の中央部の直下の溝1の幅よりも小さい。本変形例で示す半導体チップ108は、図1~図7を用いて説明した半導体チップ108と同じく、<-1100>方向に積層欠陥が成長するものである。
図16は本実施の形態2の半導体装置を示す平面図であり、図17は図16のF-F線における断面図である。本実施の形態で示す半導体チップ108は、図1~図7を用いて説明した半導体チップ108と同じく、<-1100>方向に積層欠陥が成長するものである。
図26は、本実施の形態の変形例である半導体装置を構成する半導体チップ108およびドレイン配線パターン106を示す平面図である。図18と同様に、図26では半導体チップ108を透過して、半導体チップ108の直下の凸部4を示している。図26では、抑えるべき応力の方向を、ハッチングを付した矢印により示している。また、図26では、溝形成部106bの上面に形成されている凸部4のうち、平面視で半導体チップ108と重ならない箇所の凸部4の図示を省略している。
3、4 凸部
100 半導体装置
101 基板
103 絶縁層
106 ドレイン配線パターン
108 半導体チップ
109 接合部材
Claims (14)
- 第1基板と、
第1基板上に設けられ、炭化ケイ素を含む第2基板を備えた半導体チップと、
前記半導体チップの直下の前記第1基板の上面に形成された複数の溝と、
前記溝内に埋め込まれ、前記第1基板の前記上面と前記半導体チップの下面とに接する接合部材と、
を有し、
前記第2基板は、<-1100>方向に成長する積層欠陥へと拡張する基底面転位を含み、
複数の前記溝のそれぞれは、平面視において、前記第2基板の<11-20>方向から時計回りに135°回転した第1方向に対して交差する第2方向に延在し、前記溝の短手方向に並んでいる、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記溝の前記短手方向において、前記半導体チップの端部の直下の前記溝の幅は、前記半導体チップの中央部の直下の前記溝の幅よりも小さい、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記短手方向において隣り合う前記溝同士の間には、複数の凸部が前記第2方向に互いに離間して並んでいる、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第1方向と前記第2方向とは、平面視において互いに直交している、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第2基板の上面は、<0001>面である、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
複数の前記溝は、前記第1基板を構成する導電性パターンの上面に形成されている、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記半導体チップは、トランジスタを搭載し、ダイオードを内蔵している、半導体装置。 - 第1基板と、
第1基板上に設けられ、炭化ケイ素を含む第2基板を備えた半導体チップと、
前記半導体チップの直下の前記第1基板の上面に形成された複数の溝と、
前記溝内に埋め込まれ、前記第1基板の前記上面と前記半導体チップの下面とに接する接合部材と、
を有し、
前記第2基板は、<1-100>方向に成長する積層欠陥へと拡張する基底面転位を含み、
複数の前記溝のそれぞれは、平面視において、前記第2基板の<11-20>方向から時計回りに45°回転した第1方向に対して交差する第2方向に延在し、前記溝の短手方向に並んでいる、半導体装置。 - 請求項8記載の半導体装置において、
前記溝の前記短手方向において、前記半導体チップの端部の直下の前記溝の幅は、前記半導体チップの中央部の直下の前記溝の幅よりも小さい、半導体装置。 - 請求項8記載の半導体装置において、
前記短手方向において隣り合う前記溝同士の間には、複数の凸部が前記第2方向に互いに離間して並んでいる、半導体装置。 - 請求項8記載の半導体装置において、
前記第1方向と前記第2方向とは、平面視において互いに直交している、半導体装置。 - 請求項8記載の半導体装置において、
前記第2基板の上面は、<0001>面である、半導体装置。 - 請求項8記載の半導体装置において、
複数の前記溝は、前記第1基板を構成する導電性パターンの上面に形成されている、半導体装置。 - 請求項8記載の半導体装置において、
前記半導体チップは、トランジスタを搭載し、ダイオードを内蔵している、半導体装置。
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