JP7035040B2 - 磁気軸受組立体のための薄型回転子 - Google Patents
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Description
10 回転子
11 ラジアル軸受、径方向アクチュエータ
12 小形装置
14 中心軸方向部分、回転子中心部分、内側軸方向部分
14a 第1の軸方向端
14b 第2の軸方向端
15A 内周面
15B 外周面
16 外側径方向部分
16a 内側径方向端
16b 外側径方向端
17 中心孔
18 内側径方向部分
18a 外側端
18b 内側径方向端
20 外側軸方向部分
20a 内周面
21 環状肩部
23 強磁性歯
40 ホルダ、チャック
42 上面
44 エラストマの層
50 基礎
52 上面
54 本体
56 中心部分
60 アキシャル軸受、軸方向アクチュエータ
70 モータ固定子
81 径方向位置センサ
80 軸方向位置センサ
84 角速度および位置センサ
86 目標特徴物
AC 中心軸
CO 外側空洞
CI 内側空洞
G1 内側軸方向隙間
G2 外側軸方向隙間
G3 環状の隙間
Claims (18)
- ワークピースを中心軸の周りで角度変位させるための回転子であって、
前記軸を略中心とし、対向する第1および第2の軸方向端、ならびに、内周面および外周面を有する略環状の中心軸方向部分と、
前記中心軸方向部分の前記第1の軸方向端から略径方向外向きに延びる外側径方向部分であって、略環状の外側空洞が前記中心軸方向部分と前記外側径方向部分との間に少なくとも部分的に定められる、外側径方向部分と、
前記中心軸方向部分の前記第2の軸方向端から略径方向内向きに延びる内側径方向部分であって、略環状の内側空洞が前記中心軸方向部分と前記内側径方向部分との間に少なくとも部分的に定められる、内側径方向部分と
を備え、
前記中心軸方向部分、前記外側径方向部分、および前記内側径方向部分は、前記回転子がS字形の軸方向の断面形状を伴う一体品構造のものとなるように構成されており、
前記外側径方向部分は、前記中心軸方向部分と連結される内側径方向端と、対向する外側径方向端とを有し、
前記回転子は、前記外側径方向部分の外側端から略軸方向に延び、前記中心軸方向部分から径方向外向きに離間され、前記中心軸方向部分と略同軸に配置される外側軸方向部分をさらに備え、前記外側空洞が前記中心軸方向部分と前記外側軸方向部分との間で画定される
回転子。 - 前記外側空洞および前記内側空洞のそれぞれは、アクチュエータ、モータ固定子、位置センサ、速度センサ、ラジアル軸受、およびアキシャル軸受のうちの少なくとも1つの少なくとも一部分を受け入れる大きさであり、
前記アクチュエータは、軸方向または径方向に駆動力を発生させる装置である、
請求項1に記載の回転子。 - 前記回転子は、モータ固定子によって中心軸の周りで回転可能に変位させられるように構成される、請求項1に記載の回転子。
- 前記中心軸方向部分、前記外側径方向部分、または前記内側径方向部分のうちの少なくとも1つは、少なくとも1つの切替要素、少なくとも1つの磁極、または少なくとも1つの強磁性区域を有する、請求項3に記載の回転子。
- 前記内側径方向部分は、前記中心軸方向部分と連結された外側端と、前記中心軸から径方向外向きに離間され、前記中心軸の周りで周方向に延びる内側径方向端とを有し、中心孔が前記回転子を通り延在する、請求項1に記載の回転子。
- 前記外側径方向部分は、ワークピースホルダに連結可能である、請求項1に記載の回転子。
- ワークピースを中心軸の周りで角度変位させるための装置であって、
前記軸を略中心とし、対向する第1および第2の軸方向端、ならびに、内周面および外周面を有する略環状の中心軸方向部分と、前記中心軸方向部分の前記第1の軸方向端から略径方向外向きに延びる外側径方向部分であって、略環状の外側空洞が前記中心軸方向部分と前記外側径方向部分との間に少なくとも部分的に定められる、外側径方向部分と、前記中心軸方向部分の前記第2の軸方向端から略径方向内向きに延びる内側径方向部分であって、略環状の内側空洞が前記中心軸方向部分と前記内側径方向部分との間に少なくとも部分的に定められる、内側径方向部分と、を備える回転子、および
前記外側空洞または前記内側空洞の内部に少なくとも部分的に配置され、前記回転子を前記中心軸の周りで角度変位させるように構成される少なくとも1つのモータ固定子
を備え、
前記中心軸方向部分、前記外側径方向部分、および前記内側径方向部分は、前記回転子がS字形の軸方向の断面形状を伴う一体品構造のものとなるように構成されており、
前記外側径方向部分は、前記中心軸方向部分と連結される内側径方向端と、対向する外側径方向端とを有し、
前記回転子は、前記外側径方向部分の外側端から略軸方向に延び、前記中心軸方向部分から径方向外向きに離間され、前記中心軸方向部分と略同軸に配置される外側軸方向部分をさらに含み、前記外側空洞が前記中心軸方向部分と前記外側軸方向部分との間で画定される
装置。 - 前記モータ固定子は、前記回転子を非接触で駆動するように構成される、請求項7に記載の装置。
- 前記回転子は、少なくとも1つの切替要素、少なくとも1つの磁極、または少なくとも1つの強磁性区域を有し、
前記モータ固定子は、前記回転子を前記中心軸の周りで角度変位させるように、磁力を前記回転子切替要素、前記磁極、または前記強磁性区域に及ぼすように構成される、請求項7に記載の装置。 - 前記回転子と連結され、前記中心軸の周りでの前記回転子の角度変位の間にワークピースを保持するように構成されるワークピースホルダをさらに備える、請求項7に記載の装置。
- 上面を有し、モータが配置される基礎と、
前記基礎に配置され、前記内側空洞および前記外側空洞の一方の内部に少なくとも部分的に配置され、前記回転子と前記基礎との間の軸方向隙間を維持するように構成される少なくとも1つの軸方向アクチュエータと
をさらに備える、請求項7に記載の装置。 - 前記少なくとも1つの軸方向アクチュエータは、前記基礎上面に配置される第1の端と、前記上面から軸方向で離間される第2の端とを有し、前記回転子の内側径方向部分が前記基礎と前記軸方向アクチュエータの部分との間に略配置されるように、前記軸方向アクチュエータの部分が前記回転子の内側空洞の内部に配置される、請求項11に記載の装置。
- 前記内側空洞または前記外側空洞に少なくとも部分的に配置され、前記回転子の中心軸方向部分とモータとの間に環状の隙間を維持するように前記回転子が前記中心軸周りにセンタリングされるように構成される複数の径方向アクチュエータをさらに備える、請求項7に記載の装置。
- 前記内側空洞および前記外側空洞の一方の内部に少なくとも部分的に配置され、前記中心軸の周りでの前記回転子の角度位置を感知するように構成される少なくとも1つの径方向位置センサと、
前記内側空洞および前記外側空洞の一方の内部に少なくとも部分的に配置され、前記中心軸に沿う前記回転子の軸方向位置を感知するように構成される少なくとも1つの軸方向位置センサと
の少なくとも一方をさらに備える、請求項7に記載の装置。 - 前記回転子に配置される少なくとも1つの目標物をさらに備え、前記径方向位置センサおよび前記軸方向位置センサの少なくとも一方が、前記目標物を検出するように構成される、請求項14に記載の装置。
- 前記外側空洞および前記内側空洞の各々1つは、アクチュエータ、モータ、位置センサ、速度センサ、ラジアル軸受、およびアキシャル軸受のうちの少なくとも1つの少なくとも一部分を受け入れる大きさであり、
前記アクチュエータは、軸方向または径方向に駆動力を発生させる装置である、
請求項7に記載の装置。 - 前記内側径方向部分は、前記中心軸方向部分と連結された外側端と、前記中心軸から径方向外向きに離間され、前記中心軸の周りで周方向に延びる内側径方向端とを有し、中心孔が前記回転子を通り延在する、請求項7に記載の装置。
- 基礎と、前記基礎に配置され、前記内側空洞の内部に部分的に配置されるように回転子孔を通り延びる構成部品の少なくとも1つとをさらに備え、前記少なくとも1つの構成部品は、アクチュエータ、モータ、位置センサ、速度センサ、ラジアル軸受、およびアキシャル軸受のうちの1つであり、
前記アクチュエータは、軸方向または径方向に駆動力を発生させる装置である、
請求項17に記載の装置。
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