JP7398093B2 - Cutter holder mounting structure and cutter holder - Google Patents

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Description

本発明は、ガラス等の脆性材料基板の表面に分断用のスクライブライン（切り溝）を加工する際に使用されるカッターホイール（スクライビングホイールともいう）を保持するカッターホルダを、スクライブ装置のスクライブヘッドに取付けるためのカッターホルダ取付構造並びにカッターホルダに関する。 The present invention provides a cutter holder that holds a cutter wheel (also referred to as a scribing wheel) used when cutting scribe lines (cut grooves) for dividing into the surface of a brittle material substrate such as glass, and a scribe head of a scribing device. The present invention relates to a cutter holder mounting structure and a cutter holder for mounting on a cutter holder.

従来、ガラス基板等の脆性材料基板を分断する加工では、カッターホイールを基板表面に押しつけて互いに直交するＸ―Ｙ方向の複数条のスクライブラインを形成し、その後、スクライブラインに沿って裏面側から外力を印加して基板を撓ませることにより、単位基板ごとに分断する方法が一般的に知られており、例えば、特許文献１に開示されている。 Conventionally, in the process of cutting brittle material substrates such as glass substrates, a cutter wheel is pressed against the substrate surface to form multiple scribe lines in the X and Y directions perpendicular to each other, and then the cutter wheel is cut from the back side along the scribe lines. A method of dividing the substrate into unit substrates by applying an external force to bend the substrate is generally known, and is disclosed in Patent Document 1, for example.

カッターホイールは、カッターホルダ取付構造体を介してスクライブ装置のスクライブヘッドの取付穴に取付けて使用される。図５は従来のカッターホルダ取付構造体を示すものである。 The cutter wheel is used by being attached to a mounting hole of a scribing head of a scribing device via a cutter holder mounting structure. FIG. 5 shows a conventional cutter holder mounting structure.

カッターホルダ取付構造体１’はカッターホルダ２と、このカッターホルダ２を保持するホルダジョイント３とを備えている。カッターホルダ２は略円柱状の胴部４を有し、この胴部４の下端部分に当該胴部の軸心に対して直交するホイール軸５を介してカッターホイ－ル６が回転自在に取り付けられている。 The cutter holder mounting structure 1' includes a cutter holder 2 and a holder joint 3 that holds the cutter holder 2. The cutter holder 2 has a substantially cylindrical body 4, and a cutter wheel 6 is rotatably attached to the lower end of the body 4 via a wheel shaft 5 perpendicular to the axis of the body. It is being

また、胴部４の上部には、ホルダジョイント３に取り付ける際の位置決め用の取付部７が設けられている。取付部７は、胴部４を切り欠いて形成された平面部７ａと傾斜面７ｂとを備えている。平面部７ａは胴部４の軸心に対して平行である。また、胴部４は鉄などの磁性材で構成されている。 Furthermore, a mounting portion 7 for positioning when mounting on the holder joint 3 is provided on the upper portion of the body portion 4 . The attachment portion 7 includes a flat portion 7a and an inclined surface 7b, which are formed by cutting out the body portion 4. The plane portion 7a is parallel to the axis of the body portion 4. Further, the body portion 4 is made of a magnetic material such as iron.

ホルダジョイント３は、上部に上下方向に延びる旋回軸８を備え、この旋回軸８がスクライブ装置のスクライブヘッド９に上下一対の玉ベアリング１０、１１を介して回動可能に取付けられている。上下の玉ベアリング１０、１１のそれぞれの内輪１０ａ、１１ａの上下間にはカラー１２が介在されていて上下の間隔が緊密に埋められている。また、旋回軸８の上端が上部玉ベアリングの内輪１１ａとネジや嵌合等の手段により係合されており、これにより旋回軸８がベアリングから下方に抜け出るのを阻止している。また、玉ベアリングの外輪１０ｂ、１１ｂはスクライブヘッド９の取付穴２２に嵌合等の手段により結合されている。 The holder joint 3 is provided with a pivot shaft 8 extending in the vertical direction on its upper part, and this pivot shaft 8 is rotatably attached to a scribing head 9 of a scribing device via a pair of upper and lower ball bearings 10 and 11. A collar 12 is interposed between the upper and lower inner rings 10a and 11a of the upper and lower ball bearings 10 and 11, respectively, so that the space between the upper and lower sides is tightly filled. Further, the upper end of the pivot shaft 8 is engaged with the inner ring 11a of the upper ball bearing by means such as screws or fitting, thereby preventing the pivot shaft 8 from slipping out downward from the bearing. Further, the outer rings 10b and 11b of the ball bearings are coupled to the mounting hole 22 of the scribing head 9 by means such as fitting.

さらに、ホルダジョイント３は、カッターホルダ２を受け入れる断面略円形の開口部１４が下方に向かって開口して形成されており、その内奥部（上端）にカッターホルダ２を吸着保持するための磁石１５が取り付けられている。また、開口部１４の内部には、開口部１４の軸心とは離れた箇所で該軸心と直交する方向に延びる位置決め用の平行ピン１６が設けられている。これにより、カッターホルダ２が開口部１４に挿入されたときに、平行ピン１６がカッターホルダ２の傾斜面７ｂに接触してカッターホイール６の方向が一定となるとともに、カッターホイール６の接地点が旋回軸８の軸心に対してカッターホイール走行方向後方にＬ１だけずれるように位置決めされる。このずれは、カッターホイール走行時に常に進行方向に戻ろうとする所謂「キャスター効果」を発揮してカッターホイールの直進性を助長するためのものである。 Furthermore, the holder joint 3 is formed with an opening 14 opening downward and having a substantially circular cross section for receiving the cutter holder 2, and a magnet for attracting and holding the cutter holder 2 in the inner deep part (upper end) of the opening 14. 15 is attached. Furthermore, a parallel pin 16 for positioning is provided inside the opening 14 at a location away from the axis of the opening 14 and extending in a direction perpendicular to the axis. As a result, when the cutter holder 2 is inserted into the opening 14, the parallel pin 16 contacts the inclined surface 7b of the cutter holder 2, the direction of the cutter wheel 6 becomes constant, and the grounding point of the cutter wheel 6 is fixed. The cutter wheel is positioned so as to be shifted rearward in the running direction of the cutter wheel by L1 with respect to the axis of the pivot shaft 8 . This deviation is to promote the straightness of the cutter wheel by exhibiting the so-called "caster effect" in which the cutter wheel always tries to return to the direction of travel when running.

しかし、上記のカッターホルダでは、Ｘ方向またはＹ方向のスクライブラインを加工する際に、スクライブ開始当初において図６に示すように規定のスクライブ予定ラインＳに対して斜めにずれて走る「斜め切り」のスクライブラインＳ１が発生することがあった。この「斜め切り」の発生原因は下記の点に起因する。
通常、内輪と外輪との間に球やコロ等の滑動子を挟み込んだベアリングでは、滑動子と内輪及び外輪との間には隙間（公差）が存在する。そのため、無負荷時（非スクライブ時）にはカッターホルダ３は前記隙間だけ自重で下がり、逆に負荷時（スクライブ時）は、カッターホイールの基板への押し付けによる反力で前記隙間だけ持ち上げられることになる。このような内部隙間による旋回軸８の上下方向の動きに伴い、旋回軸が僅かに回転し、スクライブ初期においてカッターホイールにブレ（首振り現象）が生じて斜めにずれて走行するものと考えられる。このようにスクライブ初期において斜めにずれると、その後の走行でキャスター効果により直進走行が復帰しても、図６に示すように規定のスクライブ予定ラインからずれて斜めに走るスクライブラインＳ１が形成されることになり、スクライブ精度が劣化することになる。 However, with the above-mentioned cutter holder, when processing a scribe line in the A scribe line S1 sometimes occurred. The cause of this "diagonal cut" is due to the following points.
Generally, in a bearing in which a slider such as a ball or roller is sandwiched between an inner ring and an outer ring, a gap (tolerance) exists between the slider and the inner ring and the outer ring. Therefore, when there is no load (when not scribing), the cutter holder 3 is lowered by its own weight by the above-mentioned gap, and conversely when it is under load (when scribing), it is lifted by the above-mentioned gap due to the reaction force caused by pressing the cutter wheel against the substrate. become. It is thought that due to the vertical movement of the pivot shaft 8 due to such an internal gap, the pivot shaft rotates slightly, causing shake (oscillation phenomenon) in the cutter wheel at the initial stage of scribing, causing the cutter wheel to deviate diagonally. . If the scribe deviates diagonally at the beginning of scribing in this way, even if the straight running is restored due to the caster effect in the subsequent run, a scribe line S1 that deviates from the prescribed scribe line and runs diagonally will be formed as shown in FIG. As a result, scribing accuracy deteriorates.

そこで本出願人はこの問題点を解決するために、特許文献２並びに特許文献３に示すようなカッターホルダ取付構造を先に提案した。これら文献では、旋回軸の上方に当該旋回軸をベアリング内輪と共に常時上方に吸引して持ち上げる磁石を配置して、ベアリングの内部間隙による旋回軸のガタツキを抑制するように構成されている。この磁石の吸引によって旋回軸のガタツキをなくすることにより、スクライブ開始初期における「斜め切り」の発生を効果的に抑制することが可能となった。 Therefore, in order to solve this problem, the present applicant has previously proposed a cutter holder mounting structure as shown in Patent Document 2 and Patent Document 3. In these documents, a magnet is disposed above the pivot shaft to constantly attract and lift the pivot shaft together with the inner ring of the bearing to suppress rattling of the pivot shaft due to the internal gap of the bearing. By eliminating the rattling of the rotating shaft through the attraction of the magnet, it has become possible to effectively suppress the occurrence of "diagonal cuts" at the beginning of scribing.

特許第５２１０３５６号公報Patent No. 5210356 特開２０１８－１４０５９７号公報JP 2018-140597 Publication 特開２０１９－６４０８４号公報JP2019-64084A

また、従来のカッターホルダ取付構造体を用いたスクライブ装置では、スクライブラインを高速で形成する際に、僅かではあるが、スクライブラインＳ２が図７に示すように波線状に形成されることがあった。発明者等の検証では、波打ちの振幅幅Ｗはカッターホイールの走行速度によって数十～数百μmの幅で発生し、スクライブ速度が速くなるほど発生頻度が高くなる傾向がある。このような現象が発生すると、当然ながら分断ラインの精度が悪くなり、最高品質の製品を得ることができない。 In addition, in a scribing device using a conventional cutter holder mounting structure, when forming a scribe line at high speed, the scribe line S2 may be formed in a wavy line shape, although slightly, as shown in FIG. Ta. According to the inventors' verification, the amplitude width W of undulation occurs in a width of several tens to several hundred μm depending on the running speed of the cutter wheel, and the frequency of occurrence tends to increase as the scribing speed increases. When such a phenomenon occurs, the accuracy of the cutting line naturally deteriorates, making it impossible to obtain the highest quality product.

このような現象が発生する原因として、カッターホルダ取付構造体とこれをはめ込むスクライブヘッドとの固定方法が影響していると考えられる。多数のスクライブヘッドを備える大型のスクライブ装置においては、カッターホルダ取付構造体のスクライブヘッドへの取付けを容易にするため、カッターホルダ取付構造体を固定した状態においても、スクライブヘッドの取付穴との間にはめ合い公差（はめ合いのための最小必要限度の隙間）が存在するものがある。このはめ合い公差によって、高速でのスクライブ時にカッターホルダ取付構造体が僅かにブレたり、装置に起因する振動が増幅されることにより、波打ち現象が生じやすいと考えられる。旋回軸の周囲を覆うカバー付きタイプ（特許文献２の図４並びに特許文献３の図３、図４のタイプ）のカッターホルダ取付構造体を用いても、このようなブレや振動が大きくなるとその抑制が困難になると考えられる。 The reason why such a phenomenon occurs is considered to be due to the method of fixing the cutter holder mounting structure and the scribing head into which it is fitted. In a large scribing device equipped with multiple scribing heads, in order to make it easier to attach the cutter holder mounting structure to the scribing head, even when the cutter holder mounting structure is fixed, there is a gap between the cutter holder mounting structure and the mounting hole of the scribing head. Some products have a fitting tolerance (minimum necessary gap for fitting). It is thought that due to this fitting tolerance, the cutter holder mounting structure slightly shakes during high-speed scribing, and vibrations caused by the device are amplified, resulting in a waving phenomenon. Even if a cutter holder mounting structure of the type with a cover that covers the rotation axis (the type shown in Fig. 4 of Patent Document 2 and Figs. 3 and 4 of Patent Document 3) is used, if such shaking and vibration become large, the It is thought that suppression will become difficult.

また、上記のカバー付きタイプのカッターホルダ取付構造体においても、特に基板下側からのスクライブ時に切粉などの微細な粉塵がベアリングの内、外輪の隙間を抜けてカバー体の内部に侵入して蓄積され、旋回軸の円滑な動作を阻害する可能性もあった。 In addition, even in the cutter holder mounting structure of the above-mentioned type with a cover, fine dust such as chips can enter the inside of the cover body through the gap between the inner and outer rings of the bearing, especially when scribing from the bottom of the board. There was also the possibility that it would accumulate and impede the smooth operation of the pivot shaft.

そこで本発明は、上記の課題に鑑み、高速スクライブ時にも直線で精度のよいスクライブラインを形成することができるカッターホルダ取付構造並びにカッターホルダを提供することを主たる目的とする。 In view of the above problems, the main object of the present invention is to provide a cutter holder mounting structure and a cutter holder that can form a straight and highly accurate scribe line even during high-speed scribing.

さらに本発明の他の目的は、スクライブ時に粉塵がカバー体内部に侵入することを確実に防止することのできる高度な防塵機能を備えたカッターホルダ取付構造並びにカッターホルダを提供することにある。 Still another object of the present invention is to provide a cutter holder mounting structure and a cutter holder that have a highly dustproof function that can reliably prevent dust from entering the inside of the cover body during scribing.

上記課題を解決するために本発明では次のような技術的手段を講じた。すなわち本発明にかかるカッターホルダ取付構造は、下端にカッターホイールを有するカッターホルダの旋回軸がベアリングを介して下向きに開口した円筒状のカバー体の内部に取り付けられ、前記カバー体がスクライブヘッドの取付穴に取り付けられたカッターホルダ取付構造であって、前記カバー体の外周面に当該カバー体と前記スクライブヘッドの取付穴とのはめ合い公差を埋める弾性体が設けられている構成とした。 In order to solve the above problems, the present invention takes the following technical measures. That is, in the cutter holder mounting structure according to the present invention, the pivot shaft of the cutter holder having a cutter wheel at the lower end is mounted inside a downwardly opening cylindrical cover body via a bearing, and the cover body is used for mounting a scribe head. The cutter holder is attached to a hole, and the cutter holder is attached to a hole, and an elastic body is provided on the outer circumferential surface of the cover body to fill a fitting tolerance between the cover body and the attachment hole of the scribe head.

ここで、前記弾性体は環状であり、カバー体外周面の上下箇所に振り分けて複数設けられている構成とするのがよい。 Here, it is preferable that the elastic body is annular and a plurality of elastic bodies are provided at upper and lower locations on the outer circumferential surface of the cover body.

上記の構成により、はめ合い公差による隙間がなくなるので、スクライブ時にカッターホルダ取付構造体のはめ合い公差に起因するブレ現象を阻止することができ、高速走行におけるブレや振動の影響を抑制して規定のスクライブ予定ラインに沿って正確に直線のスクライブラインを加工することができる、といった効果がある。 With the above configuration, there is no gap due to the fit tolerance, so it is possible to prevent the shaking phenomenon caused by the fit tolerance of the cutter holder mounting structure during scribing, and to suppress the effects of shake and vibration during high-speed running. This has the effect that a straight scribe line can be accurately machined along the planned scribe line.

本発明においては、さらに前記カバー体にエアー抜き孔を設けた構成とした。
これにより、カバー体をスクライブヘッドの取付穴に嵌入するときに弾性体によって圧縮された取付穴内のエアーをエアー抜き孔からカバー体内に逃がすことができてカバー体の嵌入操作を容易におこなうことができる。 In the present invention, the cover body is further provided with an air vent hole.
As a result, when the cover body is inserted into the mounting hole of the scribe head, the air compressed by the elastic body in the mounting hole can escape from the air vent hole into the cover body, making it easier to insert the cover body. can.

本発明において、前記カバー体の下部と、前記ベアリングの下方位置で前記旋回軸に連なる部分の周壁との間に粉塵の侵入を防止するラビリンス構造が形成されている構成とするのがよい。
これにより、スクライブ時に切粉などの微細な粉塵がカバー体内部に侵入することを防止し、長期にわたって旋回軸の円滑な動作を維持することができる。 In the present invention, it is preferable that a labyrinth structure for preventing dust from entering is formed between the lower part of the cover body and a peripheral wall of a portion connected to the pivot shaft at a position below the bearing.
This prevents fine dust such as cutting chips from entering the inside of the cover body during scribing, and allows smooth operation of the pivot shaft to be maintained over a long period of time.

本発明において、前記ベアリングの内輪が前記旋回軸に取付けられ、前記ベアリングの外輪が前記カバー体に取り付けられ、前記旋回軸の上部に磁石が配置され、当該磁石に吸引されることにより前記旋回軸を前記内輪とともに持ち上げる磁性体が配置されている構成とするのがよい。
これにより、上記したはめ合い公差の隙間の解消とともにベアリング内、外輪間の隙間もなくなって、より精密な直線のスクライブラインを加工することが可能となる。 In the present invention, the inner ring of the bearing is attached to the rotating shaft, the outer ring of the bearing is attached to the cover body, a magnet is disposed above the rotating shaft, and the rotating shaft is attracted by the magnet. It is preferable that a magnetic body is disposed to lift the inner ring together with the inner ring.
This eliminates the gap due to the above-mentioned fitting tolerance and also eliminates the gap between the inner and outer rings of the bearing, making it possible to process a more precise straight scribe line.

また、別の観点からなされた本発明のカッターホルダは、下端にカッターホイールを有するカッターホルダの旋回軸がベアリングを介して下向きに開口した円筒状カバー体の内部に取り付けられたカッターホルダであって、前記カバー体の外周面に、当該カバー体を取り付けるスクライブヘッドの取付穴とカバー体とのはめ合い公差を埋める弾性体が設けられ、前記カバー体の下部と、前記ベアリングの下方位置で前記旋回軸に連なる部分との間に粉塵の侵入を防止するラビリンス構造が形成されている構成とした。
これにより、カッターホルダの外装をシンプルに形成できると共に、スクライブヘッドの取付穴に嵌め込んだ際にはめ合い公差による隙間がなくなってスクライブ時のカッターホイールのブレ現象を阻止することができる。加えて、ラビリンス構造によって切粉などの微細な粉塵がカバー体内部に侵入することを防止することができる。 Further, the cutter holder of the present invention, which has been made from another point of view, is a cutter holder in which the pivot shaft of the cutter holder having a cutter wheel at the lower end is attached to the inside of a cylindrical cover body which opens downward via a bearing. , an elastic body is provided on the outer circumferential surface of the cover body to fill the fitting tolerance between the cover body and the mounting hole of the scribe head to which the cover body is attached, and the elastic body is provided at the lower part of the cover body and at a position below the bearing. A labyrinth structure is formed between the parts connected to the shaft to prevent dust from entering.
As a result, the exterior of the cutter holder can be formed simply, and when the cutter holder is fitted into the mounting hole of the scribe head, there is no gap due to fitting tolerances, thereby preventing the cutter wheel from wobbling during scribing. In addition, the labyrinth structure can prevent fine dust such as chips from entering the cover body.

本発明にかかるカッターホルダ取付構造体の斜視図。FIG. 1 is a perspective view of a cutter holder mounting structure according to the present invention. カッターホルダ取付構造体をスクライブヘッドの取付穴に取り付ける前を示す断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view showing the cutter holder mounting structure before it is attached to the mounting hole of the scribe head. カッターホルダ取付構造体をスクライブヘッドの取付穴に取り付けた状態を示す断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view showing the cutter holder mounting structure attached to the mounting hole of the scribe head. 本発明の第２の実施例を示す図３同様の断面図。FIG. 4 is a sectional view similar to FIG. 3 showing a second embodiment of the present invention. 従来のカッターホルダ取付構造を示す断面図。FIG. 3 is a sectional view showing a conventional cutter holder mounting structure. 従来のカッターホルダ取付構造により取付けたカッターホイールで基板にスクライブしたときの軌跡を示す平面図。FIG. 3 is a plan view showing the locus of scribing on a substrate with a cutter wheel mounted using a conventional cutter holder mounting structure. さらに別の従来のカッターホルダ取付構造により取付けたカッターホイールで基板にスクライブしたときの軌跡を示す平面図。FIG. 7 is a plan view showing the locus of scribing on a substrate with a cutter wheel mounted using yet another conventional cutter holder mounting structure.

以下において、本発明の第１の実施形態にかかるカッターホルダの取付構造について図１～図３に基づき詳細に説明する。本発明に係るカッターホルダの取付構造では、その一部において上記図５で示した従来のカッターホルダ取付構造と同じ機能をもつ構成要素を含んでいる。従って、同じ機能を有する部分については同じ符号を付して説明する。 Below, a cutter holder mounting structure according to a first embodiment of the present invention will be explained in detail based on FIGS. 1 to 3. The cutter holder mounting structure according to the present invention partially includes components having the same functions as the conventional cutter holder mounting structure shown in FIG. 5 above. Therefore, parts having the same functions will be described with the same reference numerals.

本発明の第１の実施形態に係るカッターホルダ取付構造体１はカッターホルダ２と、このカッターホルダ２を保持するホルダジョイント３とを備えている。カッターホルダ２は略円柱状の胴部４を有し、この胴部４の下端部分に当該胴部４の軸心に対して直交するホイール軸５を介してカッターホイ－ル６が回転自在に取り付けられている。なお、本発明において下側とは加工対象である脆性材料基板が位置する方向を意味する。 A cutter holder mounting structure 1 according to a first embodiment of the present invention includes a cutter holder 2 and a holder joint 3 that holds this cutter holder 2. The cutter holder 2 has a substantially cylindrical body 4, and a cutter wheel 6 is rotatably attached to the lower end of the body 4 via a wheel shaft 5 perpendicular to the axis of the body 4. installed. In the present invention, the term "lower side" refers to the direction in which the brittle material substrate to be processed is located.

また、胴部４の上部には、ホルダジョイント３に取り付ける際の位置決め用の取付部７が設けられている。取付部７は、胴部４を切り欠いて形成された平面部７ａと傾斜面７ｂとを備えている。平面部７ａは胴部４の軸心に対して平行である。また、胴部４は鉄などの磁性材で構成されている。 Furthermore, a mounting portion 7 for positioning when mounting on the holder joint 3 is provided on the upper portion of the body portion 4 . The attachment portion 7 includes a flat portion 7a and an inclined surface 7b, which are formed by cutting out the body portion 4. The plane portion 7a is parallel to the axis of the body portion 4. Further, the body portion 4 is made of a magnetic material such as iron.

ホルダジョイント３は、上部に上下方向に延びる旋回軸８を備え、この旋回軸８が上下のベアリング１０、１１を介して下向きに開口した円筒状カバー体２１の内部に回動可能に取り付けられ、前記カバー体２１がスクライブ装置のスクライブヘッド９の取付穴２２に嵌合して取り付けられている。上下のベアリング１０、１１のそれぞれの内輪１０ａ、１１ａの間にはカラー１２が介在されていて上下のベアリングの間隔が緊密に埋められている。また、旋回軸８の上端面に磁石１３が取り付けられている。また、下部のベアリング１０の外輪１０ｂはカバー体２１に、内輪１０ａは旋回軸８に嵌合等の手段によりそれぞれ結合されている。 The holder joint 3 is provided with a pivot shaft 8 extending in the vertical direction at its upper part, and this pivot shaft 8 is rotatably attached to the inside of a cylindrical cover body 21 opening downward via upper and lower bearings 10 and 11. The cover body 21 is attached by fitting into the attachment hole 22 of the scribing head 9 of the scribing device. A collar 12 is interposed between the inner rings 10a and 11a of the upper and lower bearings 10 and 11, so that the gap between the upper and lower bearings is tightly filled. Further, a magnet 13 is attached to the upper end surface of the pivot shaft 8 . Further, the outer ring 10b of the lower bearing 10 is connected to the cover body 21, and the inner ring 10a is connected to the pivot shaft 8 by means such as fitting.

さらに、ホルダジョイント３は、カッターホルダ２を受け入れる断面略円形の開口部１４が下方に向かって開口して形成されており、その内奥部（上端）にカッターホルダ２を吸着保持するための磁石１５が取り付けられている。
また、開口部１４の内部には、開口部１４の軸心とは離れた箇所で該軸心と直交する方向に延びる位置決め用の平行ピン１６が設けられている。これにより、カッターホルダ２が開口部１４に挿入されたときに、平行ピン１６がカッターホルダ２の傾斜面７ｂに接触してカッターホイール６の方向が一定となるとともに、カッターホイール６の接地点が旋回軸８の軸心に対してカッターホイール走行方向後方にＬ１だけずれるように位置決めされる。 Furthermore, the holder joint 3 is formed with an opening 14 opening downward and having a substantially circular cross section for receiving the cutter holder 2, and a magnet for attracting and holding the cutter holder 2 in the inner deep part (upper end) of the opening 14. 15 is attached.
Furthermore, a parallel pin 16 for positioning is provided inside the opening 14 at a location away from the axis of the opening 14 and extending in a direction perpendicular to the axis. As a result, when the cutter holder 2 is inserted into the opening 14, the parallel pin 16 contacts the inclined surface 7b of the cutter holder 2, the direction of the cutter wheel 6 becomes constant, and the grounding point of the cutter wheel 6 is fixed. The cutter wheel is positioned so as to be shifted rearward in the running direction of the cutter wheel by L1 with respect to the axis of the pivot shaft 8 .

さらに、旋回軸８の磁石１３の上方でカバー体２１の天板２１ａの下面に、前記磁石１３に吸引して旋回軸８を上方に持ち上げるための磁性体である鋼球１８が取り付けられている。この鋼球１８と磁石１３との吸引作用により、旋回軸８はこの旋回軸に取付けたベアリングの内輪１０ａ、１１ａと共にベアリングの内部隙間だけ持ち上げられた姿勢を常時保持し、無負荷時（非スクライブ時）にベアリングの内部隙間の間で自重により下方に動くことはない。従って、内部隙間によるガタツキが無くなってスクライブ初期におけるカッターホイール６の首振り現象を防止することができる。なお、磁石１３の吸着力は、旋回軸８を吸引して上方に持ち上げるものであるが、上述した「キャスター効果」による旋回軸８の旋回は許容される範囲のものが用いられる。 Furthermore, above the magnet 13 of the pivot shaft 8, a steel ball 18, which is a magnetic material, is attached to the lower surface of the top plate 21a of the cover body 21 to attract the magnet 13 and lift the pivot shaft 8 upward. . Due to the attraction between the steel balls 18 and the magnets 13, the pivot shaft 8, together with the inner rings 10a and 11a of the bearings attached to the pivot shaft, always maintains a posture lifted by the internal gap of the bearings, and when there is no load (non-scribing). It will not move downward due to its own weight between the internal gaps of the bearing. Therefore, the backlash caused by the internal gap is eliminated, and the swinging phenomenon of the cutter wheel 6 at the initial stage of scribing can be prevented. Note that the attraction force of the magnet 13 is such that it attracts the pivot shaft 8 and lifts it upward, but it is within a range that allows the pivot shaft 8 to pivot due to the above-mentioned "caster effect."

さらに、本発明では、前記カバー体２１の外周面に、当該カバーとスクライブヘッドの取付穴２２とのはめ合い公差を埋める環状の弾性体であるＯリング２３が設けられている。Ｏリング２３は、カバー体外周面の上下に振り分けて２個設けられている。また、カバー体２１の天板２１ａに上下に貫通するエアー抜き孔２１ｂが設けられている。 Further, in the present invention, an O-ring 23, which is an annular elastic body, is provided on the outer circumferential surface of the cover body 21 to fill the fitting tolerance between the cover and the mounting hole 22 of the scribe head. Two O-rings 23 are provided on the upper and lower sides of the outer peripheral surface of the cover body. Further, an air vent hole 21b is provided in the top plate 21a of the cover body 21, passing through the top plate 21a vertically.

また、前記カバー体２１の下部と、旋回軸８に連なるホルダジョイント３の周壁との間に、ベアリングへの粉塵の侵入を防止するラビリンス構造が形成されている。このラビリンス構造２４はリング状の凹凸段部からなる間隙で形成されており、これにより旋回軸８の回転性を妨げずに高度な防塵効果を発揮することができる。さらに、ラビリンス構造２４の凹凸段部のうち、ベアリング手前の凹部の底に分岐した溝が設けられており、行き止まりとなった空間２４ａへ通じている。ラビリンス構造２４に侵入した粉塵を当該空間２４ａに蓄積することで、ベアリングへの粉塵の侵入をより確実に抑制することができる。 Further, a labyrinth structure is formed between the lower part of the cover body 21 and the peripheral wall of the holder joint 3 connected to the pivot shaft 8 to prevent dust from entering the bearing. The labyrinth structure 24 is formed by a gap consisting of a ring-shaped uneven stepped portion, and thereby can exhibit a high dustproof effect without impeding the rotatability of the pivot shaft 8. Further, among the uneven stepped portions of the labyrinth structure 24, a branched groove is provided at the bottom of the concave portion in front of the bearing, which leads to the dead-end space 24a. By accumulating the dust that has entered the labyrinth structure 24 in the space 24a, it is possible to more reliably prevent dust from entering the bearing.

さらに、スクライブヘッドの取付穴２２の下部内面で相対する位置に一対のボールプランジャ２５、２５が設けられており、カバー体２１の下部外周面でカバー体の嵌入規定位置にこのボールプランジャ２５が弾力的に係合するリング状の係合溝２１ｃが設けられている。 Further, a pair of ball plungers 25, 25 are provided at opposing positions on the lower inner surface of the mounting hole 22 of the scribe head, and the ball plungers 25 are elastically moved to the prescribed insertion position of the cover body on the lower outer peripheral surface of the cover body 21. A ring-shaped engagement groove 21c that engages with the other end is provided.

また、本実施例では、旋回軸８の回動を選択的に規制することができる回動規制棒２６がカバー体２１から旋回軸８を貫通する挿通孔２１ｄ、８ａに取り付けられている。旋回軸８に形成した挿通穴８ａは磁石１３の吸引による旋回軸８の上下動を許容する大きさで形成されている。カッターホイール６を常時一定方向に向けてスクライブを行いう場合に回動規制棒２６を取り付ける。なお、旋回軸の回動を許容する場合はこの回動規制棒２６を省略する。 Further, in this embodiment, a rotation regulating rod 26 that can selectively restrict the rotation of the pivot shaft 8 is attached to the insertion holes 21d and 8a passing through the pivot shaft 8 from the cover body 21. The insertion hole 8a formed in the pivot shaft 8 is formed in a size that allows the pivot shaft 8 to move up and down due to the attraction of the magnet 13. A rotation regulating rod 26 is attached when performing scribing with the cutter wheel 6 always facing in a fixed direction. Incidentally, when the rotation of the pivot shaft is allowed, the rotation regulating rod 26 is omitted.

上記の構成において、カバー体２１の外周面とスクライブヘッド９の取付穴２２の内周面とのはめ合い公差を埋めるＯリング２３が、上下２カ所に振り分けて設けられているので、はめ合い公差による隙間をカバー体２１の上下でバランスよく埋めることができる。これにより、スクライブ時にカッターホルダ取付構造体１の上記はめ合い公差に起因するブレ現象を阻止することができて、直線で精度のよい スクライブラインを形成することが可能となった。 In the above configuration, the O-rings 23 are provided at two locations, upper and lower, to fill in the fitting tolerance between the outer circumferential surface of the cover body 21 and the inner circumferential surface of the mounting hole 22 of the scribe head 9. The gap between the upper and lower parts of the cover body 21 can be filled in a well-balanced manner. As a result, it is possible to prevent the wobbling phenomenon caused by the above-mentioned fitting tolerance of the cutter holder mounting structure 1 during scribing, and it has become possible to form a straight and highly accurate scribe line.

また、カバー体２１の天板２１ａに上下に貫通するエアー抜き孔２１ｂが設けられているので、カバー体２１をスクライブヘッド９の取付穴２２に嵌入するときにＯリング２３によって圧縮された取付穴２２内のエアーをエアー抜き孔２１ｂからカバー体内に逃がすことができ、これにより、カバー体２１の嵌入操作を容易におこなうことができる。 Moreover, since the top plate 21a of the cover body 21 is provided with an air bleed hole 21b that penetrates vertically, the mounting hole is compressed by the O-ring 23 when the cover body 21 is inserted into the mounting hole 22 of the scribe head 9. The air in the cover body 22 can be released into the cover body through the air vent hole 21b, thereby making it possible to easily insert the cover body 21 into the cover body.

また、スクライブヘッド９の取付穴２２の下部内面で相対する位置に一対のボールプランジャ２５、２５が設けられ、カバー体２１の下部外周面でカバー体の嵌入規定位置にこのボールプランジャ２５が弾力的に係合するリング状の係合溝２１ｃが設けられているので、カバー体２１を規定位置まで嵌入したときに球バネ２５が係合溝２１ｃに弾力的に係合し、カッターホルダ取付構造体１が取付穴２２から抜け出ることを抑制することができる。 A pair of ball plungers 25, 25 are provided at opposing positions on the inner surface of the lower part of the mounting hole 22 of the scribe head 9, and the ball plungers 25 are elastically moved to the prescribed insertion position of the cover body on the outer peripheral surface of the lower part of the cover body 21. Since a ring-shaped engagement groove 21c that engages with the cutter holder mounting structure is provided, the ball spring 25 elastically engages with the engagement groove 21c when the cover body 21 is inserted to the specified position. 1 can be prevented from slipping out from the mounting hole 22.

図４は本発明の第２の実施形態を示すものである。上記第１の実施形態においては、カッターホルダ取付構造体としてカッターホルダを保持するのにホルダジョイントを用いたが、この実施形態ではホルダジョイントを省略して、カッターホルダと旋回軸を一体に形成している。その他の構成要素は先の第１実施例と同じである。したがって、第１実施例と同一の構成要素は同じ符号を付けて図示した。 FIG. 4 shows a second embodiment of the invention. In the first embodiment described above, a holder joint was used as the cutter holder mounting structure to hold the cutter holder, but in this embodiment, the holder joint is omitted and the cutter holder and the pivot shaft are integrally formed. ing. Other components are the same as in the first embodiment. Therefore, the same components as in the first embodiment are illustrated with the same reference numerals.

カッターホルダ１０２は略円柱状の胴部１０４を有し、この胴部１０４の下端部分に当該胴部１０４の軸心に対して直交するホイール軸１０５を介してカッターホイール１０６が回転自在に取り付けられている。カッターホルダ１０２はその上部に上下方向に延びる旋回軸１０８を備えている。
また、カバー体２１の下部と、ベアリング１０の下方位置で旋回軸１０８に連なる胴部１０４の周壁との間に、上記実施例と同様に粉塵の侵入を防止するラビリンス構造１２４が形成されている。 The cutter holder 102 has a substantially cylindrical body 104, and a cutter wheel 106 is rotatably attached to the lower end of the body 104 via a wheel shaft 105 orthogonal to the axis of the body 104. ing. The cutter holder 102 is provided with a pivot shaft 108 extending in the vertical direction at its upper part.
Furthermore, a labyrinth structure 124 is formed between the lower part of the cover body 21 and the circumferential wall of the body part 104 that is connected to the pivot shaft 108 at a position below the bearing 10 to prevent dust from entering, as in the above embodiment. .

この実施例においても、はめ合い公差を埋めるＯリング２３によって、カッターホルダ取付構造体のスクライブ時におけるブレ現象を阻止する効果や、エアー抜き孔２１ｂによるカバー体２１嵌入時の圧縮エアー逃がし効果など、先の第１実施例と同様の効果を発揮することができる。 In this embodiment as well, the O-ring 23 that fills the fitting tolerance has the effect of preventing blurring when scribing the cutter holder mounting structure, and the air vent hole 21b has the effect of releasing compressed air when the cover body 21 is inserted. The same effects as in the first embodiment can be achieved.

以上、本発明の代表的な実施例について説明したが、本発明は必ずしも上記の実施形態に特定されるものでない。例えば、旋回軸８を旋回可能に支持するためのベアリングとして、上記実施例では球を内蔵したものを用いたが、円錐体や円柱体のコロを内蔵したベアリングであってもよい。また、ベアリングの数も増減して実施することが可能である。さらに、上記実施例では弾性体を２つとしたが、所定の幅を有する１つの弾性体としてもよく、３個以上としてもよい。弾性体の形状についても、上記実施例では環状としたが、カバー体の外周に帯状または点状に複数の弾性体を設けてもよい。この場合、カバー体の外周円周上に等間隔に複数の弾性体を設けることが好ましい。また、エアー抜き孔はカバー体の側面に開口してもよく、カバー体の側面に形成する溝としてもよい。さらにまた、磁石体１３が吸引する磁性体として鋼球１８を用いたが、磁石体１３に吸引されることができるよう磁性を有する素材で形成されたものであれば、円柱、角柱等その他の形状の部材を旋回軸の上部に設けてもよい。その他本発明では、その目的を達成し、請求の範囲を逸脱しない範囲内で適宜修正、変更することが可能である。 Although typical embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not necessarily limited to the above-described embodiments. For example, as a bearing for rotatably supporting the pivot shaft 8, a bearing with built-in balls was used in the above embodiment, but a bearing with built-in conical or cylindrical rollers may also be used. Further, the number of bearings can be increased or decreased. Furthermore, although the number of elastic bodies is two in the above embodiment, it may be one elastic body having a predetermined width, or three or more elastic bodies may be used. Regarding the shape of the elastic body, although it is annular in the above embodiment, a plurality of elastic bodies may be provided in a band shape or a dot shape around the outer periphery of the cover body. In this case, it is preferable to provide a plurality of elastic bodies at equal intervals on the outer circumference of the cover body. Further, the air vent hole may be opened on the side surface of the cover body, or may be a groove formed on the side surface of the cover body. Furthermore, although the steel ball 18 is used as the magnetic body to be attracted by the magnet body 13, other materials such as a cylinder, a prism, etc. A shaped member may be provided on top of the pivot shaft. In addition, the present invention can be modified and changed as appropriate without departing from the scope of the claims.

本発明は、ガラス等の脆性材料基板の表面に分断用のスクライブラインを加工するカッターホイールを保持するためのカッターホルダ取付構造並びにカッターホルダに適用することができる。 The present invention can be applied to a cutter holder mounting structure and a cutter holder for holding a cutter wheel that processes a dividing scribe line on the surface of a brittle material substrate such as glass.

１ カッターホルダ取付構造体
２ カッターホルダ
３ ホルダジョイント
６ カッターホイール
８ 旋回軸
９ スクライブヘッド
１０、１１ ベアリング
１０ａ、１１ａ ベアリングの内輪
１０ｂ、１１ｂ ベアリングの外輪
２１ カバー体
２１ａ 天板
２１ｂ エアー抜き孔
２１ｃ 係合溝
２２ 取付穴
２３ Ｏリング（弾性体）
２４ ラビリンス構造
２５ ボールプランジャ 1 Cutter holder mounting structure 2 Cutter holder 3 Holder joint 6 Cutter wheel 8 Rotating shaft 9 Scribing head 10, 11 Bearing 10a, 11a Inner ring of bearing 10b, 11b Outer ring of bearing 21 Cover body 21a Top plate 21b Air vent hole 21c Engagement Groove 22 Mounting hole 23 O-ring (elastic body)
24 Labyrinth structure 25 Ball plunger

Claims (5)

下端にカッターホイールを有するカッターホルダの旋回軸がベアリングを介して下向きに開口した円筒状のカバー体の内部に取り付けられ、前記カバー体がスクライブヘッドの取付穴に取り付けられたカッターホルダ取付構造であって、
前記カバー体の外周面に当該カバー体と前記スクライブヘッドの取付穴とのはめ合い公差を埋める弾性体が設けられており、
前記カバー体にエアー抜き孔が設けられているカッターホルダ取付構造。 The cutter holder mounting structure has a cutter holder with a rotating shaft having a cutter wheel at the lower end mounted inside a cylindrical cover body opening downward via a bearing, and the cover body being mounted in a mounting hole of a scribing head. hand,
An elastic body is provided on the outer peripheral surface of the cover body to compensate for a fitting tolerance between the cover body and the mounting hole of the scribe head ,
A cutter holder mounting structure in which an air vent hole is provided in the cover body . 前記弾性体は環状であり、カバー体外周面の上下に振り分けて複数設けられている請求項１に記載のカッターホルダ取付構造。 2. The cutter holder mounting structure according to claim 1, wherein the elastic body is annular and is provided in plural numbers distributed above and below the outer peripheral surface of the cover body. 前記カバー体の下部と、前記ベアリングの下方位置で前記旋回軸に連なる部分の周壁との間に粉塵の侵入を防止するラビリンス構造が形成されている請求項１又は請求項２に記載のカッターホルダ取付構造。 The cutter holder according to claim 1 or 2 , wherein a labyrinth structure for preventing dust from entering is formed between a lower part of the cover body and a peripheral wall of a portion connected to the pivot shaft at a position below the bearing. Mounting structure. 前記ベアリングの内輪が前記旋回軸に取付けられ、前記ベアリングの外輪が前記カバー体に取り付けられ、前記旋回軸の上部に磁石が配置され、当該磁石に吸引されることにより前記旋回軸を前記内輪とともに持ち上げる磁性体が配置されている請求項１～請求項３のいずれかに記載のカッターホルダ取付構造。 The inner ring of the bearing is attached to the rotating shaft, the outer ring of the bearing is attached to the cover body, a magnet is disposed above the rotating shaft, and being attracted by the magnet, the rotating shaft is moved together with the inner ring. The cutter holder mounting structure according to any one of claims 1 to 3 , wherein a magnetic body for lifting is arranged. 下端にカッターホイールを有するカッターホルダの旋回軸がベアリングを介して下向きに開口した円筒状のカバー体の内部に取り付けられたカッターホルダであって、
前記カバー体の外周面に、当該カバー体を取り付けるスクライブヘッドの取付穴とカバー体とのはめ合い公差を埋める弾性体が設けられ、
前記カバー体の下部と、前記ベアリングの下方位置で前記旋回軸に連なる部分との間に粉塵の侵入を防止するラビリンス構造が形成されており、
前記カバー体にエアー抜き孔が設けられているカッターホルダ。 A cutter holder having a cutter wheel at the lower end, the rotation axis of the cutter holder being attached to the inside of a cylindrical cover body opening downward via a bearing,
An elastic body is provided on the outer peripheral surface of the cover body to fill a fitting tolerance between the cover body and a mounting hole of a scribe head to which the cover body is attached,
A labyrinth structure that prevents dust from entering is formed between a lower part of the cover body and a portion connected to the pivot shaft at a lower position of the bearing ,
A cutter holder in which the cover body is provided with an air vent hole .
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000007363A (en) 1998-06-24 2000-01-11 Toyo Sangyo Kk Wheel cutter head
JP2002274875A (en) 2001-01-12 2002-09-25 Bando Kiko Co Ltd Glass sheet cutting head and glass sheet processing equipment including the same
JP2012056779A (en) 2010-09-06 2012-03-22 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd Holder joint
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Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5210356B2 (en) 1971-09-10 1977-03-23
JPH10100140A (en) * 1996-09-30 1998-04-21 Tokyo Seiko Co Ltd Wire type cutting apparatus
JP2018140597A (en) 2017-02-28 2018-09-13 三星ダイヤモンド工業株式会社 Cutter holder mounting structure and holder joint

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000007363A (en) 1998-06-24 2000-01-11 Toyo Sangyo Kk Wheel cutter head
JP2002274875A (en) 2001-01-12 2002-09-25 Bando Kiko Co Ltd Glass sheet cutting head and glass sheet processing equipment including the same
JP2012056779A (en) 2010-09-06 2012-03-22 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd Holder joint
JP2019064084A (en) 2017-09-29 2019-04-25 三星ダイヤモンド工業株式会社 Cutter holder attachment structure, cutter holder and holder joint

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