JP7121833B2 - 回転機械装置及び直線型機械装置 - Google Patents

回転機械装置及び直線型機械装置 Download PDF

Info

Publication number
JP7121833B2
JP7121833B2 JP2021104368A JP2021104368A JP7121833B2 JP 7121833 B2 JP7121833 B2 JP 7121833B2 JP 2021104368 A JP2021104368 A JP 2021104368A JP 2021104368 A JP2021104368 A JP 2021104368A JP 7121833 B2 JP7121833 B2 JP 7121833B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
output shaft
shaft
controller
rotor
linear
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2021104368A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2022081389A (ja
Inventor
鐘啓聞
朱恩毅
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Delta Electronics Inc
Original Assignee
Delta Electronics Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Delta Electronics Inc filed Critical Delta Electronics Inc
Publication of JP2022081389A publication Critical patent/JP2022081389A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7121833B2 publication Critical patent/JP7121833B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02PCONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P23/00Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by a control method other than vector control
    • H02P23/14Estimation or adaptation of motor parameters, e.g. rotor time constant, flux, speed, current or voltage
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02PCONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P23/00Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by a control method other than vector control
    • H02P23/18Controlling the angular speed together with angular position or phase
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K29/00Motors or generators having non-mechanical commutating devices, e.g. discharge tubes or semiconductor devices
    • H02K29/06Motors or generators having non-mechanical commutating devices, e.g. discharge tubes or semiconductor devices with position sensing devices
    • H02K29/08Motors or generators having non-mechanical commutating devices, e.g. discharge tubes or semiconductor devices with position sensing devices using magnetic effect devices, e.g. Hall-plates, magneto-resistors
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02PCONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P25/00Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details
    • H02P25/02Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details characterised by the kind of motor
    • H02P25/06Linear motors
    • H02P25/064Linear motors of the synchronous type
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02PCONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P6/00Arrangements for controlling synchronous motors or other dynamo-electric motors using electronic commutation dependent on the rotor position; Electronic commutators therefor
    • H02P6/14Electronic commutators
    • H02P6/16Circuit arrangements for detecting position
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02PCONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P6/00Arrangements for controlling synchronous motors or other dynamo-electric motors using electronic commutation dependent on the rotor position; Electronic commutators therefor
    • H02P6/14Electronic commutators
    • H02P6/16Circuit arrangements for detecting position
    • H02P6/17Circuit arrangements for detecting position and for generating speed information

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)

Description

本発明は、回転機械装置及び直線型機械装置に関し、特に、エンコーダーを備えた回転機械装置及び直線型機械装置に関する。
近年、自動化システムの必要性に応じて、機械装置の出力に対する精度要件はますます高くなっている。このため、応力を検出するために、力を付勢する末端に力センサーが設置されることが多い。従来の技術では、応力センサーは弾性体に取り付けられたゲージを使用して力を検出していた。具体的には、弾性体が力で変形した場合、ゲージで変形量を測定し、その後、弾性係数と組み合わせて、力の大きさを計算する。しかし、このようなゲージ設計は、出力線などを配線する必要があり、また、取り付けられた弾性体は末端に接触する必要があるため、適用が制限される。さらに、弾性体では、ゲージを取り付けるためのスペースを増やす必要があるため、ゲージの取り付け作業は煩雑であり、且つ、設計が複雑になり、製造コストが高いという問題がある。
したがって、従来技術の機械装置の欠点を解決する方法の開発は重要である。
本発明は、回転機械装置及び直線型機械装置を提供することを目的としている。前記回転機械装置及び直線型機械装置は、弾性体及びエンコーダーを設置することによって、出力軸の受力を感知することができ、構造設計は簡単であり、製造コストも低減できる。従来の貼り付け型ケージによる力検出方法と比較して、本発明の弾性体及びエンコーダーを設置するときに必要なスペースが小さい。
上記の目的を達成するために、本発明は、外部物体と接触するように用いられる回転機械装置を提供する。前記回転機械装置は、回転モーターと第1エンコーダーと固定ハウジングと固定軸と出力軸と第2エンコーダーとを備える。回転モーターは、モーターハウジングと動力シャフトとを備える。モーターハウジングは、固定子と回転子とを備え、且つ、動力シャフトが接続部を有する。固定子が回転子に接続され、動力シャフトがモーターハウジングに設置され、且つ、回転子に接続される。回転子が回転角度を回転する同時に、前記回転子が動力シャフトを駆動して力印加角度に回転させる。第1エンコーダーは、固定子に接続され且つ回転子の回転角度を検出するように、モーターハウジングに設置される。固定ハウジングは、モーターハウジングに接続され且つ動力シャフトを取り囲む。固定軸は収容孔を備え、固定軸が固定ハウジングに接続され且つ動力シャフトに対応するように設置されている。出力軸は弾性体を備え、出力軸が収容孔を貫通し、弾性体が出力軸を貫通し、弾性体の端部が動力シャフトの接続部に接続される。第2エンコーダーは、コードホイルとセンサーとを備え、コードホイルが動力シャフトに設置され且つ接続部を取り囲み、センサーが固定軸に設置される。センサーは、コードホイルに対して空間的に対向する。センサーは、コードホイルを介して動力シャフトの力印加角度を検出する。
上記の目的を達成するために、本発明は、外部物体と接触するように用いられる回転機械装置を提供する。回転機械装置は、回転モーターと第1エンコーダーと動力伝達装置と動力シャフトと固定ハウジングと固定軸と出力軸と第2エンコーダーとを備える。回転モーターは、回転角度を回転して、第1トルクを提供する。第1エンコーダーは、回転モーターの回転角度を検出する。動力伝達装置は、回転モーターに接続され、動力伝達装置は、第1トルクを増加して第2トルクを生成する。動力シャフトは接続部を備え、動力シャフトが動力伝達装置の筐体に設置され、動力伝達装置の第2トルクによって、動力シャフトを力印加角度に回転させる。固定ハウジングは、動力伝達装置の筐体に接続され且つ動力シャフトを取り囲む。固定軸は収容孔を備え、固定軸が固定ハウジングに接続され且つ動力シャフトに対応する。出力軸は弾性体を備え、出力軸が収容孔を貫通し、弾性体が出力軸を貫通し、弾性体の端部は動力シャフトの接続部に接続される。第2エンコーダーは、コードホイルとセンサーとを備え、コードホイルが動力シャフトに設置され且つ接続部を取り囲み、センサーが固定軸に設置される。センサーは、コードホイルに対して空間的に対向し、センサーは、コードホイルを介して動力シャフトの力印加角度を検出する。
上記の目的を達成するために、本発明は、外部物体と接触するように用いられる直線型機械装置を提供する。直線型機械装置は、直線型モーターと支持台と第1エンコーダーと弾性部材と出力軸と第2エンコーダーとを備える。直線型モーターは、固定子筐体と回転子筐体とを備え、固定子筐体が回転子筐体の第1側に接続される。回転子筐体は線形回転子と付勢ユニットとを備え、付勢ユニットが回転子筐体の第2側に接続され、第1側が第2側に垂直するように接続される。回転子筐体の第3側の一部が、支持台の平面に直接取り付けられ、付勢ユニットは、支持台の平面に接触しない。線形回転子が直線変位に移動する時、線形回転子が付勢ユニットを駆動して直線変位に移動させ、直線変位が支持台の平面に垂直し、第3側が第2側に垂直するように接続され、第3側が第1側に対向する。第1エンコーダーは、線形回転子の直線変位を検出するように、固定子筐体に接続される。弾性部材の第1端部が付勢ユニットに接続され、出力軸の第1端部が弾性部材の第2端部に接続される。第2エンコーダーはヤードスティックとセンサーとを備え、ヤードスティックが出力軸に設置され、センサーが支持台の側面に設置される。センサーは、ヤードスティックに対して空間的に対向し、センサーは、ヤードスティックを介して出力軸の変位を検出する。
本発明の第1実施形態における回転機械装置の断面図である。 本発明の第1実施形態における回転機械装置の構造概念図である。 本発明の第2実施形態における回転機械装置の断面図である。 本発明の第2実施形態における回転機械装置の構造概念図である。 本発明の第3実施形態における直線型機械装置の断面図である。 本発明の第3実施形態における直線型機械装置の構造概念図である。 図3Aに示す直線型機械装置の局在部及びワークの断面図である。 図3Aに示す直線型機械装置の直線型モーターの速度と電流の波形図である。
本発明の特徴および利点を具体化するいくつかの典型的な実施形態を、以下の説明で詳細に説明する。なお、本発明の実施形態にさまざまな変更を加えることが可能であるが、そのすべてが本発明の請求の範囲から逸脱していない。また、以下の説明及び図は、実施形態を説明することを目的とし、限定するものではないことを理解されたい。
図1Aは、本発明の第1実施形態における回転機械装置100の断面図であり、図1Bは、本発明の第1実施形態における回転機械装置のダイアグラム図である。第1実施形態では、図1A及び図1Bに示すように、回転機械装置100の出力軸15は、外部物体(図示せず)と接触(接続)するように用いられている。回転機械装置100は、回転モーター11、第1エンコーダー12、固定ハウジング13、固定軸14、出力軸15、及び第2エンコーダー16を備える。回転モーター11は、モーターハウジング111及び動力シャフト112を備え、モーターハウジング111は、固定子(図示せず)及び回転子(図示せず)を備え、動力シャフト112は、接続部113を有する。固定子が回転子に接続され、動力シャフト112は、モーターハウジング111に設置され、且つ回転子に接続している。回転子が回転角度回転するとき、動力シャフト112は、回転子によって駆動され、力印加角度に回転する。第1エンコーダー12は、モーターハウジング111に設置され、且つ固定子に接続している。第1エンコーダー12は、回転子の回転角度を検出する。固定ハウジング13は、モーターハウジング111に接続され、且つ動力シャフト112を取り囲むように設けられている。固定軸14は、収容孔141を備え、また、固定軸14は、固定ハウジング13に接続され、且つ動力シャフト112に対応するように設けられている。出力軸15は、弾性体151を備え、出力軸15は、収容孔141を貫通する。弾性体151は、出力軸15を貫通し、且つ弾性体151の端部が動力シャフト112の接続部113に接続されている。弾性体151は、出力軸15と一体成形されるか、又は、堅固に接続されるか(剛結合された構造、rigidly connected structure)のいずれか1つであるが、これには限定されない。第2エンコーダー16は、コードホイル161及びセンサー162を備える。コードホイル161は、動力シャフト112に設置され、且つ接続部113を取り囲む。センサー162は、固定軸14に設置されている。センサー162は、コードホイル161に対して空間的に対向している。センサー162は、コードホイル161によって、動力シャフト112の力印加角度を検出する。第1エンコーダー12及び第2エンコーダー16は、光学エンコーダー又は磁気エンコーダーであるが、これには限定されない。出力軸15が外部物体に接触しない場合、回転子の駆動によって、動力シャフト112が力印加角度まで回転すると、動力シャフト112は、弾性体151を介して、出力軸15を力印加角度に回転させる。出力軸15が外部物体に接触して固定された場合、接続部113に接続される弾性体151の端部は、動力シャフト112の力印加角度を停止角度まで減少させる。
ある実施形態では、回転機械装置100は制御器150を更に備える。制御器150は、回転モーター11のモーター電流を検出する。回転機械装置100の制御器150は、第1エンコーダー12と第2エンコーダー16とに電気的に接続される。それによって、第1エンコーダー12は、モーターハウジング111における回転子の回転角度を検出して制御器150に第1位置信号S11を出力し、制御器150は、第1位置信号S11に基づいて、回転子の角加速度を計算する。第2エンコーダー16のセンサー162は、力印加角度又は停止角度を検出して制御器150に第2位置信号S12又は第3位置信号S13を出力する。
具体的には、出力軸15が外部物体に接触しない場合、動力シャフト112の回転は、接続部113に接続されている弾性体151の端部によって制限されない。したがって、モーターハウジング111の回転子がある回転角度を回転すると、回転子は、動力シャフト112を駆動して力印加角度だけ回転させることができる。このとき、センサー162は、力印加角度を感知して第2位置信号S12を出力する。出力軸15が外部物体に接続した場合、動力シャフト112の回転が接続部113に接続されている弾性体151の端部によって制限されるので、仮に、モーターハウジング111の回転子が回転角度に回転しても、回転子が動力シャフト112を停止角度しか回転させないように駆動でき、もはや動力シャフト112は回転子と共に回転しないこととなる。このとき、センサー162は停止角度を感知して第3位置信号S13を出力する。
制御器150は、角加速度がモーター電流に比例して変化することを判断した場合、制御器150は、出力軸15が外部物体と接触していないことを認定し、且つ、第2位置信号S12を動力シャフト112の開始位置として記録する。より具体的には、出力軸15が外部物体と接触しない時、モーター電流の変化が角加速度を作用するので、回転子の角加速度は、モーター電流の増加に従って増加し、又はモーター電流の減少に従って減少する。言い換えれば、角加速度は、モーター電流に比例する。制御器150は、モーター電流が上昇し角加速度が上昇しないことを判断した場合、出力軸15が外力に影響されていることが分かるので、制御器150は、出力軸15が外部物体と接触していることを確定し、且つ、第3位置信号S13を動力シャフト112の停止位置として記録する。制御器150は、開始位置と停止位置との間の差に基づいて出力軸15のトルク値を計算し、ここで、出力軸15のトルク値は、弾性体151の弾性係数と、開始位置と停止位置との間の差との積に等しい。なお、弾性体151の弾性係数が制御器150に予めに設定されても良い。制御器150は、トルク値が安全閾値よりも大きいと判断した場合、回転子の回転角度を減少させるか、又は回転モーター11の動作を停止させるかを行う。これによって、外部物体が回転機械装置100の過度の力によって損傷されることを防ぐことができる。ある実施形態では、外部物体がチップ、集積回路、ウェーハなどである。本発明はこれに限定されない。
このように、弾性体151及びエンコーダー(12、16)を設置することにより、出力軸15の受力を感知することができ、構造設計がより簡単であり、製造コストも低減し、従来の貼り付け型ケージと比較して、本発明の弾性体151及びエンコーダー(12、16)の設置スペースが少ない。また、第2エンコーダー16のコードホイル161及びセンサー162は、それぞれ動力シャフト112及び固定軸14上に配置され、且つセンサー162のみが制御器150への出力線を有するので、動力シャフト112は、出力線に制限されることなく回転できる。
出力軸15と外部物体との間の距離が所定値よりも大きい場合、モーター電流及び角加速度を無制限に任意に変更することができる。出力軸15と外部物体との間の距離が所定値より小さい場合、出力軸15は、外部物体と接触する準備ができており、モーター電流及び角加速度は、小さな特定の範囲内に制限されている。
ある実施形態では、コードホイル161の外径は、弾性体151の外径よりも大きいので、弾性体151の変形量を増加する効果を奏する。これは、変形量を感知するのに便利であり、従来の貼り付け型のケージと比較して、本発明は、同じ変形条件下でより良い構造剛性を有する。
図2Aは、本発明の第2実施形態における回転機械装置200の断面図である。図2Bは、本発明の第2実施形態における回転機械装置の構造概念図である。第2実施形態では、図2A及び図2Bに示すように、回転機械装置200は、外部物体(図示せず)と接触するように用いられている。回転機械装置200は、回転モーター21、第1エンコーダー22、動力伝達装置23、動力シャフト24、固定ハウジング25、固定軸26、出力軸27、及び第2エンコーダー28を備える。回転モーター21は、回転角度を回転して、第1トルクを提供する。第1エンコーダー22は、回転モーター21の回転角度を検出する。動力伝達装置23は、回転モーター21に接続され、第1トルクを増加させて第2トルクを発生する。動力伝達装置23は、低減比率に従って、角加速度を減少し、トルクを増大させる。動力シャフト24は接続部241を備え、動力シャフト24が動力伝達装置23の筐体に配置され、動力伝達装置23によって生成された第2トルクは、動力シャフト24を駆動して、力印加角度に回転させる。固定ハウジング25が動力伝達装置23の筐体に接続され、且つ、動力シャフト24を取り囲んでいる。固定軸26は収容孔261を備え、固定軸26が固定ハウジング25に接続され且つ動力シャフト24に対応するように設けられている。出力軸27は弾性体271を備え、出力軸27が収容孔261を貫通する。弾性体271は、出力軸27を貫通し、弾性体271の端部が動力シャフト24の接続部に接続されている。弾性体271は出力軸27と一体的に形成されるか、又は堅固に接続され得るかのいずれか1つの形式であるが、これには限定されない。第2エンコーダー28は、コードホイル281とセンサー282とを備える。コードホイル281が動力シャフト24に設置され、且つ接続部241を取り囲んでいる。センサー282が固定軸26に設置されている。センサー282は、コードホイル281に対して空間的に対向しており、センサー282は、コードホイル281を介して動力シャフト24の力印加角度を検出する。第1エンコーダー22及び第2エンコーダー28は、光学エンコーダー又は磁気エンコーダーであるが、これらに限定されない。出力軸27が外部物体と接触しない時、動力シャフト24が弾性体271を介して出力軸27を駆動して力印加角度に回転させる。出力軸27が外部物体と接触して固定される場合、弾性体271の端部は、動力シャフト24の力印加角度を停止角度まで減少させる。
ある実施形態では、動力伝達装置23が減速機であるが、本発明はこれに限定されない。当業者は、減速機がモーターのトルク値を増加させるのに的していることを容易に理解できるので、本説明では、動力伝達装置23の動作原理に関する詳細な説明は省略する。
ある実施形態では、回転機械装置200は制御器250を更に備える。制御器250は、回転モーター21のモーター電流を検出するように用いられている。第1エンコーダー22は、回転モーター21の回転角度を検出して、制御器250に第1位置信号S21を出力し、制御器250は、第1位置信号S21に基づいて回転モーター21の角加速度を計算する。第2エンコーダー28のセンサー282は、力印加角度又は停止角度を検出して、第2位置信号S22又は第3位置信号S23を制御器250に出力する。制御器250は、角加速度がモーター電流に比例して変化することを判断すると、制御器250では、出力軸27が外部物体と接触しないことを確定し、且つ、第2位置信号S22を動力シャフト24の開始位置として記録する。制御器250は、モーター電流が上昇し角加速度が上昇しないことを判断した場合、出力軸27が外力に影響されていることが分かるので、制御器250は、出力軸27が外部物体と背職していることを確定し、且つ、第3位置信号S23を動力シャフト24の停止位置として記録する。制御器250は、開始位置と停止位置との間の差に基づいて出力軸27のトルク値を計算する。ここで、出力軸27のトルク値は、弾性体271の弾性係数と、開始位置と停止位置との間の差との積に等しい。なお、弾性体271の弾性係数が制御器250に予めに設定されても良い。制御器250は、トルク値が安全閾値よりも大きいと判断した場合、制御器250は、回転モーター21の回転角度を減少させるか、又は回転モーター21の動作を定時させるかを行う。これによって、外部物体が回転機械装置200の過度の力によって損傷されることを防ぐことができる。
このように、弾性体271及びエンコーダー(22、28)を設置することによって、出力軸27の受力を感知することができ、構造設計がより簡単であり、製造コストも低減し、従来の貼り付け型ケージと比較して、本発明の弾性体271及びエンコーダー(22、28)の設置スペースが少ない。また、第2エンコーダー28のコードホイル281及びセンサー282は、それぞれ動力シャフト24と固定軸26上に配置され、且つセンサー282のみが出力線を有するので、動力シャフト24は、出力線に制限されることなく回転できる。
出力軸27と外部物体との間の距離が所定値よりも大きい場合、モーター電流及び角加速度を無制限に任意に変更することができる。出力軸27と外部物体との間の距離が所定値よりも小さい場合、出力軸27は、外部物体と接触する準備ができており、モーター電流及び角加速度は、比較的に小さな特定の範囲内に制限されている。
ある実施形態では、コードホイル281の外径は、弾性体271の外径よりも大きいので、弾性体271の変形量を増加する効果を奏する。これは、変形量を感知するのに便利であり、従来の貼り付け型のケージと比較して、本発明は、同じ変形条件下でより良い構造剛性を有する。
回転機械装置200と回転機械装置100との違いは、動力伝達装置23の存在下または非存在下のみである。制御器に出力軸のトルク値を計算する原理は同じであるため、ここでは詳細を省略する。
図3Aは、本発明の第3実施形態における直線型機械装置300の断面図である。図3Bは、本発明の第3実施形態における直線型機械装置の構造概念図である。第3実施形態では、図3A及び図3Bに示すように、直線型機械装置300は、外部物体(図示せず)と接触するように用いられている。直線型機械装置300は、直線型モーター31、支持台32、第1エンコーダー33、弾性部材34、出力軸35、及び第2エンコーダー36を備える。直線型モーター31は、固定子筐体311及び回転子筐体312を備え、固定子筐体311が回転子筐体312の第1側312aに接続されている。回転子筐体312は、線形回転子313及び付勢ユニット314を備え、付勢ユニット314が回転子筐体312の第2側312bに設置され、回転子筐体312の第1側312aは、回転子筐体312の第2側312bに対して空間的に垂直するように接続されている。回転子筐体312の第3側312cの一部は、支持台32の片面に直接取り付けられ(貼り付けられ)、回転子筐体312の第3側312cは、回転子筐体312の第1側312aに対して空間的に対向しており、且つ回転子筐体312の第2側312bに垂直するように接続されている。付勢ユニット314は、支持台32の当該平面と接続していない。線形回転子313が直線変位に移動する時、線形回転子313が付勢ユニット314を駆動して直線変位に移動する。ここでは、当該直線変位が支持台32の当該平面に垂直である。第1エンコーダー33が固定子筐体311に接続され、線形回転子313の直線変位を検出する。第1エンコーダー33は、ヤードスティック331及びセンサー332を備える。弾性部材34の第1端部が付勢ユニット314に接続され、出力軸35の第1端部が弾性部材34の第2端部に接続されている。弾性部材34は、出力軸35と一体成形されるか、又は、堅固に接続されるか(剛結合された構造、rigidly connected structure)のいずれか1つであるが、これには限定されない。第2エンコーダー36は、ヤードスティック361及びセンサー362を備え、ヤードスティック361が出力軸35に設置され、センサー362が支持台32の一つの側面に設置され、センサー362は、ヤードスティック361に対して空間的に対向しており、センサー362は、ヤードスティック361を介して、出力軸35の変位を検出する。第1エンコーダー33及び第2エンコーダー36は、光学エンコーダー又は磁気エンコーダーであるが、これらに限定されない。直線型モーター31の構造を理解するために、図3Aでは、コイル37、磁石38及びコイル組支持台39の位置も示している。出力軸35の第2端部が外部物体と接触していない時、付勢ユニット314は、弾性部材34を介して、出力軸35を駆動して出力変位に移動する。出力軸35の第2端部が外部物体と接触している時、弾性部材34が出力軸35の出力変位を停止変位に減少させる。
ある実施形態では、直線型機械装置300は制御器350を更に備える。制御器350は、直線型モーター31のモーター電流を検出するように用いられている。第1エンコーダー33は、線形回転子313の直線変位を検出して、制御器350に第1位置信号S31を出力し、制御器350は、第1位置信号S31を従って線形回転子313の加速度を計算する。第2エンコーダー36のセンサー362は、出力変位又は停止変位を検出して、第2位置信号S32又は第3位置信号S33を制御器350に出力する。制御器350では、加速度がモーター電流に比例して変化することを判断すると、制御器350は、出力軸35が外部物体と接触していないことを認定し、第2位置信号S32を出力軸35の開始位置として記録する。モーター電流が増加し加速度が増加していないことを判断した場合、制御器350は、出力軸35が外力の影響を受けていることを識別し、制御器350は、出力軸35が外部物体と接触することを判断し、第3位置信号S33を出力軸35の停止位置として記録する。制御器350は、開始位置と停止位置との間の差に基づいて出力軸35の出力値を計算する。出力軸35の出力値は、弾性部材34の弾性係数と、開始位置と停止位置との差との積に等しい。ここでの弾性部材34の弾性係数は、制御器350に予め設定することができる。制御器350では、出力値が安全閾値よりも大きいと判断した場合、制御器350は、線形回転子313の直線変位を減少させるか、又は直線型モーター31を停止させることで、直線型機械装置300の過度の力による外部物体への損傷を防ぐことができる。
このように、弾性部材34及びエンコーダー(33、36)を設置することによって、出力軸35の受力を感知することができ、構造設計がより簡単であり、製造コストも低減し、従来の貼り付け型ケージと比較して、本発明の弾性部材34及びエンコーダー(33、36)の設置スペースが少ない。また、第2エンコーダー36のヤードスティック361及びセンサー362は、それぞれ出力軸35及び支持台32条に配置され、且つ、センサー362のみが出力線を有するので、出力軸35は、出力線に制限されることなく移動できる。
出力軸35と外部物体との間の距離が所定値よりも大きい場合、モーター電流及び加速度を無制限に任意に変更することができる。出力軸35と外部物体との間の距離が所定値よりも小さい場合、出力軸35は、外部物体と接触する準備ができており、モーター電流及び加速度は、比較的に小さな特定の範囲内に制限されている。
プレス作業に適用する機械として、第3実施形態の直線型機械装置を説明する。図4及び図5に示すように、図4における出力軸35は、プレス治具であるが、これらに限定されない。図5では、実線及び破線で直線型モーター31の速度及び電流を示している。時間t0~時間t1の間、出力軸35と外部物体4との間の距離dが所定値Dよりも大きく、直線型モーター31が高速移動領域にある。当該距離dが所定値Dよりも遥かに大きい場合、直線型モーター31の速度を上げて出力軸35を駆動して外部物体4に迅速に接近させることができ、当該距離dが所定値Dに近づくにつれて、直線型モーター31の速度も徐々に低下する。時間t1~時間t2の間、出力軸35と外部物体4との間の距離が所定値よりも小さく、直線型モーター31が低速限界領域にあり、直線型モーター31の電流及び速度が小さく且つ変化幅も小さい。時間t2のとき、出力軸35が外部物体4と接触し始め、直線型モーター31の電流が上昇し、直線型モーター31の速度が変化しないままである。時間t2~時間t3の間、出力軸35はプレス動作を行い、直線型モーター31の電流及び速度が変化しないままであるため、直線型モーター31の加速度がゼロのままである。この期間中、制御器350は、出力値が安全閾値よりも大きいと判断すると、直線型モーター31の動作を停止させる。
ある実施形態では、弾性体151、弾性体271、及び弾性部材34を作製する材料は、展延性を有する材料であり、例えば、金属(金、銀、プラチナ、鉄、ニッケル、銅、アルミニウム、亜鉛又は錫などを含む)、合金、又はゴム類材料である。なお、本願発明はこれらの材料に限定されない。
以上のように、本発明は、回転機械装置(100、200)及び直線型機械装置300を提供しており、弾性体及びエンコーダーを設置することによって、出力軸の受力を感知することができる。また、構造設計は簡単であり、製造コストも低く、ケージなどの部材を取り付ける従来の力検出方法と比較して、本発明の弾性体及びエンコーダーは、設置に必要なスペースが比較的に小さい。また、第2エンコーダーのコードホイル及びセンサーは、出力軸と固定軸とにそれぞれ設置しているので、且つセンサーの出力用電線しかないため、出力軸の回転及び移動が出力用電線によって制限されない。
本発明の回転機械装置(100、200)及び直線型機械装置300では、弾性体(弾性部材とも呼ばれる)は、出力軸と接触する外部物体に近接するように設計されているので、本発明の第2エンコーダー(16、28、36)は、出力軸のトルク値をより正確に測定することができる。従来の弾性体(弾性部材とも呼ばれる)が出力軸と接触する外部物体から離れるように設計されているので、本発明と比較して、精度は低い。
なお、当業者は、制御器150、250及び350を回転機械装置100、200及び直線型機械装置300にそれぞれ容易に設置することができる。本発明の説明では、図面を簡単にするために、ダイアグラム図で制御器150、250及び350を示してが、制御器150、250及び350が回転機械装置100、200及び直線型機械装置300に設けられた位置を示していない。
また、上述の説明は、本発明を説明するための好ましい実施形態にすぎず、発明は、記載された実施形態に限定されないことに留意されたい。発明の範囲は、添付の特許請求の範囲によって定めている。また、本願発明は、当業者によりさまざまな方法で変更でき、その変更のいずれも特許請求の範囲から逸脱しないことを留意されたい。
100:回転機械装置
11:回転モーター
111:モーターハウジング
112:動力シャフト
113:接続部
12:第1エンコーダー
13:固定ハウジング
14:固定軸
141:収容孔
15:出力軸
151:弾性体
16:第2エンコーダー
161:コードホイル
162:センサー
150:制御器
S11:第1位置信号
S12:第2位置信号
S13:第3位置信号
200:回転機械装置
21:回転モーター
22:第1エンコーダー
23:動力伝達装置
24:動力シャフト
241:接続部
25:固定ハウジング
26:固定軸
261:収容孔
27:出力軸
271:弾性体
28:第2エンコーダー
281:コードホイル
282:センサー
250:制御器
S21:第1位置信号
S22:第2位置信号
S23:第3位置信号
300:直線型機械装置
31:直線型モーター
311:固定子筐体
312:回転子筐体
312a:第1側
312b:第2側
312c:第3側
313:線形回転子
314:付勢ユニット
32:支持台
33:第1エンコーダー
331:ヤードスティック
332:センサー
34:弾性部材
35:出力軸
36:第2エンコーダー
361:ヤードスティック
362:センサー
37:コイル
38:磁石
39:コイル組支持台
350:制御器
S31:第1位置信号
S32:第2位置信号
S33:第3位置信号
4:外部物体
d:距離
D:所定値
t0、t1、t2、t3:時間

Claims (15)

  1. 外部物体と接触するように用いられる回転機械装置であって、前記回転機械装置は、回転モーターと第1エンコーダーと固定ハウジングと固定軸と出力軸と第2エンコーダーとを備え、
    前記回転モーターは、モーターハウジングと動力シャフトとを備え、前記モーターハウジングは、固定子と回転子とを備え、前記動力シャフトが接続部を有し、前記固定子が前記回転子に接続され、前記動力シャフトが前記モーターハウジングに設置され、且つ、前記回転子に接続され、前記回転子が回転角度を回転する同時に、前記回転子が前記動力シャフトを駆動して力印加角度に回転させ、
    前記第1エンコーダーは、前記固定子に接続され且つ前記回転子の前記回転角度を検出するように、前記モーターハウジングに設置され、
    前記固定ハウジングは、前記モーターハウジングに接続され且つ前記動力シャフトを取り囲み、
    前記固定軸は収容孔を備え、前記固定軸が前記固定ハウジングに接続され且つ前記動力シャフトに対応し、
    前記出力軸は弾性体を備え、前記出力軸が前記収容孔を貫通し、前記弾性体が前記出力軸を貫通し、前記弾性体の端部が前記動力シャフトの前記接続部に接続され、
    前記第2エンコーダーは、コードホイルとセンサーとを備え、前記コードホイルが前記動力シャフトに設置され且つ前記接続部を取り囲み、前記センサーが前記固定軸に設置され、前記センサーは、前記コードホイルに対して空間的に対向し、前記センサーは、前記コードホイルを介して前記動力シャフトの前記力印加角度を検出する、ことを特徴とする回転機械装置。
  2. 前記出力軸が前記外部物体と接触しない場合、前記動力シャフトは、前記弾性体を介して、前記出力軸を前記力印加角度に回転させ、前記出力軸が前記外部物体と接触して固定される場合、前記弾性体の前記端部が前記動力シャフトの前記力印加角度を停止角度に減少させる、ことを特徴とする請求項1に記載の回転機械装置。
  3. 制御器をさらに備え、前記制御器は、前記回転モーターのモーター電流を検出するように用いられ、
    前記第1エンコーダーは、前記回転子の前記回転角度を検出して、前記制御器に第1位置信号を出力し、前記制御器は、前記第1位置信号に基づいて前記回転子の角加速度を計算し、
    前記第2エンコーダーの前記センサーは、前記力印加角度又は前記停止角度を検出し、前記制御器に第2位置信号又は第3位置信号を出力する、ことを特徴とする請求項2に記載の回転機械装置。
  4. 前記制御器は、前記角加速度が前記モーター電流に比例して変化することを判断した場合、前記制御器は、前記出力軸が前記外部物体と接触しないことを認定し、且つ前記第2位置信号を前記動力シャフトの開始位置として記録する、ことを特徴とする請求項3に記載の回転機械装置。
  5. 前記制御器は、前記モーター電流が上昇し且つ前記角加速度が上昇していないことを判断した場合、前記制御器は、前記出力軸が前記外部物体と接触しないことを認定し、且つ前記第3位置信号を前記動力シャフトの停止位置として記録し、前記制御器は、前記開始位置と前記停止位置との差に基づいて前記出力軸のトルク値を計算し、前記制御器は、前記トルク値が安全閾値よりも大きいと判断した場合、前記制御器が前記回転子の前記回転角度を減少させるか、又は、前記回転モーターの動作を停止させる、ことを特徴とする請求項4に記載の回転機械装置。
  6. 外部物体と接触するように用いられる回転機械装置であって、前記回転機械装置は、回転モーターと第1エンコーダーと動力伝達装置と動力シャフトと固定ハウジングと固定軸と出力軸と第2エンコーダーとを備え、
    前記回転モーターは、回転角度を回転して、第1トルクを提供し、
    前記第1エンコーダーは、前記回転モーターの前記回転角度を検出し、
    前記動力伝達装置は、前記回転モーターに接続され、前記動力伝達装置は、前記第1トルクを増加して第2トルクを生成し、
    前記動力シャフトは接続部を備え、前記動力シャフトが前記動力伝達装置の筐体に設置され、前記動力伝達装置の前記第2トルクによって、前記動力シャフトを力印加角度に回転させ、
    前記固定ハウジングは、前記動力伝達装置の前記筐体に接続され且つ前記動力シャフトを取り囲み、
    前記固定軸は収容孔を備え、前記固定軸が前記固定ハウジングに接続され且つ前記動力シャフトに対応し、
    前記出力軸は弾性体を備え、前記出力軸が前記収容孔を貫通し、前記弾性体が前記出力軸を貫通し、前記弾性体の端部は前記動力シャフトの前記接続部に接続され、
    前記第2エンコーダーは、コードホイルとセンサーとを備え、前記コードホイルが前記動力シャフトに設置され且つ前記接続部を取り囲み、前記センサーが前記固定軸に設置され、前記センサーは、前記コードホイルに対して空間的に対向し、前記センサーは、前記コードホイルを介して前記動力シャフトの前記力印加角度を検出する、ことを特徴とする回転機械装置。
  7. 前記出力軸が前記外部物体と接触しない場合、前記動力シャフトは、前記弾性体を介して前記出力軸を前記力印加角度に回転させ、前記出力軸が前記外部物体と接触して固定される場合、前記弾性体の前記端部が前記動力シャフトの前記力印加角度を停止角度に減少させる、ことを特徴とする請求項6に記載の回転機械装置。
  8. 制御器を更に備え、前記制御器は、前記回転モーターのモーター電流を検出するように用いられ、
    前記第1エンコーダーは、前記回転モーターの前記回転角度を検出して、前記制御器に第1位置信号を出力し、前記制御器は、前記第1位置信号に基づいて、前記回転モーターの角加速度を計算し、
    前記第2エンコーダーの前記センサーは、前記力印加角度又は前記停止角度を検出して、前記制御器に第2位置信号又は第3位置信号を出力する、ことを特徴とする請求項7に記載の回転機械装置。
  9. 前記制御器は、前記角加速度が前記モーター電流に比例して変化することを判断した場合、前記制御器は、前記出力軸が前記外部物体と接触していないことに判断し、且つ、前記第2位置信号を前記動力シャフトの開始位置として記録する、ことを特徴とする請求項8に記載の回転機械装置。
  10. 前記制御器は、前記モーター電流が上昇し且つ前記角加速度が上昇していないことを判断した場合、前記制御器は、前記出力軸が前記外部物体と接触していることに判断し、且つ、前記第3位置信号を動力シャフトの停止位置として記録し、前記制御器は、前記開始位置と前記停止位置との差に基づいて出力軸のトルク値を計算する、ことを特徴とする請求項9に記載の回転機械装置。
  11. 前記コードホイルの外径が前記弾性体の外径よりも大きく、前記弾性体は、前記出力軸と一体成形されるか、又は、堅固に接続される、ことを特徴とする請求項6に記載の回転機械装置。
  12. 外部物体と接触するように用いられる直線型機械装置であって、前記直線型機械装置は、直線型モーターと支持台と第1エンコーダーと弾性部材と出力軸と第2エンコーダーとを備え、
    前記直線型モーターは、固定子筐体と回転子筐体とを備え、前記固定子筐体が前記回転子筐体の第1側に接続され、前記回転子筐体は線形回転子と付勢ユニットとを備え、前記付勢ユニットが前記回転子筐体の第2側に接続され、前記第1側が前記第2側に垂直するように接続し、
    前記回転子筐体の第3側の一部が、前記支持台の平面に直接取り付けられ、前記付勢ユニットは、前記支持台の前記平面に接触せず、前記線形回転子が直線変位に移動する時、前記線形回転子が前記付勢ユニットを駆動して前記直線変位に移動させ、前記直線変位が前記支持台の前記平面に垂直し、前記第3側が前記第2側に垂直するように接続され、前記第3側が前記第1側に対向し、
    前記第1エンコーダーは、前記線形回転子の前記直線変位を検出するように、前記固定子筐体に接続され、
    前記弾性部材の第1端部が前記付勢ユニットに接続され、
    前記出力軸の第1端部が前記弾性部材の第2端部に接続され、
    前記第2エンコーダーはヤードスティックとセンサーとを備え、前記ヤードスティックが前記出力軸に設置され、前記センサーが前記支持台の側面に設置され、前記センサーは、前記ヤードスティックに対して空間的に対向し、前記センサーは、前記ヤードスティックを介して前記出力軸の変位を検出する、ことを特徴とする直線型機械装置。
  13. 前記出力軸の第2端部が前記外部物体と接触しない時、前記付勢ユニットは、前記弾性部材を介して前記出力軸を駆動して出力変位に移動させ、前記出力軸の前記第2端部が前記外部物体と接触する時、前記弾性部材が前記出力軸の出力変位を停止変位に減少させる、ことを特徴とする請求項12に記載の直線型機械装置。
  14. 制御器を更に備え、前記制御器は、前記直線型モーターのモーター電流を検出するように用いられ、
    前記第1エンコーダーは、前記線形回転子の前記直線変位を検出して、前記制御器に第1位置信号を出力し、前記制御器は、前記第1位置信号に基づいて前記線形回転子の加速度を計算し、
    前記第2エンコーダーの前記センサーは、前記出力変位又は前記停止変位を検出して、前記制御器に第2位置信号又は第3位置信号を出力する、ことを特徴とする請求項13に記載の直線型機械装置。
  15. 前記制御器は、前記加速度が前記モーター電流に比例して変化することを判断した場合、前記制御器は、前記出力軸が前記外部物体と接触していないことに判断し、且つ、前記第2位置信号を前記出力軸の開始位置として記録し、前記制御器は、前記モーター電流が上昇し且つ前記加速度が上昇しないことを判断した場合、前記制御器は、前記出力軸が前記外部物体と接触していることに判断し、且つ前記第3位置信号を前記出力軸の停止位置として記録し、前記制御器は、前記開始位置と前記停止位置との差に基づいて前記出力軸の出力値を計算する、ことを特徴とする請求項14に記載の直線型機械装置。
JP2021104368A 2020-11-19 2021-06-23 回転機械装置及び直線型機械装置 Active JP7121833B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011304559.5 2020-11-19
CN202011304559.5A CN114520577B (zh) 2020-11-19 2020-11-19 旋转机械装置及直线型机械装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022081389A JP2022081389A (ja) 2022-05-31
JP7121833B2 true JP7121833B2 (ja) 2022-08-18

Family

ID=81588005

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021104368A Active JP7121833B2 (ja) 2020-11-19 2021-06-23 回転機械装置及び直線型機械装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11606055B2 (ja)
JP (1) JP7121833B2 (ja)
CN (1) CN114520577B (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5281244B2 (ja) 2007-01-31 2013-09-04 アネスト岩田株式会社 塗装スプレーガン用塗料カップ
WO2016042636A1 (ja) 2014-09-18 2016-03-24 株式会社安川電機 エンコーダシステム及びセンサシステム
JP6018734B2 (ja) 2011-05-02 2016-11-02 ライオン株式会社 液体柔軟剤組成物
JP6123932B2 (ja) 2015-03-31 2017-05-10 大日本印刷株式会社 熱転写シート
JP2021128032A (ja) 2020-02-12 2021-09-02 日本精工株式会社 トルク測定装置及びその製造方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6018734A (ja) 1983-07-13 1985-01-30 Hitachi Ltd トルク検出器
JPS6123932A (ja) 1984-07-12 1986-02-01 Copal Co Ltd 負荷量測定方式
DE3915356A1 (de) * 1988-11-11 1990-10-11 Papst Motoren Gmbh & Co Kg Elektromotor in resonanzfaehigem geraet
JPH05281244A (ja) 1992-03-31 1993-10-29 Mazda Motor Corp 回転検出装置
JPH0661465U (ja) 1993-02-02 1994-08-30 帝人製機株式会社 回転駆動装置
GB2433360B (en) * 2005-12-17 2010-09-29 Alstom Power Conversion Ltd Electronic commutator circuits
JP2008051196A (ja) * 2006-08-24 2008-03-06 Advics:Kk 電動パーキングブレーキ装置
JP5372250B2 (ja) 2010-05-18 2013-12-18 三菱電機株式会社 モータ制御装置
JP5695555B2 (ja) * 2011-01-28 2015-04-08 オークマ株式会社 位置制御装置
JP5927083B2 (ja) 2012-08-28 2016-05-25 株式会社荏原製作所 ドレッシングプロセスの監視方法および研磨装置
JP5788560B1 (ja) * 2014-04-24 2015-09-30 ファナック株式会社 回転方向反転時に補正処理を行うモータ制御装置
JP6235537B2 (ja) 2015-07-17 2017-11-22 ファナック株式会社 検出部の位置調整が可能な磁気式センサ、およびこれを備えた電動機
EP3228895A1 (en) 2016-04-07 2017-10-11 Voith Patent GmbH Safety coupling
CN107538494A (zh) 2016-06-29 2018-01-05 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种基于转矩传感器和编码器的机器人控制方法及系统
TWI628898B (zh) 2016-12-29 2018-07-01 財團法人工業技術研究院 交互作用力偵測裝置
TWI663813B (zh) * 2018-11-28 2019-06-21 財團法人工業技術研究院 輸出轉矩的計算裝置與其計算方法
CN110058524B (zh) 2019-05-07 2020-07-31 武汉理工大学 两自由度弹性模块及其测量和控制方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5281244B2 (ja) 2007-01-31 2013-09-04 アネスト岩田株式会社 塗装スプレーガン用塗料カップ
JP6018734B2 (ja) 2011-05-02 2016-11-02 ライオン株式会社 液体柔軟剤組成物
WO2016042636A1 (ja) 2014-09-18 2016-03-24 株式会社安川電機 エンコーダシステム及びセンサシステム
JP6123932B2 (ja) 2015-03-31 2017-05-10 大日本印刷株式会社 熱転写シート
JP2021128032A (ja) 2020-02-12 2021-09-02 日本精工株式会社 トルク測定装置及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2022081389A (ja) 2022-05-31
CN114520577A (zh) 2022-05-20
CN114520577B (zh) 2023-11-03
US11606055B2 (en) 2023-03-14
US20220158579A1 (en) 2022-05-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2755308B1 (en) Linear motor device and control method
US20060113989A1 (en) Redundant pedal position sensor
JP7121833B2 (ja) 回転機械装置及び直線型機械装置
JP2010520458A (ja) 直線位置センサ
US11204261B2 (en) Rotational position detection device
JP4394459B2 (ja) 同期電動機の回転子の位置を測定する方法
JP2018136257A (ja) 光学スケールユニット、光学スケールユニットの製造方法、エンコーダー、駆動装置、ロボットおよびプリンター
TW201824709A (zh) 交互作用力偵測裝置
TWI752734B (zh) 旋轉機械裝置及直線型機械裝置
JP2017077051A (ja) リニアモータ装置及び制御方法
JP4353610B2 (ja) 工作機械用の磁気軸受装置
JP3903383B2 (ja) 偏心検出装置
CN112567220B (zh) 致动器系统,尤其用于车辆
CN103684184A (zh) 一种直线电机初始相位确定方法
KR20220135729A (ko) 플렉스플라인의 변형량 시험 장치
JPH09187853A (ja) 射出成形機の型締力制御装置
KR100550379B1 (ko) 초소형 모터용 토크 측정장치 및 그 측정방법
US20180321099A1 (en) Measuring device and method for ascertaining operating parameters at shafts
CN214471442U (zh) 一种扭矩传感器
KR20200077129A (ko) 로봇 구동모듈 및 감속기 모멘트 강성 시험 장치
CN212785129U (zh) 一种自导向音圈电机
KR20010091643A (ko) 와전류를 이용한 비접촉식 토크측정장치
JP7392943B2 (ja) トルク検出付きモータ
KR100321781B1 (ko) 와이어본더장비의엑스와이제트축구동장치및그의위치제어방법
KR102361356B1 (ko) 변위 측정 장치 및 이를 포함하는 모터

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210623

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220712

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220805

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7121833

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150