JP7138983B1 - 金属溶解剤及び金属を溶解する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
金属溶解剤であって、
ハロゲン単体、アゾール化合物、及び極性溶媒を含有する、金属溶解剤。
前記ハロゲン単体は、ヨウ素である、前記項1に記載の金属溶解剤。
前記アゾール化合物は、イミダゾール化合物である、前記項1又は2に記載の金属溶解剤。
前記極性溶媒は、水、及びアルコール類から成る群から選ばれる少なくとも一種の極性溶媒である、前記項1~3の何れか1項に記載の金属溶解剤。
前記溶解される金属は、周期表の第9族元素~第11族元素から成る群から選ばれる少なくとも一種の貴金属元素である、前記項1~4の何れか1項に記載の金属溶解剤。
前記溶解される金属は、パラジウム(Pd)及び白金(Pt)から成る群から選ばれる少なくとも一種の貴金属元素である、前記項1~5の何れか1項に記載の金属溶解剤。
金属を溶解する方法であって、
(1)ハロゲン単体、アゾール化合物、及び極性溶媒を含有する混合液に、金属を浸漬する工程、
を含む、金属を溶解する方法。
従来技術の、例えば、王水を用いる貴金属の溶解方法は、用いる溶液が強酸性で危険性が高い上、夾雑する卑金属まで溶解してしまい、回収工程で貴金属と卑金属(鉄、ニッケル、アルミニウム、鉛、亜鉛、すず等)の分離操作が煩雑である。
本発明の金属溶解剤は、ハロゲン単体を含有する。本発明の金属溶解剤は、ハロゲン単体を含有する事に依り、良好に、金属(特に貴金属)を、液体中に溶解する事が出来、回収する事が出来る。
本発明の金属溶解剤は、アゾール化合物を含有する。本発明の金属溶解剤は、アゾール化合物を含有する事に依り、良好に、金属(特に貴金属)を、液体中に溶解する事が出来、回収する事が出来る。
本発明の金属溶解剤は、極性溶媒を含有する。本発明の金属溶解剤は、極性溶媒を含有する事に依り、良好に、金属(特に貴金属)を、液体中に溶解する事が出来、回収する事が出来る。
本発明の金属溶解剤では、前記溶解される金属の種類は、好ましくは、典型金属、遷移金属等を対象とする。
本発明の金属を溶解する方法は、(1)ハロゲン単体、アゾール化合物、及び極性溶媒を含有する混合液(金属溶解剤)に、金属を浸漬する工程、を含む。
金属溶解剤と金属(パラジウム粒子(Pd粒子)等)とを混合する事、
金属(Pd粒子等のコロイド溶液)に、金属溶解剤を滴下する事、
金属溶解剤に、金属(Pd粒子等)を、浸漬する事等である。
金属溶解剤の作製
ハロゲン単体:ヨウ素(I)(1g)
アゾール化合物:イミダゾール(3g)
極性溶媒:ジエチレングリコールモノエチルエーテル
(エチルカルビトール)(15g)
定性分析
金属溶解剤10gに、Pd粉末0.1g、或はPt粉末0.1gを加え、混合液を調製し、常温で24時間攪拌した。前記混合液をろ過し、ろ過した上澄み液に対して、ICP発光分光分析法に依る定性分析を行った。
定量分析
金属溶解剤4gに、Pdコロイド(2重量%の水分散液)1g(Pd含有量:0.4重量%)を加え、混合液を調製し、1時間常温で攪拌した。
図1の(1-A)
金属溶解剤とパラジウム粒子(Pd粒子)を含む溶液(以下「Pdコロイド溶液」とも記す、メタロイドグレードML-240SLV、株式会社イオックス)とを1:1で混合すると、Pdコロイド溶液の色が黒色から黄色に変化した。また、この黄色の溶液にレーザー光を当ててもコロイド溶液に特異的に見られるチンダル現象は確認されなかった。Pdコロイドがイオン化し、パラジウムが溶解したことを示している。
易接着PETフィルム上に形成したPdコロイド溶液(メタロイドML-240SLV)から成る黒色の塗膜上に、金属溶解剤を滴下すると、Pdコロイド塗膜が溶解し、透明になった。
Pdコロイド溶液を用いた成膜条件:バーコートwet4μm、120℃×10分
易接着PETフィルム:ルミラーU48、東レ株式会社製
金属溶解剤(No.3)とPdコロイド溶液(メタロイドML-240SLV)とを1:1で混合し、常温で1分攪拌すると、Pdコロイドがイオン化し、パラジウム(Pd)が溶解した。
Pdコロイド溶液(メタロイドML-240SLV)から成る塗膜上に、金属溶解剤(No.3)を滴下し、1分間放置すると、Pdコロイド塗膜が溶解した。
一方、比較例のPdコロイド溶液(No.1及びNo.2)を用いて成膜した塗膜は、共に溶解しなかった。
易接着PETフィルム全面に、Pdコロイド溶液を塗布するか、或はキャタリストに依るめっき前処理を行った。
Pdコロイド溶液:メタロイドML-240SLV、株式会社イオックス
成膜条件:バーコートwet4μm、120℃×10分
キャタリスト:キャタリストC-7、奥野製薬工業株式会社
めっき前処理条件:32℃×3分
アクセラレータ(還元剤):アクセラレータX、奥野製薬工業株式会社
めっき前処理条件:35℃×3分
金属溶解剤に、前記調製したPETフィルム(Pdコロイド溶液の塗布処理、或はキャタリストに依るめっき前処理)の下半分を、浸漬した。
実施例4の金属溶解剤を用いて、Cu配線(Cuめっき部分)を溶解せずに、Pdコロイド溶液(メタロイド)から成る塗膜(Cuめっき以外の部分)の除去を行った。
本発明の金属溶解剤を用いると、金属溶解剤は、ハロゲン単体、アゾール化合物、及び極性溶媒を含有する混合液であり、此れに金属を浸漬する事に依り、良好に、金属を溶解する事が出来、金属を回収する事が出来る。
Claims (6)
- 金属溶解剤であって、
ヨウ素、イミダゾール化合物、及びアルキルエーテルからなり、
前記ヨウ素を1質量%~10質量%含み、
前記イミダゾール化合物を5質量%~25質量%含む、
金属溶解剤。 - 前記イミダゾール化合物は、イミダゾール、1-メチルイミダゾール、1-エチルイミダゾール、1-プロピルイミダゾール、1-ブチルイミダゾール、2-メチルイミダゾール、2-エチルイミダゾール、2-プロビルイミダゾール、2-ブチルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、1,2,4-トリメチルイミダゾール、4-メチルイミダゾール、4-ブチルイミダゾール、2-ウンデシル-4-メチルイミダゾール、1-フエニルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、ベンゾイミダゾール、2-メチルベンゾイミダゾール、2-ウンデシルベンゾイミダゾール、2-フェニルベンゾイミダゾール、及び2-メルカプトベンゾイミダゾールから成る群から選ばれる少なくとも一種のイミダゾール化合物である、請求項1に記載の金属溶解剤。
- 前記アルキルエーテルは、エチレングリコールモノエチルエーテル、及びジエチレングリコールモノエチルエーテルから成る群から選ばれる少なくとも一種のアルキルエーテルである、請求項1又は2に記載の金属溶解剤。
- 前記溶解される金属は、周期表の第9族元素~第11族元素から成る群から選ばれる少なくとも一種の貴金属元素である、請求項1~3の何れか1項に記載の金属溶解剤。
- 前記溶解される金属は、パラジウム(Pd)及び白金(Pt)から成る群から選ばれる少なくとも一種の貴金属元素である、請求項1~4の何れか1項に記載の金属溶解剤。
- 金属を溶解する方法であって、
(1)ヨウ素、イミダゾール化合物、及びアルキルエーテルからなる混合液に、金属を浸漬する工程、を含み、
前記混合液は、
前記ヨウ素を1質量%~10質量%含み、
前記イミダゾール化合物を5質量%~25質量%含む、
金属を溶解する方法。
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WO2007049750A1 (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-03 | Kanto Kagaku Kabushiki Kaisha | パラジウム選択的エッチング液およびエッチングの選択性を制御する方法 |
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