JP7046483B2 - 電子部品実装システム及び電子部品実装方法 - Google Patents
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Description
「基板に形成された電子部品接合用の電極上に、電子部品の正面に形成されたバンプに予め付着させたフラックスを含む接合材を重ねるようにして電子部品を搭載する電子部品搭載装置と、電子部品搭載後の基板を加熱して前記バンプを前記電極に接合するリフロー装置とを備える電子部品実装システムにおいて、
前記電子部品搭載装置と前記リフロー装置との間に、前記電子部品の背面側からX線を照射して、前記電子部品搭載後の基板における前記電極の水平面上の位置及び前記バンプの水平面上の位置をそれぞれ直接的に測定するX線検査装置を設置し、
さらに、前記X線検査装置が測定した前記電極の水平面上の位置及び前記バンプの水平面上の位置から得られる両者の水平面上の位置ズレの情報に基づいて、この水平面上の位置ズレを低減するように、前記電極の水平面上の位置に対する前記バンプの水平面上の位置を修正する修正装置を設置していることを特徴とする電子部品実装システム。」
「基板に形成された電子部品接合用の電極上に、電子部品の正面に形成されたバンプに予め付着させたフラックスを含む接合材を重ねるようにして電子部品を搭載する電子部品搭載工程と、電子部品搭載後の基板を加熱して前記バンプを前記電極に接合するリフロー工程とを含む電子部品実装方法において、
前記電子部品搭載工程と前記リフロー工程との間に、前記電子部品の背面側からX線を照射して、前記電子部品搭載後の基板における前記電極の水平面上の位置及び前記バンプの水平面上の位置をそれぞれ直接的に測定するX線検査工程を含み、
さらに、前記X線検査工程で測定した前記電極の水平面上の位置及び前記バンプの水平面上の位置から得られる両者の水平面上の位置ズレの情報に基づいて、この水平面上の位置ズレを低減するように、前記電極の水平面上の位置に対する前記バンプの水平面上の位置を修正する修正工程を含むことを特徴とする電子部品実装方法。」
1a 搭載ヘッド
1b X方向ビーム
2 X線検査装置
3 修正装置
4 リフロー装置
5 外観検査装置
6 通信ネットワーク
7 管理コンピュータ(制御装置)
10 基板
10a 電極
11 バンプ部品
11a バンプ
11b 接合材
Claims (4)
- 基板に形成された電子部品接合用の電極上に、電子部品の正面に形成されたバンプに予め付着させたフラックスを含む接合材を重ねるようにして電子部品を搭載する電子部品搭載装置と、電子部品搭載後の基板を加熱して前記バンプを前記電極に接合するリフロー装置とを備える電子部品実装システムにおいて、
前記電子部品搭載装置と前記リフロー装置との間に、前記電子部品の背面側からX線を照射して、前記電子部品搭載後の基板における前記電極の水平面上の位置及び前記バンプの水平面上の位置をそれぞれ直接的に測定するX線検査装置を設置し、
さらに、前記X線検査装置が測定した前記電極の水平面上の位置及び前記バンプの水平面上の位置から得られる両者の水平面上の位置ズレの情報に基づいて、この水平面上の位置ズレを低減するように、前記電極の水平面上の位置に対する前記バンプの水平面上の位置を修正する修正装置を設置していることを特徴とする電子部品実装システム。
- 電子部品実装システムを制御する制御装置をさらに備え、この制御装置は、電子部品搭載後の各基板について前記位置ズレが所定の基準を満足しているか否かを判断し、前記基準を満足していない電子部品搭載後の基板のみを前記修正装置に送る、請求項1に記載の電子部品実装システム。
- 基板に形成された電子部品接合用の電極上に、電子部品の正面に形成されたバンプに予め付着させたフラックスを含む接合材を重ねるようにして電子部品を搭載する電子部品搭載工程と、電子部品搭載後の基板を加熱して前記バンプを前記電極に接合するリフロー工程とを含む電子部品実装方法において、
前記電子部品搭載工程と前記リフロー工程との間に、前記電子部品の背面側からX線を照射して、前記電子部品搭載後の基板における前記電極の水平面上の位置及び前記バンプの水平面上の位置をそれぞれ直接的に測定するX線検査工程を含み、
さらに、前記X線検査工程で測定した前記電極の水平面上の位置及び前記バンプの水平面上の位置から得られる両者の水平面上の位置ズレの情報に基づいて、この水平面上の位置ズレを低減するように、前記電極の水平面上の位置に対する前記バンプの水平面上の位置を修正する修正工程を含むことを特徴とする電子部品実装方法。 - 電子部品搭載後の各基板について前記位置ズレが所定の基準を満足しているか否かを判断する判断工程をさらに含み、この判断工程で前記基準を満足していないと判断された電子部品搭載後の基板についてのみ前記修正工程を実行する、請求項3に記載の電子部品実装方法。
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---|---|---|---|---|
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---|---|---|---|---|
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JPH11204934A (ja) * | 1998-01-13 | 1999-07-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | 電子部品の実装方法 |
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Patent Citations (3)
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---|---|---|---|---|
JP2008300526A (ja) | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Yamaha Motor Co Ltd | 実装ライン、実装基板の検査装置および検査方法 |
WO2014118982A1 (ja) | 2013-02-03 | 2014-08-07 | 株式会社Djtech | 部品実装基板検査方法及びその検査方法を採用する基板製造システム |
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