JP7090464B2 - 保持装置および光学装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態における保持装置100の構成を示す図である。保持装置100は、保持対象物である物体101を、熱負荷が発生しても位置ずれが許容範囲内となるように保持する保持装置である。なお、本明細書および添付図面では、水平方向をXY平面とするXYZ座標系において方向を示す。図1(a)は、保持装置100の平面図であり、図1(b)は、C-C’線に沿う断面図である。
(1)支持部材102が水平方向および重力方向(Z方向)に熱膨張する。
(2)ベース部材103の支持部材102を保持している部分に熱負荷がかかり、その部分が水平方向と重力方向に熱膨張する。
(3)保持部材106が重力方向に熱膨張する。
次に、前述の保持装置を利用した光学装置の実施形態を説明する。この実施形態における光学装置は、光学素子と、前述の保持装置とを有し、保持装置は、前述の保持対象物である物体として光学素子を保持するものである。
Claims (13)
- 物体を保持する保持装置であって、
前記物体を取り囲む構造体と、
前記物体を保持する保持部材と、
前記構造体の内壁に設けられたベース部材と、
前記ベース部材の上に搭載されて、前記保持部材を支持する支持部材と、
を有し、
前記ベース部材の前記支持部材を支持する面には、前記ベース部材の前記物体側から前記構造体側に向けて高さが高くなる第1斜面が形成されており、
前記支持部材の前記保持部材を支持する面には、前記支持部材が前記第1斜面に搭載された状態において、前記支持部材の前記物体側から前記構造体側に向けて高さが高くなる第2斜面が形成されており、
前記支持部材は前記第1斜面に沿って摺動可能であり、前記保持部材は前記第2斜面に沿って摺動可能であり、
前記支持部材および前記保持部材の摺動によって前記物体の位置ずれを許容範囲内に維持することを特徴とする保持装置。 - 前記支持部材が前記第1斜面に沿って摺動するのに伴い、前記保持部材は、該保持部材と前記物体との自重により前記第2斜面に沿って摺動することにより前記物体の高さを一定に維持することを特徴とする請求項1に記載の保持装置。
- 前記支持部材は、熱膨張による変形によって前記第1斜面に沿って摺動することを特徴とする請求項2に記載の保持装置。
- 前記支持部材および前記保持部材の摺動によって前記物体の水平方向における位置ずれを許容範囲内に維持することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の保持装置。
- 前記支持部材および前記保持部材の摺動によって前記物体の重力方向における位置ずれを許容範囲内に維持することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の保持装置。
- 前記保持部材は、前記物体を複数の箇所で保持する複数の保持部材を含み、
前記ベース部材は、前記支持部材を介して前記複数の保持部材を支持する複数のベース部材を含み、
前記支持部材は、前記物体を取り囲む環状部材である
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の保持装置。 - 前記ベース部材の前記第1斜面に設けられ、該第1斜面の傾斜方向に沿って延びる第1ガイド部と、
前記支持部材の前記第1斜面と対向する面に設けられ、前記第1ガイド部に案内されて摺動する第1摺動部材と、
を更に有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の保持装置。 - 前記支持部材の前記第2斜面に設けられ、該第2斜面の傾斜方向に沿って延びる第2ガイド部と、
前記保持部材の前記第2斜面と対向する面に設けられ、前記第2ガイド部に案内されて摺動する第2摺動部材と、
を更に有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の保持装置。 - 前記第1斜面と前記第2斜面は同じ傾斜角度を持つことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の保持装置。
- 前記第1斜面と前記第2斜面は異なる傾斜角度を持ち、前記第1斜面と前記第2斜面との角度差は、前記保持部材、前記支持部材、および前記ベース部材それぞれの熱膨張量に基づいて設定されることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の保持装置。
- 前記第1斜面は、前記第2斜面よりも急な傾斜角度を持つことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の保持装置。
- 光学素子と、
請求項1乃至11のいずれか1項に記載の保持装置と、
を有し、
前記保持装置は、前記物体として前記光学素子を保持する
ことを特徴とする光学装置。 - 前記光学装置は、光源と、前記光源からの光を所定方向に反射させるリフレクタとを有する光源装置であり、
前記保持装置は、前記光学素子として前記リフレクタを保持する
ことを特徴とする請求項12に記載の光学装置。
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