JP4035791B2 - アウターロータ形ギャップワインデイングモータ - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、ダイシングマシンなどの半導体産業分野で用いられる超高速回転の工作機に用いられるアウターロータ形のギャップワインデング方式の主軸モータに関し、特にその内郭ヨークの形状に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のアウターロータ形ギャップワインデングモータの構造を、図4、および図4のY−Y’断面図である図5に示す。
図中、31は外郭ヨーク、32は界磁永久磁石、33は内郭ヨーク、34はモータフレーム、35はブラケット、36はベアリング、37は円筒状電機子巻線である。
この従来のモータでは、外郭ヨーク31と内郭ヨーク33は一体化されており、アウターロータ構造として、電機子巻線35が固定、外郭ヨーク31と内郭ヨーク33が回転する構造となっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが前記の従来技術では、外郭ヨーク31内側の界磁磁石32の内面に対し、内郭ヨーク33の表面が凹凸の無いフラット面であるため、ギャップ中の磁石磁束が末広がりの分布となり、電機子巻線の有効鎖交磁束を低下させるという問題があった。
すなわち、図4に示すようにギャップ磁束ベクトルΦを、モータ軸方向をΦx、径方向をΦyにベルトル分解としたとき、Φxは無効分であり、Φyのみが有効鎖交磁束として働くためである。さらに、図5のようにギャップ磁束ベクトルΦを、モータ周方向をΦt、径方向をΦrにベルトル分解としたとき、Φtは無効分であり、Φrのみが有効鎖交磁束として働くためである。
そこで、本発明の目的は、ギャップ磁束ベクトルの無効分を低減し、有効鎖交磁束数を多くして、モータの効率を向上させることにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための第1の手段は、円筒状の界磁である外郭ヨークの内側に、界磁永久磁石を等磁極ピッチごとに固定し、前記界磁永久磁石と同心で、その内側にギャップを介し対峙する内郭ヨークを備え、前記界磁永久磁石と前記内郭ヨークとの間のギャップ間に円筒状交流電機子巻線を配設し、この電機子巻線側を固定子、前記内郭ヨーク側を回転子とした、アウターロータ形ギャップワインデイングモータにおいて、前記内郭ヨークにおける、前記界磁永久磁石の軸方向位置に対向する位置の両側2カ所に、内郭ヨークの径が小径となる溝を形成したものである。
また、第2の手段は、円筒状の界磁である外郭ヨークの内側に、界磁永久磁石を等磁極ピッチごとに固定し、前記界磁永久磁石と同心で、その内側にギャップを介し対峙する内郭ヨークを備え、前記界磁永久磁石と前記内郭ヨークとの間のギャップ間に円筒状交流電機子巻線を配設し、この電機子巻線側を固定子、前記内郭ヨーク側を回転子とした、アウターロータ形ギャップワインデイングモータにおいて、前記内郭ヨークに、前記界磁永久磁石の磁極角以下になるような凹部を、界磁磁極数と同数、等ピッチで形成したものである。
前記第2の手段において、前記内郭ヨークにおける、前記界磁永久磁石の軸方向位置に対向する位置の両側2カ所に、内郭ヨークの径が小径となる溝を形成することができる。
前記の溝の幅は、好適には、前記外郭ヨーク、内郭ヨーク間のギャップ長以上に、また溝深さを前記界磁永久磁石の径方向厚み以下にする。
前記第2の手段において、前記内郭ヨークの外周に、非磁性材料の薄肉円筒リングを嵌合させる。
上記手段において、内郭ヨーク側に形成された溝や凹部が、磁気抵抗を増加させるため、結果的に内郭ヨークと界磁永久磁石との対向面の磁束の直進性がよくなり、巻線の有効鎖交磁束数が多くなる。
【0005】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第1の実施例を図1に基づいて説明する。図1は第1実施例の側断面図、図2は図1のX−X’断面図である。
これらの図において、1は外郭ヨーク、2は界磁永久磁石、7は円筒状電機子巻線、3は内郭ヨーク、4はモータフレーム、5a,5bはブラケット、6a,6bはベアリングである。
内郭ヨーク3には、界磁永久磁石2の軸方向長さLmと同スパンで溝8が2カ所加工されており、その幅Wsは、ギャップ長lgより大きく、深さlsは、磁石の径方向厚みlmより浅くなっている。幅Wsをギャップ長lgより大きくしたのは、これを小さくすると漏洩磁束が増加し、トルクが低下するからである。また、溝の深さlsを磁石の径方向厚みlmより浅くしたのは、深くした場合、内郭ヨーク3の強度が低下し、好ましくないからである。
また、外郭ヨーク1と内郭ヨーク3は、回転子として一体化されている。
このように構成することにより、磁石磁束は、図1に示すように、溝8により形成された凸部に集中するような分布となり、磁束ベクトルのΦx成分は小さくなり、ほとんどがΦy成分となる。
図2は、4極のモータの例を示している。磁石磁束は、磁石2a→内郭ヨーク3→磁石2b→外郭ヨーク1→磁石2aという磁路を構成する。
【0006】
次に、本発明の第2実施例を図3の断面図に基づいて説明する。側断面図は図1と同じである。
図3において、第1実施例と同じ構成については同一の符号を付して説明を省略する。この第2実施例においては、内郭ヨーク3に、界磁永久磁石2の磁極角θm以下になるような凹部9を、界磁磁極数と同数、等ピッチで形成したものである。凹部9を界磁永久磁石2の磁極角θm以下にしたのは、それ以上にすると磁束を絞り込む効果が低下するからである。これにより、磁石磁束は、内郭ヨーク3の表面部に凸部集中するような分布となり、磁束ベクトルΦのΦt成分(図5参照)は小さくなり、ほとんどがΦr成分となる。
この第2実施例において、非磁性リング10を内郭ヨーク3の表面に嵌合することにより、内郭ヨーク3の外周面が円筒となり、高速回転時の風損(空気抵抗損)が極少に軽減される。
なお、この第2実施例においても、第1実施例と同様の溝8を内郭ヨーク3に設けることができる。
【0007】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、溝や凹部を内郭ヨークにおける界磁永久磁石対向面に形成することにより、有効鎖交磁束数を従来構造に対し、多くできるので、大幅なモータの高効率化ができ、モータ発熱を押さえ、モータの温度上昇による構成部品、たとえばベアリング等の信頼性を高め、寿命を長くするという効果があり、信頼性の高い超高速回転の主軸モータ等を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施例を示す側断面図である。
【図2】 図1のX−X’断面図である。
【図3】 本発明の第2実施例を示す断面図である。
【図4】 従来技術におけるモータ構造を示す側断面図である。
【図5】 図4のY−Y’断面図である。
【符号の説明】
1 外郭ヨーク、2 界磁永久磁石、3 内郭ヨーク、4 モータフレーム、5ブラケット、6 ベアリング、7 円筒状電機子巻線、8 溝、9 凹部、10 非磁性リング、31 外郭ヨーク、32 界磁永久磁石、33 内郭ヨーク、34 モータフレーム、35 ブラケット、36 ベアリング、37 円筒状電機子巻線
Claims (4)
- 円筒状の界磁である外郭ヨークの内側に、界磁永久磁石を等磁極ピッチごとに固定し、前記界磁永久磁石と同心で、その内側にギャップを介し対峙する内郭ヨークを備え、前記界磁永久磁石と前記内郭ヨークとの間のギャップ間に円筒状交流電機子巻線を配設し、この電機子巻線側を固定子、前記内郭ヨーク側を回転子とした、アウターロータ形ギャップワインデイングモータにおいて、
前記内郭ヨークに、界磁磁極数と同数、等ピッチで凹部を形成し、
相隣合う凹部の向かい合うそれぞれの周方向の端部と、前記内郭ヨークの中心とを結ぶ角度が、前記界磁永久磁石の磁極角以下であることを特徴とするアウターロータ形ギャップワインデイングモータ。 - 前記内郭ヨークにおける、前記界磁永久磁石の軸方向位置に対向する位置の両側2カ所に、内郭ヨークの径が小径となる溝を形成したことを特徴とする請求項1記載のアウターロータ形ギャップワインデイングモータ。
- 前記溝の幅を、前記外郭ヨーク、内郭ヨーク間のギャップ長以上に、また溝深さを前記界磁永久磁石の径方向厚み以下にしたことを特徴とする請求項2記載のアウターロータ形ギャップワインデイングモータ。
- 前記内郭ヨークの外周に、非磁性材料の薄肉円筒リングを嵌合させたことを特徴とする請求項1記載のアウターロータ形ギャップワインデイングモータ。
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JP24008797A JP4035791B2 (ja) | 1997-09-04 | 1997-09-04 | アウターロータ形ギャップワインデイングモータ |
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