JP7086903B2 - 発光装置 - Google Patents
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Description
図1(a)は、第1実施形態の発光装置1の断面図を示す図である。以下、図1(a)および図1(b)に関する説明では、「上側」および「下側」とは、図1(a)の紙面内の上方向および下方向をそれぞれ指すものとする。また、「側面」とは、対象物体の紙面内の上下方向に直交する方向における端面を指すものとする。
以下では、第1封止部22、第2封止部23、および絶縁部材14を併せて、またはそれぞれ、封止部30とも呼ぶ。
波長変換部25は一例として透明樹脂と蛍光材料とを含み、波長変換部25を構成する透明樹脂が、透明基板11の第1領域12cの凹凸形状に入り込むことにより、透明基板11と波長変換部25との接合力が強化される。
また、第1領域12cは、その全面に渡って発光部10と対向していても良く、部分的に発光部10と対向していても良い。すなわち、第1領域12cは、少なくとも一部が前記発光部と対向する第1領域に接して形成されていれば良い。
図1(b)は、第2実施形態の発光装置1aの断面図を示す図である。第2実施形態の発光装置1aの構成は、上述の第1実施形態の発光装置1の構成と殆ど共通している。従って、以下では、同一の構成には同一の符号を付して、説明を適宜省略する。
第2実施形態の発光装置1aにおいて、透明基板11の上側の面の第1領域12cが、第2領域12eに対して窪んでいる点が、上述の第1実施形態の発光装置1とは異なっている。
一方、透明基板11の周辺に配置される第2領域12eの厚さを厚く保つことにより、透明基板11に十分な機械強度を持たせることができるため、発光装置1aの機械的強度も十分に高く保つことができる。
以下、図2から図4を参照して、上述した各実施形態の発光装置1、1aの製造方法について説明する。ただし、第2実施形態の発光装置1aの製造方法は、第1実施形態の発光装置1の製造方法とほとんど共通しているので、以下では、主に第1実施形態の発光装置1の製造方法について説明を行う。
なお、以下の製造方法の説明における各変形例も、上述した各実施形態の変形例に含まれる。
同一面内に複数の発光部10が配置されている、被加工基板9を用意する。
図2(a)は、被加工基板9の断面図を示している。
なお、図2(a)から図2(e)、および図3(a)、図3(b)では、上述の図1とは上下方向が逆転して示されている。以下では、「上」および「下」の語は、参照する各図の紙面上下方向に従ったものである。
発光部10には、n型半導体層2に電力を供給するためのn型電極パッド3、およびp型半導体層5に電力を供給するためのp型電極パッド8も形成されている。n型電極パッド3、およびp型電極パッド8の上面は保護膜7から露出している。
発光層4を含む発光部10の少なくとも一部は、有機材料で構成されていてもよい。
また、図2(a)および以降の各図においては、左右方向に並ぶ3個の発光部10を示しているが、発光部10の数は左右方向および奥行き方向のいずれについても3個より多くて良く、例えば数百個以上であっても良い。
図2(a)に示した被加工基板9は、透明基板上に複数のLEDを形成するための公知の方法により製造することができる。
透明基板11a上に、発光部10を覆って一例としてポリイミドから成る絶縁部材14を形成し、フォトリソグラフィ工程により、n型電極パッド3およびp型電極パッド8上の絶縁部材14に、開口部を形成する。そして、絶縁部材14上および上記の開口部に、無電解メッキまたはスパッタ等により銅等の導体を成膜することによりシード層15を形成する。
図2(b)は、シード層15が形成された状態を示している。
透明基板11a上に、シード層15を覆ってレジスト16を形成する。そして、所定のフォトマスクを用いてレジスト16を露光し、現像を行い、レジスト16上の所定位置に開口部を形成する。この開口部から露出したシード層15を電極として、この開口部に銅等の導体を電解メッキすることにより導電層17を形成する。
図2(c)は、導電層17が形成された状態を示している。
図2(c)に示した状態から、レジスト16を剥離し、シード層15および導電層17を覆って、新たにレジスト18を形成する。そして、所定のフォトマスクを用いてレジスト18を露光し、現像を行い、レジスト18上の所定位置に開口部を形成する。この開口部から露出した導電層17を電極として、この開口部に銅等の導体を電解メッキすることにより柱状電極19を形成する。
図2(d)は、柱状電極19が形成された状態を示している。
図2(d)に示した状態から、レジスト18を剥離し、導電層17と重複する部分以外のシード層15を除去する。シード層15の除去は、導電層17をマスクとしてシード層15をエッチングすることにより行う。
図2(e)は、シード層15が除去された状態を示している。
図3(a)に示すように、複数の発光部10の境界に沿って、絶縁部材14、保護膜7、およびn型半導体層2をダイシングソーで切断し、第1空隙部20を形成する。この切断においては、透明基板11aを切断はしないが、透明基板11aの一部がダイシングソーにより部分的に切除されても良い。
複数の発光部10は、個々に切断された後も、透明基板11により一体的に保持されている。
切断された複数の発光部10を、第1封止部22で封止する。
図3(b)は、複数の発光部10が第1封止部22により封止された状態を示している。この封止においては、第1封止部22を形成する封止材料を、複数の発光部10を覆って柱状電極19の上端面と同じ高さまで充填する。これにより、第1空隙部20の内部にも封止材料が充填され、すなわち、複数の発光部10、および複数の絶縁部材14に接して、第1封止部22が形成される。
第1封止部22として、例えばエポキシ樹脂等の樹脂材料を使用する。また、第1封止部22として高反射率の特性をもったエポキシ樹脂等を使用しても良い。
図3(c)に示したとおり、複数の発光部10の境界に沿って、透明基板11aをダイシングソーで切断し、第2空隙部21を形成する。透明基板11aがダイシングソーにより切断された個片を、透明基板11と呼ぶ。この切断においては、第1封止部22を切断はしないが、第1封止部22の一部がダイシングソーにより部分的に切除されても良い。
なお、図3(c)および以降の図は、図2(a)から図3(b)までの図とは、上下方向を反転して示している。図3(c)および以降の図においては、上下方向は、図1(a)および図1(b)と一致している。
切断された複数の透明基板11を、第2封止部23で封止する。
図3(d)は、複数の透明基板11が第2封止部23により封止された状態を示している。この封止においては、第2封止部23を形成する封止材料が、第1封止部22および複数の透明基板11の全面を覆うように充填する。これにより、第2空隙部21の内部にも封止材料が充填され、すなわち、複数の透明基板11に接して第2封止部23が形成される。
第2封止部23として、例えばエポキシ樹脂等の樹脂材料を使用する。
図4(a)に示すように、第2封止部23のうち、複数の透明基板11の第1領域12cの直上に形成されている部分を、ブラスト処理により除去し、開口28を形成する。開口28以外の部分には、第2封止部23が残存している。
第2封止部23の除去に際し、透明基板11の第1領域12cには、上述のブラスト処理により、凹凸形状が形成される。あるいは、第2封止部23を削除した後に、残存する第2封止部23をマスクとして、第1領域12c上に凹凸形状を形成するためのエッチング処理やプラズマ処理を行っても良い。
透明基板11aがサファイアである場合、エッチング処理としてはリン酸等を含む溶液による処理を行う。
なお、上述の凹凸形状の形成をブラスト処理で行う場合には、第2封止部23の除去と、透明基板11の第1領域12cに対する凹凸形成を、連続してブラスト処理で行うことができるため、生産性を高めることができる。
図4(b)に示すように、図4(a)に示した開口28の内部に、波長変換部25を形成する。すなわち、波長変換部25は、透明基板11の発光部10とは反対側の面であって、概ね発光部10と対向する第1領域12c、および第2封止部23の側面と接するように形成される。
波長変換部25は、一例として透明樹脂と蛍光材料とを含み、波長変換部25を構成する透明樹脂が、透明基板11の第1領域12cの凹凸形状に入り込むことにより、透明基板11と波長変換部25との接合力が強化される。
図4(c)に示したとおり、それぞれの発光部10に形成されている柱状電極19の下端面に、はんだボール24を形成する。そして、はんだボール24を含む第1封止部22の下面に、ダイシング用テープ26を貼り付ける。
図4(d)に示したとおり、複数の発光部10の境界に沿って、波長変換部25の形成されている側から、ダイシングソーにより第2封止部23および第1封止部22を切断することにより、第3空隙部27が形成される。これにより、発光部10、透明基板11、柱状電極19等を含む、図1(a)に示した第1実施形態の発光装置1が形成される。ただし、この切断に際し、ダイシング用テープ26は切断しない。従って、個片化された発光装置1は、はんだボール24および柱状電極19等を介して、ダイシング用テープ26に保持されている。ダイシング用テープ26から、発光装置1を剥離することにより、図1(a)に示した第1実施形態の発光装置1が完成する。
なお、以上の製造方法におけるそれぞれの工程は、必ずしも上述の説明の順序通りに実施される必要はなく、いくつかの工程の順番を入れ替えて実行しても良い。
この結果、第2実施形態の発光装置1aにおいては、透明基板11の上側の面の第1領域12cが、第2領域12eに対して窪んで形成されている。
以上で説明した第1実施形態の発光装置1および第2実施形態の発光装置1aのいずれにおいても、発光部10が発する第1波長の光は、単一波長の光であっても良く、波長幅を有する光であっても良い。波長変換部25は、第1波長の光の全てを第2波長の光に変換しても良く、第1波長の光の一部を第2波長の光に変換しても良い。第2波長の光は、第1波長の光とは波長が異なる光であり、単一波長の光であっても良く、波長幅を有する光であっても良い。波長変換部25として蛍光体を含む材料を使用する場合には、一般的に第2波長は、第1波長よりも波長が長くなる。
(1)以上の各実施形態の発光装置1、1aは、透明基板11と、透明基板11の第1の側(下側)に配置され第1波長の光を発する発光部10と、透明基板11の第1の側とは反対側の第2の側(上側)であって、少なくとも一部が発光部10と対向する第1領域12cに接して形成されている、第1波長の光の少なくとも一部を第2波長の光に変換する波長変換部25と、発光部10、透明基板11の周縁部、および透明基板11の第2の側(上側)の第1領域12cよりも外側の第2領域12eに接して配置されている封止部30(第1封止部22、第2封止部23、絶縁部材14)と、を備えている。そして、透明基板11の第1領域12cの少なくとも一部に凹凸形状が形成されている。
この構成により、波長変換部25の透明基板11に対する接合力が強化された、耐久性の高い発光装置を実現することができる。
また、透明基板11を有することにより、機械的強度の高い発光装置を実現することができる。
(3)さらに、透明基板11の第2の側(上側)は、第1領域12cが第2領域12eよりも窪んでいる構成とすることで、透明基板11に高い機械的強度を持たせつつ第1領域12cを薄くすることができ、発光装置1aの厚さ(上下方向の長さ)を小型化することができる。
(4)さらに、凹凸形状における透明基板11の表面粗さを、展開面積比(Sdr) として1.1以上とすることで、波長変換部25の透明基板11に対する接合力を一層強化し、より耐久性の高い発光装置を実現することができる。
Claims (5)
- 透明基板と、
前記透明基板の第1の側に配置され、第1波長の光を発する発光部と、
前記透明基板の前記第1の側とは反対側の第2の側の第1領域に接して形成されている、前記第1波長の光の少なくとも一部を第2波長の光に変換する波長変換部と、
前記発光部、前記透明基板の周縁部、および前記透明基板の第2の側の前記第1領域よりも外側の第2領域に接して配置されている封止部と、を備え、
前記透明基板の前記第2の側には前記第1領域にのみ凹凸形状が形成されており、
前記封止部は、
前記発光部に接して配置されている第1封止部と、
前記透明基板の前記第2領域、および前記第1封止部に接して配置されている第2封止部とを含み、
前記第1封止部と前記第2封止部との境界面は、前記透明基板の前記第1の側と同一平面上にある、発光装置。 - 請求項1に記載の発光装置において、
前記凹凸形状がブラスト処理により形成された凹凸形状である、発光装置。 - 請求項1または請求項2に記載の発光装置において、
前記透明基板の前記第2の側は、前記第1領域が前記第2領域よりも窪んでいる、発光装置。 - 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の発光装置において、
前記凹凸形状における前記透明基板の表面粗さが、展開面積比として1.1以上である、発光装置。 - 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の発光装置において、
前記第1封止部と第2封止部とが、異なる材料により構成されている、発光装置。
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