JP7120202B2 - インダクタおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
磁性粉の累積10%粒径D10、累積50%粒径D50および累積90%粒径D90は、レーザー回折式粒度分布測定装置マイクロトラックMT3000-II(MicrotracBEL社製)を用いて測定した。また、磁性粉のヴィッカース硬度はナノインデンターENT-2100(エリオニクス社製)を用いて測定した。
素体における磁性粉の充填率は、インダクタの上面から実装面に向かって高さTの30%の位置において断面サンプルを作成し、走査型電子顕微鏡(SEM;1000倍)を用いてSEM画像を得て、得られたSEM画像を画像処理ソフトウエアによって処理して算出した。
インダクタのインダクタンス、Q値、抵抗値はネットワークアナライザE5071C(Agilent社製)を用いて測定した。インダクタの透磁率はマテリアルアナライザE4991(Agilent社製)を用いて測定した。
実施例1のインダクタ100を図1および図2を参照して説明する。図1は、実施例1のインダクタ100の概略斜視図である。図2は、図1のAA線を通り実装面に直交する面における概略断面図である。
磁性粉として、累積10%粒径D10が2.05μm、累積50%粒径D50が3.21μm、累積90%粒径D90が5.05μmである軟磁性材料を用いたこと以外は実施例1と同様にして、実施例2のインダクタを得た。
磁性粉として、累積10%粒径D10が1.77μm、累積50%粒径D50は3.32μm、累積90%粒径D90は6.13μmである軟磁性材料を用いたこと以外は実施例1と同様にして、実施例3のインダクタを得た。
磁性粉として、累積10%粒径D10が1.97μm、累積50%粒径D50が3.53μm、累積90%粒径D90が6.45μmである軟磁性材料を用いたこと以外は実施例1と同様にして、実施例4のインダクタを得た。
磁性粉として、累積10%粒径D10が3.06μm、累積50%粒径D50が6.28μm、累積90%粒径D90が11.83μmである軟磁性材料を用いたこと以外は実施例1と同様にして、比較例1のインダクタを得た。
磁性粉として、累積10%粒径D10が3.87μm、累積50%粒径D50が9.71μm、累積90%粒径D90が23.33μmである軟磁性材料を用いたこと以外は実施例1と同様にして、比較例2のインダクタを得た。
磁性粉として、ケイ素の含有率が6.7質量%、クロムの含有率が2.5質量%、ホウ素が2.5質量%、残部が鉄である非晶質のFe-Si-Cr系の軟磁性材料を含み、累積10%粒径D10が2.67m、累積50%粒径D50が4.28μm、累積90%粒径D90が5.95μmであり、ヴィッカース硬度が1000±100である軟磁性材料を用いたこと以外は実施例1と同様にして、比較例3のインダクタを得た。
Claims (3)
- 磁性粉と樹脂を含有する磁性部および前記磁性部内に埋設されたコイルを含む素体と、外部端子とを備え、
前記素体は、対向する2つの主面と、前記主面に隣接して対向する端面と、前記主面および端面に隣接して対向する側面とを有し、一方の主面が実装面であり、
前記コイルは、直線状の金属板であり、その両端が前記素体の対向する端面から突出する様に前記素体に埋設されて形成され、
前記磁性粉は、鉄とケイ素とクロムとを含有し、ケイ素の含有率が1質量%以上7質量%以下で、クロムの含有率が1質量%以上7質量%以下で、鉄の含有率が80質量%以上である結晶質の軟磁性材料のみで形成され、体積基準による累積粒度分布における、累積50%粒径D50が2.9μm以上3.53μm以下で、累積90%粒径D90が5.05μm以上6.45μm以下で、累積10%粒径D10に対する累積90%粒径D90の比D90/D10が2.46以上3.81以下であり、ヴィッカース硬度が350kgf/mm 2 以上450kgf/mm 2 以下であり、
前記磁性部は、前記樹脂の含有量が5質量%以下で、前記磁性粉の体積基準の充填率が60%以上に形成され、
10MHzにおける品質係数Qが80以上であるインダクタ。 - 前記磁性粉は、表面に絶縁層を有する請求項1に記載のインダクタ。
- 前記磁性粉は、前記絶縁層の厚みが200nm以下である請求項2に記載のインダクタ。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022022650A (ja) * | 2020-06-30 | 2022-02-07 | 太陽誘電株式会社 | 金属磁性粒子を含む磁性基体及び当該磁性基体を備えるコイル部品 |
JP2023031985A (ja) * | 2021-08-26 | 2023-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | 絶縁物被覆軟磁性粉末、絶縁物被覆軟磁性粉末の製造方法、圧粉磁心、磁性素子、電子機器および移動体 |
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Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009075110A1 (ja) | 2007-12-12 | 2009-06-18 | Panasonic Corporation | インダクタンス部品およびその製造方法 |
JP2015207617A (ja) | 2014-04-18 | 2015-11-19 | 東光株式会社 | 金属磁性材料及び電子部品 |
JP2016014162A (ja) | 2014-06-30 | 2016-01-28 | セイコーエプソン株式会社 | 非晶質合金粉末、圧粉磁心、磁性素子および電子機器 |
JP2016035972A (ja) | 2014-08-01 | 2016-03-17 | 太陽誘電株式会社 | コイル部品およびそれを備える電子機器 |
JP2016162821A (ja) | 2015-02-27 | 2016-09-05 | 太陽誘電株式会社 | 磁性体及びそれを含む電子部品 |
JP2018107198A (ja) | 2016-12-22 | 2018-07-05 | 株式会社村田製作所 | 表面実装インダクタ |
JP2018182210A (ja) | 2017-04-19 | 2018-11-15 | 株式会社村田製作所 | コイル部品 |
JP2019011496A (ja) | 2017-06-30 | 2019-01-24 | Tdk株式会社 | 複合磁性材料および磁心 |
JP2019117898A (ja) | 2017-12-27 | 2019-07-18 | Tdk株式会社 | 積層コイル型電子部品 |
JP2019153644A (ja) | 2018-03-01 | 2019-09-12 | 株式会社村田製作所 | 表面実装インダクタ |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6384705B1 (en) * | 1999-12-30 | 2002-05-07 | Industrial Technology Research Institute | Multilayer-type chip common mode filter |
JP2005294458A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Nec Tokin Corp | 高周波用複合磁性粉末材料および高周波用圧粉磁芯ならびに高周波用圧粉磁芯の製造方法 |
WO2010103709A1 (ja) * | 2009-03-09 | 2010-09-16 | パナソニック株式会社 | 圧粉磁芯およびそれを用いた磁性素子 |
JP2010245216A (ja) * | 2009-04-03 | 2010-10-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 磁性粉末材、造粒粉、成形体、磁心用焼成体、電磁部品及び磁心用焼成体の製造方法 |
WO2013073180A1 (ja) * | 2011-11-18 | 2013-05-23 | パナソニック株式会社 | 複合磁性材料とそれを用いたコイル埋設型磁性素子およびその製造方法 |
JP6322886B2 (ja) * | 2012-11-20 | 2018-05-16 | セイコーエプソン株式会社 | 複合粒子、複合粒子の製造方法、圧粉磁心、磁性素子および携帯型電子機器 |
KR20150014346A (ko) * | 2013-07-29 | 2015-02-06 | 삼성전기주식회사 | 칩 전자부품 및 이의 제조방법 |
JP6668723B2 (ja) * | 2015-12-09 | 2020-03-18 | 株式会社村田製作所 | インダクタ部品 |
JP2020095988A (ja) * | 2017-03-27 | 2020-06-18 | Tdk株式会社 | 圧粉磁心 |
JP2020123598A (ja) | 2017-05-31 | 2020-08-13 | アルプスアルパイン株式会社 | インダクタンス素子および電子・電気機器 |
JP7266963B2 (ja) * | 2017-08-09 | 2023-05-01 | 太陽誘電株式会社 | コイル部品 |
-
2019
- 2019-10-18 JP JP2019191103A patent/JP7120202B2/ja active Active
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009075110A1 (ja) | 2007-12-12 | 2009-06-18 | Panasonic Corporation | インダクタンス部品およびその製造方法 |
JP2015207617A (ja) | 2014-04-18 | 2015-11-19 | 東光株式会社 | 金属磁性材料及び電子部品 |
JP2016014162A (ja) | 2014-06-30 | 2016-01-28 | セイコーエプソン株式会社 | 非晶質合金粉末、圧粉磁心、磁性素子および電子機器 |
JP2016035972A (ja) | 2014-08-01 | 2016-03-17 | 太陽誘電株式会社 | コイル部品およびそれを備える電子機器 |
JP2016162821A (ja) | 2015-02-27 | 2016-09-05 | 太陽誘電株式会社 | 磁性体及びそれを含む電子部品 |
JP2018107198A (ja) | 2016-12-22 | 2018-07-05 | 株式会社村田製作所 | 表面実装インダクタ |
JP2018182210A (ja) | 2017-04-19 | 2018-11-15 | 株式会社村田製作所 | コイル部品 |
JP2019011496A (ja) | 2017-06-30 | 2019-01-24 | Tdk株式会社 | 複合磁性材料および磁心 |
JP2019117898A (ja) | 2017-12-27 | 2019-07-18 | Tdk株式会社 | 積層コイル型電子部品 |
JP2019153644A (ja) | 2018-03-01 | 2019-09-12 | 株式会社村田製作所 | 表面実装インダクタ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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