JP7092182B2 - 圧電アクチュエータ - Google Patents
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- 印加される電圧によって振動する圧電アクチュエータであって、
複数の圧電体層を積層することによって形成されると共に、前記圧電体層の積層方向において対向する一対の主面を有する素体と、
前記素体内に配置された内部電極と、
前記素体の外表面に配置され、対応する前記内部電極と電気的に接続された外部電極と、を備え、
前記内部電極は、同一の前記圧電体層上に配置された4つの第1内部電極と、4つの前記第1内部電極と前記圧電体層を挟んで対向して配置された第2内部電極と、を有し、
前記第2内部電極は、前記素体内において、4つの前記第1内部電極を挟むように、一対の前記主面に最も近い位置に配置されており、
前記素体の前記主面と前記第2内部電極との間の領域が不活性領域であり、前記第1内部電極と前記第2内部電極との間の領域が活性領域であり、
前記積層方向における前記不活性領域の厚みは、前記活性領域の厚みよりも小さく、
4つの前記第1内部電極及び前記第2内部電極のそれぞれは、前記素体の前記外表面に露出する接続部を有しており、
前記外部電極は、前記外表面に露出する前記接続部を覆っている、圧電アクチュエータ。 - 印加される電圧によって縦振動モードと屈曲振動モードとが合成された振動モードを発生させる、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記屈曲振動モードの振幅は、前記縦振動モードの振幅よりも大きい、請求項2に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記不活性領域の厚みは、前記活性領域の厚みの1/5以上1/2以下である、請求項1~3のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
- 4つの前記第1内部電極のうち、2つの前記第1内部電極が第1の対角に位置し、他の2つの前記第1内部電極が前記第1の対角に交差する第2の対角に位置しており、
前記第1の対角又は前記第2の対角に位置する2つの前記第1内部電極が接続部材によって電気的に接続されている、請求項1~4のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記接続部材は、前記第1の対角又は前記第2の対角の対角方向に沿って延在している、請求項5に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記第1の対角に位置する2つの前記第1内部電極が、前記接続部材によって電気的に接続されており、
前記第2の対角に位置する他の2つの前記第1内部電極において、前記接続部材と対向する辺が前記接続部材と平行を成している、請求項6に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記素体は、互いに対向する一対の端面と、互いに対向する一対の側面と、一対の前記主面と、を有し、
前記素体の一方の前記端面に配置されている摩擦部を備え、
前記摩擦部の少なくとも一部は、前記素体の一方の前記端面において、前記不活性領域と対向するように配置されている、請求項1~7のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003501988A (ja) | 1999-05-31 | 2003-01-14 | ナノモーション リミテッド | 多層圧電性モータ |
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Patent Citations (6)
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