JP7109041B2 - Cutter holder mounting structure, cutter holder and holder joint - Google Patents

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Description

本発明は、ガラス等の脆性材料基板の表面に分断用のスクライブライン（切り溝）を加工する際に使用されるカッターホイール（スクライビングホイールともいう）を保持するカッターホルダを、スクライブ装置のスクライブヘッドに取り付けるためのカッターホルダ取付構造、カッターホルダ、並びにホルダジョイントに関する。 The present invention provides a cutter holder for holding a cutter wheel (also referred to as a scribing wheel) used when processing a scribe line (cut groove) for division on the surface of a brittle material substrate such as glass, and a scribing head of a scribing device. It relates to a cutter holder mounting structure, a cutter holder, and a holder joint for mounting to a.

従来、ガラス基板等の脆性材料基板を分断する加工では、カッターホイールを基板表面に押し付けて互いに直交するＸ－Ｙ方向の複数条のスクライブラインを形成し、その後、スクライブラインに沿って裏面側から外力を印加して基板を撓ませることにより、単位基板ごとに分断する方法が一般的に知られており、例えば、特許文献１に開示されている。 Conventionally, in the process of cutting a brittle material substrate such as a glass substrate, a cutter wheel is pressed against the substrate surface to form a plurality of scribe lines in the XY directions that are orthogonal to each other, and then along the scribe lines from the back side. A method of dividing a substrate into unit substrates by applying an external force to bend the substrate is generally known, and is disclosed in Patent Document 1, for example.

カッターホイールはカッターホルダを介してスクライブ装置のスクライブヘッドに取り付けて使用される。図６～図８は従来のカッターホルダ並びに当該カッターホルダとスクライブヘッドとの取付構造を示すものである。 The cutter wheel is used by being attached to the scribing head of the scribing device via a cutter holder. 6 to 8 show a conventional cutter holder and the mounting structure of the cutter holder and the scribing head.

カッターホルダ取付構造体１’は、カッターホルダ２と、このカッターホルダ２を保持するホルダジョイント３とを備えている。カッターホルダ２は略円柱状の胴部４を有し、この胴部４の下端部分に当該胴部４の軸心に対して直交するホイール軸５を介してカッターホイール６が回転自在に取り付けられている。 A cutter holder mounting structure 1 ′ includes a cutter holder 2 and a holder joint 3 that holds the cutter holder 2 . The cutter holder 2 has a substantially cylindrical body 4, and a cutter wheel 6 is rotatably attached to the lower end of the body 4 via a wheel shaft 5 orthogonal to the axis of the body 4. ing.

また、胴部４の上部には、ホルダジョイント３に取り付ける際の位置決め用の取付部７が設けられている。取付部７は、胴部４の一部を切り欠いて形成された平面部７ａと傾斜面７ｂとを備えている。平面部７ａは胴部４の軸心に対して平行である。また、胴部４は鉄等の磁性体で構成されている。 A mounting portion 7 for positioning when mounting to the holder joint 3 is provided on the upper portion of the body portion 4 . The attachment portion 7 includes a flat portion 7a and an inclined surface 7b formed by cutting out a portion of the body portion 4 . The plane portion 7a is parallel to the axis of the body portion 4. As shown in FIG. Moreover, the trunk|drum 4 is comprised by magnetic bodies, such as iron.

ホルダジョイント３は、上部に上下方向に延びる旋回軸８を備え、この旋回軸８が図２に示すスクライブ装置Ａのスクライブヘッド９に、上下一対の玉ベアリング１０、１１を介して回動可能に取り付けられている。玉ベアリング１０、１１は、内輪１０a、１１aと外輪１０ｂ、１１ｂとの間に複数個の球を内蔵している。上下の玉ベアリング１０、１１のそれぞれの内輪１０ａ、１１ａの間にはカラー１２が介在されていて、上下の玉ベアリング１０、１１の間隔が緊密に埋められている。また、旋回軸８の上端面が上部の玉ベアリング１１の内輪１１ａの上端面にビスや嵌合等の手段により係合されており、これにより旋回軸８が玉ベアリング１０、１１から下方に抜け出るのを阻止している。また、下部の玉ベアリング１０の外輪１０ｂはスクライブヘッド９にビスや嵌合等の手段により結合されている。 The holder joint 3 has a vertically extending rotating shaft 8 at its upper part, and this rotating shaft 8 is rotatable to the scribing head 9 of the scribing device A shown in FIG. installed. Ball bearings 10 and 11 incorporate a plurality of balls between inner rings 10a and 11a and outer rings 10b and 11b. A collar 12 is interposed between the inner rings 10a, 11a of the upper and lower ball bearings 10, 11, so that the gap between the upper and lower ball bearings 10, 11 is tightly filled. Further, the upper end surface of the swivel shaft 8 is engaged with the upper end surface of the inner ring 11a of the upper ball bearing 11 by means of screws, fitting, or the like. is preventing Further, the outer ring 10b of the lower ball bearing 10 is connected to the scribe head 9 by means of screws, fitting, or the like.

さらに、ホルダジョイント３は、カッターホルダ２を受け入れる断面略円形の開口部１４が下方に向かって開口して形成されており、その内奥部（上端）にカッターホルダ２を吸着保持するための磁石１５が取り付けられている。また、開口部１４の内部には、開口部１４の軸心とは離れた箇所で該軸心と直交する方向に延びる位置決め用の平行ピン１６が設けられている。これにより、カッターホルダ２が開口部１４に挿入された際に、平行ピン１６がカッターホルダ２の傾斜面７ｂに接触してカッターホイール６の方向が一定となると共に、カッターホイール６の接地点が旋回軸８の軸心に対してカッターホイール走行方向後方にＬ１だけずれるように位置決めされる。このずれは、カッターホイール走行時に常に進行方向に戻ろうとする所謂「キャスター効果」を発揮してカッターホイールの直進性を助長するためのものである。 Further, the holder joint 3 is formed with an opening 14 having a substantially circular cross-section for receiving the cutter holder 2 and opening downward. 15 is attached. A parallel pin 16 for positioning is provided inside the opening 14 and extends in a direction orthogonal to the axis of the opening 14 at a location away from the axis. As a result, when the cutter holder 2 is inserted into the opening 14, the parallel pin 16 comes into contact with the inclined surface 7b of the cutter holder 2 to keep the direction of the cutter wheel 6 constant and the grounding point of the cutter wheel 6 It is positioned so as to be shifted rearward in the traveling direction of the cutter wheel with respect to the axis of the swivel shaft 8 by L1. This deviation is for promoting the straightness of the cutter wheel by exerting a so-called "caster effect" in which the cutter wheel always tries to return to the traveling direction when traveling.

特許第５２１０３５６号公報Japanese Patent No. 5210356

しかし、上記のカッターホルダでは、Ｘ方向またはＹ方向のスクライブラインを加工する際、あるいは「交点飛ばしスクライブ」の際に、スクライブ開始当初において図９に示すように規定のスクライブ予定ラインＳに対して斜めにずれて走行することがあった。「交点飛ばしスクライブ」とは、図１０に示すように、Ｘ方向のスクライブラインＳ１に対してこれに直交するＹ方向のスクライブラインＳ２を加工する際に、Ｘ方向のスクライブラインＳ１との交点部分で「カケ」や「ソゲ」等の損傷が発生するのをなくすために交点の前後にスクライブラインを形成しない部分を設けてスクライブする手法である。 However, in the above cutter holder, when processing a scribe line in the X direction or the Y direction, or in the case of "intersection skip scribing", at the beginning of scribing, as shown in FIG. There was a time when it ran diagonally. As shown in FIG. 10, "intersection skipping scribing" means that when processing a scribe line S2 in the Y direction perpendicular to the scribe line S1 in the X direction, the cross point with the scribe line S1 in the X direction is processed. This is a method of scribing by providing a portion where no scribe line is formed before and after the intersection in order to prevent damage such as "chipping" or "scalloping" from occurring.

このスクライブ初期において斜めにずれて走行する現象は、下記の点に起因する。
通常、内輪と外輪との間に球やコロ等の滑動子を挟み込んだ玉ベアリングでは、滑動子と内輪及び外輪との間に間隙（公差）が存在する（以下、この間隙を「内部間隙」という）。そのため、無負荷時（非スクライブ時）の旋回軸８は、図７に示すように内部間隙Ｌ２だけ自重で下がっている。逆に負荷時（スクライブ時）には、図８に示すようにカッターホイール６の基板への押し付けによる反力で内部間隙Ｌ２だけ持ち上げられることになる。このような内部間隙Ｌ２による旋回軸８の上下方向の動きに伴い、旋回軸８がわずかに回転し、スクライブ初期においてカッターホイールにブレ（首振り現象）が生じて斜めにずれて走行するものと考えられる。このように、スクライブ初期においてカッターホイールが斜めにずれると、その後の走行ではキャスター効果により直進走行が復帰しても図９に示すように規定のスクライブ予定ラインＳから距離ＺだけずれたスクライブラインＳ３が形成されることになり、高精度で高品質な製品を得ることができない。 The phenomenon of oblique travel in the initial stage of scribing is caused by the following points.
Generally, in a ball bearing in which a slider such as a ball or roller is sandwiched between an inner ring and an outer ring, there is a gap (tolerance) between the slider and the inner and outer rings (hereafter, this gap is referred to as an "internal gap"). called). Therefore, when no load is applied (when not scribing), the swivel shaft 8 is lowered by its own weight by the internal gap L2 as shown in FIG. Conversely, under load (during scribing), as shown in FIG. 8, the substrate is lifted by the internal gap L2 due to the reaction force of the cutter wheel 6 pressing against the substrate. As the turning shaft 8 moves in the vertical direction due to the internal gap L2, the turning shaft 8 rotates slightly, causing the cutter wheel to shake (oscillating phenomenon) in the initial stage of scribing, causing the cutter wheel to travel obliquely. Conceivable. As described above, if the cutter wheel deviates obliquely at the initial stage of scribing, the scribe line S3 is shifted by a distance Z from the prescribed scribing line S as shown in FIG. is formed, and a highly accurate and high quality product cannot be obtained.

そこで本発明は、上記の課題に鑑み、スクライブ初期においてカッターホルダが斜めになったり予定ラインからの位置がずれたりすることを防止して正確にスクライブラインを形成することができるカッターホルダ取付構造を提供することを目的とする。 Therefore, in view of the above problems, the present invention provides a cutter holder mounting structure that can accurately form a scribe line by preventing the cutter holder from being tilted or deviating from the planned line at the initial stage of scribing. intended to provide

上記課題を解決するために本発明では次のような技術的手段を講じた。すなわち本発明は、下端にカッターホイールを備えたカッターホルダ取付構造体の旋回軸が玉ベアリングを介してスクライブ装置のスクライブヘッドに旋回自在に取り付けられたカッターホルダ取付構造であって、前記玉ベアリングの外輪が前記スクライブヘッドもしくはこれに連なる部分に取り付けられ、前記玉ベアリングの内輪が前記旋回軸に取り付けられ、前記旋回軸の上部に磁石体が取り付けられ、前記磁石体の上方に当該旋回軸を前記内輪とともに前記磁石体に吸引されることにより前記旋回軸を前記内輪とともに持ち上げる磁性体が配置されるように構成した。 In order to solve the above problems, the present invention has taken the following technical means. That is, the present invention provides a cutter holder mounting structure in which a turning shaft of a cutter holder mounting structure having a cutter wheel at its lower end is rotatably mounted to a scribing head of a scribing device via a ball bearing, An outer ring is attached to the scribe head or a portion connected thereto, an inner ring of the ball bearing is attached to the swivel shaft, a magnet is attached to the top of the swivel shaft, and the swivel shaft is mounted above the magnet. A magnetic body is arranged so that it lifts the turning shaft together with the inner ring by being attracted to the magnet body together with the inner ring.

ここで、前記玉ベアリングの外輪が前記スクライブヘッドに取り付けられ、前記玉ベアリングの内輪が前記カッターホルダ取付構造体の旋回軸に取り付けられ、前記磁性体が前記旋回軸の上方で前記スクライブヘッドに取り付けられている構成としてもよい。
さらに、前記旋回軸を常時持ち上げる前記磁石体の吸引力が、前記旋回軸の旋回を許容する範囲内で設定されている構成としてもよい。 Here, the outer ring of the ball bearing is attached to the scribe head, the inner ring of the ball bearing is attached to the pivot shaft of the cutter holder mounting structure, and the magnetic body is attached to the scribe head above the pivot shaft. It may be configured as
Furthermore, a configuration may be adopted in which the attractive force of the magnet that always lifts the turning shaft is set within a range that allows the turning of the turning shaft.

本発明では、カッターホルダ取付構造体の旋回軸が磁石体による吸引によって常時持ち上げられているため、無負荷時（非スクライブ時）に玉ベアリングの内部間隙の間で自重により下方に動くことが阻止される。したがって、内部間隙によるガタツキがなくなってスクライブ再開時のスクライブ初期におけるカッターホイールの首振り現象を防止することができる。これにより、スクライブ初期におけるカッターホイールの斜め走行や位置ずれを抑制して、スクライブ予定ラインに沿って正確にスクライブラインを加工することができる。 In the present invention, since the rotary shaft of the cutter holder mounting structure is always lifted by the attraction of the magnet, it is prevented from moving downward due to its own weight between the internal gaps of the ball bearings when there is no load (during non-scribing). be done. Therefore, rattling due to the internal gap is eliminated, and the swinging phenomenon of the cutter wheel at the initial stage of scribing can be prevented when scribing is resumed. As a result, the scribing line can be processed accurately along the planned scribing line by suppressing oblique running and positional deviation of the cutter wheel at the initial stage of scribing.

本発明において、前記カッターホルダ取付構造体の旋回軸の周囲を前記玉ベアリングと共に覆うカバー体が設けられ、前記玉ベアリングの外輪が前記カバー体に取り付けられ、前記玉ベアリングの内輪が前記カッターホルダ取付構造体の旋回軸に取り付けられ、前記磁性体が前記旋回軸の上方で前記カバー体の内部に取り付けられ、前記カバー体が前記スクライブヘッドに取り付けられている構成としてもよい。
これにより、玉ベアリングや磁石体、磁性体がカバー体の内部に格納されてカッターホルダ取付構造体と一体的に形成されているので、カッターホルダ取付構造体の外装をシンプルに形成できると共に、スクライブヘッドへの組み付け作業を容易に行うことができる。 In the present invention, a cover body is provided to cover the periphery of the rotary shaft of the cutter holder mounting structure together with the ball bearing, the outer ring of the ball bearing is mounted on the cover body, and the inner ring of the ball bearing is mounted on the cutter holder. A structure may be attached to a pivot shaft of a structure, the magnetic body may be attached inside the cover body above the pivot shaft, and the cover body may be attached to the scribing head.
As a result, the ball bearing, the magnet, and the magnetic body are housed inside the cover and formed integrally with the cutter holder mounting structure. The assembly work to the head can be easily performed.

本発明において、前記カッターホルダ取付構造体が、カッターホルダと、前記カッターホルダを保持するホルダジョイントと、を含み、前記ホルダジョイントが前記旋回軸を備えるようにしてもよい。
また、前記旋回軸がカッターホルダと一体に形成されるようにしてもよい。 In the present invention, the cutter holder mounting structure may include a cutter holder and a holder joint that holds the cutter holder, and the holder joint may include the pivot shaft.
Also, the pivot shaft may be formed integrally with the cutter holder.

また、別の観点からなされた本発明のカッターホルダは、下方にカッターホルダが保持され、上方に旋回軸を備えるカッターホルダであって、前記旋回軸の周囲を玉ベアリングと共に覆うカバー体が設けられ、前記玉ベアリングの外輪が前記カバー体に取り付けられ、前記玉ベアリングの内輪が前記旋回軸に取り付けられ、磁性体が前記旋回軸の上方で前記カバー体の内部に取り付けられるようにしている。
また、別の観点からなされた本発明のホルダジョイントは、下方にカッターホルダが保持される開口部を有し、上方に旋回軸を備えるホルダジョイントであって、前記旋回軸の周囲を玉ベアリングと共に覆うカバー体が設けられ、前記玉ベアリングの外輪が前記カバー体に取り付けられ、前記玉ベアリングの内輪が前記旋回軸に取り付けられ、磁性体が前記旋回軸の上方で前記カバー体の内部に取り付けられるようにしている。
これにより、玉ベアリングや磁石体、磁性体がカバー体の内部に格納されてカッターホルダまたはホルダジョイントと一体的に形成されているので、ホルダジョイントの外装をシンプルに形成できると共に、スクライブヘッドへの組み付け作業を容易に行うことができる。 A cutter holder according to another aspect of the present invention is a cutter holder that holds a cutter holder below and has a pivot shaft above, and is provided with a cover body that covers the circumference of the pivot shaft together with a ball bearing. , the outer ring of the ball bearing is mounted on the cover body, the inner ring of the ball bearing is mounted on the pivot shaft, and the magnetic body is mounted inside the cover body above the pivot shaft.
Further, a holder joint of the present invention made from a different viewpoint is a holder joint having an opening in which a cutter holder is held in the lower part and a rotating shaft in the upper part, wherein the rotating shaft is rotated together with a ball bearing. A cover body is provided for covering, an outer ring of the ball bearing is attached to the cover body, an inner ring of the ball bearing is attached to the pivot shaft, and a magnetic body is attached inside the cover body above the pivot shaft. I'm trying
As a result, the ball bearing, the magnet, and the magnetic body are housed inside the cover and formed integrally with the cutter holder or holder joint, so the exterior of the holder joint can be formed simply, and the scribing head can be easily connected. Assembly work can be easily performed.

本発明のカッターホルダ取付構造を示す断面図。Sectional drawing which shows the cutter holder attachment structure of this invention. スクライブ装置を示す概略正面図。The schematic front view which shows a scribing apparatus. 本発明の第２の実施形態を示す断面図。Sectional drawing which shows the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施形態を示す断面図。Sectional drawing which shows the 3rd Embodiment of this invention. 本発明と従来例のカッターホルダを用いてスクライブ試験した際のずれ量を示すグラフ。7 is a graph showing the amount of displacement when a scribing test was performed using the cutter holders of the present invention and a conventional example. 従来のカッターホルダを示す分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view showing a conventional cutter holder; 無負荷時（非スクライブ時）における従来のカッターホルダ取付構造を示す断面図。Sectional drawing which shows the conventional cutter holder attachment structure at the time of no load (at the time of non-scribing). 負荷時（スクライブ時）における従来のカッターホルダ取付構造を示す断面図。Sectional drawing which shows the conventional cutter holder attachment structure at the time of a load (during scribing). スクライブ時に斜めずれが発生した際の軌跡を示す平面図。FIG. 5 is a plan view showing a trajectory when oblique displacement occurs during scribing; 交点飛ばしスクライブの手法を示す説明図。Explanatory drawing which shows the method of intersection skipping scribing. スクライブライン加工時の動作を示す説明図。Explanatory drawing which shows the operation|movement at the time of scribing line processing.

以下において、本発明の第１の実施形態に係るカッターホルダの取付構造について詳細に説明する。本発明の第１の実施形態に係るカッターホルダの取付構造では、その一部において上記図６～図８で示した従来のカッターホルダ取付構造と同じ機能を持つ構成要素を含んでいる。したがって、同じ機能を有する部分については同じ符号を付して説明する。 Below, the mounting structure of the cutter holder according to the first embodiment of the present invention will be described in detail. The attachment structure of the cutter holder according to the first embodiment of the present invention partially includes components having the same functions as the conventional cutter holder attachment structure shown in FIGS. Therefore, parts having the same functions are denoted by the same reference numerals.

本発明の第１の実施形態に係るカッターホルダ取付構造体１は、図１に示すように、カッターホルダ２と、このカッターホルダ２を保持するホルダジョイント３とを備えている。カッターホルダ２は略円柱状の胴部４を有し、この胴部４の下端部分に当該胴部４の軸心に対して直交するホイール軸５を介してカッターホイール６が回転自在に取り付けられている。 A cutter holder mounting structure 1 according to the first embodiment of the present invention includes a cutter holder 2 and a holder joint 3 that holds the cutter holder 2, as shown in FIG. The cutter holder 2 has a substantially cylindrical body portion 4, and a cutter wheel 6 is rotatably attached to the lower end portion of the body portion 4 via a wheel shaft 5 perpendicular to the axis of the body portion 4. ing.

また、胴部４の上部には、ホルダジョイント３に取り付ける際の位置決め用の取付部７が設けられている。取付部７は、胴部４の一部を切り欠いて形成された平面部７ａと傾斜面７ｂとを備えている。平面部７ａは胴部４の軸心に対して平行である。また、胴部４は鉄等の磁性体で構成されている。 A mounting portion 7 for positioning when mounting to the holder joint 3 is provided on the upper portion of the body portion 4 . The attachment portion 7 includes a flat portion 7a and an inclined surface 7b formed by cutting out a portion of the body portion 4 . The plane portion 7a is parallel to the axis of the body portion 4. As shown in FIG. Moreover, the trunk|drum 4 is comprised by magnetic bodies, such as iron.

ホルダジョイント３は、上部に上下方向に延びる旋回軸８を備え、この旋回軸８が図２に示すスクライブ装置Ａのスクライブヘッド９に、上下一対の玉ベアリング１０、１１を介して回動可能に取り付けられている。上下の玉ベアリング１０、１１のそれぞれの内輪１０ａ、１１ａの間にはカラー１２が介在されていて、上下の玉ベアリング１０、１１の間隔が緊密に埋められている。また、旋回軸８の上端面に磁石１３が取り付けられている。また、下部の玉ベアリング１０の外輪１０ｂは、スクライブヘッド９にビスまたは嵌合等の手段により結合されている。 The holder joint 3 has a vertically extending rotating shaft 8 at its upper part, and this rotating shaft 8 is rotatable to the scribing head 9 of the scribing device A shown in FIG. installed. A collar 12 is interposed between the inner rings 10a, 11a of the upper and lower ball bearings 10, 11, so that the gap between the upper and lower ball bearings 10, 11 is tightly filled. A magnet 13 is attached to the upper end surface of the rotating shaft 8 . Further, the outer ring 10b of the lower ball bearing 10 is connected to the scribe head 9 by means of screws, fitting, or the like.

さらに、ホルダジョイント３は、カッターホルダ２を受け入れる断面略円形の開口部１４が下方に向かって開口して形成されており、その内奥部（上端）にカッターホルダ２を吸着保持するための磁石１５が取り付けられている。
また、開口部１４の内部には、開口部１４の軸心とは離れた箇所で該軸心と直交する方向に延びる位置決め用の平行ピン１６が設けられている。これにより、カッターホルダ２が開口部１４に挿入された際に、平行ピン１６がカッターホルダ２の傾斜面７ｂに接触してカッターホイール６の方向が一定となるとともに、カッターホイール６の接地点が旋回軸８の軸心に対してカッターホイール走行方向後方にＬ１だけずれるように位置決めされる。 Further, the holder joint 3 is formed with an opening 14 having a substantially circular cross-section for receiving the cutter holder 2 and opening downward. 15 is attached.
A parallel pin 16 for positioning is provided inside the opening 14 and extends in a direction orthogonal to the axis of the opening 14 at a location away from the axis. As a result, when the cutter holder 2 is inserted into the opening 14, the parallel pin 16 comes into contact with the inclined surface 7b of the cutter holder 2 to keep the direction of the cutter wheel 6 constant and the grounding point of the cutter wheel 6 It is positioned so as to be shifted rearward in the traveling direction of the cutter wheel with respect to the axis of the swivel shaft 8 by L1.

さらに本発明では、前記旋回軸８を常時上方に持ち上げるための磁性体である鋼球１８が旋回軸８の磁石１３の上方でスクライブヘッド９に取り付けられている。鋼球１８はスクライブヘッド９の保持孔に圧入、接着等により固定され、その一部がスクライブヘッド９の内壁から突出している。この鋼球１８が磁石体１３に吸引されることにより、カッターホルダ取付構造体１は図１に示すように旋回軸８並びにこの旋回軸８に取り付けた玉ベアリング１０の内輪１０ａと共に玉ベアリング１０の内部間隙Ｌ２だけ持ち上げられた姿勢を常時保持し、内部間隙Ｌ２によるガタツキをなくすように形成されている。なお、磁石体１３の吸着力は、旋回軸８を吸引して上方に持ち上げるものであるが、上述した「キャスター効果」による旋回軸８の旋回は許容される範囲のものが用いられる。 Further, in the present invention, a magnetic steel ball 18 is attached to the scribe head 9 above the magnet 13 of the rotating shaft 8 for constantly lifting the rotating shaft 8 upward. The steel ball 18 is press-fitted into the holding hole of the scribing head 9 and fixed by adhesion or the like, and a part of the steel ball 18 protrudes from the inner wall of the scribing head 9 . By attracting the steel balls 18 to the magnet 13, the cutter holder mounting structure 1 moves the ball bearing 10 together with the swivel shaft 8 and the inner ring 10a of the ball bearing 10 attached to the swivel shaft 8, as shown in FIG. It is formed so as to always maintain the posture of being lifted by the internal gap L2 and to eliminate rattling due to the internal gap L2. The attracting force of the magnet 13 attracts the turning shaft 8 and lifts it upward, but the magnet body 13 is used in a range that allows the turning of the turning shaft 8 by the above-mentioned "caster effect".

上記のようにしてスクライブ装置Ａのスクライブヘッド９に取り付けたカッターホイール６を、テーブル２０上に載置した基板Ｗの表面に降下させ、基板Ｗの表面に押し付けながら相対的に直線移動させることにより、基板Ｗの表面に分断用のスクライブラインを加工する（図２、１１参照）。
１本のスクライブラインを加工すると、カッターホイール６を上昇させて基板Ｗから持ち上げ、次に加工すべきスクライブ予定ライン上に移動してスクライブする。この際、「交点飛ばしスクライブ」においても、図９に示すように、Ｘ方向のスクライブラインＳ１に対してこれに直交するＹ方向のスクライブラインＳ２を加工する際に、Ｘ方向のスクライブラインＳ１との交点の直前部分でカッターホイール６を上昇させ、交点をわずかに通過した位置で再度降下させてスクライブする。 The cutter wheel 6 attached to the scribing head 9 of the scribing apparatus A as described above is lowered onto the surface of the substrate W placed on the table 20, and relatively linearly moved while being pressed against the surface of the substrate W. , a scribe line for division is processed on the surface of the substrate W (see FIGS. 2 and 11).
After processing one scribe line, the cutter wheel 6 is lifted from the substrate W and moved onto the next scribe line to be processed for scribing. At this time, also in the "intersection skipping scribing", as shown in FIG. The cutter wheel 6 is lifted just before the intersection of , and lowered again at a position slightly past the intersection for scribing.

上記の構成において、ホルダジョイント３は鋼球１８が磁石体１３により吸引されることによって旋回軸８並びにこの旋回軸８に取り付けた玉ベアリング１０の内輪１０ａと共に常時持ち上げられているため、無負荷時（非スクライブ時）にベアリングの内部間隙Ｌ２の間で自重により下方に動くことはない。したがって、内部間隙Ｌ２によるガタツキがなくなってスクライブ再開時のスクライブ初期におけるカッターホルダ２の首振り現象を防止することができる。これにより、スクライブ初期の斜め走行を抑制して、スクライブ予定ラインに沿って正確に直線のスクライブラインを加工することができる。 In the above configuration, the steel balls 18 are attracted by the magnet 13 so that the holder joint 3 is always lifted together with the rotating shaft 8 and the inner ring 10a of the ball bearing 10 attached to the rotating shaft 8. It does not move downward due to its own weight between the internal gaps L2 of the bearings (when not scribing). Therefore, rattling due to the internal gap L2 is eliminated, and the wobbling phenomenon of the cutter holder 2 at the initial stage of scribing when scribing is resumed can be prevented. As a result, it is possible to suppress oblique running in the initial stage of scribing, and to form a straight scribe line accurately along the line to be scribed.

図３は本発明の第２の実施形態を示すものである。
この実施形態では、ホルダジョイント３の旋回軸８の周囲を玉ベアリング１０、１１と共に覆う円筒状のカバー体２１が設けられている。そして、玉ベアリング１０の外輪１０ｂがカバー体２１に取り付けられ、玉ベアリング１０、１１の内輪１０ａ、１１ａがホルダジョイントの旋回軸８に取り付けられ、カバー体２１がスクライブヘッド９にビスや嵌合等の手段により取り付けられている。また、旋回軸８の上方でカバー体２１の天板下面に、磁石体１３によって吸引されて旋回軸８を常時持ち上げる磁性体である鋼球１８が設けられている。その他の構成は、上記図１で示した先の実施例と同じである。 FIG. 3 shows a second embodiment of the invention.
In this embodiment, a cylindrical cover body 21 is provided to cover the circumference of the pivot shaft 8 of the holder joint 3 together with the ball bearings 10 and 11 . Then, the outer ring 10b of the ball bearing 10 is attached to the cover body 21, the inner rings 10a and 11a of the ball bearings 10 and 11 are attached to the pivot shaft 8 of the holder joint, and the cover body 21 is attached to the scribe head 9 by screwing, fitting, or the like. is attached by means of A steel ball 18 which is a magnetic material that is attracted by the magnet 13 and constantly lifts the rotating shaft 8 is provided on the lower surface of the top plate of the cover body 21 above the rotating shaft 8 . Other configurations are the same as those of the previous embodiment shown in FIG.

図３の第２の実施形態においても第１の実施形態と同様に、スクライブ初期におけるカッターホイール６の首振り現象を防止することができ、これにより、スクライブ初期の斜め走行を抑制して、スクライブ予定ラインに沿って正確にスクライブラインを加工することができた。
特に第２の実施形態では、玉ベアリング１０、１１や磁石体１３、鋼球１８がカバー体２１内に格納されてホルダジョイント３と一体的に形成されているので、カッターホルダ取付構造体１の外装がシンプルになると共に、スクライブヘッド９への組み付け作業を容易に行うことができるといったメリットがある。 In the second embodiment shown in FIG. 3, similarly to the first embodiment, it is possible to prevent the swinging phenomenon of the cutter wheel 6 at the initial stage of scribing. A scribe line could be processed accurately along the planned line.
Especially in the second embodiment, since the ball bearings 10 and 11, the magnet body 13, and the steel balls 18 are housed in the cover body 21 and integrally formed with the holder joint 3, the cutter holder mounting structure 1 is There are merits that the exterior is simple and the work of assembling to the scribing head 9 can be easily performed.

図４は本発明の第３の実施形態を示すものである。上記第１、第２の実施形態においては、カッターホルダ取付構造体としてカッターホルダを保持するホルダジョイントを用いたが、第３の実施形態ではホルダジョイントを省略して、カッターホルダと旋回軸を一体に形成している。 FIG. 4 shows a third embodiment of the invention. In the first and second embodiments, the holder joint for holding the cutter holder is used as the cutter holder mounting structure. is formed in

第３の実施形態のカッターホルダ取付構造体１０１は、カッターホルダ１０２と、玉ベアリング１１０、１１１と、カバー体１２１とを備えており、カッターホルダ１０２がスクライブ装置Ａのスクライブヘッド１０９にホルダジョイントを介さずに取り付けられるようにされている。
カッターホルダ１０２は略円柱状の胴部１０４を有し、この胴部１０４の下端部分に当該胴部１０４の軸心に対して直交するホイール軸１０５を介してカッターホイール１０６が回転自在に取り付けられている。カッターホルダ１０２はその上部に上下方向に延びる旋回軸１０８を備え、この旋回軸１０８の上端に磁石体１１３が取り付けられている。旋回軸１０８の周囲には玉ベアリング１１０、１１１が取り付けられており、さらに、旋回軸８の周囲を玉ベアリング１１０、１１１と共に覆う円筒状のカバー体１２１が設けられている。そして、玉ベアリング１１０の外輪１１０ｂがカバー体１２１に取り付けられ、玉ベアリング１１０、１１１の内輪１１０ａ、１１１ａがカッターホルダの旋回軸１０８に取り付けられ、カバー体１２１の天板下面には、磁石体１１３によって吸引されて旋回軸１０８を常時持ち上げる磁性体である鋼球１１８が設けられている。 A cutter holder mounting structure 101 of the third embodiment includes a cutter holder 102, ball bearings 110 and 111, and a cover body 121. It is designed to be attached without intervening.
The cutter holder 102 has a substantially cylindrical body portion 104, and a cutter wheel 106 is rotatably attached to the lower end portion of the body portion 104 via a wheel shaft 105 perpendicular to the axis of the body portion 104. ing. The cutter holder 102 has a vertically extending pivot shaft 108 on its upper portion, and a magnet body 113 is attached to the upper end of the pivot shaft 108 . Ball bearings 110 and 111 are attached around the swivel shaft 108 , and a cylindrical cover body 121 is provided to cover the swivel shaft 8 together with the ball bearings 110 and 111 . The outer ring 110b of the ball bearing 110 is attached to the cover body 121, the inner rings 110a and 111a of the ball bearings 110 and 111 are attached to the rotary shaft 108 of the cutter holder, and the magnet body 113 is attached to the lower surface of the top plate of the cover body 121. A magnetic steel ball 118 is provided which is attracted by and constantly lifts the pivot 108 .

第３の実施形態においても第１、第２の実施形態と同様に、スクライブ初期におけるカッターホイール１０６の首振り現象を防止することができ、これにより、スクライブ初期の斜め走行を抑制して、スクライブ予定ラインに沿って正確にスクライブラインを加工することができた。
特に第３の実施形態では、玉ベアリング１１０、１１１や磁石体１１３、鋼球１１８がカバー体１２１内に格納されてチップホルダ１０２と一体的に形成されているので、カッターホルダ取付構造体１０１の外装がシンプルになると共に、スクライブヘッド９への組み付け作業を容易に行うことができるといったメリットがある。 In the third embodiment, similarly to the first and second embodiments, it is possible to prevent the swinging phenomenon of the cutter wheel 106 at the initial stage of scribing. A scribe line could be processed accurately along the planned line.
Especially in the third embodiment, the ball bearings 110 and 111, the magnet body 113, and the steel balls 118 are housed in the cover body 121 and formed integrally with the tip holder 102. There are merits in that the exterior is simple and the assembly work to the scribing head 9 can be easily performed.

本発明者等は、本発明に係るカッターホルダ取付構造と、従来例のカッターホルダ取付構造を用いたスクライブヘッドで、それぞれ５０回のスクライブ試験を行った。カッターホイールは直径２ｍｍのものを用い、厚み０．４ｍｍのガラス基板に対して図に示すように上方から降下させて、スクライブ荷重３Ｎで走行させた。図５はその時のずれ量（図９に示す距離Ｚ）を示すものである。
この試験結果によれば、従来例のカッターホルダ取付構造を用いたスクライブヘッドでは最大で２４μｍ、平均で１３μｍのずれ量が検出され、特にずれ量のバラツキが目立った。これに対し、本発明のカッターホルダ取り付け構造を用いたものでは最大でも従来の半分以下の９μｍ、平均で６μｍのずれ量しかなく、またずれ量のバラツキも小さく、優れた効果を発揮した。 The inventors conducted 50 scribing tests with scribing heads using a cutter holder mounting structure according to the present invention and a conventional cutter holder mounting structure. A cutter wheel having a diameter of 2 mm was used, and a glass substrate having a thickness of 0.4 mm was lowered from above as shown in the figure, and was run with a scribing load of 3N. FIG. 5 shows the amount of deviation (distance Z shown in FIG. 9) at that time.
According to the results of this test, the scribing head using the conventional cutter holder mounting structure detected a maximum displacement of 24 μm and an average displacement of 13 μm, and the dispersion of the displacement was particularly conspicuous. On the other hand, when the cutter holder mounting structure of the present invention is used, the amount of deviation is only 9 μm at maximum, which is less than half that of the conventional method, and the amount of deviation is only 6 μm on average.

以上、本発明の代表的な実施形態について説明したが、本発明は必ずしも上記の実施形態に特定されるものでない。例えば、旋回軸８を旋回可能に支持するための玉ベアリングとして、上記実施形態では球を内蔵したものを用いたが、円錐体や円柱体のコロを内蔵したベアリングであってもよい。また、ベアリングの数を増減して実施することも可能である。
さらに、磁石体１３が吸引する磁性体として鋼球１８を用いたが、磁石体１３に吸引されることができるよう磁性を有する素材で形成されたものであれば、円柱、角柱等その他の形状の部材を旋回軸の上部に設けてもよい。その他本発明では、その目的を達成し、請求の範囲を逸脱しない範囲内で適宜修正、変更することが可能である。 Although representative embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not necessarily limited to the above embodiments. For example, as the ball bearing for rotatably supporting the swivel shaft 8, in the above embodiment, ball bearings containing balls are used, but bearings containing conical or cylindrical rollers may also be used. It is also possible to increase or decrease the number of bearings.
Further, although the steel ball 18 is used as the magnetic body to be attracted by the magnet body 13, other shapes such as cylinders, prisms, etc. may be used as long as they are made of a material having magnetism so as to be attracted by the magnet body 13. member may be provided above the pivot shaft. In addition, the present invention can be appropriately modified and changed within the scope of achieving the object and not departing from the scope of the claims.

本発明は、ガラス等の脆性材料基板の表面に分断用のスクライブラインを加工するカッターホイールを保持するためのカッターホルダ取付構造並びにホルダジョイントに適用することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be applied to a cutter holder mounting structure and a holder joint for holding a cutter wheel for processing scribe lines for division on the surface of a brittle material substrate such as glass.

Ａ、 スクライブ装置
Ｌ２ ベアリングの内部間隙
１、１０１ カッターホルダ取付構造体
２、１０２ カッターホルダ
３ ホルダジョイント
６、１０６ カッターホイール
８、１０８ 旋回軸
９、１０９ スクライブヘッド
１０、１１０ 下部の玉ベアリング
１０ａ、１１０ａ ベアリングの内輪
１０ｂ、１１０ｂ ベアリングの外輪
１３、１１３ 磁石体
１８、１１８ 鋼球
２１、１２１ カバー体 A, scribe device L2 bearing internal clearance 1, 101 cutter holder mounting structure 2, 102 cutter holder 3 holder joint 6, 106 cutter wheel 8, 108 pivot shaft 9, 109 scribe head 10, 110 lower ball bearing 10a, 110a Inner ring of bearing 10b, 110b Outer ring of bearing 13, 113 Magnet body 18, 118 Steel ball 21, 121 Cover body

Claims (8)

下端にカッターホイールを備えたカッターホルダ取付構造体の旋回軸が玉ベアリングを介してスクライブ装置のスクライブヘッドに旋回自在に取り付けられたカッターホルダ取付構造であって、
前記玉ベアリングの外輪が前記スクライブヘッドもしくはこれに連なる部分に取り付けられ、前記玉ベアリングの内輪が前記旋回軸に取り付けられ、
前記旋回軸の上部に磁石体が配置され、前記磁石体に吸引されることにより前記旋回軸を前記内輪とともに持ち上げる磁性体が配置されているように構成されているカッターホルダ取付構造。 A cutter holder mounting structure in which a turning shaft of a cutter holder mounting structure having a cutter wheel at its lower end is rotatably mounted to a scribing head of a scribing device via a ball bearing,
An outer ring of the ball bearing is attached to the scribe head or a portion connected thereto, an inner ring of the ball bearing is attached to the pivot shaft,
A cutter holder mounting structure, wherein a magnet is arranged above the turning shaft, and a magnetic body is arranged to lift the turning shaft together with the inner ring by being attracted by the magnet. 前記玉ベアリングの外輪が前記スクライブヘッドに取り付けられ、前記玉ベアリングの内輪が前記カッターホルダ取付構造体の旋回軸に取り付けられ、前記磁性体が前記旋回軸の上方で前記スクライブヘッドに取り付けられている請求項１に記載のカッターホルダ取付構造。 The outer ring of the ball bearing is attached to the scribing head, the inner ring of the ball bearing is attached to the pivot shaft of the cutter holder mounting structure, and the magnetic body is attached to the scribe head above the pivot shaft. The cutter holder mounting structure according to claim 1. 前記カッターホルダ取付構造体の旋回軸の周囲を前記玉ベアリングと共に覆うカバー体が設けられ、前記玉ベアリングの外輪が前記カバー体に取り付けられ、前記玉ベアリングの内輪が前記カッターホルダ取付構造体の旋回軸に取り付けられ、前記磁性体が前記旋回軸の上方で前記カバー体の内部に取り付けられ、前記カバー体が前記スクライブヘッドに取り付けられている請求項１に記載のカッターホルダ取付構造。 A cover body is provided to cover the circumference of the turning shaft of the cutter holder mounting structure together with the ball bearing, the outer ring of the ball bearing is mounted on the cover body, and the inner ring of the ball bearing turns the cutter holder mounting structure. 2. The cutter holder mounting structure according to claim 1, wherein the magnetic body is mounted inside the cover body above the pivot shaft, and the cover body is mounted on the scribe head. 前記磁性体を吸引して前記旋回軸を常時持ち上げる前記磁石体の吸引力が、前記旋回軸の旋回を許容する範囲内で設定されている請求項１～３のいずれかに記載のカッターホルダ取付構造。 The cutter holder attachment according to any one of claims 1 to 3, wherein an attractive force of the magnet that attracts the magnetic body and always lifts the turning shaft is set within a range that allows the turning of the turning shaft. structure. 前記カッターホルダ取付構造体が、カッターホルダと、前記カッターホルダを保持するホルダジョイントと、を含み、前記ホルダジョイントが前記旋回軸を備えることを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載のカッターホルダ取付構造。 5. The cutter holder mounting structure according to any one of claims 1 to 4, wherein the cutter holder mounting structure includes a cutter holder and a holder joint that holds the cutter holder, and the holder joint is provided with the pivot shaft. Cutter holder mounting structure. 前記旋回軸がカッターホルダと一体に形成されていることを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載のカッターホルダ取付構造。 The cutter holder mounting structure according to any one of claims 1 to 4, wherein the turning shaft is formed integrally with the cutter holder. 下端にカッターホイールが保持され、上方に旋回軸を備えるカッターホルダであって、
前記旋回軸の周囲を玉ベアリングと共に覆うカバー体が設けられ、前記玉ベアリングの外輪が前記カバー体に取り付けられ、
前記玉ベアリングの内輪が前記旋回軸に取り付けられており、
前記旋回軸の上部に磁石体が取り付けられ、前記磁石体を吸引する磁性体が前記旋回軸の上方で前記カバー体の内部に取り付けられていることを特徴とするカッターホルダ。 A cutter holder having a cutter wheel held at its lower end and having a pivot shaft above,
A cover body is provided to cover the periphery of the turning shaft together with the ball bearing, and an outer ring of the ball bearing is attached to the cover body,
an inner ring of the ball bearing is attached to the pivot shaft;
A cutter holder according to claim 1, wherein a magnet is attached to an upper portion of the pivot shaft, and a magnetic member for attracting the magnet is attached inside the cover body above the pivot shaft. 下方にカッターホルダが保持される開口部を有し、上方に旋回軸を備えるホルダジョイントであって、前記旋回軸の周囲を玉ベアリングと共に覆うカバー体が設けられ、前記玉ベアリングの外輪が前記カバー体に取り付けられ、前記玉ベアリングの内輪が前記旋回軸に取り付けられ、磁石体が前記旋回軸の上部に取り付けられ、前記磁石体を吸引する磁性体が前記旋回軸の上方で前記カバー体の内部に取り付けられていることを特徴とするホルダジョイント。 A holder joint having an opening below which a cutter holder is held and a pivot shaft above, wherein a cover body is provided to cover the periphery of the pivot shaft together with a ball bearing, and an outer ring of the ball bearing covers the cover. an inner ring of the ball bearing is attached to the pivot shaft; a magnet is attached to an upper part of the pivot shaft; A holder joint characterized in that it is attached to the
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102267756B1 (en) * 2019-08-30 2021-06-22 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) Drop prevention apparatus using magnetic force in scribe head for dividing substrate
JP7398093B2 (en) * 2019-12-13 2023-12-14 三星ダイヤモンド工業株式会社 Cutter holder mounting structure and cutter holder

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000335929A (en) 1999-05-27 2000-12-05 Berudekkusu:Kk Scribing apparatus
JP2005213116A (en) 2004-01-30 2005-08-11 Sony Corp Scribing device
JP2009091178A (en) 2007-10-05 2009-04-30 Citizen Seimitsu Co Ltd Scribing device

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5210356U (en) 1975-07-10 1977-01-25
DE4228964C1 (en) * 1992-08-31 1993-11-18 Siemens Ag Rotary anode bearing for X=ray tube - has roller bearing which is loaded with axially directed force to eliminate bearing play using magnetic parts mounted on end wall of vacuum tube and rotating shaft respectively.
JPH08170635A (en) * 1994-12-20 1996-07-02 Ntn Corp Preload device for single row rolling bearing
JPH10158022A (en) * 1996-11-29 1998-06-16 Mitsuboshi Daiyamondo Kogyo Kk Cutter head
JP2012056779A (en) * 2010-09-06 2012-03-22 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd Holder joint
KR101327037B1 (en) * 2010-10-18 2013-11-07 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 Scribe head and scribe device
JP5826652B2 (en) * 2012-01-31 2015-12-02 三星ダイヤモンド工業株式会社 Holder unit and scribing device
KR101528905B1 (en) * 2013-11-08 2015-06-12 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) Scribe head with rotation mechanism
JP2015120252A (en) * 2013-12-20 2015-07-02 三星ダイヤモンド工業株式会社 Holder attachment structure, scribe device, holder unit, and holder joint
JP6331707B2 (en) * 2014-05-30 2018-05-30 三星ダイヤモンド工業株式会社 Scribe head and scribing device
JP6349971B2 (en) * 2014-05-30 2018-07-04 三星ダイヤモンド工業株式会社 Scribe head and scribing device
JP6515518B2 (en) * 2014-12-12 2019-05-22 三星ダイヤモンド工業株式会社 Holder, holder unit and scribing device
JP2017119364A (en) * 2015-12-28 2017-07-06 三星ダイヤモンド工業株式会社 Scribing device and scribing method
JP2018140597A (en) * 2017-02-28 2018-09-13 三星ダイヤモンド工業株式会社 Cutter holder mounting structure and holder joint

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000335929A (en) 1999-05-27 2000-12-05 Berudekkusu:Kk Scribing apparatus
JP2005213116A (en) 2004-01-30 2005-08-11 Sony Corp Scribing device
JP2009091178A (en) 2007-10-05 2009-04-30 Citizen Seimitsu Co Ltd Scribing device

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