JP7054557B2 - 高圧ガス筒の自動アライメント方法 - Google Patents
高圧ガス筒の自動アライメント方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7054557B2 JP7054557B2 JP2020529681A JP2020529681A JP7054557B2 JP 7054557 B2 JP7054557 B2 JP 7054557B2 JP 2020529681 A JP2020529681 A JP 2020529681A JP 2020529681 A JP2020529681 A JP 2020529681A JP 7054557 B2 JP7054557 B2 JP 7054557B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure gas
- gas cylinder
- center
- end cap
- lift
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
- F17C13/04—Arrangement or mounting of valves
- F17C13/045—Automatic change-over switching assembly for bottled gas systems with two (or more) gas containers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66F—HOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
- B66F7/00—Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts
- B66F7/10—Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts with platforms supported directly by jacks
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66F—HOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
- B66F7/00—Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts
- B66F7/28—Constructional details, e.g. end stops, pivoting supporting members, sliding runners adjustable to load dimensions
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
- F17C13/08—Mounting arrangements for vessels
- F17C13/084—Mounting arrangements for vessels for small-sized storage vessels, e.g. compressed gas cylinders or bottles, disposable gas vessels, vessels adapted for automotive use
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
- F17C2205/01—Mounting arrangements
- F17C2205/0153—Details of mounting arrangements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
- F17C2250/03—Control means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
- F17C2250/04—Indicating or measuring of parameters as input values
- F17C2250/0404—Parameters indicated or measured
- F17C2250/0478—Position or presence
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2270/00—Applications
- F17C2270/05—Applications for industrial use
- F17C2270/0518—Semiconductors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geology (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Description
200:高圧ガス筒
210:バルブ
211:ガス噴射ノズル
212:バルブハンドル
213:エンドキャップ
300:連結ユニット
310:コネクタホルダ
320:第1のセンサ
330:第2のセンサ
400:リフト
410:ダイ
420:クランプ
421:グリッパ
422:駆動手段
423:ローラ
500:制御部
Claims (8)
- リフト(400)に高圧ガス筒(200)を載置して高圧ガス筒(200)の上部に配設されたバルブハンドル(212)の上端を第1のセンサ(320)が感知するまでリフト(400)を上昇させるステップと、
前記リフト(400)を再駆動して制御部(500)に設定された値(バルブハンドルの上端からエンドキャップの中心までの距離)に見合う分だけ高圧ガス筒(200)を再上昇させ、リフト(400)の駆動を中断するステップと、
前記高圧ガス筒(200)を回転させて第2のセンサ(330)がエンドキャップ(213)の始点(A)を感知すると、この旨を制御部(500)に報知するステップと、
前記高圧ガス筒(200)を回転させ続けて第2のセンサ(330)がエンドキャップ(213)の終点(B)を感知すると、この旨を制御部(500)に報知するとともに、高圧ガス筒(200)の回転を中断し、制御部(500)により算出されたエンドキャップ(213)のθ中心に基づいて高圧ガス筒(200)を逆方向に回転させてエンドキャップ(213)のθ中心を第2のセンサ(330)の中心と一致させるステップと、
前記リフト(400)を上昇させて第2のセンサ(330)がエンドキャップ(213)の下死点(D)を感知すると、この旨を制御部(500)に報知し、リフト(400)の上昇を中断するステップと、
前記リフト(400)を下降させて第2のセンサ(330)がエンドキャップ(213)の上死点(C)を感知すると、この旨を制御部(500)に報知するとともに、リフト(400)の下降を中断し、制御部(500)により算出されたエンドキャップ(213)のZ中心に基づいてリフト(400)を上昇させてエンドキャップ(213)のZ中心を第2のセンサ(330)の中心と一致させるステップと、
がこの順に行われることを特徴とする高圧ガス筒の自動アライメント方法。 - 前記高圧ガス筒(200)の載置されたリフト(400)を制御部(500)により設定された距離(F)に見合う分だけ第1の速度にて上昇させていて、第1のセンサ(320)が感知する区間(F’)ではリフト(400)を前記第1の速度よりも遅い第2の速度にて上昇させることを特徴とする請求項1に記載の高圧ガス筒の自動アライメント方法。
- 前記高圧ガス筒(200)をリフト(400)のダイ(410)に載置した後、クランプ(420)によりクランプして上昇させるとともに、駆動手段(422)によるローラ(423)の回転によりダイ(410)に載置された高圧ガス筒(200)が回転されるようにしたことを特徴とする請求項1に記載の高圧ガス筒の自動アライメント方法。
- 前記高圧ガス筒(200)を上昇させてエンドキャップ(213)のθ中心を見出すために最初の高圧ガス筒(200)を回転させるとき、バルブハンドル(212)が閉まる逆方向に回転させることを特徴とする請求項1に記載の高圧ガス筒の自動アライメント方法。
- 前記エンドキャップ(213)のθ中心を見出すとき、エンドキャップ(213)の終点(B)が感知された状態で高圧ガス筒(200)をバルブハンドル(212)が閉まる方向に回転させてエンドキャップの始点(A)を再検出することを特徴とする請求項1に記載の高圧ガス筒の自動アライメント方法。
- 前記エンドキャップ(213)のθ中心及びZ中心を見出すとき、制御部(500)に設定された誤差範囲を外れると、エラーを生じさせて作業者にその旨を報知することを特徴とする請求項1に記載の高圧ガス筒の自動アライメント方法。
- 前記制御部(500)によりエラーを生じさせて作業者に報知した後、制御部(500)により設定された時間後に高圧ガス筒(200)を回転させるとともに昇降させて前記エンドキャップ(213)のθ中心及びZ中心を再検出する動作を設定された回数だけさらに行うことを特徴とする請求項6に記載の高圧ガス筒の自動アライメント方法。
- 前記高圧ガス筒(200)を昇降させてエンドキャップ(213)のZ中心を第2のセンサ(330)に一致させ終えると、バルブ(210)の加工誤差及び組立て誤差を考慮して前記エンドキャップ(213)のθ中心を再検出するステップをもう1回行うことを特徴とする請求項1に記載の高圧ガス筒の自動アライメント方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR20170170932 | 2017-12-13 | ||
KR10-2017-0170932 | 2017-12-13 | ||
KR1020180151035A KR102120752B1 (ko) | 2017-12-13 | 2018-11-29 | 고압가스통의 자동 얼라인방법 |
KR10-2018-0151035 | 2018-11-29 | ||
PCT/KR2018/015589 WO2019117560A1 (ko) | 2017-12-13 | 2018-12-10 | 고압가스통의 자동 얼라인방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021507183A JP2021507183A (ja) | 2021-02-22 |
JP7054557B2 true JP7054557B2 (ja) | 2022-04-14 |
Family
ID=67056849
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020529681A Active JP7054557B2 (ja) | 2017-12-13 | 2018-12-10 | 高圧ガス筒の自動アライメント方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11927309B2 (ja) |
JP (1) | JP7054557B2 (ja) |
KR (1) | KR102120752B1 (ja) |
CN (1) | CN111433510B (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220121679A (ko) * | 2021-02-25 | 2022-09-01 | 삼성전자주식회사 | 가스 용기 이송용 이송 로봇, 가스 공급 캐비닛, 및 이들을 포함하는 가스 공급 시스템 |
US11846391B2 (en) | 2022-04-15 | 2023-12-19 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Gas supply apparatus |
CN114789985B (zh) * | 2022-04-20 | 2022-12-30 | 江苏新时代造船有限公司 | 一种化学品船低温液体卸车装置 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2958180B2 (ja) * | 1991-12-18 | 1999-10-06 | 松下電器産業株式会社 | 高圧ガス充填方法 |
JPH0799238B2 (ja) * | 1992-06-29 | 1995-10-25 | 明光産業株式会社 | Lpガス充填装置 |
JPH0791598A (ja) * | 1993-09-25 | 1995-04-04 | Hatsusei Kogyo Kk | ガス充填装置 |
JP2520224B2 (ja) * | 1993-12-27 | 1996-07-31 | 明光産業株式会社 | Lpガス充填装置 |
JP3202142B2 (ja) * | 1995-02-14 | 2001-08-27 | 株式会社クボタ | 高圧ガス充填装置における位置決め方法 |
JP3056064B2 (ja) * | 1996-02-16 | 2000-06-26 | 明光産業株式会社 | ガス充填装置 |
KR100242982B1 (ko) | 1996-10-17 | 2000-02-01 | 김영환 | 반도체 장비의 가스 공급 장치 |
KR100649112B1 (ko) | 2005-01-11 | 2006-11-24 | 학교법인 호서학원 | 반도체/디스플레이 제조장비의 가스밸브 오동작 검출기 |
JP2007190298A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Matsushita Electric Works Ltd | キャビネット収納椅子 |
KR20090047956A (ko) * | 2007-11-09 | 2009-05-13 | 홍종승 | 내압검사를 위한 압력용기 센터링 장치 |
KR100985575B1 (ko) | 2008-05-29 | 2010-10-06 | 주식회사 케이씨텍 | 고압가스통의 개폐밸브 차단기 |
KR101000996B1 (ko) | 2008-10-02 | 2010-12-13 | 한국표준과학연구원 | 가스 공급 장치 및 그 구동 방법 |
KR102040713B1 (ko) * | 2017-10-11 | 2019-11-27 | 에이엠티 주식회사 | 고압가스통 자동교체시스템 및 그 방법 |
CN111465801B (zh) * | 2017-12-19 | 2021-09-10 | Amt 株式会社 | 高压气罐的自动更换方法 |
-
2018
- 2018-11-29 KR KR1020180151035A patent/KR102120752B1/ko active IP Right Grant
- 2018-12-10 CN CN201880080614.1A patent/CN111433510B/zh active Active
- 2018-12-10 US US16/769,405 patent/US11927309B2/en active Active
- 2018-12-10 JP JP2020529681A patent/JP7054557B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20190070857A (ko) | 2019-06-21 |
JP2021507183A (ja) | 2021-02-22 |
CN111433510B (zh) | 2022-03-11 |
US20210190268A1 (en) | 2021-06-24 |
KR102120752B1 (ko) | 2020-06-09 |
US11927309B2 (en) | 2024-03-12 |
CN111433510A (zh) | 2020-07-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7054557B2 (ja) | 高圧ガス筒の自動アライメント方法 | |
JP6966127B2 (ja) | 高圧ガス筒の自動取り替えシステム及びその方法 | |
JP7025791B2 (ja) | 高圧ガス筒の取り替え方法 | |
KR102126942B1 (ko) | 고압가스통의 반자동 교체방법 | |
KR102159062B1 (ko) | 고압가스통 반자동 얼라인 장치 | |
KR102112763B1 (ko) | 자동화 가스공급장치 | |
KR102120745B1 (ko) | 고압가스통의 자동 정렬장치 | |
US20100211210A1 (en) | Position correcting apparatus, vacuum processing equipment and position correcting method | |
TWI483781B (zh) | A nozzle position correcting mechanism and a coating apparatus provided with the same | |
JP2022052683A (ja) | オートロボットを利用した金属板のプレス工程自動化システム | |
KR102301171B1 (ko) | 반도체용 포토마스크 취급 장치 | |
KR102278653B1 (ko) | 유압밸브 성능시험장치 | |
JP4543833B2 (ja) | 懸垂式昇降搬送装置における搬送台車の教示装置 | |
JP6349396B2 (ja) | 検査方法 | |
JP2009016604A (ja) | ウェーハ搬送装置 | |
JP5260191B2 (ja) | ペースト塗布装置 | |
CN209477831U (zh) | 一种自动化产线工件的姿态矫正装置 | |
KR102232691B1 (ko) | 기판 처리장치, 이를 구비하는 증착장치, 기판 처리방법 및 증착방법 | |
WO2019117560A1 (ko) | 고압가스통의 자동 얼라인방법 | |
JP5838140B2 (ja) | ドラム缶のプラグ装着装置 | |
JP2019155565A (ja) | ねじ締めシステム、ねじ締め方法 | |
KR101208317B1 (ko) | 기판처리장치 및 이를 이용한 공정챔버의 유지방법 | |
KR20190080795A (ko) | 고압가스통의 수직 중심 얼라인장치 | |
DE102008045255A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Transportieren von Substraten | |
BR102015015245B1 (pt) | Aparelho e método |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200703 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210810 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210824 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211111 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220322 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220328 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7054557 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |