JP7067789B2 - 熱式流量計およびその重み付け係数の決定方法 - Google Patents
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Description
すなわち、本発明の一態様に係る熱式流量計は、液体が流入する流入口と該流入口から流入した液体を流出させる流出口とを有するとともに、軸線に沿って延びて液体が流通する内部流路が形成された測定管と、前記軸線に沿って加熱用抵抗体と温度検出用抵抗体とを有するとともに、前記測定管に設けられた複数の検出部と、複数の前記検出部からの信号に基づいて前記内部流路を流通する液体の流量を算出する制御部とを備え、複数の前記検出部は、それぞれ前記軸線を中心とした円周方向に所定間隔を空けて設けられている。
また、複数の検出部からの信号に基づいて算出されたそれぞれ流量に所定値以上の差分が制御部によって検出された場合、熱式流量計やその熱式流量計に接続された流路管の設置状態、接続状態が異常であると判断して、例えば、警報を出すなどして使用者に異常を知らせることができる。
以下、本発明の第1実施形態の熱式流量計100について図面を参照して説明する。
本実施形態の熱式流量計100は、内部流路10cを流れる液体を加熱し、加熱された液体の温度を検出することで液体の流量を測定する熱式流量計である。本実施形態の熱式流量計100は、例えば、0.1mL/min~100mL/minの微少流量を測定するのに適している。
ボトムケース50の底面には締結穴50aが形成されており、設置面(図示略)の下方から挿入される締結ボルト(図示略)によって設置面に固定される。
図3に示すように、センサ部10は、測定管11と、複数のセンサ基板12(温度検出基板)とを有する。
加熱用抵抗線12aと、温度検出用抵抗線12bと、温度検出用抵抗線12cとは、それぞれ白金等の金属膜をガラス製の基板上に蒸着されている。
制御基板20は、加熱用抵抗線12aを瞬間的に加熱したタイミングと、その後に温度検出用抵抗線12bと温度検出用抵抗線12cとが加熱された液体の温度を検出するタイミングとに基づいて、測定管11を流れる液体の流通速度を算出することができる。また、制御基板20は、算出した流通速度と測定管11の断面積から、液体の流量を算出することができる。算出方法の詳細については後述する。
例えば、加熱用抵抗線12aよりも液体の流通方向の上流側に温度検出用抵抗線12bを配置し、加熱用抵抗線12aよりも液体の流通方向の下流側に温度検出用抵抗線12cを配置するようにしてもよい。加熱用抵抗線12aが作り出す温度分布は、液体の流通速度に依存し、流通速度が大きくなるに従ってより多くの熱が下流側に運ばれて下流側の温度が高くなる。制御基板20は、温度検出用抵抗線12bにより検出される温度と温度検出用抵抗線12cにより検出される温度との差分と、測定管11の断面積から、液体の流量を算出することができる。
ここで、接着剤としては、例えば、エポキシ樹脂系接着剤、紫外線硬化性樹脂系接着剤、熱硬化性樹脂系接着剤(熱硬化性接着剤)、低融点ガラス等を用いることができる。
前述の通り、制御基板20は、検出部12dが有する加熱用抵抗線12a、温度検出用抵抗線12b、温度検出用抵抗線12cからの信号に基づいて、測定管11を流れる液体の流量を算出することができる。
図8には、検出部12d’の信号から算出された流量Q’と、内部流路10cを挟んで検出部12d’に対向する検出部12d’’の信号から算出された流量Q’’と、基準流量計によって計測された流量QSとを比較した結果が示されている。ここで、図8の縦軸は流量(mL/min)、横軸は時間t(s)を示している。なお、実験の際は、流速分布の不均一を生じさせるために、流入口10a側に接続され、内部に液体が流れる配管(例えば、樹脂製のチューブ)を人為的に搖動している。基準流量計は、例えば、コリオリ流量計を使用している。
内部流路10cの円周方向に対して複数方向に設けられる検出部12dからの信号に基づいて流量を算出することができる。仮に、内部流路10cを流れる液体の速度分布が均一でない場合であっても、円周方向に所定間隔を空けて設けられた複数の検出部12dからの信号に基づいて算出されたそれぞれの流量を制御基板20によって平均値化することで、流速分布の不均一と検出部12dの位置とに起因する流量のばらつきを抑制することができる。したがって、測定管11の内部流路10cを流通する液体の速度分布が均一でない場合であっても、一方向の検出部12d(例えば、検出部12d’のみ)からの信号に基づいて流量を算出した場合と比べて、精度良く流量を測定することができる。
以下、本発明の第2実施形態について、図面を参照して説明する。
本実施形態の熱式流量計100は、第1実施形態と流量の算出方法が異なり、その他の点については同様である。したがって、第1実施形態と異なる点についてのみ説明し、その他は同一の符号を用いてその説明を省略する。
この実験では、内部流路10cを流れる液体の流量を70秒ごとに20mL/min、40mL/min、60mL/min、80mL/min、95mL/minと増加させる。なお、実験の際は、流速分布の不均一を生じさせるために、各流量において約35秒が経過したときに、流入口10a側に接続され、内部に液体が流れる樹脂製のチューブを人為的に搖動させている。
測定管11の内部流路10cを流通する液体の速度分布が均一でない場合であっても、流速の不均一をほぼキャンセルすることができる。また、内部流路10cを流通する液体の速度分布によっては、流量Q’と流量Q’’とを単純に平均値化した場合と比べて、より精度良く流量を測定することができる。
10a 流入口
10b 流出口
10c 内部流路
10d 内周面
11 測定管
11a 流入口
11b 流出口
11c 平坦面
12 センサ基板(温度検出基板)
12a 加熱用抵抗線(加熱用抵抗体)
12b,12c 温度検出用抵抗線(温度検出用抵抗体)
12d,12d’,12d’’ 検出部
12e 検出面
20 制御基板(制御部)
100 熱式流量計
Claims (3)
- 液体が流入する流入口と該流入口から流入した液体を流出させる流出口とを有するとともに、軸線に沿って延びて液体が流通する内部流路が形成された測定管と、
前記軸線に沿って加熱用抵抗体と温度検出用抵抗体とを有するとともに、前記測定管に設けられた複数の検出部と、
複数の前記検出部からの信号に基づいて前記内部流路を流通する液体の流量を算出する制御部と、
を備え、
複数の前記検出部は、それぞれ前記軸線を中心とした円周方向に所定間隔を空けて設けられ、
前記制御部は、
各前記検出部からの信号に基づいて得られたそれぞれの流量に重み付けを行ったうえで加算することで前記内部流路を流れる液体の流量を算出するとともに、
一の前記検出部からの信号に基づいて得られた流量と他の前記検出部からの信号に基づいて得られた流量とを比較して、大きい流量に小さい流量よりも大きな重み付けを行う熱式流量計。 - 複数の前記検出部は、前記軸線を中心とした円周方向に等角度間隔で設けられている請求項1に記載の熱式流量計。
- 液体が流入する流入口と該流入口から流入した液体を流出させる流出口とを有するとともに、軸線に沿って延びて液体が流通する内部流路が形成された測定管と、
前記軸線に沿って加熱用抵抗体と温度検出用抵抗体とを有するとともに、前記測定管に設けられた複数の検出部と、
各前記検出部からの信号に基づいて前記内部流路を流通する液体の流量を算出する制御部と、
を備え、
各前記検出部は、それぞれ前記軸線を中心とした円周方向に所定間隔を空けて設けられており、
前記制御部は、各前記検出部からの信号に基づいて得られたそれぞれの流量に重み付け係数を乗じたうえで加算することで前記内部流路を流れる液体の流量を算出する熱式流量計の重み付け係数の決定方法であって、
前記内部流路に既知とされた基準流量の液体を流通させる工程と、
複数の前記重み付け係数を用いてそれぞれの該重み付け係数に対応した複数の重み付け流量を算出する工程と、
前記基準流量に対する各前記重み付け流量の標準偏差を算出する工程と、
前記標準偏差が最も小さくなったときの前記重み付け係数を取得する工程と、
を含む熱式流量計の重み付け係数の決定方法。
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Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20170038235A1 (en) | 2015-08-03 | 2017-02-09 | Memsic, Inc. | Mems flow sensor |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60236025A (ja) * | 1984-05-09 | 1985-11-22 | Nippon Soken Inc | 空気流量センサ |
JP2816758B2 (ja) | 1990-09-07 | 1998-10-27 | 株式会社日立製作所 | ファジイ推論を用いた流量測定装置及び方法 |
JP2867125B2 (ja) * | 1995-06-21 | 1999-03-08 | 東京瓦斯株式会社 | 流量計 |
KR20010021842A (ko) | 1997-12-15 | 2001-03-15 | 안자이 구니오 | 유량계 |
JP4355792B2 (ja) | 2002-08-29 | 2009-11-04 | 東京瓦斯株式会社 | 熱式流量計 |
JP5336640B1 (ja) | 2012-09-17 | 2013-11-06 | 東京計装株式会社 | 熱式流量計 |
JP6539458B2 (ja) | 2015-02-23 | 2019-07-03 | サーパス工業株式会社 | 熱式流量計 |
US20170358374A1 (en) | 2016-06-09 | 2017-12-14 | Ge-Hitachi Nuclear Energy Americas Llc | Nuclear reactor fluid thermal monitoring array |
-
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Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20170038235A1 (en) | 2015-08-03 | 2017-02-09 | Memsic, Inc. | Mems flow sensor |
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