JP7078211B2 - 高分子組成物 - Google Patents
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Description
3nm-1~5nm-1=nq/(2×π)
NMR分析は、三重共鳴5mmプローブを有するVarian Unity Inova(500MHz)分光計を含むNMR分光計を使用して常温で行った。NMR測定用溶媒(CDCl3)に分析対象物質を約10mg/mL程度の濃度で希釈させて使用し、化学的移動は、ppmで表現した。
br=広い信号、s=単一線、d=二重線、dd=二重二重線、t=三重線、dt=二重三重線、q=四重線、p=五重線、m=多重線。
数平均分子量(Mn)および分子量分布は、GPC(Gel permeation chromatography)を使用して測定した。5mLのバイアル(vial)に実施例または比較例のブロック共重合体または巨大開始剤などの分析対象物質を入れ、約1mg/mL程度の濃度になるようにTHF(tetrahydro furan)に希釈する。その後、キャリブレーション用標準試料と分析しようとする試料をシリンジフィルタ(細孔サイズ:0.45μm)を用いて濾過させた後に測定した。分析プログラムは、Agilent technologies社のChemStationを使用し、試料の溶出時間(elution time)を検量線(calibration curve)と比較して重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)をそれぞれ求め、その比率(Mw/Mn)で分子量分布(PDI)を計算した。GPCの測定条件は、下記の通りである。
機器:Agilent technologies社の1200series
カラム:Polymer laboratories社のPLgel mixed B 2個使用
溶媒:THF
カラム温度:35℃
サンプル濃度:1mg/mL、200L注入
標準試料:ポリスチレン(Mp:3900000、723000、316500、52200、31400、7200、3940、485)
XRD分析は、浦項加速器4Cビームラインで試料にX線を透過させて散乱ベクトル(q)による散乱強度を測定することにより測定した。試料としては、特別な前処理なしに合成されたブロック共重合体を精製した後、真空オーブンで約一日間維持することにより乾燥させた粉末状態のブロック共重合体をXRD測定用セルに入れて使用した。XRDパターン分析時には、垂直サイズが0.023mmであり、水平サイズが0.3mmであるX線を利用し、検出器としては、2D marCCDを利用した。散乱して出る2D回折パターンをイメージとして得た。得られた回折パターンを最小二乗法を適用した数値分析学的な方式で分析して、散乱ベクトルおよび半値全幅などの情報を得た。前記分析時には、オリジンプログラムを適用し、XRD回折パターンにおいて最も最小の強度を示す部分をベースラインとして取って前記での強度を0になるようにした状態で前記XRDパターンピークのプロファイルをガウシアンフィッティングし、フィッティングされた結果から前記散乱ベクトルと半値全幅を求めた。ガウシアンフィッティング時に、R二乗は、少なくとも0.96以上になるようにした。
表面エネルギーは、水滴型分析器(Drop Shape Analyzer,KRUSS社のDSA100製品)を使用して測定した。測定しようとする物質(重合体)をフルオロベンゼンに約2重量%の固形分の濃度で希釈させてコーティング液を製造し、製造されたコーティング液をシリコンウェハーに約50nmの厚さおよび4cm2のコーティング面積(横:2cm、縦:2cm)でスピンコートした。コーティング層を常温で約1時間乾燥し、引き続いて、約160℃で約1時間熱的熟成させた。熱的熟成を経た膜に表面張力が公知となっている脱イオン化水を落とし、その接触角を求める過程を5回繰り返して、得られた5個の接触角の数値の平均値を求めた。同一に、表面張力が公知となっているジヨードメタンを落とし、その接触角を求める過程を5回繰り返して、得られた5個の接触角の数値の平均値を求めた。求められた脱イオン化水とジヨードメタンに対する接触角の平均値を利用してOwens-Wendt-Rabel-Kaelble方法により溶媒の表面張力に関する数値(Strom値)を代入して表面エネルギーを求めた。ブロック共重合体の各高分子セグメントに対する表面エネルギーの数値は、前記高分子セグメントを形成する単量体だけで製造された単独重合体(homopolymer)に対して前記記述した方法で求めた。
ブロック共重合体の各高分子セグメントの体積分率は、各高分子セグメントの常温での密度とGPCにより測定された分子量に基づいて計算した。前記で密度は、浮力法を利用して測定し、具体的には、空気中での質量と密度を知っている溶媒(エタノール)内に分析しようとする試料を入れ、その質量を用いて計算した。
下記化学式Aの化合物(DPM-C12)は、次の方式で合成した。250mLのフラスコにヒドロキノン(10.0g、94.2mmol)および1-ブロモドデカン(23.5g、94.2mmol)を入れ、100mLのアセトニトリルに溶かした後、過量の炭酸カリウムを添加し、75℃で約48時間窒素条件下で反応させた。反応後に残存する炭酸カリウムをフィルタリングして除去し、反応に使用したアセトニトリルをも除去した。これにDCM(dichloromethane)と水の混合溶媒を添加してワークアップし、分離した有機層を集めて、MgSO4に通過させて脱水した。引き続いて、カラムクロマトグラフィーでDCM(dichloromethane)を使用して白色固体状の目的物(4-ドデシルオキシフェノール)(9.8g、35.2mmol)を約37%の収得率で得た。
1H-NMR(CDCl3):d6.77(dd、4H);δd4.45(s、1H);d3.89(t、2H);d1.75(p、2H);d1.43(p、2H);d1.33-1.26(m、16H);d0.88(t、3H)。
1H-NMR(CDCl3):d7.02(dd、2H);δd6.89(dd、2H);d6.32(dt、1H);d5.73(dt、1H);d3.94(t、2H);δd2.05(dd、3H);d1.76(p、2H);δd1.43(p、2H);1.34-1.27(m、16H);d0.88(t、3H)。
製造例1のモノマー(A)6.0gとRAFT(Reversible Addition-Fragmentation chain Transfer)試薬であるシアノイソプロピルジチオベンゾエート64mg、ラジカル開始剤であるAIBN(Azobisisobutyronitrile)23mgおよびベンゼン5.34mLを10mLのシュレンクフラスコ(Schlenk flask)に入れ、窒素の雰囲気下で常温で30分間撹拌した後、70℃で4時間RAFT(Reversible Addition-Fragmentation chain Transfer)重合反応を行った。重合後、反応溶液を抽出溶媒であるメタノール250mLに沈殿させた後、減圧濾過して乾燥させて、ピンク色の巨大開始剤を製造した。前記巨大開始剤の収得率は、約82.6重量%であり、数平均分子量(Mn)および分子量分布(Mw/Mn)は、それぞれ29Kg/molおよび1.16であった。巨大開始剤0.3g、ペンタフルオロスチレンモノマー10gおよびベンゼン5mLを50mLのシュレンクフラスコ(Schlenk flask)に入れ、窒素の雰囲気下で常温で30分間撹拌した後、115℃で4時間RAFT(Reversible Addition-Fragmentation chain Transfer)重合反応を行った。重合後、反応溶液を抽出溶媒であるメタノール250mLに沈殿させた後、減圧濾過して乾燥させて、淡いピンク色の高分子セグメント共重合体を製造した。前記ブロック共重合体の収得率は、約18重量%であり、数平均分子量(Mn)および分子量分布(Mw/Mn)は、それぞれ73Kg/molおよび1.13であった。前記ブロック共重合体は、製造例1のモノマー(A)に由来する高分子セグメントAと前記ペンタフルオロスチレンモノマーに由来する高分子セグメントBを含む。
製造例1と同じ方式でブロック共重合体を製造するものの、単量体と巨大開始剤のモル比などを調節して、分子量が互いに異なる3種のブロック共重合体をさらに製造した。各製造過程で使用された巨大開始剤およびブロック共重合体の特性を下記表1に整理して記載した。
製造例2のブロック共重合体(A)と製造例4のブロック共重合体(C)を混合して高分子組成物を製造した。高分子組成物内でブロック共重合体(A)の比率は、75重量%であり、ブロック共重合体(C)の比率は、25重量%であった。引き続いて、前記高分子組成物をトルエンに1.5重量%程度の固形分の濃度で希釈させて製造したコーティング液を基板上にスピンコートし、常温で1時間程度乾燥した後、約200℃程度の温度で約10分間熱的熟成して、自己組織化された膜を形成した。前記で基板としては、公知のシリコンウェハーであって、表面に何らの中性処理が施されていない基板を適用した。前記形成された膜に対してSEM(Scanning electron microscope)イメージを撮影した。図1は、前記実施例1に対して撮影したSEMイメージであり、図面から確認されるように、実施例1の高分子組成物の場合、垂直配向された自己組織化ラメラ構造が効果的に形成されたことを確認した。
高分子組成物においてブロック共重合体(A)の比率を60重量%とし、ブロック共重合体(C)の比率を40重量%としたことを除いては、実施例1と同一に高分子膜を形成し、これに対する評価結果は、下記表2に整理して記載した。
高分子組成物においてブロック共重合体(A)の比率を40重量%とし、ブロック共重合体(C)の比率を60重量%としたことを除いては、実施例1と同一に高分子膜を形成し、これに対する評価結果は、下記表2に整理して記載した。
ブロック共重合体(C)の代わりにブロック共重合体(D)を適用したことを除いては、実施例2と同一に高分子膜を形成し、これに対する評価結果は、下記表2に整理して記載した。
ブロック共重合体(A)の代わりにブロック共重合体(B)を適用したことを除いては、実施例2と同一に高分子膜を形成し、これに対する評価結果は、下記表2に整理して記載した。
ブロック共重合体(C)の代わりにブロック共重合体(D)を適用したことを除いては、実施例5と同一に高分子膜を形成し、これに対する評価結果は、下記表2に整理して記載した。
ブロック共重合体(A)のみを適用して実施例1のように高分子膜を形成し、これに対する評価結果は、下記表2に整理して記載した。
Claims (18)
- 下記の化学式2で表される高分子セグメントAと下記の化学式4で表される高分子セグメントBを有する第1ブロック共重合体および前記第1ブロック共重合体に比べて低い数平均分子量を有し、下記の化学式2で表される高分子セグメントCと下記の化学式4で表される高分子セグメントDを有する第2ブロック共重合体を含む高分子組成物。
[化学式2]
[化学式4]
- 第1ブロック共重合体の数平均分子量(M1)と第2ブロック共重合体の数平均分子量(M2)の比率(M1/M2)が1.05~10の範囲内である、請求項1に記載の高分子組成物。
- 第1ブロック共重合体の数平均分子量(M1)が30~150Kg/molの範囲内にある、請求項2に記載の高分子組成物。
- 第2ブロック共重合体の数平均分子量(M2)が10~80Kg/molの範囲内にある、請求項2または3に記載の高分子組成物。
- 第1ブロック共重合体の数平均分子量(M1)と第2ブロック共重合体の数平均分子量(M2)の差(M1-M2)が100Kg/mol以内である、請求項1から4のいずれか一項に記載の高分子組成物。
- 高分子組成物内で第2ブロック共重合体が最も低い数平均分子量を有し、高分子組成物内の全体ブロック共重合体の合計重量を基準として前記第2ブロック共重合体の重量比が25%~90%の範囲内にある、請求項1から5のいずれか一項に記載の高分子組成物。
- 高分子組成物内で第2ブロック共重合体が最も低い数平均分子量を有し、高分子組成物内の全体ブロック共重合体の合計モル数を基準として前記第2ブロック共重合体のモル比が40%~90%の範囲内にある、請求項1から5のいずれか一項に記載の高分子組成物。
- 高分子セグメントAおよびCは、それぞれ側鎖を有し、X線回折分析の0.5~10nm-1の散乱ベクトルの範囲内で半値全幅が0.2~1.5nm-1の範囲内であるピークを示す、請求項1から7のいずれか一項に記載の高分子組成物。
- 高分子セグメントAおよびBの表面エネルギーの差の絶対値と高分子セグメントCおよびDの表面エネルギーの差の絶対値がそれぞれ2.5~7mN/mの範囲内である、請求項1から8のいずれか一項に記載の高分子組成物。
- 高分子セグメントAおよびCの体積分率の合計が0.3~0.6の範囲内であり、高分子セグメントA、B、CおよびDの体積分率の合計が1である、請求項1から9のいずれか一項に記載の高分子組成物。
- 高分子セグメントAおよびCは、鎖形成原子が8個以上30個以下の側鎖を含む、請求項1から10のいずれか一項に記載の高分子組成物。
- 高分子セグメントAおよびCは、それぞれ環構造を含み、側鎖が前記環構造に置換されている、請求項11に記載の高分子組成物。
- 高分子セグメントBおよびDは、それぞれ3個以上のハロゲン原子を含む、請求項11または12に記載の高分子組成物。
- 高分子セグメントBおよびDは、それぞれ環構造を含み、ハロゲン原子が前記環構造に置換されている、請求項13に記載の高分子組成物。
- 基板と、前記基板上に形成されている請求項1から14のいずれか一項に記載の高分子組成物を含む高分子膜とを備え、
前記高分子膜内で第1および第2ブロック共重合体が自己組織化構造を形成しており、
前記高分子膜と前記基板は、接触しており、前記高分子膜が接触する基板の表面には中性処理が施されていない積層体。 - 自己組織化構造が垂直配向されている、請求項15に記載の積層体。
- 請求項15または16に記載の積層体の高分子膜から自己組織化構造を形成しているブロック共重合体のいずれか一つの高分子セグメントを選択的に除去する段階を含むパターン化基板の製造方法。
- 高分子セグメントが除去された高分子膜をマスクとして基板をエッチングする段階をさらに含む、請求項17に記載のパターン化基板の製造方法。
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