JPH0299830A - 管内流量の測定方法とその装置 - Google Patents
管内流量の測定方法とその装置Info
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- JPH0299830A JPH0299830A JP63252325A JP25232588A JPH0299830A JP H0299830 A JPH0299830 A JP H0299830A JP 63252325 A JP63252325 A JP 63252325A JP 25232588 A JP25232588 A JP 25232588A JP H0299830 A JPH0299830 A JP H0299830A
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- Japan
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- fluid
- flow rate
- acoustic wave
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- Pending
Links
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Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、導管中を流れる流体の流量を測定ザる方法と
その装置に関する。
その装置に関する。
（従来の技術）
従来、半導体製造プロセス等の微小量の精密な流量測定
には主に熱式質量流量計が使用されている。
には主に熱式質量流量計が使用されている。
この流量計は、導管の外面の二個所に感温抵抗線を巻き
、これに一定の電流を流して自己加熱するか、または、
この二個所の中間にさらにヒーター線を巻いて一定の電
流を流して加熱しておけば導管に層流の流体が流れると
、上流側の感温抵抗線のところでは温度が下降し、下流
側では上昇して、二個所の間に温度差が生じる。
、これに一定の電流を流して自己加熱するか、または、
この二個所の中間にさらにヒーター線を巻いて一定の電
流を流して加熱しておけば導管に層流の流体が流れると
、上流側の感温抵抗線のところでは温度が下降し、下流
側では上昇して、二個所の間に温度差が生じる。
この温度差の変化する割合は、流体の熱容量のして温度
差の変化に変換し、この変化を感温抵抗線の抵抗値の変
化としてブリッジ回路で検出することができる。
差の変化に変換し、この変化を感温抵抗線の抵抗値の変
化としてブリッジ回路で検出することができる。
また、センサに流せる流量には限度があるためそれ以上
の流量を測定する場合には、センザ部の他にバイパス部
を設けて流体を分流させる方法が用いられている。
の流量を測定する場合には、センザ部の他にバイパス部
を設けて流体を分流させる方法が用いられている。
しかし、この質量流量計は流体の熱容量、粘性等による
補正が必要である欠点がある。
補正が必要である欠点がある。
また、この流量計は温度依存性が少ないとは言え計算式
中の係数に温度依存性のバ０メータを使用するため、そ
の分の補正が必要である欠点がある。
中の係数に温度依存性のバ０メータを使用するため、そ
の分の補正が必要である欠点がある。
さらに、測定に用いる導管を縦向きに設置するか、横向
きに設置するかによって測定値が異なるため、流量計の
組立て設計上自由度がない欠点がある。
きに設置するかによって測定値が異なるため、流量計の
組立て設計上自由度がない欠点がある。
また、センサ部を加熱するため、測定する流体殊に液体
の場合分解するおそれがある欠点がある。
の場合分解するおそれがある欠点がある。
一方、［コリオリの力］を応用した液体の質量流量計が
開発され市販されている。
開発され市販されている。
この質量流量計は第１図に示すように、−本の測定管で
ダブルループを構成し、この測定管に液体を流す。加振
器３で正弦波的に共振周波数で振動を与えると、センサ
１およびセンサ２はそれらの位置でのたわみによる位相
差を検出する。この位相差は液体の質量流量に比例する
ことによって質量流量を測定することができる。
ダブルループを構成し、この測定管に液体を流す。加振
器３で正弦波的に共振周波数で振動を与えると、センサ
１およびセンサ２はそれらの位置でのたわみによる位相
差を検出する。この位相差は液体の質量流量に比例する
ことによって質量流量を測定することができる。
この質量流量計は液体の温度、圧力、熱容量、粘度、流
速分布等に無関係に質量流量を測定することができるこ
と、および、たわみ量の位相差を検出しているため測定
精度がよいこと等の利点があるが、しかし、測定の感度
に乏しく微量流量の測定には殆んど利用できない欠点が
ある。
速分布等に無関係に質量流量を測定することができるこ
と、および、たわみ量の位相差を検出しているため測定
精度がよいこと等の利点があるが、しかし、測定の感度
に乏しく微量流量の測定には殆んど利用できない欠点が
ある。
（解決しようとする問題点）
本発明は、流体の温度、圧力、熱容量、粘度、置方法と
その装置を提供しようとするものである。
その装置を提供しようとするものである。
（問題を解決するための手段）
本発明は、流体が流れる導管中でその流体中を伝わる音
波の位相差を測定することによってその目的を達成する
ことができる。
波の位相差を測定することによってその目的を達成する
ことができる。
第２図は本発明の一実施例であるが、本発明を第１図に
したがって詳細に説明する。
したがって詳細に説明する。
測定管７に振動子６とその振動子を中心にして反対方向
の等距離に２個の受振器４．５を設置する。
の等距離に２個の受振器４．５を設置する。
測定管に流体を流し、振動子から≠弦波の音波を発振す
ると、音波を伝える媒体としての流体の上流側の受振器
５にキャッチされた音波と下流側の受振器４にキャッチ
された音波には位相差が生ずる。
ると、音波を伝える媒体としての流体の上流側の受振器
５にキャッチされた音波と下流側の受振器４にキャッチ
された音波には位相差が生ずる。
この位相差は流体の速度に比例するから、この位相差を
測定することによって流量を精度よ（測定することがで
きる。う縫Ｖ：よ）で１８μ唯援へイ更旧イヤ）コ邑本
発明になる流量測定法および測定装置は、液体および気
体に適用できるものである。
測定することによって流量を精度よ（測定することがで
きる。う縫Ｖ：よ）で１８μ唯援へイ更旧イヤ）コ邑本
発明になる流量測定法および測定装置は、液体および気
体に適用できるものである。
（発明の効果）
本発明によれば、流体の種類、湿度、圧力、熱容量、粘
度、流速分布等に無関係に流量を測定することができ、
これらの補正を必要としない特徴がある。
度、流速分布等に無関係に流量を測定することができ、
これらの補正を必要としない特徴がある。
また、音波の位相差を検出しているため、測定精度およ
び測定感度が極めてすぐれており、微量流量の測定がで
きる特徴がある。
び測定感度が極めてすぐれており、微量流量の測定がで
きる特徴がある。
さらに、測定用導管を縦向きに設置しても、横向きに設
置しても同じ測定値が得られるため、流量計の組立て設
計上に自由度がある利点がある。
置しても同じ測定値が得られるため、流量計の組立て設
計上に自由度がある利点がある。
また、測定法に音波を使用するので、熱式質量流量計の
ように分解等、流体に悪影響を与えることがない特徴が
ある。
ように分解等、流体に悪影響を与えることがない特徴が
ある。
本発明においては、測定手段として音波を利用している
ため、応答速度が極めて速く測定時間が非常に短い特徴
がある。
ため、応答速度が極めて速く測定時間が非常に短い特徴
がある。
第１図は「コリオリの力」を応用した従来の液体の質量
流量計の構造図である。 図において、１．２はセンサ、３は加振器である。 第２図は本発明になる流量測定装置の構造図である。 図において、７は測定導管、６は振動子、４．５は受振
器である。
流量計の構造図である。 図において、１．２はセンサ、３は加振器である。 第２図は本発明になる流量測定装置の構造図である。 図において、７は測定導管、６は振動子、４．５は受振
器である。
Claims (2)
- （１）流体が流れる導管中でその流体中を伝わる音波の
位相差によって流体の流量を求めることを特徴とする管
内流量の測定方法。 - （２）流体が流れる導管に振動子と、その振動子を中心
にして反対方向の等距離に２個の受振器を設置したこと
を特徴とする管内流量の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63252325A JPH0299830A (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 | 管内流量の測定方法とその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63252325A JPH0299830A (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 | 管内流量の測定方法とその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0299830A true JPH0299830A (ja) | 1990-04-11 |
Family
ID=17235693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63252325A Pending JPH0299830A (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 | 管内流量の測定方法とその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0299830A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11550206B2 (en) | 2013-03-15 | 2023-01-10 | Nikon Corporation | Light receiving apparatus with shock resistance |
-
1988
- 1988-10-06 JP JP63252325A patent/JPH0299830A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11550206B2 (en) | 2013-03-15 | 2023-01-10 | Nikon Corporation | Light receiving apparatus with shock resistance |
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