JP2021507183A - 高圧ガス筒の自動アライメント方法 - Google Patents

Abstract

本発明は、半導体のＦＡＢ工程（Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ Ｐｒｏｃｅｓｓ）設備からウェーハの生産ラインへとガスを供給するようにキャビネット（ｃａｂｉｎｅｔ）のリフトに高圧ガス筒をローディング（ｌｏａｄｉｎｇ）し終えると、リフトがローディングされた高圧ガス筒を上昇させた後、高圧ガス筒のエンドキャップとガス配管のコネクタホルダの中心とを自動的にアラインメントする高圧ガス筒の自動アライメント方法に関するものであり、キャビネットに昇降自在にリフトを配設してリフトにローディングされた高圧ガス筒を自動的に上昇、下降及び回転させながら高圧ガス筒に結合されたバルブのエンドキャップの中心をガス配管と連結されたコネクタホルダの中心と一致させて高圧ガス筒の取り替えの自動化が実現できるようにしたものである。このために、本発明は、リフト４００に高圧ガス筒２００を載置して高圧ガス筒２００の上部に配設されたバルブ２１０のエンドキャップ２１３水平方向の中心がコネクタホルダ３１０の水平方向の中心と一致するようにリフト４００を上昇させた後、高圧ガス筒２００を回転させながらエンドキャップ２１３のθ中心をコネクタホルダ３１０のθ中心と一致させた後、リフト４００を昇降させた後、エンドキャップ２１３のＺ中心をコネクタホルダ３１０のＺ中心と一致させることを特徴とする。

Description

本発明は、半導体のＦＡＢ工程（Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ Ｐｒｏｃｅｓｓ）設備からウェーハの生産ラインへとガスを供給するようにキャビネット（ｃａｂｉｎｅｔ）のリフトに高圧ガス筒をローディング（ｌｏａｄｉｎｇ）し終えると、リフトがローディングされた高圧ガス筒を上昇させた後、高圧ガス筒のエンドキャップ（ｅｎｄ ｃａｐ）とガス配管のコネクタホルダの中心とを自動的にアラインメントする高圧ガス筒の自動アライメント方法に関する。

一般に、半導体を製造する製造工程には、用途に応じて多種多様なガスが供給されて用いられるが、これらのガスは、多くが人体に吸い込まれたり大気中に露出されたりする場合、安全事故および環境汚染などの甚だしい被害を蒙らせるため、細心の注意を必要とする。

例えば、イオン注入工程に用いられるガスの種類としては、水素化ヒ素（ＡｓＨ_３：Ａｒｓｉｎｅ）、リン化水素（ＰＨ_３：Ｐｈｏｓｐｈｉｎｅ）または三フルオロ化ホウ素（ＢＦ_３：Ｂｏｒｏｎ Ｆｌｕｏｒｉｄｅ）などの有毒性ガスが挙げられるが、これらのガスは、毒性が非常に強いため、作業者が呼吸器で吸い込む場合に致命的な結果を招き、それ故に、生産ラインに供給する過程で漏出しないように細かく管理せねばならない。

このような半導体の製造工程に用いられるガスは、その管理が非常に重要であるが、これらのガスは、ガス筒（以下、「高圧ガス筒」という。）に高圧にて充填された状態でキャビネットに取り付けられて、ガス供給ラインを介して生産ラインに供給され、ガスが約９０％ほど使い尽くされれば、高圧ガス筒の内部に残留する異物がウェーハの加工工程に供給されないように作業者が新たな高圧ガス筒に取り替えることにより、ガスを供給し続ける。

図１は、従来の技術による半導体装備のガス供給装置を概略的に示す斜視図であって、ＦＡＢ ７の外部の所定の場所には、ＦＡＢ ７内の色々な装備８において必要とするＳｉＨ_４、ＰＨ_３、ＮＦ_３、ＣＦ_４などの工程ガスがそれぞれ充填された複数の高圧ガス筒（図示略）を載置できるようにキャビネット１が位置しており、前記キャビネット１の一方の側には、前記高圧ガス筒にそれぞれ連結されたガス供給ライン３を案内できるようにダクト４が設けられている。

前記ダクト４の他方の側には、ガス供給ライン３に沿って流れ込んだ工程ガスを供給できるように高圧ガス筒に対応する数でレギュレータボックス５が設けられており、前記それぞれのレギュレータボックス５の上端部には、ＦＡＢ ７内の各装備８に対応して連結できるように装備８の数と同数の供給管９が連結されている。

したがって、キャビネット１に載置されているそれぞれの高圧ガス筒から工程ガスが供給されれば、それぞれの工程ガスは、ダクト４の内部を通過するガス供給ライン３に沿ってそれぞれのレギュレータボックス５に流れ込む。

次いで、それぞれのレギュレータボックス５の内部に流れ込んだそれぞれの工程ガスは、フィルタ（図示略）を介して浄化された後、ＦＡＢ ７内の装備８に対応する数に分岐されて連結されているそれぞれの供給管９に沿って流れて供給されるので、ウェーハを加工することが可能になる。

前述したように、ガスをガス供給ライン３に供給していて、ガスが使い尽くされて高圧ガス筒の取り替え時期が制御部（図示略）により検出されれば、作業者が使用済みの高圧ガス筒のバルブを閉めた後に、外部のガスラインから取り外す。

次いで、作業者がガスラインから取り外された高圧ガス筒をキャビネット１からアンローディングした後、新たな高圧ガス筒に取り替えた後に前記高圧ガス筒を再び外部のガスラインに連結した後、ガス噴射ノズルを閉じているバルブハンドルを開けば（オープンすれば）、高圧ガス筒の取り替えが完了する。

大韓民国登録特許公報第１０−０２４２９８２号公報（１９９８年１１月１５日付けで登録） 大韓民国登録特許公報第１０−０６４９１１２号公報（２００６年１１月１６日付けで登録） 大韓民国登録特許公報第１０−０９８５５７５号公報（２０１０年０９月２９日付けで登録）

しかし、このような従来の高圧ガス筒の取り替えは、作業者がキャビネットに新たな高圧ガス筒をローディングした後、重量体の高圧ガス筒を定位置に移動させ且つ回転させながら高圧ガス筒のガス噴射ノズルをガス配管のコネクタホルダと一致させるようになっているため、高圧ガス筒の速やかな取り替えを行うことが不可能であったことはもとより、高圧ガス筒のガス噴射ノズルをガス配管のコネクタホルダに正確に一致できなかった状態でコネクタホルダをガス噴射ノズルに強制的に締め付けた場合には、ねじ山が破断して有毒ガスが漏れ出てしまうという致命的な欠陥があった。

また、キャビネットから高圧ガス筒を作業者がマニュアルで取り替えていたため、作業者の熟練度に応じてヒューマンエラー（Ｈｕｍａｎ Ｅｒｒｏｒ）が生じていただけではなく、取り替えを行う作業の最中に不注意により高圧ガス筒からガスが漏れ出ると、ガスが爆発したり、作業者が漏れ出たガスに中毒されたりするという致命的な欠陥があった。

本発明は、従来のこのような問題を解決するために案出されたものであり、キャビネットに昇降自在にリフトを配設してリフトにローディングされた高圧ガス筒を自動的に上昇、下降及び回転させながら高圧ガス筒に結合されたバルブのエンドキャップの中心をガス配管と連結されたコネクタホルダの中心と一致させて、高圧ガス筒の取り替えの自動化が実現できるようにするところにその目的がある。

本発明の他の目的は、たとえ高圧ガス筒の上端に螺合されたバルブの加工公差及び組立て公差が生じていたとしても、エンドキャップの中心をガス配管と連結されたコネクタホルダの中心と一致させるθ中心及びＺ中心のアライメントを完了した後、θ中心のアライメントをもう１回行って高圧ガス筒のエンドキャップの中心を常にガス配管と連結されたコネクタホルダの中心に正確に一致できるようにするところにある。

前記目的を達成するための本発明の態様によれば、リフトに高圧ガス筒を載置して高圧ガス筒の上部に配設されたバルブのエンドキャップの水平方向の中心がコネクタホルダの水平方向の中心と一致するようにリフトを上昇させた後、高圧ガス筒を回転させながらエンドキャップのθ中心をコネクタホルダのθ中心と一致させた後、リフトを昇降させながらエンドキャップのＺ中心をコネクタホルダのＺ中心と一致させることを特徴とする高圧ガス筒の自動アライメント方法が提供される。

本発明の他の態様によれば、リフトに高圧ガス筒を載置して高圧ガス筒の上部に配設されたバルブハンドルの上端を第１のセンサが感知するまでリフトを上昇させるステップと、前記リフトを再駆動して制御部に設定された値（バルブハンドルの上端からエンドキャップの中心までの距離）に見合う分だけ高圧ガス筒を再上昇させ、リフトの駆動を中断するステップと、前記高圧ガス筒を回転させて第２のセンサがエンドキャップの始点Ａを感知すると、この旨を制御部に報知するステップと、前記高圧ガス筒を回転させ続けて第２のセンサがエンドキャップの終点Ｂを感知すると、この旨を制御部に報知するとともに、高圧ガス筒の回転を中断し、制御部により算出されたエンドキャップのθ中心に基づいて高圧ガス筒を逆方向に回転させてエンドキャップのθ中心を第２のセンサの中心と一致させるステップと、前記リフトを上昇させて第２のセンサがエンドキャップの上死点Ｃを感知すると、この旨を制御部に報知し、リフトの上昇を中断するステップと、前記リフトを下降させて第２のセンサがエンドキャップの下死点Ｄを感知すると、この旨を制御部に報知するとともに、リフトの下降を中断し、制御部により算出されたエンドキャップのＺ中心に基づいてリフトを上昇させてエンドキャップのＺ中心を第２のセンサの中心と一致させるステップと、がこの順に行われることを特徴とする高圧ガス筒の自動アライメント方法が提供される。

本発明は、キャビネットに昇降自在に配設されたリフトに高圧ガス筒を載置さえすれば、高圧ガス筒を昇降及び回転させながら自動的にバルブのガス噴射ノズルに螺合されたエンドキャップのθ中心及びＺ中心をコネクタホルダのθ中心及びＺ中心と一致させることが可能になるので、高圧ガス筒をマニュアルで取り替えていた従来とは異なり、高圧ガス筒の自動取り替えを行うことが可能になり、これにより、作業者によるヒューマンエラーを未然に防ぐことはもとより、高圧ガス筒の取り替えの自動化を実現することが可能になる。

従来の技術による半導体装備のガス供給装置を概略的に示す斜視図。 本発明を説明するためのキャビネットの正面図。 本発明の第１及び第２のセンサが配設された状態を示す斜視図。 本発明のリフト及びクランプを示す正面図。 本発明のクランプを示す斜視図。 本発明の高圧ガス筒が上昇される区間を示す概略図。 本発明の連結ユニットと高圧ガス筒を示す斜視図。 本発明においてエンドキャップのθ中心及びＺ中心を見出す過程を説明するための概略図。 本発明を説明するための高圧ガス筒の移動流れ図。 本発明を説明するためのフローチャート。

以下、添付図面に基づいて、本発明の実施の形態について本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳しく説明する。本発明は、種々の異なる形態に具体化でき、ここで説明する実施の形態に何ら限定されない。図面は概略的であり、縮尺に合うように示されていないことに留意されたい。図面にある部分の相対的な寸法および比率は、図面における明確性および便宜のために大きさにおいて誇張もしくは縮小されて示されており、任意の寸法は、単に例示的なものに過ぎず、限定的なものではない。なお、２以上の図面に現れる同じ構造物、要素または部品には、同じ参照符号が同じ特徴を示すために用いられる。

図２は、本発明を説明するためのキャビネットの正面図であり、図３は、本発明の第１及び第２のセンサが配設された状態を示す斜視図であり、図４は、本発明のリフト及びクランプを示す正面図でって、本発明は、キャビネット１００の内部の上部に配設されて高圧ガス筒２００のガス噴射ノズル２１１をコネクタホルダ３１０に自動的に連結したり解除したりする連結ユニット３００と、前記高圧ガス筒２００が載置されるダイ４１０を備え、高圧ガス筒２００を昇降させるリフト４００と、前記リフト４００に配備されて高圧ガス筒２００をクランプし且つ回転させるクランプ４２０と、上記の構成要素を制御する制御部５００と、を備えてなる。

前記連結ユニット３００には、リフト４００により上昇する高圧ガス筒２００のバルブハンドル２１２の上端を感知する第１のセンサ３２０が配設されており、前記第１のセンサ３２０の下部には、高圧ガス筒２００の昇降及び回転につれてエンドキャップ２１３のθ中心及びＺ中心を検出する第２のセンサ３３０が配設されている。

このとき、前記第２のセンサ３３０は、コネクタホルダ３１０のθ中心及びＺ中心と一致した箇所に配設されていることはいうまでもない。

前記クランプ４２０は、図５に示すように、リフト４００に配設されていて、一対のグリッパ４２１が拡開されたり縮んだりして、高圧ガス筒２００をクランプしたりクランプを解除したりするようになっており、前記各グリッパ４２１には、駆動手段４２２であるアクチュエータにより回転するローラ４２３が配設されていて、前記リフト４００のダイ４１０に高圧ガス筒２００が載置されながらグリッパ４２１を縮めると、前記高圧ガス筒２００がグリッパ４２１に回転自在に配設されたローラ４２３により包み込まれてクランプされた状態でリフト４００の駆動により上昇する。

以下では、上記の構成により高圧ガス筒２００をアラインメントする過程についてより具体的に説明する。

図９は、本発明を説明するための高圧ガス筒の移動流れ図であり、図１０は、本発明を説明するためのフローチャートである。

まず、クランプ４２０のグリッパ４２１が拡開された状態でリフト４００の下部に配設されたダイ４１０に高圧ガス筒２００を載置すると、拡開されていた一対のグリッパ４２１が高圧ガス筒２００により同時に押されて縮まるため、グリッパ４２１に配設されたローラ４２３が高圧ガス筒２００をクランプする。

前記高圧ガス筒２００がダイ４１０に載置される前に一対のグリッパ４２１が拡開された状態を保つことは、クランプ４２０を構成するフレーム４２４とグリッパ４２１との間にコイルばね４２５が連結されているために可能である。

すなわち、図９（ａ）に示す状態でリフト４００が駆動されて、図９（ｂ）に示すように、高圧ガス筒２００の上部に配設されたバルブハンドル２１２の上端を第１のセンサ３２０が感知するまで高圧ガス筒２００を上昇させるが、このとき、リフト４００を等速度にて上昇させても構わないが、高価な装備のサイクルタイム（ｃｙｃｌｅ ｔｉｍｅ）を短縮するために、制御部５００により、リフト４００の上昇の初期には、図６に示すように、設定された距離Ｆに見合う分だけ高速にて上昇させていて、第１のセンサ３２０が感知する区間Ｆ’では、リフト４００を低速にて上昇させることがさらに好ましい。

前述したように、リフト４００の上昇により第１のセンサ３２０が高圧ガス筒２００のバルブハンドル２１２を感知するまで上昇させ終えると、制御部５００により前記リフト４００を再駆動して、図９（ｃ）に示すように、制御部５００に設定された値［バルブハンドル２１２の上端からエンドキャップ２１３の中心までの距離Ｓ］に見合う分だけ高圧ガス筒２００をさらに上昇させ、リフト４００の駆動を中断することにより、高圧ガス筒２００の上昇が完了する。

これにより、バルブ２１０に螺合されてガス噴射ノズル２１１を閉じていたエンドキャップ２１３のＺ中心が決定される。

その後、エンドキャップ２１３のθ中心を見出すためにクランプ４２０の駆動手段４２２であるアクチュエータの駆動により一方のローラ４２３が回転すると、ダイ４１０に載置された高圧ガス筒２００が図９（ｄ）のように回転するが、前記高圧ガス筒２００の回転により第２のセンサ３３０がエンドキャップ２１３の始点Ａを感知すると、この旨を制御部５００に報知する。

前述したように、高圧ガス筒２００を上昇させてエンドキャップ２１３のθ中心を見出すために最初の高圧ガス筒２００を回転させるとき、バルブハンドル２１２が閉まる逆方向に回転させることがさらに好ましい。

これは、リフト４００に高圧ガス筒２００がローディングされた状態で高圧ガス筒２００を回転させるとき、遠心力によりバルブハンドル２１２が開かれてしまう現象を未然に防ぐためである。

このような状態で高圧ガス筒２００を回転させ続けて第２のセンサ３３０がエンドキャップ２１３の終点Ｂを感知すると、この旨を制御部５００に報知するとともに、高圧ガス筒２００の回転を中断し、制御部５００により算出されたエンドキャップ２１３のθ中心に基づいて高圧ガス筒２００を逆方向に回転させて、図９（ｅ）に示すように、エンドキャップ２１３のθ中心を第２のセンサ３３０の中心と一致させる。

しかし、より正確なエンドキャップ２１３のθ中心を見出すために高圧ガス筒２００を反時計回り方向に回転させてＢ地点からＡ地点までの距離を検出することがさらに好ましい。

これは、高圧ガス筒２００が回転し始めて第２のセンサ３３０がエンドキャップ２１３の始点Ａを検出した時間と、制御部５００においてこの旨を認知する時間との誤差（いわゆる、「応差：ディファレンシャル」という。）が生じることにより、エンドキャップ２１３のθ中心がずれてしまう現象を極力抑えるためである。

前述した方法を用いて、エンドキャップ２１３のθ中心をコネクタホルダ３１０のθ中心と一致させ終えると、エンドキャップ２１３のＺ中心をコネクタホルダ３１０のＺ中心と一致させなければならない

このために、前記リフト４００を上昇させて第２のセンサ３３０がエンドキャップ２１３の上死点Ｃを感知すると、この旨を制御部５００に報知し、リフト４００の上昇を中断する。

その後、前記リフト４００を下降させて第２のセンサ３３０がエンドキャップ２１３の下死点Ｄを感知すると、この旨を制御部５００に報知するとともに、リフト４００の下降を、図９（ｆ）に示すように中断し、制御部５００により算出されたエンドキャップ２１３のＺ中心に基づいてリフト４００を上昇させてエンドキャップ２１３のＺ中心を第２のセンサ３３０の中心と一致させることにより、図９（ｇ）に示すように、エンドキャップ２１３のアライメントが完了する。

前述したように、駆動手段４２２により高圧ガス筒２００が回転するとき、第２のセンサ３３０がエンドキャップ２１３の始点Ａ、終点Ｂ、上死点Ｃ及び下死点Ｄを検出してこれらの地点を制御部５００に報知するが、始点Ａ及び終点Ｂの中心であるθ中心、及び上死点Ｃ及び下死点Ｄの中心であるＺ中心は、駆動手段４２２の駆動により得られたエンコーダ値を制御部５００において演算することにより分かる。

本発明の一実施形態において、Ｚ中心を見出すために高圧ガス筒２００を上昇させて上死点Ｃを感知した後、下降させて下死点Ｄを感知するように説明しているが、これとは逆に、高圧ガス筒２００を下降させてから上昇させてＺ中心を第２のセンサ３３０と一致させてもよいことは理解できる筈である。

前述した方法を用いて、前記エンドキャップ２１３のθ中心及びＺ中心をコネクタホルダ３１０のθ中心及びＺ中心と一致させるとき、制御部５００に設定された誤差範囲を外れると（例えば、エンドキャップの幅が２０ｍｍである場合、θ中心及びＺ中心の値が１０ｍｍ内外であるため、制御部に近似値を予め入力して、算出された値が近似値を外れたときに）エラーを生じさせて作業者にこの旨を報知した後、制御部５００により設定された時間後に高圧ガス筒２００を回転させるとともに昇降させて前記エンドキャップ２１３のθ中心及びＺ中心を再検出する動作を設定された回数だけさらに行うことがさらに好ましい。

もし、上記の動作に際してエラーを生じさせ続けると、作業者がマニュアルでこれを措置しなければ、高圧ガス筒２００のガス噴射ノズル２１１をコネクタホルダ３１０に連結することができなくなる。

しかし、高圧ガス筒２００の上部に結合されるバルブハンドル２１２の上端の高さは、バルブ２１０の加工誤差及び組立て誤差に応じて高圧ガス筒２００ごとに微差が生じて、最初に検出したエンドキャップ２１３のθ中心が不正確になる虞があるため、前述したように、エンドキャップ２１３のθ中心及びＺ中心を第２のセンサ３３０と一致させた後、図９（ｈ）及び図９（ｉ）に示すように、前記エンドキャップ２１３のθ中心を再検出するステップをもう１回行うことにより、エンドキャップ２１３のθ中心及びＺ中心をコネクタホルダ３１０のθ中心及びＺ中心と一致させることが可能になるので、高圧ガス筒２００のバルブ２１０からエンドキャップ２１３を取り外した後、ガス噴射ノズル２１１をガス供給ラインと連結されたコネクタホルダ３１０に自動的に連結することが可能になる。

以上、添付図面に基づいて本発明の実施の形態について説明したが、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者は、本発明の技術的な思想や必須的な特徴を変更することなく、他の具体的な形態へと容易に変形できることが理解できる筈である。

よって、上述した実施の形態は、あらゆる面において例示的なものに過ぎず、限定的ではないものと理解すべきであり、上記の詳細な説明の欄において述べられた本発明の範囲は、後述する特許請求の範囲によって開示され、特許請求の範囲の意味および範囲並びにその等価概念から導き出されるあらゆる変更または変形された形態が本発明の範囲に含まれるものと解釈されるべきである。

１００：キャビネット
２００：高圧ガス筒
２１０：バルブ
２１１：ガス噴射ノズル
２１２：バルブハンドル
２１３：エンドキャップ
３００：連結ユニット
３１０：コネクタホルダ
３２０：第１のセンサ
３３０：第２のセンサ
４００：リフト
４１０：ダイ
４２０：クランプ
４２１：グリッパ
４２２：駆動手段
４２３：ローラ
５００：制御部

Claims (9)

1. リフト（４００）に高圧ガス筒（２００）を載置して高圧ガス筒（２００）の上部に配設されたバルブ（２１０）のエンドキャップ（２１３）の水平方向の中心がコネクタホルダ（３１０）の水平方向の中心と一致するようにリフト（４００）を上昇させた後、高圧ガス筒（２００）を回転させながらエンドキャップ（２１３）のθ中心をコネクタホルダ（３１０）のθ中心と一致させた後、リフト（４００）を昇降させた後、エンドキャップ（２１３）のＺ中心をコネクタホルダ（３１０）のＺ中心と一致させることを特徴とする高圧ガス筒の自動アライメント方法。
2. リフト（４００）に高圧ガス筒（２００）を載置して高圧ガス筒（２００）の上部に配設されたバルブハンドル（２１２）の上端を第１のセンサ（３２０）が感知するまでリフト（４００）を上昇させるステップと、
   前記リフト（４００）を再駆動して制御部（５００）に設定された値（バルブハンドルの上端からエンドキャップの中心までの距離）に見合う分だけ高圧ガス筒（２００）を再上昇させ、リフト（４００）の駆動を中断するステップと、
   前記高圧ガス筒（２００）を回転させて第２のセンサ（３３０）がエンドキャップ（２１３）の始点（Ａ）を感知すると、この旨を制御部（５００）に報知するステップと、
   前記高圧ガス筒（２００）を回転させ続けて第２のセンサ（３３０）がエンドキャップ（２１３）の終点（Ｂ）を感知すると、この旨を制御部（５００）に報知するとともに、高圧ガス筒（２００）の回転を中断し、制御部（５００）により算出されたエンドキャップ（２１３）のθ中心に基づいて高圧ガス筒（２００）を逆方向に回転させてエンドキャップ（２１３）のθ中心を第２のセンサ（３３０）の中心と一致させるステップと、
   前記リフト（４００）を上昇させて第２のセンサ（３３０）がエンドキャップ（２１３）の上死点（Ｃ）を感知すると、この旨を制御部（５００）に報知し、リフト（４００）の上昇を中断するステップと、
   前記リフト（４００）を下降させて第２のセンサ（３３０）がエンドキャップ（２１３）の下死点（Ｄ）を感知すると、この旨を制御部（５００）に報知するとともに、リフト（４００）の下降を中断し、制御部（５００）により算出されたエンドキャップ（２１３）のＺ中心に基づいてリフト（４００）を上昇させてエンドキャップ（２１３）のＺ中心を第２のセンサ（３３０）の中心と一致させるステップと、
   がこの順に行われることを特徴とする高圧ガス筒の自動アライメント方法。
3. 前記高圧ガス筒（２００）の載置されたリフト（４００）を制御部（５００）により設定された距離（Ｆ）に見合う分だけ高速にて上昇させていて、第１のセンサ（３２０）が感知する区間（Ｆ’）ではリフト（４００）を低速にて上昇させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の高圧ガス筒の自動アライメント方法。
4. 前記高圧ガス筒（２００）をリフト（４００）のダイ（４１０）に載置した後、クランプ（４２０）によりクランプして上昇させるとともに、駆動手段（４２２）によるローラ（４２３）の回転によりダイ（４１０）に載置された高圧ガス筒（２００）が回転されるようにしたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の高圧ガス筒の自動アライメント方法。
5. 前記高圧ガス筒（２００）を上昇させてエンドキャップ（２１３）のθ中心を見出すために最初の高圧ガス筒（２００）を回転させるとき、バルブハンドル（２１３）が閉まる逆方向に回転させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の高圧ガス筒の自動アライメント方法。
6. 前記エンドキャップ（２１３）のθ中心を見出すとき、エンドキャップ（２１３）の終点（Ｂ）が感知された状態で高圧ガス筒（２００）をハンドル（２１３）が閉まる方向に回転させてエンドキャップの始点（Ａ）を再検出することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の高圧ガス筒の自動アライメント方法。
7. 前記エンドキャップ（２１３）のθ中心及びＺ中心を見出すとき、制御部（５００）に設定された誤差範囲を外れると、エラーを生じさせて作業者にその旨を報知することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の高圧ガス筒の自動アライメント方法。
8. 前記制御部（５００）によりエラーを生じさせて作業者に報知した後、制御部（５００）により設定された時間後に高圧ガス筒（２００）を回転させるとともに昇降させて前記エンドキャップ（２１３）のθ中心及びＺ中心を再検出する動作を設定された回数だけさらに行うことを特徴とする請求項７に記載の高圧ガス筒の自動アライメント方法。
9. 前記高圧ガス筒（２００）を昇降させてエンドキャップ（２１３）のＺ中心を第２のセンサ（３３０）に一致させ終えると、バルブ（２１０）の加工誤差及び組立て誤差を考慮して前記エンドキャップ（２１３）のθ中心を再検出するステップをもう１回行うことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の高圧ガス筒の自動アライメント方法。