JP7108427B2 - シーム溶接装置 - Google Patents
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Description
気密封止法は、金属又はセラミックスのパッケージの中に素子を収納固定し、不活性ガス雰囲気中あるいは真空中でリッド(蓋)をかぶせて素子を完全に密封する方法である。この気密封止法によれば、水分などの不純物の侵入がなく、また局所加熱による封止なので、熱応力の影響も少なく樹脂封止に比べて高い封止信頼性を得ることができる。
真空中でカメラを使用せずに溶接を行う場合には、装置の機械的な精度のみによってリッド19の位置を判断することになるため、リッド19のフランジ部21を広くするようにしていた。
一方、リッド19のフランジ部21を広くすると、パッケージ16の容量が少なくなり、必要なデバイスをパッケージ16に収納できない可能性があった。
また、本発明のシーム溶接装置の1構成例において、前記1対のワークガイドは、溶接開始時に前記ワークと近い側の先端部において前記第2の方向の間隔が最大となり、前記第1の方向に沿って前記1対のローラ電極に近づくに従って間隔が漸次狭くなり、前記最小間隔に達したところで間隔一定となることを特徴とするものである。
仮付けおよびX方向のシーム溶接が終了したワーク15は、トレイ32上に載置された状態で図示しない搬送装置によって真空チャンバー内に搬送され、XYステージ33上に載置される。
ワーク15がローラ電極10a,10bと接触する直前の位置には、ワークガイド3a,3bが配置されているので、Y方向に移動するワーク15がワークガイド3a,3bと接触する。
そして、制御部103のXYステージ駆動機構制御部103bは、XYステージ駆動機構101を制御して、XYステージ33を停止させる(図6ステップS106)。
また、本実施例では、Y方向の溶接を真空中で行う例について説明しているが、不活性ガス雰囲気中で行ってもよいことは言うまでもない。
Claims (3)
- 1対のローラ電極を導電シャフトを介して回動自在に軸支すると同時に前記1対のローラ電極に給電するシームヘッドと、
パッケージとこのパッケージ上に載置されるリッドとからなる溶接対象のワークと、前記1対のローラ電極とが接近し接触した後に離れるように、前記ワークまたは前記シームヘッドのいずれかを第1の方向に移動させる駆動機構と、
前記ワークと前記1対のローラ電極とが接触する直前の位置に、前記第1の方向と直角な水平方向である第2の方向に沿って並んで配置されるように前記シームヘッドに固定された1対のワークガイドとを備え、
前記1対のワークガイドは、底全面が開いた直方体状の頂部とこの頂部の最下部から水平方向に延びる平面視四角形のフランジ部とからなる、断面形状がハット形の前記リッドに対し、前記1対のローラ電極が前記フランジ部の前記第1の方向の2辺と接触して、この2辺が前記パッケージに溶接されるように、前記ワークの前記第2の方向の位置を規制すると同時に前記第1、第2の方向に平行な面内での前記ワークの回転角度を規制することを特徴とするシーム溶接装置。 - 請求項1記載のシーム溶接装置において、
前記1対のワークガイドは、前記ワークと接近するときの下端の高さが、前記リッドのフランジ部の上面よりも高くなるように配置され、
前記1対のワークガイドの前記第2の方向の最小間隔は、前記1対のローラ電極の前記第2の方向の間隔よりも狭く、かつ前記リッドの頂部の前記第2の方向の最大寸法よりも広く設定されていることを特徴とするシーム溶接装置。 - 請求項2記載のシーム溶接装置において、
前記1対のワークガイドは、溶接開始時に前記ワークと近い側の先端部において前記第2の方向の間隔が最大となり、前記第1の方向に沿って前記1対のローラ電極に近づくに従って間隔が漸次狭くなり、前記最小間隔に達したところで間隔一定となることを特徴とするシーム溶接装置。
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JP2018030367A JP7108427B2 (ja) | 2018-02-23 | 2018-02-23 | シーム溶接装置 |
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