JP7127247B2 - 粒子センサ、および粒子濃度を測定する方法 - Google Patents
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- 少なくとも1つの粒子センサ構造が設けられている、気相中の粒子を測定する装置において、流動通路が設けられ、この流動通路を通して気相を案内可能であり、前記粒子センサ構造は前記流動通路を通って流れる気相を測定するために位置決めされた少なくとも1つのセンサを有し、少なくとも1つの前記粒子センサ構造の前記センサはそれぞれ少なくとも1つの温度センサを有する加熱部材として構成され、前記加熱部材の温度が一定に維持可能であり、前記気相中の粒子の濃度に依存する前記加熱部材の温度の変化が測定可能である、装置。
- 前記気相中の前記粒子の濃度を測定する、請求項1に記載の装置。
- 少なくとも1つの前記粒子センサ構造は前記流動通路の領域に位置決めされる、請求項1または2に記載の装置。
- 前記粒子センサ構造の前記センサはそれぞれ少なくとも1つのナノワイヤを有する、請求項1から3のいずれか一項に記載の装置。
- 前記粒子センサ構造の前記センサはアレイとして配置され、前記センサはチップの上に配置される、請求項1から4のいずれか1項に記載の装置。
- 少なくとも1つの流体加速手段が設けられる、請求項1から5のいずれか1項に記載の装置。
- 少なくとも1つの前記流体加速手段は加熱装置として構成され、前記加熱装置は少なくとも1つの加熱部材と温度センサとを有し、少なくとも1つの前記加熱部材はチップの上に配置される、請求項6に記載の装置。
- 少なくとも1つの偏向装置が設けられ、少なくとも1つの前記偏向装置は前記流動通路の領域に位置決めされる、請求項1から7のいずれか1項に記載の装置。
- 少なくとも1つの前記偏向装置は少なくとも1つの前記粒子センサ構造と向かい合うように位置決めされる、請求項8に記載の装置。
- 前記流動通路の第1の開口部は第2の開口部と少なくとも同じ大きさの断面積を有する、請求項1から9のいずれか1項に記載の装置。
- 少なくとも1つの前記粒子センサ構造は少なくとも部分的にコーティングを有する、請求項1から10のいずれか1項に記載の装置。
- 加熱部材を制御するための少なくとも1つの制御ユニットが設けられる、請求項1から11のいずれか1項に記載の装置。
- 請求項1から10のいずれか1項に記載の装置の利用法において、気相中の粒子濃度を測定するための利用法。
- 気 相中の粒子を測定する方法において、粒子を運ぶ気相が流動通路を通るように案内され、前記気相中の前記粒子が少なくとも部分的に、少なくとも1つのセンサを有する少なくとも1つの粒子センサ構造に向かって案内され、前記少なくとも1つのセンサは加熱部材として構成され、前記粒子センサ構造の少なくとも1つの前記センサは一定の出力で加熱され、前記粒子センサ構造の前記少なくとも1つのセンサの温度は前記気相中の粒子の濃度に依存して変化し、少なくとも1つの温度の変化が前記少なくとも1つのセンサを用いて測定される、方法。
- 前記気相中の前記粒子の濃度を測定する、請求項14に記載の方法。
- 少なくとも1つの前記粒子センサ構造の少なくとも1つの前記センサは200℃よりも低い温度に加熱される、請求項14または15に記載の方法。
- 少なくとも1つの加熱装置が少なくとも1つの前記粒子センサ構造よりも高い温度にされる、請求項14から16のいずれか一項に記載の方法。
- 複数のセンサの信号が互いに別々に読み取られる、請求項14から17のいずれか1項に記載の方法。
- 前記粒子センサ構造を洗浄するために前記粒子センサ構造の加熱部材が少なくとも200℃にされる、請求項14から18のいずれか1項に記載の方法。
- 前記気相中の前記粒子が少なくとも部分的に、的確に、前記少なくとも1つの粒子センサ構造に向かって案内される、請求項14から19のいずれか一項に記載の方法。
- 請求項1から12のいずれか一項に記載の装置を用いる、請求項14から20のいずれか一項に記載の方法。
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