JP7083089B2 - 検査用熱処理炉及び検査用熱処理炉を備えた検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、主に電子部品等の試料を熱処理（加熱する又は冷却）する検査用熱処理炉、該検査用熱処理炉を備えた検査装置並びに該検査用熱処理炉を備えたＸ線検査装置に関する。

例えば特許文献１に示される、試料を加熱して該試料の熱変化による挙動状態をＸ線検出器で撮像してＸ線透過像を得るＸ線検査装置が知られている。（符号は特許文献１のもの。）
この特許文献１の発明（図２、図３）の加熱ユニット２０（加熱炉）は、天井壁を遮蔽部材２８ａとし、遮蔽部材２８ａの下方に試料１を置くプレート形態の観察エリア２０ａが設けられ、この観察エリア２０ａの左右側は下り傾斜で延長された傾斜延長部とされ、該傾斜延長部の端部は加熱ユニット２０の内壁に取り付けられ、熱ユニット２０の上部側の左右には加熱ガスを観察エリア２０ａと遮蔽部材２８ａの間の微小な間隙部（１．３ｍｍ～５ｍｍ程度）に送風して試料１の上部側を加熱するための第１の加熱手段２１、２１が設けられ、加熱ユニット２０の下部側には試料１の下部を放射光により加熱するための熱光源２２ａ，２２ｂ（例えば、ハロゲンランプ，赤外ランプ，白熱球等）からなる第２の加熱手段２２、２２が設けられた構成であるものである。
第１の加熱手段２１、２１のノズル２１ｂは、上からみて放出口に向けて傾斜広がり形態とされ、かつ、底部を観察エリア２０ａの延長傾斜部とし天井部を下り傾斜とした形態である。
ノズル２１ｂの熱風吹出し口２１ｃは上下窄み横広がり形態とれ、かつ、観察エリア２０ａの上部面よりも下方に位置され、吹出される熱風は観察エリア２０ａの延長傾斜部面を昇り上がり流れとなるようにされている。
また、熱風吹出し口２ｃは図２の（Ａ）図から、微小な間隙部（１．３ｍｍ～５ｍｍ程度）よりも上下開口が狭い開口とされている。
また、右側の第１の加熱手段２１と左側の第１の加熱手段２１の熱風吹出し口２１ｃは、真向対峙ではない対して互いに位置をずらした対向配置（非真正面対向配置）とし、各々の熱風吹出し口２１ｃから熱風を非真正面対向吹出して観察エリア２０ａ上で撹拌させることにより、試料１の上面側の温度分布を均等化する構成としている。
また、第１の加熱手段２１、２１の熱風による試料１の上部側の加熱と、第２の加熱手段２２、２２の放射光による試料１の下部側の加熱と、を制御・協調させて試料１を加熱するものである。

特許文献２に示される、試料Ａを載せる矩形の平板状である透明部材１２、試料からの光を透明部材１２の下面から撮像検出する光検出部２２を備え、透明部材１２は透明基板１２１と該透明基板１２１の表面に設けられた透明導電膜１２２を有してなる計測装置が知られている。（符号は特許文献２のもの。）

特許第5383034号公報（図２、図３） 特許第５６７４４５３号公報

上述した特許文献１の発明は次に述べるような欠点を有するものである。
（１）特許文献１の熱風による試料１の加熱は、横に広がり形態で窄められた非真正面対向吹出しの右側の熱風吹出し口２１ｃと左側の熱風吹出し口２１ｃからの対抗する熱風を、観察エリア２０ａの延長傾斜部面を昇り上がる流れとし、微小な間隙部（１．３ｍｍ～５ｍｍ程度）である観察エリア２０ａ上で撹拌させることで、試料１の上面側を加熱昇温するというものである。
よって、窄められた熱風吹出し口２１ｃ、２１ｃからの熱風は吹出し流速が早く、熱風吹出し口２１ｃ、２１ｃよりも狭い微小な間隙部（１．３ｍｍ～５ｍｍ程度）への流入によって流速は増し、異なる熱源である第１の加熱手段２１、２１からの熱風の物理量（速度・圧力・密度・温度・粘度（粘性係数）など）は異なり、それらが非真正面対向吹出しによって撹拌されるものであるので、そのガスの流速は観察エリア２０ａの上部面全域に渡って速い流の乱流であるものである。
物理量が目まぐるしく変化する乱流熱風により加熱される試料面の各部分（各所）の熱風温度分布は目まぐるしく変化しているものであり、よって均一な温度分布加熱が得られないという問題があるものである。
＊「乱流」とは、物理量が時間的に目まぐるしく変化する非定常流のことをいい、流体が不規則に運動している乱れた流れなので大小様々な渦が発生するような激しい流れである。
（２）試料上面は目まぐるしく変化する乱流熱風によって加熱し、試料下面は熱輻射光源であるハロゲンランプの放射光（放射効率の良い近赤外線・中間赤外線を主成分とする電磁波）によって加熱するものである。
よって、試料はその上部側を各部分（各所）の熱風温度分布は目まぐるしく変化する乱流熱風によってその表面の熱が伝わるかたちで深部の方が熱くなって行き、試料の下部側はその表面および深部にまで届く近・中間赤外線によって均一に熱くなって行くものである。
すなわち、特許文献１の発明は試料の上部側と下部側ではその熱状態は著しく異なる（以下「異なる上部・下部熱状態」ともいう。）ものであるので、試料の加熱による挙動は異なる上部・下部熱状態による挙動になってしまうという問題を有するものである。
（３）前記（１）によって、引用文献１の発明は流速が早い乱流であるので、軽量試料、軽量で小さな試料、薄く面積の広い試料はその風によって移動されたり、浮き振動したりしてしまう危険が大であり、当該試料の正確な検査ができないという問題があるものであった。
（４）観察エリア２０ａから下方側に離れた部位に第２の加熱手段である熱光源２０ｂ、２０ｂを設けた構成となるため、試料１から加熱ユニット２０の下部板（冷却手段２８ｂ）までの距離が長く、加熱ユニット２０の下方からのＸ線撮像の解像度が著しく悪くなる、ないし使い物にならないという欠点を有するものであった。
また、加熱ユニット２０の上下長さおよび体積が大型になるという欠点を有するものであった。
（５）放射光を照射するハロゲンランプ等の第２の加熱手段２２、２２を有するため、装置が大型でコスト高になるとう欠点を有するものであった。

上述した特許文献２の発明は次に述べるような欠点を有するものであった。
透明部材１２の上面に直接に試料を載せたり撤去したりする操作を行うために、試料の脚や摘み工具（例えばピンセット）などが透明部材１２の上面を擦ったり突いたりするなどで傷つけることが起こるものであった。
透明部材１２の上面に傷がつくと、該傷が光検出部２２からのレーザ光線を反射、乱反射してしまい、試料の計測が正確にできないことになるため、透明部材１２を新品に交換しなければならないという問題を有するものであった。透明部材１２は上面を例えば３μの平坦面とし、適切は透過膜を施した例えば石英ガラスからなっているので高価（透明電導膜１２２を施したものはより高価）であり、その交換作業も煩雑で時間と手間がかかるものであった。

本発明は以上のような従来技術（特許文献１）の欠点に鑑み、加熱風により試料面の各箇所を均一に加熱し均一に昇温させて行くことを可能とした、又は、冷却風により試料面の各箇所を均一に冷却し均一に降温させて行くことを可能とした検査用熱処理炉、該検査用熱処理炉を備えた検査装置並びに該検査用熱処理炉を備えたＸ線検査装置を提供することを目的としている。

本発明は以上のような従来技術（特許文献２）の欠点に鑑み、高価な透明部材である下部板を傷つけることが起きないないしリスクが小さく、試料を載せる透明テーブルを安価な透明部材とできる、又は交換容易とできる検査装置を提供することを目的としている。

上記目的を達成するために、本発明は次に述べるような構成としている。
＜請求項１記載の発明＞
試料を載置するテーブルを設けた熱処理室（２）と、
前記試料を熱処理するための加熱風又は冷却風である熱処理風を生成する熱処理風生成手段を有し、該熱処理風を前記熱処理室（２）の上流側から供給する熱処理風供給手段と、
前記テーブルの下流側に設けられた、前記熱処理風を前記熱処理室（２）から排出する排出口と、
前記テーブルより上流側に仕切り壁的な形態で設けられた放散部と、
前記放散部の左に設けられた、前記熱処理風を前記放散部の左側から前記熱処理室（２）の左側に流入させる開口（２４ａ）と、
前記放散部の右に設けられた、前記熱処理風を前記放散部の右側から前記熱処理室（２）の右側に流入させる開口（２４ｂ）と、を備えたことを特徴とする検査用熱処理炉である。
＜請求項２記載の発明＞
前記放散部の上流には前記熱処理風を吹出す吹出し口が設けられ、
前記吹出し口と前記放散部との間には、前記吹出し口側から前記放散部側に向かって左右に拡がって行く拡がり路（４２）が形成され、
前記熱処理風は、前記吹出し口から前記拡がり路（４２）に吹出され、前記放散部、前記開口（２４ａ）及び前記開口（２４ｂ）に到達し、左側の前記開口（２４ａ）から前記熱処理室（２）の左側に流入し、右側の前記開口（２４ｂ）から前記熱処理室（２）の右側に流入する、
以上のように構成されたことを特徴とする請求項１記載の検査用熱処理炉である。
＜請求項３記載の発明＞
前記試料位置での前記熱処理風の風速は、３．０ｍ／ｓ～０．００１ｍ／ｓの範囲、２．５ｍ／ｓ～０．００１ｍ／ｓの範囲、２．０ｍ／ｓ～０．００１ｍ／ｓの範囲、１．７ｍ／ｓ～０．００１ｍ／ｓの範囲、２ｍ／ｓ～１ｍ／ｓの範囲、１．９ｍ／ｓ～１ｍ／ｓの範囲、１．８ｍ／ｓ～１ｍ／ｓの範囲、１．７ｍ／ｓ～１ｍ／ｓの範囲、１．６ｍ／ｓ～１ｍ／ｓの範囲、１．５ｍ／ｓ～１ｍ／ｓの範囲のいずれかであることを特徴とすると請求項１又は２記載の検査用熱処理炉である。
＜請求項４記載の発明＞
前記テーブルを透明テーブルとした前記請求項１、２又は３記載の検査用熱処理炉と、
前記検査用熱処理炉内の前記試料の検査を前記透明テーブルの下方から行う、前記透明テーブルの下方に設けられた光学的計測手段と、を備えたことを特徴とする検査用熱処理炉を備えた検査装置である。

放散部は仕切り壁的な形態で設けられ、その左に開口２４ａが設けられ、その右に開口２４ｂが設けられているので、熱処理風は開口２４ａ、２４ｂからテーブルがある下流側に流入する。

以上の説明から明らかなように、本発明にあっては次に列挙する効果が得られる。
以下の説明において、熱処理（熱風による加熱又は冷却風による冷却）を熱風による加熱で説明する。
＜請求項１記載の発明の効果＞
（１）熱処理風の流れが、風上側である熱処理風供給手段側から風下側である前記試料側に流れる一方向流れであり、試料位置での前記熱処理風の流れが、風速が３．０ｍ／ｓ～０．００１／ｓの範囲で下流へ流れる穏やかな流れないし緩やかな流れ（以下「略層流」ともいう。）であるものである。
試料は、低速の流れ、穏やかな流れ又は緩やかな流れである、速度・圧力・密度・温度・粘度（粘性係数）など物理量が時間的にも量的にも変化が小さい一方法流れの定常流ないし略定常流の熱風である、風速が３．０ｍ／ｓ～０．００１／ｓの範囲の略層流によって加熱されるものである。
よって、試料位置での試料は、速度差、圧力差、密度差、温度差、粘度差が小さい穏やかな流れ「以下「一方向流れの物理量の変化が小差の低速熱風」ともいう。」であるので、試料はその全ての部分を加熱温度差が小さい状態で均一的に加熱昇温され「以下「全部分の均一的な加熱昇温」ともいう。」れる。
加熱される試料表面の温度分布は、温度分布差の小さい均一な温度分布が維持され加熱昇温することを実現するものである。
（２）試料に当たるのは一方向流れの物理量の変化が小差の低速熱風であるので、試料が微小、軽量、薄いものでも、動く（微移動、微振動も含む）ことがないので、それら試料の動かない状態での正確な計測を実現する。
（３）一方向流れの物理量の変化が小差の低速熱風で試料を加熱するものであるので、試料と加熱室壁の上壁および下壁またはいずれか一方の壁との間の熱風が通る間隙を狭い距離とすることを可能とする。
よって、例えば、加熱室外から試料をＸ線撮影しＸ線画像を得ようとする場合、加熱室壁の壁を挟んで試料とＸ線源との距離を短くでき、よって加熱室壁の上壁外からでも、下壁外からでも高解像度のＸ線撮影を可能とする。
（４）また、試料と上部壁との間に上間隙を設け、かつ、試料と下部壁との間に下間隙を設けた、熱風が上間隙と下間隙とを流れる形態とすることにより、試料の上部側と下部側を同一の熱状態とした該試料の挙動を実現する。

本発明の実施例１の平面図。 本発明の実施例１の拡大側面図。 本発明の実施例１のＡ－Ａ線部分・Ｂ－Ｂ線部分・Ｃ－Ｃ線切断拡大断面図。 本発明の実施例１のＡ－Ａ線部分・Ｄ－Ｄ線切断拡大断面図。 本発明の実施例２の断面図。 本発明の実施例２のＥ－Ｅ線切断拡大断面図。 本発明の実施例３の平面図。 本発明の実施例３の扉４３、覆板４７、覆板５３を除いた熱処理室～熱処理風供給手段部位を示す平面図。 本発明の実施例３の放散部を示す拡大断面図。 本発明の実施例３の混合室を示す拡大断面図。 本発明の実施例４の断面図。 本発明の実施例５の断面図。 本発明の実施例６の断面図。 本発明の実施例７の断面図。

以下、本発明を実施するための最良の形態である実施例について説明する。但し、本発明をこれら実施例のみに限定する趣旨のものではない。また、後述する実施例の説明に当って、前述した実施例の同一構成部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。

図１～図４に示す本発明の実施例１において、検査用熱処理炉１は次に述べるような構成となっている。
熱処理室２と、
この熱処理室２内に設けられた試料Ｗを置き形態でセットする透明テーブル１１と、
コンプレッサー（送風機などでもよい）からなるエアー供給手段３から供給され、圧力レギュレータやマスフローコントローラなどのエアー調節手段４ａ、４ｂで制御されたエアーを、加熱し熱風である熱処理風Ｅ１ａ、Ｅ１ｂを生成するヒータやペルチェ素子等からなる熱処理風生成手段５ａ、５ｂを有し、該熱処理風Ｅ１ａ、Ｅ１ｂを熱処理室２に吹出す吹出し口６を有する熱処理風供給手段７と、
熱処理室２の下流側に設けられた排出管１４ａを連絡する排出口１４と、からなるとともに、
吹出し口６から熱処理室２に供給される熱処理風Ｅ２および該熱処理風Ｅ２の風速より低速とされた略層流である熱処理風Ｅ３の流れが、風上側である吹出し口６側から風下側である試料Ｗ側に流れ排出口１４から排出される一方向流れであり、
試料Ｗ位置での熱処理風Ｅ３の流れが、乱流少なく穏やかに下流へ流れる、穏やかな流れないし緩やかな流れの略層流とされるものである。
上記各部位はベース１５上に設けられている。
ベース１５の底部には開口部３５が開口され、該開口３５は下部板３３によって塞がれた形態とされている。

「略層流」とは、流体の粒子が略平行又は略層状をなす流れ、乱流が少ない低速の流れ（物理量の変化が小差の低速の流れ）、穏やか（落ち着いた平穏・静かな）な流れ、又は緩やか（動きや流れが、勢いが激しくない速度がゆっくりとしている）な流れであるとともに、緩やかなないし穏やかな乱流の発生があるものも含むものであり、当然に層流も含むものである。
本実施例における、略層流の試料Ｗ位置における温度３００℃という条件での風速は、１．３ｍ／ｓとするのが適当でる。この風速では（Ｗ）２０ｍｍ×（Ｄ）７ｍｍ（端子部約２ｍｍ含む）×（Ｈ）3ｍｍ×重量約１ｇの小チップ形態の試料は移動しない風速である。また、透明テーブル１１の最上流箇所の温度と最下流箇所の温度差は３００℃±１０℃以内を実現し、より詳細な制御では３００℃±１０℃以内を実現している。
略層流の試料Ｗ位置における風速は３．０ｍ／ｓ～０．００１ｍ／ｓの範囲とするのがよく、好ましくは２．５ｍ／ｓ～０．００１ｍ／ｓの範囲とするのがよく、より好ましくは、２．０ｍ／ｓ～０．００１ｍ／ｓの範囲とするのがよく、さらに好ましくは２．０ｍ／ｓ～０．００１ｍ／ｓの範囲とするのがよく、最も好ましくは１．７ｍ／ｓ～０．００１ｍ／ｓの範囲とするのがよい。
また、試料Ｗ位置における風速は２ｍ／ｓ～１ｍ／ｓの範囲、１．９ｍ／ｓ～１ｍ／ｓの範囲、１．８ｍ／ｓ～１ｍ／ｓの範囲、１．７ｍ／ｓ～１ｍ／ｓの範囲、１．６ｍ／ｓ～１ｍ／ｓの範囲又は１．５ｍ／ｓ～１ｍ／ｓの範囲とするのもよい。

本実施例では、透明テーブル１１の上流先端位置と下流後端位置との温度差は±５℃としている。
±１０℃、±９℃、±８℃、±７℃、±６℃、±５℃、±４℃、±３℃、±２℃、±１℃のいずれとするのもよい。
また、熱処理風はエアーに限られず、窒素、炭酸ガス、アルゴンガス等の空気以外のガスでもよい。

熱処理風供給手段７は、熱処理風生成手段５ａ、５ｂから放出される熱処理風Ｅ１ａ、Ｅ１ｂの熱処理室２への直接的な供給を止めるとともに、熱処理風Ｅ１ａ、Ｅ１ｂを混合する混合室１０を形成する仕切り壁８が設けられていて、仕切り壁８の中央に吹出し口６が設けられていて、混合室１０で混合された熱処理風Ｅ２が吹出し口６から熱処理室２へ供給され、熱処理風Ｅ２はその風速を落とし試料位置では略層流である熱処理風Ｅ３となるようになっている。

吹出し口６の下流には放散部９が設けられ、放散部９は吹出し口６から吹出される熱処理風Ｅ２の全熱風を受け放散させて風速を一気に落とし、試料位置での流れを略層流である熱処理風Ｅ３の流れにするようにしている。
「放散」とは、広く散らばること、また、広く散らすことをいう。
排出口１４の直ぐ上流には、排出口１４への熱処理風の流入速度等ｇが透明テーブル１４位置を流れる熱処理風Ｅ３の流速や流れに影響を与えないように、ないし影響を緩和抑制するために調整する、φ１２ｍｍの貫通穴を上に１０個、下に１０個を有する堰２５が設けられている。但し堰の形態は堰２５の形態に限定されない。

吹出し口６は仕切り壁８の中のある限られた部分（ここでは中央部）である局所に、１つ設けたφ５ｍｍの局所吹出し口である。
吹出し口の開口面積は１００平方ミリメートル以下とするのがよい。
また、局所吹出し口は吹出し口を近接形態の複数穴とした形態であるものも含まれる。この場合、吹出し口の開口面積の合計は１００平方ミリメートル以下とするのがよい。
複数の吹出し口の近接した形態とは、中心とする１つの穴からの他の穴までの距離が１０ｍｍ以下である。好ましくは７ｍｍ以下、より好ましくは５ｍｍ以下、さらに好ましくは３ｍｍ以下である。

熱処理室内２に試料を載置する上面を平坦基準面とした石英ガラス板からなる透明テーブル１１が設けられている。
熱処理室２の底部からは４本の石英ガラス支柱からなる４本の支持支柱１２ａ～１２ｄが立設され、支持支柱１２ａ～１２ｄに透明テーブル１１を横から出し入れ可能とする４段の支持凹１３ａ～１３ｄが設けられている。
支持支柱１２ａ～１２ｄは透明テーブル１１の高さ位置を変えることを可能とするテーブル高さ位置変更機構１２を構成している。また、透明テーブル１１の交換が簡単に行えるものである。
図では支持支柱１２ａ～１２ｄは下部板３３に設けられているが、ベース１５に設けた形態とするのもよい。

熱処理室２の天板３０、前板３１、後板３２は各場所から熱処理室２内を目視ないし撮影によって観察できるように透明板（ここでは石英ガラス板）としている。
下部板３３はＸ線が通りやすいカーボン系板としている。下部板は石英ガラスなどの透明板として、下方からのカメラ、フォーカス変位センサ又はラインセンサ等による計測ができるようにするのもよい。
天板３０、前板３１、後板３２、下部板３３は着脱ができる形態（交換も可能形態）としている。
天板３０は開閉形態とし試料のセット、取り出し、交換、透明テーブル１１の位置変え等が行えるようにしている。
天板３０、前板３１、後板３２、下部板３３の使用範囲（撮影、目視のための必要範囲である透明テーブル１１と略同じ範囲か透明テーブル１１より少し広い範囲）以外の箇所と、他の全ての部位（殆どステンレスプレート）は断熱材（例えば、日光化成株式会社の製品名「カルライト」）によって覆っている。

熱処理室２等の寸法は以下のようである。
熱処理室２は、前後幅１２２．５ｍｍ、横幅（上流から下流）１９０ｍｍ、高さ３５ｍｍである。
吹出し口６は直径５ｍｍの円形穴である。
放散部９は、上面は熱処理室２の天井に当接し、下部は根処理室の底部材に固定されているので高さは熱処理室２の高さと同じ３５ｍｍである。その形態は厚さ２ｍｍの板部材でコの字形態をしていて、その前後幅４８ｍｍ、横幅（上流から下流）２２ｍｍであり、吹出し口６から１０ｍｍ離れた位置に風受面（当たり面）を位置させて設けられている。
透明テーブル１１は、前後幅１０２ｍｍ、横幅１２６ｍｍである。

（１）熱処理風温度３００℃時の風速（計算値）は以下のようである。
吹出し口６からの吹出し風速： ３２６ｍ／ｓ
試料Ｗ位置での風速： １．２２ｍ／ｓ
排出口１４での排出速度： ５．６５ｍ／ｓ
エアー流量： ３８４Ｌ／ｍｉｎ
（２）常温時の２５℃（以下「常温」ともいう。）の風速（計算値）は以下のようである。
吹出し口６からの吹出し風速： １６９．６ｍ／ｓ
試料Ｗ位置での風速： ０．６３ｍ／ｓ
排出口１４での排出速度： ２．９４ｍ／ｓ
エアー流量： ２００Ｌ／ｍｉｎ
（３）気体は温度が上昇すると膨張する。
シャルルの法則の熱膨張計算式Ｖ＝Ｖ。（１＋θ÷２７３）より
Ｖ＝２００×（１＋３００÷２７３）÷（１＋２５÷２７３）＝２００×２．０９８９÷１．０９５７＝３８４Ｌ／ｍｉｎ（３００℃のピーク流量）
３８４（３００℃）／２００（２５℃）＝１．９２倍
流速は、０．６３（常温）×１．９２＝１．２２ｍ／ｓ（３００℃）となる。

（ａ）本実施例では、常温でのエアーの供給量２００Ｌ／ｍｉｎを変えずに、３００℃まで加熱している。よって、温度（常温時０．６３ｍ／ｓ）が上昇するにしたがって試料Ｗ位置での風速は速くなり３００℃で１．２２ｍ／ｓまで上昇する。
（ｂ）例えば、試料Ｗ位置での風速を、温度の上昇があっても常に一定（例えば、≒１．３２ｍ／ｓ）となるようにエアー供給量を自動的に制御するようにするのもよい。
この場合、試料Ｗ位置付近に温度センサと風速センサを設け、その検出に基づいてエアーの供給量制御手段によってエアーの供給量を制御するのがよい。
（ｃ）熱処理風の温度を４００℃とした場合には、試料Ｗ位置での風速は≒１．３２ｍ／ｓとするのがよい。

検査用熱処理炉１の下部板を透明板にして、その透明下部板の下方に下方から試料を計測（撮影を含む）するカメラ、フォーカス変位センサ又はラインセンサ等の光学的計測手段（撮影手段、撮像手段を含む）を設けた検査用熱処理炉を備えた検査装置を形成するのもよい。
図２において、光学的計測手段を、試料をＸ線撮影する下方に配置したＸ線発生部１６、上方に配置したＸ線受光装置１７とからなるＸ線光学的計測手段１８とした検査用熱処理炉を備えたＸ線検査装置１９を形成している。
上方にＸ線発生部１６を配置し、下方にＸ線受光装置１７を配置した構成とするのもよい。この場合い、天板はＸ線の透過性の良いカーボン製等（例えば、株式会社東レのカーボンコンポジット）にするのがよい。

図５、図６に示す本発明の実施例２において前記実施例１と主に異なる点は、大きさ略Ａ４版の試料Ｗを熱処理可能とし、吹出し口を吹出し口２１とし、放散部を放散部２２とした検査用熱処理炉２０とした点にある。
１つの円形形態の吹出し口２１は直径（φ）７ｍｍである。
放散部２２は熱処理室２の全面を仕切きる仕切り壁的（２２０ｍｍ×４７ｍｍ）な形態で設けられ、その左上に四角形の開口２４ａ（２０ｍｍ×２４ｍｍ）が設けられ、その右上に四角形の開口２４ｂ（２０ｍｍ×２４ｍｍ）が設けられている。
吹出し口２１から吹出した熱処理風Ｅ２は放散部２２の中央に当たり、放散され風速が落とされ開口２４ａ、２４ｂから透明テーブル１１がある下流側に流入しさらに風速を落とし広がり、透明テーブル１１の位置では略層流である熱処理風Ｅ３となる。
熱処理室２の体積が大きいので熱処理風生成手段は４台（図では省略。１台２ｋｗ電熱ヒータ）としていて、よってその熱処理風は熱処理風Ｅ１ａ、Ｅ１ｂ、Ｅ１ｃ、Ｅ１ｄとなる。

開口を放散部２２の上部側を例えば２ｍｍ～１０ｍｍ程度の横長の隙間形態（放散部２２の横幅と略同じないし８０パーセント以上）として、吹出し口２１から吹出した熱処理風Ｅ２は放散部２２の中央下部側に当たるようにして、横長の隙間形態の開口から風速が落とされて流れるようにする形態もよい。

図７～図１０に示す本発明の実施例３において前記実施例２と主に異なる点は、混合室を小室形態である混合室４０とし、熱処理風生成手段を１．２ｋｗの熱処理風生成手段５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの４台とし、熱処理風生成手段５ａ、５ｂを重ね形態として混合室４０の左側に横向き配置し、熱処理風生成手段５ｃ、５ｄを重ね形態として混合室４０の平面図の左側に横向き配置し、混合室４０の吹出し口を吹出し口４１とし、吹出し口４１の下流に該吹出し口４１（φ７ｍｍ）から吹き出す熱処理風Ｅ２の主に吹き溜まりを少なくするないし生じないようにするための両側壁が直線的に拡がって行く拡がり路４２が設けられ、拡がり路４２の途中に放散部４３を設け、天板を開閉扉形態とした扉４４とした検査用熱処理炉４５を形成した点にある。

混合室４０からは吹出し管４６が延びて、吹出し口４１のある先端は熱処理室２内に位置されている。
吹出し管４６は混合室の下方側に設けられ、吹出し口４１も下方側に位置されている。
熱処理風生成手段５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄは上流側に横向きの２段形態で、混合室４０の左右に設けられている形態であるので装置の占有面積を小さくでき、装置の小型化ないし省スペース化を実現している。
熱処理風生成手段５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、混合室４０、吹出し管４６、吹出し口４１とで熱処理風供給手段４９を形成している。
放散部４３の開口２４ａ、２４ｂは縦２４ｍｍ、横２０ｍｍとしている。
吹出し口４１から放散部４３の上部はステンレス製の覆板４７によって覆われている。
拡がり路４２を形成する両側壁は、断熱材からなる拡がり路形成部材４８ａ、４８ｂによって形成されている。
熱処理風生成手段５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄは、断熱性のカバー５２によって覆われている。
堰２５から排出口１４に渡る天井部位はステンレス製の覆板５３によって覆われている。
扉４４は、一方を蝶番５０ａ、５０ｂによって指示され、その対抗側上部に回動操作によってロック、ロック解除を行う開閉レバー５１を設けている。

図１１に示す本発明の実施例４において前記実施例１と主に異なる点は、吹出し口６を上方に設け、放散部を天井側を塞ぎ下部側を開口６０とした放散部６１とし、この放散部６１の下流側に設けた上部側を熱処理風を止め上部の開口６３から流れ出るようにする堰６４を設け、下部板を透明石英ガラスからなる下面に透明電導膜６５を設けた第１の透明下部板６６とし、この第１の透明下部板６６の下方に透明石英ガラスからなる第２の透明下部板６７を設け、第１の透明下部板６６と第２の透明下部板６７との空間は側壁によって密閉された保温室６８とし、第２の透明下部板６７の下方に光学的計測手段６９を設けた検査装置７０を形成した点にある。

透明電導膜６５は電圧を印加すると発熱する加熱手段であって、透明電導膜は透明下部板の上面に設ける形態、下面に設ける形態あるいは上面及び下面の両面に設ける形態とするのもよい。
光学的計測手段６９は本実施例ではフォーカス変位センサ（変位計）を使用しているが、カメラ、又はラインセンサ等の光学的計測手段を使用するのもよい。

透明テーブル１１の平面部の面積は第１の透明下部板６６の平面部の面積より小面積であり、板厚も透明テーブル１１の方が薄い。
透明テーブル１１と透明下部板６６はいずれも表面平坦度は３μｍ以下とし、それぞれの両面に透過性の異なる蒸着膜等の透過膜が施している。

試料Ｗを透明テーブル１１の上部面に置いた状態で、試料Ｗからの第１の反射光と透明テーブル１１の上部面からの第２の反射光を検出し、第１の反射光と第２の反射光の両方を受光したときは強い方の反射光である第１の反射光を検出する、第１の透明下部板６６の下方に設けた光学的計測手段６９と、本実施例にあって光学的計測手段６９はこのレーザフォーカス式変位計を採用している。
レーザフォーカス式変位計である光学的計測手段６９は、いくつもの反射光のうちで最も強い反射光を検出する（認識する）。
光学的計測手段６９と試料Ｗの間で生じる反射光のうちで最も強いのは試料Ｗからの反射光（以下「試料反射光」という。）となるように、かつ、光学的計測手段６９の透明テーブル１１の上部面（基準面）との間で生じる反射光のうちで最も強いのは透明テーブル１１の上部面（基準面）からの反射光（以下「基準面反射光」という。）となるように、透明テーブル１１と第１の透明下部板６６の透過度が蒸着膜等によって設定されている。
照射されたレーザ光によって生じる反射光は、第２の透明下部板６７の下部面からの反射光、第２の透明下部板６７の上部面からの反射光、第１の透明下部板６６の下部面からの反射光、第１の透明下部板６６の上部面からの反射光、透明導電膜３の下部面からの反射光、透明導電膜３の上部面からの反射光、上部透明基板２の下部面からの反射光、上部透明基板２の上部面である基準面からの基準面反射光、試料Ｗからの試料反射光が考えられる。
レーザ光が試料Ｗに当たっているときは、試料反射光と基準面反射光が検出できる強さであるが、基準面反射光よりも強い試料反射光が検出されると基準面反射光は検出されない。
試料Ｗに当たらない位置（試料が無い位置）での計測は、基準面反射光が最も強いので基準面反射光が検出され、基準面位置が計測され特定される。
よって、試料が無い箇所で基準面位置を計測し、それから試料Ｗにレーザ光を当て試料の位置を計測し、基準面位置から試料の距離を演算するようになっている。
試料の無い位置での基準面位置の計測は、３か所以上で行われ、その平均値を基準面としていて、それは凸凹の無い仮想基準面である。よって、基準面は実際の微細凸凹の透明テーブル１１面ではない。
また、試料が無い状態で一箇所ないし多数箇所を計測しその平均値を仮想基準面とすることも可能である。
透明導電膜には、例えば、酸化インジウムを主成分とする材料（例えば、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide））、酸化亜鉛を主成分とする材料（例えば、ＡＺＯ(Aluminium Zinc Oxide)、ＧＺＯ(Gallium doped Zinc Oxide)等）、または酸化スズを主成分とする材料、カドミウム系、カーボンナノチューブ（CNT）を用いた透明導電膜が知られている。
また、透明導電膜は、例えば、スパッタリング法、ＰＬＤ(Pulsed laser deposition)法、または真空蒸着法等により、上部透明基板上に成膜することができる。
本実施例の基準面の平坦度は３μｍ以下としているが、これに限定されるものではない。
また、透明テーブル１１、第１の透明下部板６６、第２の透明下部板６７の上部面および下部面の平坦度は３μｍ以下としている。
透明テーブル１１、第１の透明下部板６６、第２の透明下部板６７には、所定のレーザ光の透過率を得るために、その上部面および下部面に、フッ化マグネシウム、アルミ、白金、金、銀、銅、クローム、シリコン、ニッケル、５酸化チタン、ゲルマニュウム、二酸化チタン、一酸化珪素、二酸化珪素等々の蒸着物質の蒸着膜（複数物質の混合、多層有り）が施されている。

第１の透明下部板６６の上側に設けた該第１の透明下部板６６よりも小面積で交換可能な透明テーブル１１上面に試料を置いて検査するものであるので、大面積で高価な第１の透明下部板６６を傷つけるリスクが無く、透明テーブル１１上部面が傷ついた場合は小面積で安価な透明テーブル１１のみを交換することで対応できる。

図１２に示す本発明の実施例５において前記実施例４と主に異なる点は、第１の透明下部板６６の上部面に透明テーブル１１を直接載せ置いく形態とした検査装置７１を形成した点にある。
第１の透明下部板６６の上部面には透明テーブル１１の四角を位置決めして動かないように保持する４か所の保持部材７２からなる保持部７３が設けられている。
保持部７３は第１の透明下部板６６の上部面に設けず、熱処理室２を形成する側壁側に設けるのもよい。

図１３に示す本発明の実施例６において前記実施例４と主に異なる点は、テーブル高さ位置変更機構を、四方形態で配置した４本の支柱７９と、該支柱７９にセットするワッシャー８０とからなるテーブル高さ位置変更機構８１とした検査装置８２を形成した点にある。
セットするワッシャー８０の枚数によって透明テーブル１１と第１の透明下部板６６との離間距離を調節する。図では２枚ずつのワッシャー８０が支柱７９にそれぞれセットされている。

図１４に示す本発明の実施例７において前記実施例４と主に異なる点は、テーブル高さ位置変更機構に変えて、熱処理室２を形成する側壁に固定されたプレートからなる枠体８４と、該枠体８４に開口した開口８５と、該開口８５を形成する縁からなる、透明テーブル１１を載せ形態で支持するテーブル支持部８６とからなるテーブル保持部８７を設けた検査装置８９を形成した点にある。

前記実施例１、２、３、４、５は、特に風速、流路形態、放散部の構成、形態、位置等は多様な現実のモデルを使って観測または実験という、試行錯誤によって見出した構成ないし形態である。

＜付記Ａ１＞
試料をセットする熱処理室と、
前記試料を熱処理するための加熱風又は冷却風である熱処理風を生成する熱処理風生成手段を有し、該熱処理風を前記熱処理室に吹出す吹出し口を有する熱処理風供給手段と、を備えるとともに、
前記熱処理風の流れが、風上側である前記吹出し口側から風下側である前記試料側に流れる一方向流れであり、
前記試料位置での前記熱処理風の流れが、下流へ流れる穏やかな流れないし緩やかな流れの略層流であることを特徴とする検査用熱処理炉。
＜付記Ａ２＞
前記吹出し口から吹出される前記熱処理風の全熱風を受け放散させて、前記試料位置での前記熱処理風の流れを前記略層流にする放散部を設けたことを特徴とする付記Ａ１記載の検査用熱処理炉。
＜付記Ａ３＞
前記熱処理風供給手段は、前記熱風生成手段から放出される前記熱処理風の前記熱処理室への直接的な供給を止めるとともに、前記熱処理風を混合する混合室を形成する仕切り壁が設けられていて、前記仕切り壁に前記吹出し口が設けられていて、前記混合室で混合された熱処理風が前記吹出し口から前記熱処理室へ供給されるようにしたことを特徴とする付記Ａ１又はＡ２記載の検査用熱処理炉。
＜付記Ａ４＞
前記吹出し口が前記仕切り壁の中のある限られた部分である局所に、１つないし複数設けた局所吹出し口であり、
前記局所吹出し口の横幅は前記仕切り壁の横幅の５０％以下であることを特徴とする付記Ａ３記載の検査用熱処理炉。

＜付記Ｂの発明＞
＜付記Ｂ１＞
透明板からなる透明下部板と、
この透明下部板の上側に該透明下部板と離間して設けられた、上部面に試料を置く透明板からなる前記透明下部板とは別体である透明テーブルと、
前記透明テーブルの上下位置を変えて、前記透明テーブルと前記透明下部板との離間距離を調節することができテーブル高さ位置変更機構と、
前記透明下部板の下方から前記透明テーブル上の試料の検査を行うカメラ、フォーカス変位センサ又はラインセンサ等の光学的計測手段と、を備えてなるとともに、
前記透明下部板を取り外すことなく前記透明テーブルを取外し、新たな透明テーブルと交換することを可能としたことを特徴とする検査装置。
「前記透明下部板の下方から前記透明テーブル上の試料の検査を行う・・・光学的計測手段」とは、透明下部板が離間した複数枚である場合は、光学的計測手段はその複数枚の下方に位置して撮影することも含むものである。
＜付記Ｂ２＞
透明板からなる透明下部板と、
この透明下部板の上部面に直接載せ置かれた、上部面に試料を置く透明板からなる前記透明下部板とは別体である透明テーブルと、
前記透明下部板の下方から前記透明テーブル上の試料の検査を行うカメラ、フォーカス変位センサ又はラインセンサ等の光学的計測手段と、を備えてなるとともに、
前記透明下部板を取り外すことなく前記透明テーブルを取外し、新たな透明テーブルと交換することを可能としたことを特徴とする検査装置。
「前記透明下部板の下方から前記透明テーブル上の試料の検査を行う・・・光学的計測手段」とは、透明下部板が離間した複数枚である場合は、光学的計測手段はその複数枚の下方に位置して撮影することも含むものである。
＜付記Ｂ３＞
前記透明下部板を第１の透明下部板とし、
前記第１の透明下部板の下方に透明板からなる第２の透明下部板を設け、
この第２の透明下部板の下方に前記光学的計測手段を設けてなることを特徴とする付記Ｂ１又は付記Ｂ２記載の検査装置。
＜付記Ｂの発明の効果＞
透明下部板の上側に設けた該透明下部板よりも小面積で交換可能な透明テーブル上面に試料を置いて検査するものであるので、大面積で高価な透明下部板を傷つけるリスクが無く、透明テーブル上部面（基準面）が傷ついた場合は小面積で安価な透明テーブルのみを交換することで対応できるという効果を奏する。

＜付記Ｃ１記載の発明＞
試料をセットする熱処理室と、
前記試料を熱処理するための加熱風又は冷却風である熱処理風を生成する熱処理風生成手段を有し、該熱処理風を前記熱処理室に吹出す吹出し口を有する熱処理風供給手段と、を備えるとともに、
前記熱処理風の流れが、風上側である前記吹出し口側から風下側である前記試料側に流れる一方向流れであり、
前記試料位置での前記熱処理風の風速が３．０ｍ／ｓ～０．００１ｍ／ｓの範囲であることを特徴とする検査用熱処理炉である。

＜付記Ｃ２記載の発明＞
前記吹出し口から吹出された前記熱処理風の全熱風を受け放散させて、前記試料位置での前記熱処理風の前記風速にする放散部を設けたことを特徴とする付記Ｃ１記載の検査用熱処理炉である。

＜付記Ｃ３記載の発明＞
前記熱処理風供給手段は、前記熱風生成手段から放出される前記熱処理風の前記熱処理室への直接的な供給を止めるとともに、前記熱処理風を混合する混合室が設けられていて、前記混合室に前記吹出し口が設けられていて、前記混合室で混合された熱処理風が前記吹出し口から前記熱処理室へ供給されるようにしたことを特徴とする付記Ｃ１、２又は３記載の検査用熱処理炉である。

＜付記Ｃ４記載の発明＞
前記吹出し口が１つないし複数が近接して設けられた局所吹出し口であり、該局所吹出し口の開口面積の合計が１００平方ミリメートル以下であることを特徴とする付記Ｃ３記載の検査用熱処理炉。

＜付記Ｃ５記載の発明＞
前記熱処理室内に試料を載置する透明テーブルが設けられ、
前記透明テーブルの高さ位置を変えることを可能とするテーブル高さ位置変更機構が設けられてなることを特徴とする付記Ｃ１～３又は４記載の検査用熱処理炉である。

＜付記Ｃ６記載の発明＞
前記略層流の前記試料位置での風速は２ｍ／ｓ～１ｍ／ｓであることを特徴とする検査用熱処理炉である。

＜付記Ｃ７記載の発明＞
付記Ｃ１～５又は６記載の検査用熱処理炉と、
この検査用熱処理炉内の試料を計測する光学的計測手段と、を備えたことを特徴とする検査用熱処理炉を備えた検査装置である。

＜付記Ｃ８記載の発明＞
付記Ｃ１～５又は６記載の検査用熱処理炉と、
この検査用熱処理炉内の試料をＸ線撮影するＸ線光学的計測手段と、を備えたことを特徴とする検査用熱処理炉を備えたＸ線検査装置である。

以上の説明から明らかなように、付記Ｃの発明にあっては次に列挙する効果が得られる。
以下の説明において、熱処理（熱風による加熱又は冷却風による冷却）を熱風による加熱で説明する。
＜付記Ｃ１記載の発明の効果＞
（１）熱処理風の流れが、風上側である熱処理風供給手段側から風下側である前記試料側に流れる一方向流れであり、試料位置での前記熱処理風の流れが、風速が３．０ｍ／ｓ～０．００１ｍ／ｓの範囲で下流へ流れる穏やかな流れないし緩やかな流れ（以下「略層流」ともいう。）であるものである。
試料は、低速の流れ、穏やかな流れ又は緩やかな流れである、速度・圧力・密度・温度・粘度（粘性係数）など物理量が時間的にも量的にも変化が小さい一方法流れの定常流ないし略定常流の熱風である、風速が３．０ｍ／ｓ～０．００１ｍ／ｓの範囲の略層流によって加熱されるものである。
よって、試料位置での試料は、速度差、圧力差、密度差、温度差、粘度差が小さい穏やかな流れ「以下「一方向流れの物理量の変化が小差の低速熱風」ともいう。」であるので、試料はその全ての部分を加熱温度差が小さい状態で均一的に加熱昇温され「以下「全部分の均一的な加熱昇温」ともいう。」れる。
加熱される試料表面の温度分布は、温度分布差の小さい均一な温度分布が維持され加熱昇温することを実現するものである。
（２）試料に当たるのは一方向流れの物理量の変化が小差の低速熱風であるので、試料が微小、軽量、薄いものでも、動く（微移動、微振動も含む）ことがないので、それら試料の動かない状態での正確な計測を実現する。
（３）一方向流れの物理量の変化が小差の低速熱風で試料を加熱するものであるので、試料と加熱室壁の上壁および下壁またはいずれか一方の壁との間の熱風が通る間隙を狭い距離とすることを可能とする。
よって、例えば、加熱室外から試料をＸ線撮影しＸ線画像を得ようとする場合、加熱室壁の壁を挟んで試料とＸ線源との距離を短くでき、よって加熱室壁の上壁外からでも、下壁外からでも高解像度のＸ線撮影を可能とする。
（４）また、試料と上部壁との間に上間隙を設け、かつ、試料と下部壁との間に下間隙を設けた、熱風が上間隙と下間隙とを流れる形態とすることにより、試料の上部側と下部側を同一の熱状態とした該試料の挙動を実現する。

＜付記Ｃ２記載の発明の効果＞
付記Ｃ１記載の発明と同様な効果を奏するとともに、吹出し口から吹出される熱処理風（以下「吹出し熱処理風」ともいう。）の全熱風を放散部で受け放散することで、該放散後である放散部通過の熱処理風は早々に略層流となる。
よって、吹出し口から試料位置までを短距離とでき、熱処理室の小型化を実現する。

＜付記Ｃ３記載の発明の効果＞
付記Ｃ１又は２記載の発明と同様な効果を奏するとともに、熱風生成手段から放出される熱処理風を混合室で混合するので、該混合室で熱風の混合均一化による温度差の少ない状態とできる。この温度差を少なくした熱処理風を吹出し口から熱処理室に供給するので、試料位置を流れる略層流とされた熱処理風は温度斑の少ないものとなり、よって試料のより均一な加熱を実現する。

＜付記Ｃ４記載の発明の効果＞
付記Ｃ３記載の発明と同様な効果を奏するとともに、１つないし複数が近接して設けられた吹出し口の合計面積が１００平方ミリメートル以下であるので、混合室で熱風の混合均一化による温度差の少ない状態とされた熱風は局所吹出し口からの吹出しとなるので、熱処理室に供給される熱処理風はより温度変化・温度差・温度斑の少ないものとなり、よって温度斑の少ないないし無い均一な温度分布の略層流を実現する。

＜付記Ｃ５記載の発明の効果＞
付記Ｃ１～３又は４記載の発明と同様な効果を奏するとともに、試料を載置する透明テーブルの高さ位置を変えることができるので、試料の厚さに対応した最適な高さ位置を設定できる。

＜付記Ｃ６記載の発明の効果＞
付記Ｃ１～４又は５記載の発明と同様な効果を奏するとともに、風速は２ｍ／ｓ～１ｍ／ｓであるので、より緩やかな流れの略層流を実現するので、風速による試料の動きへの影響を小さくなるので、より軽い、面積の広い試料の計測を可能とする。

＜付記Ｃ７、８記載の発明の効果＞
付記Ｃ１～５又は６記載の発明と同様な効果を奏する検査用熱処理炉を備えた検査装置を実現する。

本発明は、主に電子部品、電子基板などの熱処理による挙動を観測する検査装置、観測装置等を使用する産業で利用される。

Ｗ：試料、
Ｅ１ａ、Ｅ１ｂ、Ｅ１ｃ、Ｅ１ｄ：熱処理風、
Ｅ２：熱処理風、
Ｅ３：熱処理風、
１：検査用熱処理炉、
２：熱処理室、
３：エアー供給手段、
４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ：エアー調節手段、
５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ：熱処理風生成手段、
６：吹出し口、
７：熱処理風供給手段、
８：仕切り壁、
９：放散部、
１０：混合室、
１１：透明テーブル、
１２：テーブル高さ位置変更機構、
１２ａ～１２ｄ：支持支柱、
１３ａ～１３ｄ：支持凹、
１４：排出口、
１４ａ：排出管、
１５：ベース、
１６；Ｘ線発生部、
１７：Ｘ線受光装置、
１８：Ｘ線光学的計測手段、
１９：検査用熱処理炉を備えたＸ線検査装置、
２０：検査用熱処理炉、
２１：吹出し口、
２２：放散部、
２４ａ、２４ｂ：開口、
２５：堰、
３０：天板、
３１：前板、
３２：後板、
３３：下部板、
３５：開口、
４０：混合室、
４１：吹出し口、
４２：拡がり路、
４３：放散部、
４４：扉、
４５：検査用熱処理炉、
４６：吹出し管、
４７：覆板、
４８ａ、４８ｂ：路形成部材、
４９：熱処理風供給手段、
５０ａ、５０ｂ：蝶番、
５１：開閉レバー
５２：カバー、
５３：覆板、
６０：開口、
６１：放散部、
６３：開口、
６４：堰、
６５：透明電導膜、
６６：第１の透明下部板、
６７：第２の透明下部板、
６８：保温室、
６９：光学的計測手段、
７０：検査装置、
７１：検査装置、
７２：保持部材、
７３：保持部、
７９：支柱、
８０：ワッシャー、
８１：テーブル高さ位置変更機構、
８２：検査装置、
８４：枠体、
８５：開口、
８６：テーブル支持部、
８７：テーブル保持部、
８９：検査装置。

Claims (3)

1. 試料を載置するテーブルを設けた熱処理室（２）と、
   前記試料を熱処理するための加熱風又は冷却風である熱処理風を生成する熱処理風生成手段を有し、該熱処理風を前記熱処理室（２）の上流側から供給する熱処理風供給手段と、
   前記テーブルの下流側に設けられた、前記熱処理風を前記熱処理室（２）から排出する排出口と、
   前記テーブルより上流側に仕切り壁的な形態で設けられた放散部と、
   前記放散部の左に設けられた、前記熱処理風を前記放散部の左側から前記熱処理室（２）の左側に流入させる開口（２４ａ）と、
   前記放散部の右に設けられた、前記熱処理風を前記放散部の右側から前記熱処理室（２）の右側に流入させる開口（２４ｂ）と、を備え、
   前記放散部の上流には前記熱処理風を吹出す吹出し口が設けられ、
   前記吹出し口と前記放散部との間には、前記吹出し口側から前記放散部側に向かって左右に拡がって行く拡がり路（４２）が形成され、
   前記熱処理風は、前記吹出し口から前記拡がり路（４２）に吹出され、前記放散部、前記開口（２４ａ）及び前記開口（２４ｂ）に到達し、左側の前記開口（２４ａ）から前記熱処理室（２）の左側に流入し、右側の前記開口（２４ｂ）から前記熱処理室（２）の右側に流入する、
   以上のように構成されたことを特徴とする検査用熱処理炉。
2. 前記試料位置での前記熱処理風の風速は、３．０ｍ／ｓ～０．００１ｍ／ｓの範囲、２．５ｍ／ｓ～０．００１ｍ／ｓの範囲、２．０ｍ／ｓ～０．００１ｍ／ｓの範囲、１．７ｍ／ｓ～０．００１ｍ／ｓの範囲、２ｍ／ｓ～１ｍ／ｓの範囲、１．９ｍ／ｓ～１ｍ／ｓの範囲、１．８ｍ／ｓ～１ｍ／ｓの範囲、１．７ｍ／ｓ～１ｍ／ｓの範囲、１．６ｍ／ｓ～１ｍ／ｓの範囲、１．５ｍ／ｓ～１ｍ／ｓの範囲のいずれかであることを特徴とする請求項１記載の検査用熱処理炉。
3. 前記テーブルを透明テーブルとした前記請求項１又は２記載の検査用熱処理炉と、
   前記検査用熱処理炉内の前記試料の検査を前記透明テーブルの下方から行う、前記透明テーブルの下方に設けられた光学的計測手段と、を備え、
   前記光学的計測手段は、前記試料の高さ位置を計測する光学的計測手段であることを特徴とする検査用熱処理炉を備えた検査装置。

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