JP7089737B2 - シート厚み測定装置 - Google Patents

Description

特許法第３０条第２項適用 カタログ配布 配布者 株式会社フジワーク 配布日 平成２９年１０月２７日

この発明は、シート厚み測定装置に関するものであり、特に、厚さが薄いシートを測定することができるシート厚み測定装置に関する。

フィルム等のシート、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等の樹脂製のシートは、光学性フィルムなどの機能性フィルム、電池用セパレータ、包装用資材としてのフィルム、表面保護フィルム等に幅広く用いられている。

この種のシートは、その用途の多様化に伴い、様々な構造と構成材が開発されている。これらのシートは、その機能を発揮するためには、厚みの精度や厚みのばらつきが目的に適合した水準を満足することが前提となる。

厚みの精度や厚みのばらつきが要求水準を満足しないと、シート本来の機能を発揮することができず、当該シートを使用した製品の安全性や信頼性が大きく低下する。このため、シートの厚みの計測値は、シートの品質管理項目として極めて重要である。

従来からあるシート厚み測定装置は、大別して、非接触式のものと、接触式のものがある。そして、非接触式のシート厚み測定装置のほとんどは、シートを安定させるためにバックアッププレート或いはバックアップロール上のシートにテンションを与え、バックアッププレート或いはバックアップロールに密着させた上に、非接触式のセンサーで、シートが無い状態を厚さゼロとし、シート表面までの距離の変動を計測して厚さを計測するものである。

また、バックアッププレート或いはバックアップロールを設けないで、シートの両面に非接触式の変位計を配し、シートまでの距離を相殺して計測する非接触式のものもある。しかし、一般的には、片面にバックアッププレート或いはバックアップロールを設けて、シートの走行を安定させながら計測するものが多い。

一方、接触式のシート厚み測定装置は、バックアッププレート或いはバックアップロール上にダイヤルゲージ等の接触式センサーを直接当てて、シートがない状態を厚さゼロとして計測するものである。

前述したような非接触式のシート厚み測定装置は、光学的センサーを使用する場合が多く、直接シート面に投光するする方式がとられている。この方法では、シートの透明度、色、表面のつや又はざらつき等の影響を非常に受けやすく、シートの素材毎にキャリブレーションが必要となる。また、透明度の高いフィルムシートの場合には計測不能となる場合があった。

これに対して、マイクロメータ、ダイヤルゲージ、リニアゲージ、電機マイクロメータ等を用い、接触子をシートの表面に直接当接させて厚みを計測する接触式のシート厚み測定装置は、シートの材質、構造、色等の影響を受けにくいという利点がある。

特許文献１には、接触式のシート厚み測定装置が開示されている。この特許文献１に開示されている接触式の計測装置を図１５に従い説明する。

図１５に示すように、シート厚み測定装置１００は縦に配置した厚みセンサー１１１、１４１を有する。この厚みセンサー１１１、１４１は、被計測体としてのシート１１２をロール状に捲回して自由に回転可能なシートロール１１３と、当該シートロール１１３から水平方向左側に引き出されたシート１１２を図１５の左方向に送り駆動する送り用ピンチロール１１４の中間に配置されている。

厚みセンサー１１１は上側の接触子１１５と対向する下側の接触子１１９との間にシート１１２を挟んでその厚みを測定する。そして、厚みセンサー１１１の計測値を制御装置１３３に取り込むようにしている。

また、下側の厚みセンサー１４１の計測値を制御装置１３３に取り込むようにしている。

上下の接触子１１５、１１９は摩耗耐久性のある金属等で形成され、上側の接触子１１５は下向き球面形状とされ、下側の接触子１１９は上向き球面形状とされている。そして、接触子１１５がシート１１２の上面に接触するようになっている。また、下側の接触子１１９がシート１１２の下面に接触するようになっている。

送り用ピンチロール１１４は、上側ピンチロール１１４ａと下側ピンチロール１１４ｂの上下一対で構成されている。上側ピンチロール１１４ａはレリーズレバー１１７の下端部に回転自在に支持され、バネ１１８の力で常時下方に付勢された状態で上下方向に揺動可能とされている。そして、このレリーズレバー１１７を計測開始時に手動で押し下げることで上側ピンチロール１１４ａを持ち上げ、下側ピンチロール１１４ｂとの間に出来た隙間にシート１１２の先端を挟み込んでからレリーズレバー１１７から手を離す。この状態でモータ１２５を駆動することでシート１１２が図１５の図中左側に送られる。

このシート厚み測定装置１００で厚みを計測する時は、シート１１２を連続的に送る。これにより、シート１１２は上下のピンチロール１１４ａ、１１４ｂで挟まれた状態で矢印方向に所定速度で連続移動する。シート１１２の厚みは、厚みセンサー１１１、１４１によって連続的に検出され、厚み計測値として制御装置１３３を経由してパーソナルコンピュータ１３４に取り込まれ、パーソナルコンピュータ１３４が両センサー１１１、１４１の計測値に基づきシート１１２の厚さを算出する。厚みセンサー１１１、１４１によって厚み計測値を連続的に検出する検出サイクルは、ロータリエンコーダ１２６からの信号をトリガー信号として使用することで制御する。

特開２００１３－２５３９３３号公報

上記した従来のシート厚み測定装置１００においては、シートロール１１３から水平方向左側に引き出されたシート１１２を送り駆動する送り用ピンチロール１１４により連続的に送ることで、厚みセンサー１１１、１４１によって検出することができる。

しかし、シート１１２の厚さが薄くなると、送り用ピンチロール１１４でシート１１２を送る際にシート１１２が延び、シート１１２の厚さを正確に測定することができないという問題があった。

また、シート１１２の厚さによっては、シート１１２が破断し、測定自体ができない場合もあった。

この発明は、上記した問題を解決するためになされたものにして、厚さが薄いシートを正確に測定することができるシート厚み測定装置を提供することを目的とする。

この発明のシート厚み測定装置は、シートに対して上側に配置した厚みセンサーとこの厚みセンサーの下側に対向して配置したシートを支持する下側支持部材とからなる厚み測定部と、前記厚み測定部が取り付けられたキャリアと、前記キャリアを摺動自在に支持するガイドレールと、前記キャリアをガイドレールに沿って往復動させる駆動部と、表面にシートを保持する多孔質のパッド部とこのパッド部を収容するベース部とからなるバックプレートと、前記パッド部から空気を吸気する吸気部と、を備え、前記パッド部にシートを吸引保持させ、前記厚みセンサーと下側支持部材との間でシートを挟んだ状態で、前記キャリアを移動させてシートの厚さを測定することを特徴とする。

また、前記パッド部は、矩形状であり、前記ベース部は、前記パッド部が嵌まり込む凹部が設けられているように構成すればよい。

また、前記パッド部及びベース部に、少なくとも下側支持部材が挿入されるスリットが設けられ、前記スリットに沿って厚み測定部が移動するように構成すればよい。

また、前記下側支持部材は、前記キャリアに取り付けられたシートと接触する接触部を有する固定支持部材で構成することができる。

また、前記キャリアは、前記ガイドレールに摺動自在に取り付けられるキャリアベースと、前記厚みセンサーを保持する上側支持台と、前記下側支持部材を保持する下側支持台とを有するように構成すればよい。

この発明のシート厚み測定装置は、パッド部にシートを吸引保持させ、前記厚みセンサーと下側支持部材との間でシートを挟んだ状態で、前記キャリアを移動させてシートの厚さを測定するので、シートを引張することなくシートの厚さを測定でき、厚さの薄いシートでも正確に厚さを測定することができる。

この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置を示す概略説明図である。 この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置において、フィルムを測定している状態を示す要部説明図である。 この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置の外形を示す斜視図である。 この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置を示す斜視図であり、前カバー、下部カバーを取り外した状態を示している。 この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置を示す斜視図であり、前カバー、上部カバーを取り外した状態を示している。 この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置を示す上面図であり、前カバー、上部カバーを取り外した状態を示している。 この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置の要部を示す断面図である。 この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置の厚み測定部とガイドレールとを示す斜視図である。 この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置のバックプレート部分を示す分解斜視図である。 この発明の実施形態に係るに係るシート厚み測定装置のバックプレート部分を示す斜視図である。 この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置において、フィルムを測定している状態を示す斜視図である。 この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置において、フィルムを測定している状態を示す要部説明図である。 この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置において、固定用治具を用いてフィルムをセットする状態を示す斜視図である。 この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置において、固定用治具を用いてフィルムを測定している状態を示す斜視図である。 従来のシート厚み測定装置を示す説明図である。

この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付し、説明の重複を避けるためにその説明は繰返さない。

図１は、この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置を示す概略説明図である。図１に示すように、この実施形態のシート厚み測定装置１は、シートの厚みを測定する厚み測定部２と、シートを保持するバックプレート３を備える。

図２は、この発明の実施形態のシート厚み測定装置において、フィルムを測定している状態を示す要部説明図である。この図２に示すように、厚み測定部２は、シートの上側に配置される厚みセンサー２１とシートの下側に配置される下側支持部材としての固定支持部材２２とを有し、厚みセンサー２１と固定支持部材２２は、キャリア２０に取り付けられている。

図３は、この発明の実施形態のシート厚み測定装置の外形を示す斜視図である。この図３に示すように、シート厚み測定装置１は、本体部１０の前方にバックプレート３が取り付けられている。本体部１０には、前カバー１０ａが取り付けられている。本体部１０の上部には、上部カバー１１が設けられている。上部カバー１１内には、後述する駆動部４を構成する各部材が配置されている。

上部カバー１１の前方には、保護カバー１２が設けられている。この保護カバー１２で、厚み測定部２の厚みセンサー２１等を覆っている。固定支持部材２２、キャリア２０は、本体部１０内に配置されている。

上部カバー１１の正面には、前面パネル１１Ｐが取り付けられ、前面パネル１１Ｐの一方側には、厚みセンサー２１を上下動させるための上下スイッチ１１ａと、バックプレート３からシートを吸引する吸気部３４の吸引スイッチ１１ｂが取り付けられている。そして、他方側には、シートの厚みを測定するために、キャリア２０を移動させるための移動スイッチ１１ｃが設けられている。

図４は、この発明の実施形態のシート厚み測定装置を示す斜視図であり、前カバー１０ａと保護カバー１２を取り外した状態を、図５は、この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置を示す斜視図であり、前カバー１０ａ、上部カバー１１を取り外した状態を、図６は、この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置を示す上面図であり、前カバー１０ａ、上部カバー１１を取り外した状態を、それぞれ示している。図７は、この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置の要部を示す断面図である。

図４及び図５に示すように、本体部１０には、フレーム１０ｂが設けられ、このフレーム１０ｂにバックプレート３が取り付けられている。バックプレート３の後側は、段差を有してフレーム１０ｂに上部パネル１０ｃが取り付けられている。上部パネルと１０ｃの下方には、吸気部３４の真空ポンプ、駆動部４のモータ４１、制御装置９など各種部品が配置されている。

図１、図２、図５及び図６に示すように、キャリア２０は、本体部１０に取り付けられたガイドレール２３に対して摺動自在に支持されている。このキャリア２０は、後述するように、モータ４１とベルト４２ｅなどからなる駆動部４により、図１の矢印に示すように、バックプレート３の長手方向に沿って往復動する。

バックプレート３について、図９及び図１０を参照して説明する。図９は、この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置のバックプレート部分を示す分解斜視図、図１０は、この発明の実施形態に係るに係るシート厚み測定装置のバックプレート部分を示す斜視図である。

図９及び図１０に示すように、バックプレート３は、シートが載置される多孔質からなる矩形状のパッド部３１と、このパッド部３１を支持する金属製のベース部３２とを備える。

図９に示すように、バックプレート３のベース部３２は、パッド部３１を収容する凹部３２ａが設けられている。そして、パッド部３１には、スリット３１ｓが、ベース部３２には、スリット３２ｓがそれぞれ設けられ、このスリット３２ｓ、３１ｓに固定支持部材２２が挿通され、スリット３２ｓ、３１ｓに沿って固定支持部材２２が移動する。

ベース部３２には、吸気管３３が取り付けられる孔３２ｂが設けられている。パッド部３１は、例えば、多孔質カーボンにより、ベース部３２の凹部３２ａに嵌まり込むように形成されている。ベース部３２の凹部３２ａにパッド部３１を嵌め込むことで、ベース部３２とパッド部３１が一体化され、スリット３１ｓ下にスリット３２ｓが臨むように配置される。

図１及び図７に示すように、ベース部３２に吸気管３３が取り付けられ、この吸気管３３は、真空ポンプからなる吸気部３４と接続される。吸気部３４を駆動し、孔３２ｂに取り付けられた吸気管３３から空気を吸気することで、パッド部３１の表面全面から空気が吸気される。パッド部３１の表面全面から空気が吸気されることで、パッド部３１上に載置されたシートの全面が吸着されて保持される。

厚み測定部２の固定支持部材２２の先端は、パッド部３１の上面より僅かに、例えば、０．１ｍｍ程度突出するように、キャリア２０の下側支持台２０ｄに固定されている。

図２に示すように、厚みセンサー２１は可動の接触子２１ａを備える。接触子２１ａの先端の接触部２１ｂと固定支持部材２２の接触部２２ａとの間にシートＳを挟んでその厚みを測定する。シートＳは、上述したように、パッド部３１に吸引保持されているので、パッド部３１の上面より僅かに突出した固定支持部材２２の接触部２２ａがシートＳの下面に当接することになる。

厚みセンサー２１は、縦型のシリンダ２１ｃと、当該シリンダ２１ｃの下端部から上下動可能に突出した接触子２１ａを有する。厚みセンサー２１のシリンダ２１ｃの内部には接触子２１ａの位置ないしストローク量を検出するための検出素子が収納されている。

シリンダ２１ｃには、接触子２１ａを上下動させるためのエアーレリズピストン２１ｄが接続され、このエアーレリズピストン２１ｄに図示しないポンプが接続されている。そして、上下スイッチ１１ａにより制御装置９がポンプの駆動を制御し、エアーレリズピストン２１ｄにより、接触子２１ａが上下動する。接触子２１ａを上に移動させて、接触子２１ａの先端の接触部２１ｂと固定支持部材２２の接触部２２ａとが離間した状態でシートＳがパッド部３１上に載置される。

シートＳの厚さを測定する時には、接触子２１ａを下に移動させ、接触子２１ａの先端の接触部２１ｂと固定支持部材２２の接触部２２ａとの間にシートＳを挟む。

図１に示すように、厚みセンサー２１の計測値は、制御装置９に取り込まれる。制御装置９に取り込まれた計測値は、表示部９１にて表示されると共に、出力部９２からデータとして外部のパーソナルコンピュータ等に出力される。

また、厚みセンサー２１として、デジタルダイヤルゲージを用いることも可能である。

図２に示すように、接触子２１ａの接触部２１ｂ及び固定支持部材２２の接触部２２ａは摩耗耐久性のある金属等で形成され、上側に位置する接触子２１ａの先端の接触部２１ｂは、下向き球面形状とされ、下側に位置する接触部２２ａは上向き球面形状とされている。上側の接触子２１ａの先端の接触部２１ｂ及び下側の接触部２２ａは、それぞれ球面に形成することにより、厚みセンサー２１と固定支持部材２２がシートＳを挟んだ状態での移動がスムーズに行われるように構成されている。

図８は、この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置の厚み測定部とガイドレールとを示す斜視図である。この図８に示すように、キャリア２０は、ガイドレール２３に摺動自在に取り付けられるキャリアベース２０ｃを有する。このキャリアベース２０ｃ上に下側支持台２０ｄが取り付けられる。この下側支持台２０ｄは、先端部に固定支持部材２２を保持する保持部２０ｄｈが設けられ。この保持部２０ｄｈで固定支持部材２２を挟むように保持している。

下側支持台２０ｄに直交するように、矩形の柱部材２０ａが設けられている。この柱部材２０ａに直交するように、上側支持台２０ｂが設けられている。下側支持台２０ｄと上側支持台２０ｂは平行に配置される。

上側支持台２０ｂの先端部に厚みセンサー２１のシリンダ２１ｃを保持する保持部２０ｂｈが設けられ、この保持部２０ｂｈでシリンダ２１ｃを挟むように保持し、厚みセンサー２１が取り付けられている。

キャリア２０は、厚みセンサー２１と固定支持部材２２とが取り付けられ、駆動部４により、ガイドレール２３に沿って往復動する。キャリア２０の移動により、厚みセンサー２１と固定支持部材２２は、シートＳを挟んだ状態で、バックプレート３の長手方向に往復動する。この移動により、バックプレート３に吸引保持されたシートＳの厚みを測定する。即ち、シートＳは、吸引保持された状態で、厚み測定部２が移動することにより、シートＳの厚さを測定する。

図５に示すように、キャリア２０をガイドレール２３に沿って移動させる駆動部４は、モータ４１と、モータ４１に取り付けられた駆動ローラ４２ａと、ベルト４２ｅと、ベルト４２ｅを案内する案内ローラ４２ｂ、４２ｃ、４２ｄとを備える。

ベルト４２ｅは、キャリア２０に取り付けられている。案内ローラ４２ｂと４２ｃはガイドレール２３の両端よりそれぞれ外側に配置される。モータ４１は、本体部１０のバックプレート３とは逆の位置に配置される。駆動ローラ４２ａは、案内ローラ４２ｂよりバックプレート３より遠ざかる位置に配置されることになる。

モータ４１を駆動することで、駆動ローラ４２ａが回転し、この駆動ローラ４２ａの回転により、ベルト４２ｅが移動し、ベルト４２ｅに固定されたキャリア２０は、ガイドレール２３に沿って移動する。モータ４１の回転方向を変化させることで、キャリア２０は、ガイドレール２３に沿って往復動する。

図示はしないが、測定開始位置と測定終了位置には、光学センサーなどからなる位置センサーが設けられ、制御装置９は、位置センサーの出力により、キャリア２０を測定開始位置にセットするように、モータ４１の駆動を制御する。そして、測定開始位置から測定終了位置までモータ４１を駆動し、キャリア２０を移動させて、シートＳを挟んだ状態の厚みセンサー２１と固定支持部材２２２を測定開始位置から測定終了位置まで移動させて、シートＳの厚みを測定する。

シートＳの厚さを測定する時には、吸引スイッチ１１ｂをオンにし、制御装置９が吸気部３４の真空ポンプを駆動させる。この吸気部３４により、バックプレート３上に載置されたシートＳは、パッド部３１に吸引保持される。そして、シートＳを厚みセンサー２１の接触子２１ａの接触部２１ｂと固定支持部材２２の接触部２２ａで挟んだ状態で、モータ４１とベルト４２ｅなどからなる駆動部４により、図１の矢印に示すように、バックプレート３の長手方向に沿って移動し、シートＳの厚みを連続的に測定する。

本体部１０には、シートをバックプレート３へ保持する際に利用するシート固定用治具５が取り付けられ、必要に応じてシート固定用治具５を用いてシートＳをバックプレート３上に載置する。

図１３は、この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置において、シート固定用治具５を用いてフィルムをセットする状態を示す斜視図、図１４は、この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置において、シート固定用治具５を用いてフィルムを測定している状態を示す斜視図である。

図１３に示すように、シートＳの先端にバー５２を取り付ける。シート固定用治具５は、係合部材５１が本体部１０に回動自在に取り付けられている。図１４に示すように、バー５２をバックプレート３上に載置し、バー５２を前面パネル１１Ｐに当接するように、シートＳをバックプレート３上に載置する。

その状態で、シート固定用治具５の係合部材５１を回転させ、バー５２と係合部材５１とを係合させ、バー５２をシート固定用治具５に固定する。このように、バー５２とシート固定用治具５とを係合させることにより、バックプレート３上にシートＳを容易にセットすることができる。

尚、図１１に示すように、バー５２とシート固定用治具５を用いずに、バックプレート３上にシートＳを載置し、シートＳの厚さを測定することも可能である。

バー５２とシート固定用治具５を用いるか否かは、シートＳの種類に応じて適宜選択すればよい。

次に、シート厚み測定装置１で厚みを計測する場合について、図１１及び図１２を参照して説明する。図１１は、この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置において、フィルムを測定している状態を示す斜視図、図１２は、この発明の実施形態に係るシート厚み測定装置において、フィルムを測定している状態を示す要部説明図である。

まず、シートＳをセットする際に、厚みセンサー２１の接触子２１ａの接触部２１ｂを固定支持部材２２の接触部２２ａから離間させるために、上下スイッチ１１ａを押し、制御装置９がポンプの駆動を制御し、エアーレリズピストン２１ｄにより接触子２１ａを上に移動させる。接触子２１ａが上方に位置することにより、厚みセンサー２１の接触子２１ａの接触部２１ｂを固定支持部材２２の接触部２２ａから離間する。

そして、バックプレート３上にシートＳを載置し、吸引スイッチ１１ｂを操作し、制御装置９が吸気部３４を駆動し、バックプレート３のパッド部３１から吸引し、シートＳをバックプレート３上に吸引保持させる。

そして、厚みセンサー２１の接触子２１ａを下降させるために、上下スイッチ１１ａを操作し、制御装置９がポンプの駆動を制御し、エアーレリズピストン２１ｄのエアを抜いて、接触子２１ａを下降させる。厚みセンサー２１の接触子２１ａの接触部２１ｂと固定支持部材２２の接触部２２ａでシートＳを挟む。

続いて、移動スイッチ１１ｃを操作し、キャリア２０を測定開始位置まで移動させる。そして、厚み測定を開始する。図１２に示すように、厚みセンサー２１の接触子２１ａの接触部２１ｂと固定支持部材２２の接触部２２ａでシートＳを挟んだ状態で、制御装置９は、モータ４１を駆動することでキャリア２０を移動させ、シートＳの厚みは、厚みセンサー２１によって連続的に検出され、厚み計測値として制御装置９に取り込まれる。

上記した実施形態では、下側支持部材として、固定支持部材を用いたが、下側支持部材として、厚みセンサーを用い、上下とも厚みセンサーでシートＳを挟むように構成し、上下の厚みセンサーの出力を制御装置９に入力し、両センサーの計測値に基づきシートＳの厚さを算出するように構成してもよい。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。この発明の範囲は、上記した実施の形態の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ ：シート厚み測定装置
２ ：厚み測定部
３ ：バックプレート
４ ：駆動部
５ ：シート固定用治具
９ ：制御装置
１０ ：本体部
１０ａ ：前カバー
１０ｂ ：フレーム
１０ｃ ：上部パネル
１１ ：上部カバー
１１ａ ：上下スイッチ
１１ｂ ：吸引スイッチ
１１ｃ ：移動スイッチ
１１Ｐ ：前面パネル
１２ ：保護カバー
２０ ：キャリア
２０ｃ ：キャリアベース
２１ ：厚みセンサー
２１ａ ：接触子
２１ｂ ：接触部
２１ｃ ：シリンダ
２１ｄ ：エアーレリズピストン
２２ ：固定支持部材
２２ａ ：接触部
２３ ：ガイドレール
３１ ：パッド部
３１ｓ ：スリット
３２ ：ベース部
３２ａ ：凹部
３２ｂ ：孔
３２ｓ ：スリット
３３ ：吸気管
３４ ：吸気部
４１ ：モータ
５１ ：係合部材
５２ ：バー
Ｓ ：シート

Claims (5)

1. シートに対して上側に配置した厚みセンサーとこの厚みセンサーの下側に対向して配置したシートを支持する下側支持部材とからなる厚み測定部と、
   前記厚み測定部が取り付けられたキャリアと、
   前記キャリアを摺動自在に支持するガイドレールと、
   前記キャリアをガイドレールに沿って往復動させる駆動部と、
   表面にシートを保持する多孔質のパッド部とこのパッド部を収容するベース部とからなるバックプレートと、
   前記パッド部から空気を吸気する吸気部と、を備え、
   前記パッド部にシートを吸引保持させ、前記厚みセンサーと下側支持部材との間でシートを挟んだ状態で、前記キャリアを移動させてシートの厚さを測定することを特徴とするシート厚み測定装置。
2. 前記パッド部は、矩形状であり、前記ベース部は、前記パッド部が嵌まり込む凹部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のシート厚み測定装置。
3. 前記パッド部及びベース部に、少なくとも下側支持部材が挿入されるスリットが設けられ、前記スリットに沿って厚み測定部が移動することを特徴とする請求項２に記載のシート厚み測定装置。
4. 前記下側支持部材は、前記キャリアに取り付けられたシートと接触する接触部を有する固定支持部材であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のシート厚み測定装置。
5. 前記キャリアは、前記ガイドレールに摺動自在に取り付けられるキャリアベースと、前記厚みセンサーを保持する上側支持台と、前記下側支持部材を保持する下側支持台とを有することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のシート厚み測定装置。

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