JPH0299831A - 管内流量の制御方法とその装置 - Google Patents
管内流量の制御方法とその装置Info
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- JPH0299831A JPH0299831A JP25232688A JP25232688A JPH0299831A JP H0299831 A JPH0299831 A JP H0299831A JP 25232688 A JP25232688 A JP 25232688A JP 25232688 A JP25232688 A JP 25232688A JP H0299831 A JPH0299831 A JP H0299831A
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- fluid
- flow
- conduit
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- Pending
Links
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、導管中を流れる流体の流量を制御する方法と
その装置に関する。
その装置に関する。
（従来の技術）
従来、半導体製造プロセス等の微装置の精密な流量測定
には主に熱式質量流量計が使用されている。
には主に熱式質量流量計が使用されている。
この流量計は、導管の外面の二個所に感温抵抗線を巻き
、これに一定の電流を流して自己加熱するか、または、
この二個所の中間にさらにヒーター線を巻いて一定の電
流を流して加熱しておけば導管に層流の流体が流れると
、上流側の感温抵抗線のところでは温度が下降し、下流
側では上昇して、二個所の間に温度差が生じる。
、これに一定の電流を流して自己加熱するか、または、
この二個所の中間にさらにヒーター線を巻いて一定の電
流を流して加熱しておけば導管に層流の流体が流れると
、上流側の感温抵抗線のところでは温度が下降し、下流
側では上昇して、二個所の間に温度差が生じる。
この温度差の変化する割合は、流体の熱容量の大きさで
決められる。このことから流体の温度と圧力を補正しな
くても、流体の流れを質量流体どして温度差の変化に変
換し、この変化を感温抵抗線の抵抗値の変化としてブリ
ッジ回路で検出することができる。
決められる。このことから流体の温度と圧力を補正しな
くても、流体の流れを質量流体どして温度差の変化に変
換し、この変化を感温抵抗線の抵抗値の変化としてブリ
ッジ回路で検出することができる。
また、センサに流せる流量には限度があるためそれ以上
の流量を測定する場合には、センサ部の他にバイパス部
を設けて流体を分流させる方法が用いられている。
の流量を測定する場合には、センサ部の他にバイパス部
を設けて流体を分流させる方法が用いられている。
しかし、この質量流量計は流体の熱容量、粘性等による
補正が必要である欠点がある。
補正が必要である欠点がある。
また、この流量計は温度依存性が少ないとは言え計算式
中の係数に温度依存性のパラメータを使用するため、そ
の分の補正が必要である欠点がある。
中の係数に温度依存性のパラメータを使用するため、そ
の分の補正が必要である欠点がある。
さらに、測定に用いる導管を縦向きに設置するか、横向
きに設置するかによって測定値が異なるため、流量計の
組立て設計上自由度がない欠点がある。
きに設置するかによって測定値が異なるため、流量計の
組立て設計上自由度がない欠点がある。
また、センサ部を加熱するため、測定する流体殊に液体
の場合分解するおそれがある欠点がある。
の場合分解するおそれがある欠点がある。
一方、「コリオリの力」を応用した液体の質量流量計が
開発され市販されている。
開発され市販されている。
この質量流量計は一本の測定管でダブルループを構成し
、この測定管に液体を流す。タプルループの下方中央部
に加振器を設置し、正弦波的に共振周波数で振動を与え
ると、加振器の左右のダブルループに設置された二個の
センサはそれらの位置でのたわみによる位相差を検出す
る。この位相差は液体の質量流量に比例することによっ
て質量流量を測定することができる。
、この測定管に液体を流す。タプルループの下方中央部
に加振器を設置し、正弦波的に共振周波数で振動を与え
ると、加振器の左右のダブルループに設置された二個の
センサはそれらの位置でのたわみによる位相差を検出す
る。この位相差は液体の質量流量に比例することによっ
て質量流量を測定することができる。
この質量流量計は液体の温度、圧力、熱容量、粘度、流
速分布等に無関係に質量流量を測定することができるこ
と、および、たわみ量の位相差を検出しているため測定
精度がよいこと等の利点があるが、しかし、測定の感度
に乏しく微量流量の測定には殆んど利用できない欠点が
ある。
速分布等に無関係に質量流量を測定することができるこ
と、および、たわみ量の位相差を検出しているため測定
精度がよいこと等の利点があるが、しかし、測定の感度
に乏しく微量流量の測定には殆んど利用できない欠点が
ある。
上記のように、従来の技術は様々な欠点があるが、特に
従来の管内流量の制御方法は応答速度が遅く流量制御に
要する時間が長い欠点がある。
従来の管内流量の制御方法は応答速度が遅く流量制御に
要する時間が長い欠点がある。
（解決しようとする問題点）
めて微量流量も精度よく測定できる管内流体の流量測定
器と流量調製機構を備えた流量制御方法とその装置を提
供しようとするものである。
器と流量調製機構を備えた流量制御方法とその装置を提
供しようとするものである。
（問題を解決するための手段）
本発明は、流体が流れる導管中でその流体中をることが
できる。
できる。
流量測定器は流体が流れる導管に振動子と、その振動子
を中心にして反対方向の等距離に２個の受振器を設置し
たものである。
を中心にして反対方向の等距離に２個の受振器を設置し
たものである。
測定管である導管に流体を流し、振動子から音波を発振
ザると、音波を伝える媒体としての流体の上流側の受振
器にキャッチされた音波と下流側の受振器にキャッチさ
れた音波には位相差が生ずる。この位相差は流体の速度
に比例するから、この位相差を測定することによって流
量を精度よく測定することができる。
ザると、音波を伝える媒体としての流体の上流側の受振
器にキャッチされた音波と下流側の受振器にキャッチさ
れた音波には位相差が生ずる。この位相差は流体の速度
に比例するから、この位相差を測定することによって流
量を精度よく測定することができる。
この流量測定器からの信号と設定値とを増巾器で比較し
、流邑調製弁を調製し流量を制御するもである。
、流邑調製弁を調製し流量を制御するもである。
本発明になる流量制御方法および制御装置は、液体およ
び気体に適用できるものである。
び気体に適用できるものである。
流速によっては超音波の使用が好ましい１゜（発明の効
果） 本発明によれば、流体の種類、温度、圧力、熱容量、粘
度、流速分布等に無関係に流量を測定することができ、
これらの補正を必要とせず流量制御ができる特徴がある
。
果） 本発明によれば、流体の種類、温度、圧力、熱容量、粘
度、流速分布等に無関係に流量を測定することができ、
これらの補正を必要とせず流量制御ができる特徴がある
。
また、音波の位相差を検出しているため、測定精度およ
び測定感度が極めてすぐれており、微量流量の制御でで
きる特徴がある。
び測定感度が極めてすぐれており、微量流量の制御でで
きる特徴がある。
さらに、測定手段として音波を利用しているため応答速
度が極めて速く、したがって、流量制御に要する時間が
非常に短い特徴がある。
度が極めて速く、したがって、流量制御に要する時間が
非常に短い特徴がある。
第１図は本発明になる流量制御装置のブロック図である
。 測定導管である。 特許出願人 株式会社高純度化学研究所手続補正書４
．７） 牙、テ許庁長官 （特許庁審査官 ■、小事件表示 昭和６３年 ２゜ 発明の名称 殿 殿） 特許願第２５２３２６−号 １貼侵≦Ｔ ９ ”ｏ蓄品シ３１と１，６品３、補正を
する者 事件との関係
。 測定導管である。 特許出願人 株式会社高純度化学研究所手続補正書４
．７） 牙、テ許庁長官 （特許庁審査官 ■、小事件表示 昭和６３年 ２゜ 発明の名称 殿 殿） 特許願第２５２３２６−号 １貼侵≦Ｔ ９ ”ｏ蓄品シ３１と１，６品３、補正を
する者 事件との関係
Claims (2)
- （１）流体が流れる導管中でその流体中を伝わる音波の
位相差によって流体の流量を求め、その流量を制御する
ことを特徴とする管内流量の制御方法。 - （２）流体が流れる導管に振動子と、その振動子を中心
にして反対方向の等距離に２個の受振器を設置した流量
測定器と増巾器と流量調製弁を備えたことを特徴とする
管内流量の制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25232688A JPH0299831A (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 | 管内流量の制御方法とその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25232688A JPH0299831A (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 | 管内流量の制御方法とその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0299831A true JPH0299831A (ja) | 1990-04-11 |
Family
ID=17235708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25232688A Pending JPH0299831A (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 | 管内流量の制御方法とその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0299831A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006506723A (ja) * | 2002-11-20 | 2006-02-23 | エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド | 体積流量制御器 |
| US7688691B2 (en) | 2004-07-07 | 2010-03-30 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Signal processing apparatus and method for optical disk system |
| JP2015192148A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． | 過酸化水素を半導体処理チャンバへ送る方法及びシステム |
-
1988
- 1988-10-06 JP JP25232688A patent/JPH0299831A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006506723A (ja) * | 2002-11-20 | 2006-02-23 | エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド | 体積流量制御器 |
| JP2009217833A (ja) * | 2002-11-20 | 2009-09-24 | Air Products & Chemicals Inc | 体積流量制御器 |
| US7669594B2 (en) | 2002-11-20 | 2010-03-02 | Air Products And Chemicals, Inc. | Volume flow controller |
| JP4795690B2 (ja) * | 2002-11-20 | 2011-10-19 | エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド | 体積流量制御器 |
| US8336544B2 (en) | 2002-11-20 | 2012-12-25 | Air Products And Chemicals, Inc. | Volume flow controller |
| US7688691B2 (en) | 2004-07-07 | 2010-03-30 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Signal processing apparatus and method for optical disk system |
| JP2015192148A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． | 過酸化水素を半導体処理チャンバへ送る方法及びシステム |
| US10343907B2 (en) | 2014-03-28 | 2019-07-09 | Asm Ip Holding B.V. | Method and system for delivering hydrogen peroxide to a semiconductor processing chamber |
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