JP7133763B2 - 荷重センサー、および、荷重検出方法 - Google Patents
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Description
2・・・ドライブプレート
21・・・内側連結部
22・・・取付穴
23・・・外側連結部
24・・・取付穴
25・・・開口部
3・・・起歪部
4・・・ひずみ量検出部(41:第一ひずみゲージ、42:第二ひずみゲージ)
5・・・温度検出部
61・・・送電コイル
62・・・受電コイル
7・・・演算部
Claims (2)
- ドライブプレートの同一円周上に形成された複数の開口部と、
隣接する開口部と開口部との間に形成された起歪部と、
当該起歪部における前記開口部側の回転方向に沿った側面に取り付けられる第一ひずみゲージと、
前記起歪部のドライブプレートにおける表裏面に取り付けられる第二ひずみゲージと、
前記起歪部に取り付けられる温度検出部と、
前記ドライブプレートの表面に設けられた受電コイルに対して、送電コイルを設けておき、電磁誘導方式によって前記第一ひずみゲージおよび第二ひずみゲージ、温度検出部に対して電力を供給する電力供給部と、
前記第一ひずみゲージおよび第二ひずみゲージで検出された各軸方向のひずみ量に基づく荷重と、前記温度検出部で検出された温度とを入力値とし、補正された各軸方向の荷重を出力する演算部と、
を備えたドライブプレートの荷重検出センサー。 - 前記開口部が、外周側の辺と内周側の辺が円弧状となり、径方向に沿った左右の辺が直線状となるように構成されるものである請求項1に記載の荷重検出センサー。
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JP2019089286A JP7133763B2 (ja) | 2019-05-09 | 2019-05-09 | 荷重センサー、および、荷重検出方法 |
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EP3450947B1 (en) * | 2017-09-05 | 2024-01-17 | IMEC vzw | Stress sensor for semiconductor components |
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2019
- 2019-05-09 JP JP2019089286A patent/JP7133763B2/ja active Active
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