JP7097708B2 - 窒化物半導体装置 - Google Patents
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Description
このような窒化物半導体を用いたHEMT(High Electron Mobility Transistor;高電子移動度トランジスタ)が提案されている。このようなHEMTは、たとえば、GaNからなる電子走行層と、この電子走行層上にエピタキシャル成長されたAlGaNからなる電子供給層とを含む。電子供給層に接するように一対のソース電極およびドレイン電極が形成され、それらの間にゲート電極が配置される。GaNとAlGaNとの格子不整合に起因する分極のために、電子走行層内において、電子走行層と電子供給層との界面から数Åだけ内方の位置に、二次元電子ガスが形成される。この二次元電子ガスをチャネルとして、ソース・ドレイン間が接続される。ゲート電極に制御電圧を印加することで、二次元電子ガスを遮断すると、ソース・ドレイン間が遮断される。ゲート電極に制御電圧を印加していない状態では、ソース・ドレイン間が導通するので、ノーマリーオン型のデバイスとなる。
しかし、パワーデバイスとして用いるためには、ゼロバイアス時に電流を遮断するノーマリーオフ型のデバイスである必要があるため、前述のようなHEMTは、パワーデバイスには適用できない。
この構成においても、窒化物半導体ゲート層と金属膜との界面に界面準位が形成されるが、この界面準位は、電子が出入りする準位ではなく、障壁高さをピニング(固定)するように働く。このため、この構成では、第2比較例に比べて閾値電圧の変動を抑制することが可能となる。
この発明の一実施形態では、ゲートリーク電流は、1nA/mm以下である。
この発明の一実施形態では、前記窒化物半導体ゲート層の膜厚は100nm以下であり、前記ゲート絶縁膜の膜厚は10nm以上である。
この発明の一実施形態では、前記第1窒化物半導体層はGaN層からなり、前記第2窒化物半導体層はAlGaN層からなり、前記窒化物半導体ゲート層はp型GaN層からなる。
この発明の一実施形態では、前記ゲート絶縁膜の表面の面積は、窒化物半導体ゲート層の表面の面積よりも大きい。
この構成においても、窒化物半導体ゲート層とゲート金属膜との界面に界面準位が形成されるが、この界面準位は、電子が出入りする準位ではなく、障壁高さをピニング(固定)するように働く。このため、この構成では、第2比較例に比べて閾値電圧の変動を抑制することが可能となる。
この発明の一実施形態では、ゲートリーク電流は、1nA/mm以下である。
この発明の一実施形態では、前記窒化物半導体ゲート層の膜厚は100nm以下であり、前記ゲート絶縁膜の膜厚は10nm以上である。
この発明の一実施形態では、前記第1窒化物半導体層はGaN層からなり、前記第2窒化物半導体層はAlGaN層からなり、前記窒化物半導体ゲート層はp型GaN層からなる。
図1は、この発明の第1実施形態に係る窒化物半導体装置の構成を説明するための断面図である。
窒化物半導体装置1は、基板2と、基板2の表面に形成されたバッファ層3と、バッファ層3上にエピタキシャル成長された第1窒化物半導体層4と、第1窒化物半導体層4上にエピタキシャル成長された第2窒化物半導体層5とからなる半導体積層構造(窒化物半導体構造)を含む。さらに、この窒化物半導体装置1は、第2窒化物半導体層5上に形成されたゲート部20とを含む。
第2窒化物半導体層5は、電子供給層を構成している。第2窒化物半導体層5は、第1窒化物半導体層4よりもバンドギャップの大きい窒化物半導体からなっている。具体的には、第2窒化物半導体層5は、第1窒化物半導体層4よりもAl組成の高い窒化物半導体からなっている。窒化物半導体においては、Al組成が高いほどバッドギャップは大きくなる。この実施形態では、第2窒化物半導体層5は、Alx1Ga1-x1N層(0<x1<1)からなり、その厚さは10nm~30nm程度である。
窒化物半導体ゲート層6は、アクセプタ型不純物がドーピングされた窒化物半導体からなる。この実施形態では、窒化物半導体ゲート層6は、アクセプタ型不純物がドーピングされたGaN層(p型GaN層)からなっており、その厚さは10nm~100nm程度である。
ゲート絶縁膜8は、ゲート金属膜7の表面に接するように形成されている。ゲート絶縁膜8は、この実施形態では、SiNからなる。ゲート絶縁膜8の厚さは、10nm~30nm程度である。ゲート絶縁膜8の膜厚は、10nm以上であることが好ましい。この実施形態では、ゲート絶縁膜8の膜厚は、30nmである。ゲート絶縁膜8は、SiNの他、SiO2、SiON、Al2O3、AlN、AlON、HfO、HfN、HfON、HfSiON、AlON等から構成されてもよい。
パッシベーション膜11上には、バリアメタル膜12が積層されている。この実施形態では、バリアメタル膜12はTiN膜からなり、その厚さは10nm~50nm程度である。この実施形態では、バリアメタル膜12の厚さは、25nmである。
この窒化物半導体装置1では、第1窒化物半導体層4(電子走行層)上にバンドギャップ(Al組成)の異なる第2窒化物半導体層5(電子供給層)が形成されてヘテロ接合が形成されている。これにより、第1窒化物半導体層4と第2窒化物半導体層5との界面付近の第1窒化物半導体層4内に二次元電子ガス18が形成され、この二次元電子ガス18をチャネルとして利用したHEMTが形成されている。ゲート電極9は、ゲート絶縁膜8、ゲート金属膜7および窒化物半導体ゲート層6を挟んで第2窒化物半導体層5に対向している。
図2は、主としてゲートパッドとゲート電極との間の電流経路の構成を説明するための図解的な平面図である。図3は、図2のIII-III線に沿う図解的な断面図である。
図2の例では、ソース電極15(S)、ゲート電極9(G)およびドレイン電極16(D)は、所定の第1方向(図2の紙面の上下方向)に延びている。図2においては、説明の便宜上、ソース電極15(S)のうち、ゲート電極9(G)を覆っている部分は省略されている。ソース電極15(S)、ゲート電極9(G)およびドレイン電極16(D)は、第1方向と直交する方向(図2の紙面の左右方向)に、SGDGSGDの順に周期的に配置されている。これにより、ソース電極15(S)およびドレイン電極16(D)でゲート電極9(G)を挟むことによって素子構造が構成されている。半導体積層構造の表面の領域は、当該素子構造を含むアクティブエリア41と、アクティブエリア41以外のノンアクティブエリア42とを含んでいる。
図2および図3を参照して、ゲート電極9の一端部側のノンアクティブエリア42において、ゲート電極9の一端部側の連結部9aの上方位置には、第2方向に延びたゲート配線メタル22が配置されている。ゲート配線メタル22は、例えば、TiN膜、AlCu膜およびTiN膜が積層されたTiN/AlCu/TiN積層膜からなる。ゲート配線メタル22は、TiN/AlCu/TiN積層膜以外の金属の単膜または積層膜から構成されていてもよい。ゲート配線メタル22の厚さは、200nm~1000nm程度である。
ゲート配線メタル22の一端部の上方には、ゲートパッド23が配置されている。図3において、ゲートパッド23は、図2のIIIa-IIIaに沿う断面を示している。ゲートパッド23は、その下面中央部に、下方に突出しかつ下面がゲート配線メタル22の表面に接合された接続部23aを有している。ゲートパッド23は、例えば、Alからなる。ゲートパッド23は、Al以外の金属から構成されていてもよい。
つまり、この実施形態では、窒化物半導体ゲート層6上に金属膜(ゲート金属膜7)が形成され、この金属膜(ゲート金属膜7)に、下面(第1表面)と上面(第2表面)とを有するゲート絶縁膜8を介してゲートパッド23が接続されている。ゲート絶縁膜8の下面(第1表面)は、前記金属膜(ゲート金属膜7)に直接に電気的に接続されており、ゲート絶縁膜8の上面(第2表面)は、ゲートパッド23に金属(ゲート電極9、ゲートビア21およびゲート配線メタル22)を介して電気的に接続されている。
また、図1の窒化物半導体装置1に対して、ゲート金属膜7が設けられていない構成の窒化物半導体装置を第2比較例ということにする。つまり、第2比較例では、ゲート部20は、第2窒化物半導体層5上に形成された窒化物半導体ゲート層6と、窒化物半導体ゲート層6の表面に接するように形成されたゲート絶縁膜8と、ゲート絶縁膜8の表面に接するように形成されたゲート電極9とからなる。
まず、図4Aに示すように、MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法によって、基板2上に、バッファ層3および第1窒化物半導体層(電子走行層)4が順にエピタキシャル成長される。さらに、MOCVD法によって、第1窒化物半導体層4上に第2窒化物半導体層(電子供給層)5がエピタキシャル成長される。
次に、図4Cに示すように、ゲート電極膜34表面におけるゲート電極作成予定領域を覆うレジスト膜35が形成される。そして、レジスト膜35をマスクとして、ゲート電極膜34、絶縁材料膜33、ゲート金属材料膜32およびゲート層材料膜31が選択的にエッチングされる。
次に、図4Fに示すように、露出した表面全域を覆うようにソース・ドレイン電極膜36が形成される。ソース・ドレイン電極膜36は、下層としてのTi層36A、中間層としてのAl層36Bおよび上層としてのTiN層36Cを積層した積層金属膜からなり、各層を順に蒸着することによって形成される。
図5は、この発明の第2実施形態に係る窒化物半導体装置の構成を説明するための断面図である。図6は、主としてゲートパッドとゲート電極との間の電流経路の構成を説明するための図解的な平面図である。図7は、図6のVII-VII線に沿う図解的な断面図である。図5、図6および図7において、前述の図1、図2および図3の各部に対応する部分には、図1、図2および図3と同じ符号を付して示す。
第2実施形態に係る窒化物半導体装置1Aは、第1実施形態に係る窒化物半導体装置1に比べて、ゲート部20の構成およびゲートパッド23とゲート電極9との間の電流経路の構成が異なっている。
図6に示すように、ソース電極15(S)、ゲート電極9(G)およびドレイン電極16(D)は、所定の第1方向(図6の紙面の上下方向)に延びている。図6においては、説明の便宜上、ソース電極15(S)のうち、ゲート電極9(G)を覆っている部分は省略されている。ソース電極15(S)、ゲート電極9(G)およびドレイン電極16(D)は、第1方向と直交する方向(図6の紙面の左右方向)に、SGDGSGDの順に周期的に配置されている。これにより、ソース電極15(S)およびドレイン電極16(D)でゲート電極9(G)を挟むことによって素子構造が構成されている。半導体積層構造の表面の領域は、当該素子構造を含むアクティブエリア41と、アクティブエリア41以外のノンアクティブエリア42とを含んでいる。
図6および図7を参照して、ゲート電極9の一端部側のノンアクティブエリア42において、ゲート電極9の一端部側の連結部9aの上方位置には、第2方向に延びた第1ゲート配線メタル24が配置されている。第1ゲート配線メタル24は、例えば、TiN膜、AlCu膜およびTiN膜が積層されたTiN/AlCu/TiN積層膜からなる。第1ゲート配線メタル24は、TiN/AlCu/TiN積層膜以外の金属の単膜または積層膜から構成されていてもよい。第1ゲート配線メタル24の厚さは、200nm~1000nm程度である。
第2ゲート配線メタル26の一端部の上方には、ゲートパッド23が配置されている。図7において、ゲートパッド23は、図6のVIIa-VIIaに沿う断面を示している。ゲートパッド23は、その下面中央部に、下方に突出しかつ下面が第2ゲート配線メタル26の表面に接合された接続部23aを有している。ゲートパッド23は、例えば、Alからなる。ゲートパッド23は、Al以外の金属から構成されていてもよい。
つまり、この実施形態では、窒化物半導体ゲート層6上に金属膜(ゲート電極9)が形成され、この金属膜(ゲート電極9)に、下面(第1表面)と上面(第2表面)とを有するゲート絶縁膜25を介してゲートパッド23が接続されている。ゲート絶縁膜25の下面(第1表面)は、前記金属膜(ゲート電極9)に金属(第1ゲート配線メタル24およびゲートビア21)を介して電気的に接続されている。ゲート絶縁膜25の上面(第2表面)は、ゲートパッド23に金属(第2ゲート配線メタル26)を介して電気的に接続されている。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
2 基板
3 バッファ層
3A 第1バッファ層
3B 第2バッファ層
4 第1窒化物半導体層
5 第2窒化物半導体層
20 ゲート部
6 窒化物半導体ゲート層
7 ゲート金属膜
8 ゲート絶縁膜
9 ゲート電極
9a 連結部
11 パッシベーション膜
12 バリアメタル膜
13 ソース電極用コンタクト孔
14 ドレイン電極用コンタクト孔
15 ソース電極
16 ドレイン電極
15A,16A 下層
15B,16B 中間層
15C,16C 上層
17 層間絶縁膜
18 二次元電子ガス
21 ゲートビア
22 ゲート配線メタル
23 ゲートパッド
24 第1ゲート配線メタル
25 ゲート絶縁膜
26 第2ゲート配線メタル
27 ゲート絶縁膜
Claims (8)
- 電子走行層を構成する第1窒化物半導体層と、
前記第1窒化物半導体層上に形成され、電子供給層を構成する第2窒化物半導体層と、
前記第2窒化物半導体層上に配置されかつアクセプタ型不純物を含む窒化物半導体ゲート層と、
前記窒化物半導体ゲート層上に形成されたゲート金属膜と、
前記ゲート金属膜上に形成されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極と、
前記窒化物半導体ゲート層、前記ゲート金属膜、前記ゲート絶縁膜および前記ゲート電極の積層体からなるゲート部の側面および上面を覆う絶縁膜とを含む、窒化物半導体装置。 - 前記ゲート絶縁膜が、SiN若しくはSiO2からなる単膜またはSiN若しくはSiO2を含む積層膜から構成されている、請求項1に記載の窒化物半導体装置。
- ゲートリーク電流は、1nA/mm以下である、請求項1または2に記載の窒化物半導体装置。
- 前記窒化物半導体ゲート層の膜厚は100nm以下であり、
前記ゲート絶縁膜の膜厚は10nm以上である、請求項1~3のいずれか一項に記載の窒化物半導体装置。 - 前記第1窒化物半導体層における前記第2窒化物半導体層とは反対側に配置され、バッファ層を構成する第3窒化物半導体層をさらに有する、請求項1~4のいずれか一項に記載の窒化物半導体装置。
- 前記第1窒化物半導体層はGaN層からなり、前記第2窒化物半導体層はAlGaN層からなり、前記窒化物半導体ゲート層はp型GaN層からなる、請求項1~4のいずれか一項に記載の窒化物半導体装置。
- 前記第1窒化物半導体層はGaN層からなり、前記第2窒化物半導体層はAlGaN層からなり、前記窒化物半導体ゲート層はp型GaN層からなり、第3窒化物半導体層がAlGaN層を含む、請求項5に記載の窒化物半導体装置。
- 前記第2窒化物半導体層上において、前記ゲート電極を挟んで配置されたソース電極およびドレイン電極を含み、
前記ソース電極は、前記ゲート電極の側面および上面を覆う部分を有している、請求項1~7のいずれか一項に記載の窒化物半導体装置。
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