JP2020510821A - 粒子センサ、および粒子濃度を測定する方法 - Google Patents
粒子センサ、および粒子濃度を測定する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020510821A JP2020510821A JP2019544063A JP2019544063A JP2020510821A JP 2020510821 A JP2020510821 A JP 2020510821A JP 2019544063 A JP2019544063 A JP 2019544063A JP 2019544063 A JP2019544063 A JP 2019544063A JP 2020510821 A JP2020510821 A JP 2020510821A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particle sensor
- temperature
- sensor structure
- particles
- heating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
- G01N15/0606—Investigating concentration of particle suspensions by collecting particles on a support
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
- G01N15/0255—Investigating particle size or size distribution with mechanical, e.g. inertial, classification, and investigation of sorted collections
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
- G01N2015/0038—Investigating nanoparticles
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
- G01N2015/0042—Investigating dispersion of solids
- G01N2015/0046—Investigating dispersion of solids in gas, e.g. smoke
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
Description
Claims (19)
- 少なくとも1つの粒子センサ構造が設けられている、気相中の粒子を、特にその濃度を測定する装置において、流動通路が設けられ、この流動通路を通して気相を案内可能であり、前記粒子センサ構造は前記流動通路を通って流れる気相を測定するために位置決めされた少なくとも1つのセンサを有する装置。
- 少なくとも1つの前記粒子センサ構造は前記流動通路の領域に、好ましくは前記流動通路の内部および/または表面に位置決めされる、請求項1に記載の装置。
- 少なくとも1つの前記粒子センサ構造の前記センサは加熱部材として、特に少なくとも1つの温度センサを有する、好ましくはそれぞれ温度センサを有する加熱部材として構成される、請求項1または2に記載の装置。
- 前記粒子センサ構造の前記センサはそれぞれ少なくとも1つのナノワイヤを有する、請求項1から3のいずれか1項に記載の装置。
- 前記粒子センサ構造の前記センサはアレイとして、好ましくは線形のアレイとして配置され、前記センサは好ましくはチップの上に配置される、請求項1から4のいずれか1項に記載の装置。
- 少なくとも1つの流体加速手段が設けられる、請求項1から5のいずれか1項に記載の装置。
- 少なくとも1つの前記流体加速手段は加熱装置として構成され、前記加熱装置は少なくとも1つの加熱部材と好ましくは温度センサとを有し、少なくとも1つの前記加熱部材は好ましくはチップの上に配置される、請求項6に記載の装置。
- 少なくとも1つの偏向装置が設けられ、少なくとも1つの前記偏向装置は前記流動通路の領域に、特別に好ましくは前記流動通路の内部および/または表面に位置決めされる、請求項1から7のいずれか1項に記載の装置。
- 少なくとも1つの前記偏向装置は少なくとも1つの前記粒子センサ構造と向かい合うように位置決めされる、請求項8に記載の装置。
- 前記流動通路の第1の開口部は第2の開口部と少なくとも同じ大きさの、特にこれよりも大きい断面積を有する、請求項1から9のいずれか1項に記載の装置。
- 少なくとも1つの前記粒子センサ構造は少なくとも部分的にコーティング、たとえば付着防止コーティングを有する、請求項1から10のいずれか1項に記載の装置。
- 加熱部材を制御するための少なくとも1つの制御ユニットが設けられる、請求項1から11のいずれか1項に記載の装置。
- 請求項1から12のいずれか1項に記載の装置の利用法において、気相中の粒子濃度を測定するための利用法。
- 装置を、特に請求項1から12のいずれか1項に記載の装置を有する、気相中の粒子を、特にその濃度を測定する方法において、特に粒子を運ぶ気相が流動通路を通るように案内され、気相中の粒子が少なくとも部分的に特に的確に、少なくとも1つのセンサを有する少なくとも1つの粒子センサ構造に向かって案内され、少なくとも1つの物理量が、たとえば少なくとも1つの温度の変化および/または振動が少なくとも1つのセンサによって測定される方法。
- 少なくとも1つの前記粒子センサ構造の少なくとも1つの前記センサは200℃よりも低い温度、特に50℃から150℃の間の温度、特別に好ましくは約100℃の温度に加熱される、請求項14に記載の方法。
- 前記粒子センサ構造の少なくとも1つの前記センサは少なくとも部分的に一定の出力で加熱され、もしくは暖められる、請求項14または15に記載の方法。
- 少なくとも1つの加熱装置が少なくとも1つの前記粒子センサ構造よりも高い温度に、たとえば少なくとも200℃に、特に230℃から400℃の範囲内の温度に、好ましくは250℃から350℃の範囲内の温度に、特別に好ましくは約300℃にされる、請求項14から16のいずれか1項に記載の方法。
- 複数のセンサの信号が互いに別々に読み取られる、請求項14から17のいずれか1項に記載の方法。
- 前記粒子センサ構造を洗浄するために前記粒子センサ構造の加熱部材が少なくとも200℃、特に250℃から400℃の範囲内の温度、特別に好ましくは300℃にされる、請求項14から18のいずれか1項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
ATA50204/2017A AT519716B1 (de) | 2017-03-14 | 2017-03-14 | Partikelsensor und Verfahren zur Messung von Partikelkonzentrationen |
ATA50204/2017 | 2017-03-14 | ||
PCT/AT2018/060064 WO2018165689A1 (de) | 2017-03-14 | 2018-03-13 | Partikelsensor und verfahren zur messung von partikelkonzentrationen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020510821A true JP2020510821A (ja) | 2020-04-09 |
JP7127247B2 JP7127247B2 (ja) | 2022-08-31 |
Family
ID=61832224
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019544063A Active JP7127247B2 (ja) | 2017-03-14 | 2018-03-13 | 粒子センサ、および粒子濃度を測定する方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3596445A1 (ja) |
JP (1) | JP7127247B2 (ja) |
KR (1) | KR102492249B1 (ja) |
AT (1) | AT519716B1 (ja) |
WO (1) | WO2018165689A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11047777B2 (en) * | 2017-11-14 | 2021-06-29 | Aerodyne Microsystems Inc. | Thermophoretic particle concentrator |
CN110595971A (zh) * | 2019-10-16 | 2019-12-20 | 恒天益科技(深圳)有限公司 | 一种超低粉尘仪 |
US20210123849A1 (en) * | 2019-10-28 | 2021-04-29 | Navpreet Singh | Methods and devices for mems based particulate matter sensors |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003035651A (ja) * | 2001-07-19 | 2003-02-07 | Kotobuki Giken Kogyo Kk | 粒度測定装置及び粒度測定方法 |
JP2008261820A (ja) * | 2007-04-13 | 2008-10-30 | Toyota Motor Corp | 内燃機関の排気微粒子測定装置に関する。 |
US20130036793A1 (en) * | 2011-08-08 | 2013-02-14 | University Of California | Microfabricated particulate matter monitor |
JP2015218580A (ja) * | 2014-05-14 | 2015-12-07 | 日野自動車株式会社 | Pm検出装置 |
WO2016198321A1 (en) * | 2015-06-12 | 2016-12-15 | Koninklijke Philips N.V. | Particle sensor and particle sensing method |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6123819A (en) * | 1997-11-12 | 2000-09-26 | Protiveris, Inc. | Nanoelectrode arrays |
KR20040054801A (ko) * | 2001-11-26 | 2004-06-25 | 소니 인터내셔널(유로파) 게엠베하 | 실온에 근접한 온도에서 조작 및 제조되는, 1d 반도체재료의 화학 감지 재료로서의 용도 |
US7168292B2 (en) * | 2003-05-15 | 2007-01-30 | The Regents Of The University Of California | Apparatus for particulate matter analysis |
-
2017
- 2017-03-14 AT ATA50204/2017A patent/AT519716B1/de active
-
2018
- 2018-03-13 WO PCT/AT2018/060064 patent/WO2018165689A1/de active Search and Examination
- 2018-03-13 JP JP2019544063A patent/JP7127247B2/ja active Active
- 2018-03-13 KR KR1020197023149A patent/KR102492249B1/ko active IP Right Grant
- 2018-03-13 EP EP18714424.1A patent/EP3596445A1/de active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003035651A (ja) * | 2001-07-19 | 2003-02-07 | Kotobuki Giken Kogyo Kk | 粒度測定装置及び粒度測定方法 |
JP2008261820A (ja) * | 2007-04-13 | 2008-10-30 | Toyota Motor Corp | 内燃機関の排気微粒子測定装置に関する。 |
US20130036793A1 (en) * | 2011-08-08 | 2013-02-14 | University Of California | Microfabricated particulate matter monitor |
JP2015218580A (ja) * | 2014-05-14 | 2015-12-07 | 日野自動車株式会社 | Pm検出装置 |
WO2016198321A1 (en) * | 2015-06-12 | 2016-12-15 | Koninklijke Philips N.V. | Particle sensor and particle sensing method |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
DOINA LUTIC; ET AL: "DETECTION OF SOOT USING A RESISTIVITY SENSOR DEVICE EMPLOYING THERMOPHORETIC PARTICLE DEPOSITION", JOURNAL OF SENSORS, vol. 2010, JPN5020004449, 31 December 2010 (2010-12-31), US, pages 1 - 6, XP055481992, ISSN: 0004624409, DOI: 10.1155/2010/421072 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AT519716B1 (de) | 2019-01-15 |
KR102492249B1 (ko) | 2023-01-27 |
KR20190127679A (ko) | 2019-11-13 |
JP7127247B2 (ja) | 2022-08-31 |
AT519716A1 (de) | 2018-09-15 |
WO2018165689A1 (de) | 2018-09-20 |
EP3596445A1 (de) | 2020-01-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2020510821A (ja) | 粒子センサ、および粒子濃度を測定する方法 | |
US10948392B2 (en) | Airborne particle detection system with thermophoretic scanning | |
Dinh et al. | Graphite on paper as material for sensitive thermoresistive sensors | |
US9772208B2 (en) | Thermal type flowmeter with particle guide member | |
US20080154518A1 (en) | Non-contact condensation detecting method and non-contact condensation detecting apparatus | |
DK2869040T3 (en) | Flow sensor for determining a flow parameter and method for determining same | |
JP4709499B2 (ja) | 熱式の質量流量計 | |
US11841307B2 (en) | Particulate matter sensor | |
CN110873730B (zh) | 用于确定流体的热导率的测量设备 | |
JP4152949B2 (ja) | 液体状のマイクロシステムにおけるインピーダンスの測定方法 | |
US11187715B2 (en) | Multi-component fast-response velocity sensor | |
JP2017067643A (ja) | 流量センサ | |
JP2009128254A (ja) | 不純物濃度センサ、フローセンサおよびこれらを用いた計測・制御システム | |
Leung et al. | Gold nano-particle-based thermal sensors fabricated using microspotting and DEP techniques | |
JP4656136B2 (ja) | センサ用発熱装置、センサ及び加速度センサ | |
US20180052089A1 (en) | Measuring arrangement and method of directing and detecting particles | |
JP2008224496A (ja) | 熱物性測定装置、および熱物性測定方法 | |
JP2006349687A (ja) | 表面汚染を減少するための付加的加熱素子を有する空気質量計 | |
TWI785035B (zh) | 空氣過濾設備及獲得空氣過濾器的狀態資訊之方法 | |
Ghouila-Houri et al. | Wall shear stress and flow direction thermal MEMS sensor for separation detection and flow control applications | |
JP6656021B2 (ja) | 流量センサ | |
US20230160732A1 (en) | Thermoresistive Micro Sensor Device | |
JP2006162423A (ja) | フローセンサ | |
US10704947B2 (en) | Airflow management device including a slanted passage and a branching passage between two plates supported by pillars | |
Búran et al. | Application of the wirebonding technology in the hot wire anemometry |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211015 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211026 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20220121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220328 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220719 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220729 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7127247 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |