JP7118610B2 - 検出器パック、x線検出器、x線ct装置及び検出器パックの製造方法 - Google Patents
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Description
検出器パックは、一般に、フリップチップボンディングにより半導体チップが基板に実装されることが多いが、電極同士の接合力のみでは十分な強度が得られない場合がある。よって、半導体チップと基板との間にアンダーフィル材を充填し、硬化させることで信頼性を高める処理が行われる。
以下、一実施形態について図面を用いて説明する。
図2は、検出器パック121の平面図である。図3は、図2のA-A’線で検出器パック121を切断した場合の断面図である。図4は、図2のB-B’線で検出器パック121を切断した場合の断面図である。
図5は、検出器パック121の平面図であり、図6は、図5のD-D’線で検出器パック121を切断した場合の断面図である。
図7は、検出器パック121と、アンダーフィル材126を硬化させるためのヒーター701及び熱伝導性治具702との断面図である。
熱伝導性治具702は、検出器パック121を積載可能にヒーター701上に配置される。具体的には、熱伝導性治具702は、ヒーター701上に、検出器パック121のコネクタ125がヒーター701に直接触れない高さとなるように構成され、検出器パック121の基板122の第2の面1222が熱伝導性治具702の上部に接するように積載される。また、熱伝導性治具702は、アンダーフィル材126が充填されている部分を加熱できればよく、図7に示すような長手方向端部を支持できる構成であればよい。
ステップS802では、基板122の第2の面1222に、コネクタ125が接続される。
ステップS804では、ヒーター701が、熱伝導性治具702を介して、検出器パック121の基板122が所定の温度になるように当該基板122を加熱する。これにより、アンダーフィル材126が硬化する。
以上で検出器パック121の製造方法の一例を終了する。
図9は、回転フレーム13に配置される複数の検出器パック121をz軸方向から見た図の一例である。図10は、図9の複数の検出器パックのうち、2つの検出器パック121に注目した場合の当該検出器パック121の中心部分の断面図である。図11は、配置された複数の検出器パックをy軸方向から見た平面図である。
図9の例では、2つのクーラー901によりチャンネル方向両端から空冷する例を示すが、1つのクーラー901により一方向から空冷してもよい。
Claims (8)
- 基板と、
光を電気信号に変換する複数の半導体チップから成り、前記基板の第1の面と電気的に接続される半導体チップアレイと、
入射したX線を前記光に変換する複数のシンチレータ結晶から成り、前記半導体チップアレイ上に設けられるシンチレータと、
前記半導体チップアレイと前記基板の前記第1の面との間かつ前記半導体チップアレイの長手方向の端部に充填され、前記半導体チップアレイと前記基板とを接着する接着部材と、
を備え、
前記シンチレータは、前記X線が入射する入射面と、前記入射面の対面であって前記光を放出する放出面とを備え、
前記接着部材は、前記半導体チップアレイと前記第1の面との間隙において、前記半導体チップアレイの長手方向の端部から前記半導体チップアレイの長手方向における中央部に向かって充填され、かつ前記中央部に位置する少なくとも1つの半導体チップと前記第1面とで形成される間隙部分には充填されない、
検出器パック。 - 前記半導体チップアレイは、前記第1の面にフリップチップボンディングで接続され、
前記接着部材は、前記半導体チップアレイのうち一部の半導体チップと前記第1の面との間隙に充填される請求項1に記載の検出器パック。 - 前記接着部材は、前記半導体チップアレイと前記第1の面との間隙において、前記長手方向の端部に設けられる前記半導体チップの領域に充填され、前記半導体チップアレイと前記第1の面との間隙のうち前記領域以外の領域には充填されない、請求項1または請求項2に記載の検出器パック。
- 前記シンチレータは、接着シートを介して前記半導体チップアレイ上に設けられ、
前記接着部材の充填量は、少なくとも前記半導体チップの大きさ、当該半導体チップと前記第1の面との間隙の大きさ、及び前記半導体チップに形成されるバンプの大きさに基づき決定され、前記シンチレータ及び前記接着シートに付着しない量である請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の検出器パック。 - 前記第1の面に対向する第2の面に設けられ、前記電気信号を外部に伝送するコネクタをさらに具備する、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の検出器パック。
- 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の検出器パックを複数具備し、
複数の検出器パックは、前記半導体チップアレイの長手方向がスライス方向となり、当該半導体チップアレイの短手方向がチャネル方向となるように並列配置される、X線検出器。 - X線を照射するX線管と、
前記X線管から照射されて被検体を透過したX線を検出する検出器とを備え、
前記検出器は、
請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の検出器パックを複数具備し、
複数の検出器パックは、前記半導体チップアレイの長手方向がスライス方向となり、当該半導体チップアレイの短手方向がチャネル方向となるように並列配置される、X線CT装置。 - 基板の第1の面に、光を電気信号に変換する複数の半導体チップからなる半導体チップアレイを配置するステップと、
ディスペンサにより、前記半導体チップアレイと前記第1の面との間かつ前記半導体チップアレイの長手方向の端部に限定して接着部材を充填するステップと、
前記第1の面とは反対側の第2の面に接触させた治具を加熱することにより前記接着部材を硬化させるステップとを具備する、検出器パックの製造方法。
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