JP7034280B2 - 観察装置 - Google Patents

観察装置 Download PDF

Info

Publication number
JP7034280B2
JP7034280B2 JP2020525148A JP2020525148A JP7034280B2 JP 7034280 B2 JP7034280 B2 JP 7034280B2 JP 2020525148 A JP2020525148 A JP 2020525148A JP 2020525148 A JP2020525148 A JP 2020525148A JP 7034280 B2 JP7034280 B2 JP 7034280B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
focus
objective lens
reflected light
light intensity
observation device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020525148A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2019244275A1 (ja
Inventor
豪 桝屋
忠雄 藪原
浩子 藤田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi High Tech Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi High Tech Corp filed Critical Hitachi High Tech Corp
Publication of JPWO2019244275A1 publication Critical patent/JPWO2019244275A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7034280B2 publication Critical patent/JP7034280B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/28Systems for automatic generation of focusing signals
    • G02B7/34Systems for automatic generation of focusing signals using different areas in a pupil plane
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/24Base structure
    • G02B21/241Devices for focusing
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/0016Technical microscopes, e.g. for inspection or measuring in industrial production processes
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/0088Inverse microscopes
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/36Microscopes arranged for photographic purposes or projection purposes or digital imaging or video purposes including associated control and data processing arrangements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/02Mechanical
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06Illumination; Optics
    • G01N2201/063Illuminating optical parts
    • G01N2201/0638Refractive parts

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)

Description

本発明は、観察装置に関する。
細胞などの顕微鏡画像を取得する場合、一般に細胞はサンプル液に懸濁され、サンプル液は透明なサンプル容器に収容される。このため、対物レンズがサンプル容器の下方に配置される倒立顕微鏡が一般に用いられている。
サンプル液中の細胞などを高感度に観察する方法として、画像イメージング法が知られている。画像イメージング法による観察は、例えば、光学顕微鏡、蛍光顕微鏡、コヒーレントアンチストークスラマン散乱(CARS)顕微鏡、3次元光干渉断層計(OCT)を用いて行われる。
従来、画像イメージング法を採用した観察装置において、高速かつ高精度なオートフォーカスを行うことが要求されている。オートフォーカス方式には、大きく分けて2つの方式がある。一つは、顕微鏡画像のコントラストからフォーカス位置を算出する画像方式であり、もう一つは、レーザーなどの光をサンプル容器に照射し、反射光からフォーカス位置を算出する光学方式である。
画像方式のオートフォーカスにおいては、複数枚の顕微鏡画像を取得してコントラストが最大となる位置を算出し、オートフォーカスを行う。本方式は、高速にオートフォーカスを行うには、複数枚の顕微鏡画像のコントラストを高速に計算するプログラムやデバイスが必要となり、原理的にオートフォーカス速度を向上させることが困難であった。また、本方式は、コントラストが得られる観察対象が必要であり、極端に希薄な細胞を観察する場合、オートフォーカスを行うことができなかった。
一方、光学方式のオートフォーカスにおいては、サンプル容器とサンプル液との境界面にレーザーなどの光を照射し、境界面からの反射光の位置や位相など、1又は数スカラー量の情報からオートフォーカスを行う。従って、例えば数十万ピクセルの画像を取得する場合は、画像方式と比較して数十万分の一の計算量となり、高速なオートフォーカスを実施できる。
倒立顕微鏡に搭載される光学方式のオートフォーカスにおいて、サンプル容器底面に照射される光の反射光は、サンプル容器の内側底面とサンプル液との境界面からの反射光、あるいはサンプル容器の外側底面と空気との境界面からの反射光の2つが存在する。そのため、オートフォーカス位置の検出範囲を限定し、サンプル容器の内側底面とサンプル液との境界面からの反射光のみを検出する方法が採用されていた。しかし、サンプル容器が樹脂形成品の場合、形成誤差が大きく、オートフォーカス位置の検出範囲を広く取る必要があり、サンプル容器の外側底面と空気との境界面からの反射光を完全に除外することはできなかった。
このような課題を解決する方法として、例えば特許文献1には、サンプル容器の外側底面に反射防止膜を付け、サンプル容器の外側底面と空気との境界面からの反射光を除外する方法が開示されている。
また、特許文献2には、サンプル容器の内側底面とサンプル液との境界面からの反射光と、サンプル容器の外側底面と空気との境界面からの反射光とを検出し、それぞれのピーク位置に基づいて、サンプル容器の内側底面とサンプル液との境界面の位置を算出し、オートフォーカスを行う方法が開示されている。
特開2008-267842号公報 特表2017-187436号公報
しかしながら、特許文献1のように反射防止膜をサンプル容器に取り付けるには、取り付ける面が平滑であることが重要であるものの、樹脂形成品であるサンプル容器の底面は、湾曲していたり、傷が存在したりすることがある。これにより、反射防止膜を設けたとしてもオートフォーカス精度が十分に得られないという課題がある。
また、特許文献2の方式においては、サンプル容器の底面の厚さ及び形成誤差をも含むように、オートフォーカス位置の検出範囲を広く設定する必要があり、オートフォーカスの精度が十分に得られないという課題がある。
そこで、本発明は、フォーカス位置へ一意的に高精度のオートフォーカスを実施する観察装置を提供する。
上記の課題を解決するため、本発明に係る観察装置の第1の態様は、サンプル液が収容されるサンプル容器内のフォーカス位置の画像を撮像する観察装置において、前記サンプル容器を保持する保持部と、前記フォーカス位置の画像を撮像する光学系と、前記光学系を制御する演算装置と、を備え、前記光学系は、前記サンプル容器の下方に配置される対物レンズと、前記対物レンズを光軸方向に駆動させる対物レンズアクチュエータと、前記サンプル容器の底面に光を照射する照射部と、前記光の反射光の反射光強度を検出する検出部と、前記反射光強度がピークを示す反射面に前記対物レンズの焦点を合わせるフォーカス制御部と、前記反射面のカウントを行うカウント部と、を有し、前記フォーカス制御部は、前記反射光強度のピークが検出された場合、前記対物レンズアクチュエータを駆動して、前記反射面に前記焦点を合わせ、前記カウント部は、前記フォーカス制御部により前記反射面に前記焦点を合わせた場合、前記反射面のカウントを行い、前記演算装置は、前記カウントの値に基づいて、前記焦点が前記フォーカス位置に合っているか否かを判定し、前記焦点が前記フォーカス位置に合っている場合に前記光学系に撮像を行わせ、前記焦点が前記フォーカス位置に合っていない場合に、前記対物レンズアクチュエータを駆動することを特徴とする。
また、本発明に係る観察装置の第2の態様は、サンプル液が収容されるサンプル容器内のフォーカス位置の画像を撮像する観察装置において、前記サンプル容器を保持する保持部と、前記フォーカス位置の画像を撮像する光学系と、前記光学系を制御する演算装置と、を備え、前記光学系は、前記サンプル容器の下方に配置される対物レンズと、前記対物レンズを光軸方向に走査させる対物レンズアクチュエータと、前記サンプル容器の底面に光を照射する照射部と、前記光の反射光の反射光強度を検出する検出部と、前記反射光強度のピークを示す反射面に前記対物レンズの焦点を合わせるフォーカス制御部と、前記反射光の強度分布に基づいて、前記焦点の位置を判定する反射光強度判定部と、を有し、前記フォーカス制御部は、前記反射光強度のピークが検出された場合、前記対物レンズアクチュエータを駆動して、前記反射面に前記焦点を合わせ、前記反射光強度判定部は、前記反射光の強度分布に基づいて、前記焦点が前記フォーカス位置に合っているか否かを判定し、前記演算装置は、前記焦点が前記フォーカス位置に合っている場合に前記光学系に撮像を行わせ、前記焦点が前記フォーカス位置に合っていない場合に、前記対物レンズアクチュエータを駆動することを特徴とする。
本発明によれば、フォーカス位置へ一意的に高精度のオートフォーカスを実施できる。
本発明に関連する更なる特徴は、本明細書の記述、添付図面から明らかになるものである。また、上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施例の説明により明らかにされる。
第1の実施形態に係る観察装置1の構成を示す概略斜視図。 第1の実施形態に係る観察装置1の動作を示す概略図。 第1の実施形態に係る観察装置1の動作を示す概略図。 第1の実施形態に係る観察装置1の動作を示す概略図。 第1の実施形態に係る観察装置1の動作を示す概略図。 第1の実施形態に係る観察装置1の動作を示す概略図。 第1の実施形態に係る観察方法を示すフローチャート。 対物レンズ202の焦点201をサンプル保持部101の下方から上方へ走査した場合の反射光強度分布の一例を示すグラフ。 第2の実施形態に係る観察装置1の動作を示す概略図。 第2の実施形態に係る観察装置1の動作を示す概略図。 第2の実施形態に係る観察装置1の動作を示す概略図。 第2の実施形態に係る観察装置1の動作を示す概略図。 第2の実施形態に係る観察方法を示すフローチャート。 対物レンズ202の焦点201をサンプル液102中から下方へ走査し続けた場合の反射光強度分布の一例を示すグラフ。
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。なお、図面は本発明の原理に則った具体的な実施形態を示しているが、これらは本発明の理解のためのものであり、決して本発明を限定的に解釈するために用いられるものではない。
本発明の実施形態は、細胞や微粒子を含むサンプル液を収容するサンプル容器内のフォーカス位置の顕微鏡画像をオートフォーカスによって自動的に撮像する観察装置及び観察方法に関する。本明細書において「フォーカス位置」とは、サンプル容器内において観察がなされる位置であり、サンプル容器の内側底面からその上部20μmまでの領域をいう。また、「オートフォーカス」とは、対物レンズの焦点を自動的にフォーカス位置に合わせる処理をいう。
本明細書において、各構成要素の「接続」とは、必ずしも物理的に配線等で接続されている必要はなく、無線による接続も含まれる。
以下の説明においては、XYZ直交座標系を設定する。水平面内の所定方向をX方向、水平面内においてX方向と直交する方向をY方向、X方向及びY方向のそれぞれに直交する方向(すなわち鉛直方向)をZ方向とする。Z方向は、対物レンズの光軸方向と平行である。
[第1の実施形態]
(1)観察装置
第1の実施形態に係る観察装置を図1に沿って説明する。図1は、第1の実施形態に係る観察装置1の構成を示す概略斜視図である。図1に示すように、観察装置1は、撮像ユニット200(光学系)、XYステージ300(保持部)、制御PC400(演算装置)を備える。
XYステージ300は、サンプル容器100を保持する。サンプル容器100は、細胞や微粒子などの観察対象を含むサンプル液102が収容されるサンプル保持部101を複数有する容器である。サンプル容器100として、図1に示すように、サンプル保持部101を96個有する96ウェルマイクロタイタープレートや、384ウェルプレート、1536ウェルプレートなどを用いることができる。
XYステージ300は、撮像ユニット200の対物レンズ202の光軸方向(Z方向)と直角となる平面(XY平面)においてサンプル容器100を駆動可能に構成される。なお、XYステージ300によりサンプル容器100を駆動させる代わりに、撮像ユニット200をXY平面に駆動させる構成とすることもできる。すなわち、サンプル容器100及び撮像ユニット200は、XY平面において相対的に移動するよう構成される。
撮像ユニット200は、倒立顕微鏡の光学系であり、サンプル容器100の下方に配置される対物レンズ202、対物レンズアクチュエータ203、カメラ204、結像レンズ205、オートフォーカスユニット206、フォーカス制御部207、カウント部208、反射光強度判定部209を備える。
対物レンズアクチュエータ203は、フォーカス制御部207又は制御PC400からの指示に従い、対物レンズ202を光軸方向に駆動する。なお、観察装置1において、XYステージ300を設ける代わりに、サンプル容器100の位置を固定して、対物レンズアクチュエータ203が三軸方向(XYZ方向)に駆動する構成とすることもできる。
結像レンズ205は、対物レンズ202を介して入射した像をカメラ204に結像する。
カメラ204は、結像レンズ205によりカメラ204のセンサ部に結像された像を電気信号に変換し、顕微鏡画像として撮像する。
図示は省略しているが、撮像ユニット200は、カメラ204に結像する面をフォーカス位置内の任意の位置に微調節するため、結像レンズ205又はカメラ204を駆動する調節機構を備える。調節機構は、例えば制御PC400又はフォーカス制御部207に接続されるアクチュエータとすることができる。調節機構は、例えば、対物レンズ202の焦点201を内側底面103に合わせた後、内側底面103より上方をカメラ204に結像するように、結像レンズ205又はカメラ204を駆動する。
オートフォーカスユニット206は、図示は省略しているが、レーザー等の光をサンプル保持部101の底面に照射する照射部と、サンプル保持部101からの反射光を検出する光検出器とを備え、オートフォーカスを行なうための信号を取得する。
照射部は、対物レンズ202の光軸方向に平行に、対物レンズ202を通してサンプル保持部101の底面に光を照射する。なお、対物レンズ202を通さずに、サンプル保持部101の底面に対し、光軸方向に対し斜め方向から光を照射する構成としてもよい。
光検出器は、対物レンズアクチュエータ203の駆動中に反射光を検出し続ける。光検出器は、例えばフォトダイオード等のセンサである。光検出器は、反射光の検出信号を増幅する増幅器を備えていてもよい。光検出部は、検出信号を反射光強度分布としてフォーカス制御部207及び反射光強度判定部209へ送信する。
光検出器により検出される反射光の強度分布は、図4に例示される。図4は、対物レンズ202の焦点201をサンプル保持部101の下方から上方へ走査した場合の反射光強度分布の一例を示すグラフである。図4に示すように、反射光強度は、対物レンズ202の焦点201がサンプル保持部101の反射面に合った場合、すなわち、サンプル保持部101の内側底面103とサンプル液102との境界面、あるいはサンプル保持部101の外側底面104と空気との境界面に焦点201が合った場合に、ピークを示す。
フォーカス制御部207は、オートフォーカスユニット206から反射光強度分布を受信し、反射光強度のピークが頂点となる反射面に焦点201が合っているかを判定し、反射面に正確に焦点201を合わせるように、対物レンズアクチュエータ203を駆動させる。フォーカス制御部207は、反射光強度のピークが検出されたら、対物レンズアクチュエータ203の駆動方向を切り替え、低速で対物レンズ202の焦点201を反射面に正確に合わせる。
なお、オートフォーカスユニット206及びフォーカス制御部207によるオートフォーカス方式として、他の方式を採用することもでき、例えば、レーザー干渉法(位相差法)、非点収差法、パターン投影法などが挙げられる。レーザー干渉法は、照射部が照射した入射光と、その反射光との位相差に基づいてオートフォーカスを行う方式である。パターン投影法は、レーザー光の代わりにパターンを照射し、反射面からのパターンとの位相差に基づいてオートフォーカスを行う方式である。
カウント部208は、フォーカス制御部207により対物レンズ202の焦点201を反射面に合わせたら、反射面のカウントを行い、カウントの値を制御PC400へ送信する。
反射光強度判定部209は、反射光強度分布のピークにおける反射光強度に基づいて、サンプル保持部101内のサンプル液102の有無を判定する。反射光強度は、境界面を形成する2つの物質の屈折率の差によって決定される。屈折率の差が大きいほど反射率は大きくなるため、サンプル容器100を形成する樹脂と空気との境界面(外側底面104)における反射光強度の方が、サンプル容器100を形成する樹脂とサンプル液102との境界面(内側底面103)よりも大きくなる。従って、サンプル液102が存在しない場合、図4において点線で示すように、内側底面103における反射光強度は、外側底面104における反射光強度と同程度あるいはそれ以上となる。サンプル液102が存在する場合、図4において実線で示すように、内側底面103における反射光強度は、サンプル液102が存在しない場合の反射光強度の半分程度となる。反射光強度判定部209は、予め、サンプル保持部101内にサンプル液102が存在しないと判定するための反射光強度の閾値を記憶しておき、該閾値と、内側底面103における反射光強度とを比較することにより、サンプル液102の有無を判定してもよい。なお、サンプル容器100の材質が変わると、屈折率が変わるため、サンプル容器100の材質によって、サンプル液102が存在しない場合の反射光強度の閾値を変更してもよい。
また、反射光強度判定部209は、反射光強度分布のベースラインの高さから、対物レンズ202の焦点201の位置が、サンプル液102中であるか、サンプル保持部101の底面の樹脂中であるか、空気中のいずれであるかを判定する。図4に示すように、焦点201の位置によって、反射光強度が異なる。焦点201が空気中にある場合、反射光強度のベースラインは最も低く、焦点201がサンプル液102中にある場合、反射光強度のベースラインは最も高くなる。反射光強度判定部209は、予め焦点201の位置ごとの反射光強度の範囲を記憶しておき、反射光強度の範囲を参照することにより、焦点201の位置を判定することができる。例えば、焦点201がサンプル液102中に位置する場合の反射光強度を第1の範囲とし、焦点201がサンプル保持部101の底面の樹脂中に位置する場合の反射光強度を第2の範囲とし、焦点201が空気中に位置する場合の反射光強度を第3の範囲と設定しておき、検出された反射光の強度が第1の範囲にある場合、焦点201はサンプル液102中に位置すると判断する。
さらに、反射光強度判定部209は、反射光強度分布のピークが検出される直前のベースラインの高さと、対物レンズアクチュエータ203の駆動方向とに基づいて、反射光強度のピークを示す反射面がサンプル保持部101の内側底面103とサンプル液102との境界面であるか、サンプル保持部101の外側底面104と空気との境界面であるかを判定する。
制御PC400は、オートフォーカスユニット206、フォーカス制御部207、カウント部208、反射光強度判定部209、カメラ204、XYステージ300に接続され、これらを制御する。制御PC400として、PLC制御装置や制御基板などを用いても良い。
制御PC400は、カウント部208からカウントの値を受信して、カウントの値から、反射面がサンプル保持部101の内側底面103とサンプル液102との境界面(フォーカス位置)であるか、サンプル保持部101の外側底面104と空気との境界面であるかを判定する。制御PC400は、反射面がサンプル保持部101の内側底面103とサンプル液102との境界面であると判定した場合は、フォーカス位置の撮像を行うための指示をカメラ204に送信する。制御PC400は、反射面がサンプル保持部101の外側底面104と空気との境界面であると判定した場合は、対物レンズアクチュエータ203に指示を送信して、対物レンズ202を駆動する。
制御PC400は、カメラ204に結像された像や、ユーザーによる指示を入力するためのGUI画面、観察装置1の各構成の状態、各種判定の結果等を表示する表示部を備えていてもよい。
(2)観察方法
次に、第1の実施形態に係る観察方法について、図2A~2E及び図3に沿って説明する。図2A~2Eは、本実施形態に係る観察装置1の動作を示す概略図である。図3は、本実施形態に係る観察方法を示すフローチャートである。なお、図2A~2Eにおいて、制御PC400の図示を省略している。以下において、複数のサンプル保持部101のフォーカス位置を連続で撮像する方法を説明する。
予め、ユーザーは、サンプル容器100をXYステージ300に設置し、制御PC400へ動作開始の指示を入力して、観察装置1のオートフォーカス動作をスタートさせる。ここで、オートフォーカスユニット206の照射部は、1つ目のサンプル保持部101の底面へ光の照射を開始し、オートフォーカスユニット206の光検出部は、反射光の検出を開始する。光検出部は、検出信号を反射光強度分布としてフォーカス制御部207へ送信する。
図2Aは、サンプル保持部101の外側底面104の下方に対物レンズ202の焦点201が位置する状態を示している。まず、ステップS1において、制御PC400は、対物レンズアクチュエータ203を下方へ駆動させ、対物レンズ202を下端原点へ復帰させる。図2Aに示すように、ユーザーは、予め、対物レンズ202の焦点201が外側底面104よりも下に位置するように下端原点の位置を調整しておく。なお、このとき、カウント部208のカウントは0である。
ステップS2において、制御PC400は、対物レンズアクチュエータ203を上方へ駆動して、対物レンズ202の焦点201を走査する。
ステップS3において、制御PC400は、対物レンズアクチュエータ203を駆動している間、対物レンズアクチュエータ203の駆動範囲内であるか、駆動範囲の上限に達したかを判定する。対物レンズアクチュエータ203の駆動範囲内である場合には、制御PC400は、対物レンズアクチュエータ203の駆動を続行する。対物レンズアクチュエータ203の駆動範囲の上限に達した場合は、ステップS1に戻り、制御PC400は、対物レンズアクチュエータ203を下方へ駆動して下端原点へ復帰させる。
ステップS4において、フォーカス制御部207は、対物レンズアクチュエータ203を上方へ駆動している間、光検出器から受信した反射光強度分布に基づいて、反射光強度のピークの有無を判定する。反射光強度のピークが検出されない場合、ステップS2へ戻る。
図2Bは、対物レンズ202の焦点201がサンプル保持部101の外側底面104に合った状態を示している。対物レンズ202の焦点201が、サンプル保持部101の外側底面104に合った場合、図4に示すように、反射光強度がピークを示す。ステップS4において、反射光強度のピークが検出された場合、ステップS5において、フォーカス制御部207は、対物レンズアクチュエータ203を駆動して、外側底面104に正確に焦点201を合わせる。これは、反射光強度がピークとなったことを検出した際にも対物レンズアクチュエータ203は駆動しているため、対物レンズ202の焦点201は、外側底面104より上方へ移動してしまっているためである。
フォーカス制御部207により焦点201を外側底面104に正確に合わせた後、カウント部208は、カウントに1を加算し、カウントの値を制御PC400へ送信する。図2Bに示すように、外側底面104は、オートフォーカス動作を開始してから初めて焦点201が合う反射面であるため、カウントは1となる。
ステップS6において、制御PC400は、カウントの値から、焦点201が合っている反射面が外側底面104か内側底面103かを判定する。図2Bに示すように、カウントが1の場合、外側底面104に焦点201が合っている。この場合、制御PC400は、ステップS2に戻り、再び対物レンズアクチュエータ203を上方に駆動させ、焦点201を上方へ走査する。図2Cは、対物レンズ202の焦点201をサンプル保持部101の外側底面104の上方へ移動させた状態を示している。その後、ステップS3及びS4を行う。
図2Dは、対物レンズ202の焦点201がサンプル保持部101の内側底面103に合った状態を示している。対物レンズ202の焦点201が、サンプル保持部101の内側底面103に合った場合、図4に示すように、反射光強度がピークを示す。このとき、ステップS5において、フォーカス制御部207は、対物レンズアクチュエータ203を駆動して、内側底面103に正確に焦点201を合わせる。これは、反射光強度がピークとなったことを検出した際にも対物レンズアクチュエータ203は駆動しているため、対物レンズ202の焦点201は、内側底面103より上方へ移動してしまっているためである。
焦点201を内側底面103に合わせた後、カウント部208は、カウントに1を加算し、カウントの値を制御PC400へ送信する。図2Dに示すように、内側底面103は、オートフォーカス動作を開始してから2回目に焦点201が合う反射面であるため、カウントは2となる。
ステップS6において、制御PC400は、カウントの値に基づいて、焦点201が合っている反射面が外側底面104か内側底面103かを判定する。
カウントが2の場合、図2Dに示すように、内側底面103に焦点201が合っている。この場合、制御PC400は、反射光強度判定部209に指示を送信し、反射光強度判定部209は、内側底面103における反射光強度から、サンプル保持部101内のサンプル液102の有無を判定する。反射光強度判定部209は、予め、サンプル保持部101内にサンプル液102が存在しないと判定するための反射光強度の閾値を記憶しておき、該閾値と、内側底面103における反射光強度とを比較することにより、サンプル液102の有無を判定する。
サンプル液102が存在する場合、反射光強度判定部209は、制御PC400に結果を送信する。その後、ステップS8において、制御PC400は、カメラ204に指示を送信し、カメラ204は、フォーカス位置の顕微鏡画像を撮像する。ここで、サンプル液102中の細胞に厚みがある場合、顕微鏡画像のピントが合わない可能性がある。従って、制御PC400は、調節機構に指示を送信し、対物レンズ202の焦点201より上方がカメラ204に結像されるように、カメラ204又は結像レンズ205の位置を微調整する。
サンプル液102が存在しない場合、反射光強度判定部209は、ステップS9において、制御PC400に結果を送信する。このとき制御PC400は、サンプル液102が無いことを警告として表示部に表示してもよい。
ステップS8又はS9の後、ステップS10において、制御PC400は、観察を行ったサンプル保持部101が最後のサンプル保持部101であるか否かを判定する。予め制御PC400にサンプル保持部101の数を記憶させておくことで、最後のサンプル保持部101であるか否かを判定するようにしてもよい。観察を行ったサンプル保持部101が最後のサンプル保持部101である場合(Yes)、制御PC400は、観察を終了する。
観察を行ったサンプル保持部101が最後のサンプル保持部101でない場合(No)、ステップS11において、制御PC400は、XYステージ300を駆動して、次のサンプル保持部101を対物レンズ202の上方へ移動させる。
ステップS12において、制御PC400は、対物レンズアクチュエータ203を下方に駆動して、焦点201を所定の距離だけ下方に移動させる。このとき焦点201を移動させる距離は、サンプル保持部101の底面の厚みより小さいことが好ましい。サンプル保持部101の底面の厚みや、ステップS12において対物レンズアクチュエータ203を下方へ駆動させる距離は、予め制御PC400に記憶させておく。これにより、図2Cに示すように、2つ目以降のサンプル保持部101のオートフォーカスを開始する際は、焦点201がサンプル保持部101の底面の樹脂中に位置する。
その後、ステップS2に戻り、上記と同様にステップS2及びステップS3を行う。ステップS4において、フォーカス制御部207は、反射光強度のピークが検出された場合、ステップS5において、対物レンズアクチュエータ203を駆動して、反射面に正確に焦点201を合わせる。上述のステップS12において、サンプル保持部101の底面の厚みより小さい距離だけ焦点201を下方に移動させたため、図2Dに示すように、反射光強度のピークを示した反射面は、内側底面103である。従って、2つ目以降のサンプル保持部101の観察においては、カウント部208はカウントを行わない。よって、カウントの値は2のままである。
制御PC400は、ステップS6において、カウントが2であるため、焦点201が内側底面103に合っていると判定し、ステップS7以降のステップを上記と同様に行う。以上のように、2つ目以降のサンプル保持部101すべてについて、ステップS2~S12(図2C及び2D)を繰り返し、観察を終了する。
なお、サンプル保持部101の底面の厚さのばらつきが大きい場合、上述のステップS11及びステップS12において次のサンプル保持部101に移動し、焦点201を所定の距離だけ下方に移動させた際に、焦点201がサンプル保持部101の底面の樹脂中に位置しない場合がある。図2Eは、対物レンズ202の焦点201がサンプル保持部101の内側底面103の上方に位置する状態を示している。また、図2Aに示すように、焦点201の位置がサンプル保持部101の外側底面104の下方となる場合もある。従って、ステップS11及びステップS12の後に、反射光強度判定部209は、反射光強度分布のベースラインの高さに基づいて焦点201の位置を判定することが好ましい。
焦点201の位置がサンプル保持部101の外側底面104の下方となった場合は、制御PC400は、カウント部208のカウントをリセットし、1つ目のサンプル保持部101と同様にステップS2~S10を実施して、観察を行う。
焦点201の位置がサンプル保持部101の内側底面103の上方となった場合は、制御PC400は、対物レンズアクチュエータ203を駆動範囲の上端まで駆動し、反射光強度分布から、反射面が無いことを確認する。その後、制御PC400は、カウント部208のカウントをリセットしてステップS1に戻り、対物レンズアクチュエータ203を下端原点へ復帰させ、1つ目のサンプル保持部101と同様にステップS2~S10を実施して、観察を行う。
以上のように、本実施形態における観察方法において、1つ目のサンプル保持部101のみにおいてカウント部208による反射面のカウントを行う例を説明したが、1つのサンプル保持部101の観察が終わるたびにカウントをリセットし、すべてのサンプル保持部101の観察において反射面をカウントする方法を採用することもできる。この場合、2つ目以降のサンプル保持部101においては、図2C及び図2Dに示す状態が繰り返されることとなり、制御PC400は、カウントが1の場合に焦点201が内側底面103に合っていると判定する。
また、本実施形態における観察方法において、対物レンズ202の焦点201をサンプル保持部101の外側底面104の下方から上方へ走査させる例を説明したが、内側底面103の上方から走査する構成を採用することもできる。すなわち、図2Eに示す状態からオートフォーカス動作を開始することもできる。この場合、オートフォーカス動作を開始して最初に反射光強度のピークが検出される反射面は、図2Cに示すように、内側底面103となる。従って、制御PC400は、カウント部208によるカウントが1の場合に、焦点201が内側底面103に合っていると判定し、カメラ204にフォーカス位置の撮像を行わせる。
(3)技術的効果
以上のように、本実施形態は、反射光強度のピークが検出される反射面をカウントし、カウントの値により、対物レンズ202の焦点201が内側底面103(フォーカス位置)に合っているかを判定する構成を採用している。これにより、フォーカス位置へのオートフォーカスを一意的に高精度に行うことができる。また、本実施形態は、サンプル保持部101内のサンプル液102の有無を判定する構成を有することにより、人為的エラーによる誤った検査結果の出力を防止することができる。
[第2の実施形態]
(1)観察装置
第2の実施形態に係る観察装置として、第1の実施形態に係る観察装置1と同様のものを使用することができるため、説明を省略する。
(2)観察方法
第2の実施形態に係る観察方法について、図5A~5D、図6及び図7に沿って説明する。図5A~5Dは、第2の実施形態に係る観察装置1の動作を示す概略図である。なお、図5A~5Dにおいて、制御PC400の図示を省略している。図6は、本実施形態に係る観察方法を示すフローチャートである。図7は、対物レンズ202の焦点201をサンプル液102中から下方へ走査し続けた場合の反射光強度分布の一例を示すグラフである。第2の実施形態に係る観察方法は、カウント部208によるカウントを行わず、反射光強度判定部209により焦点201の位置を判定してオートフォーカスを行う点、及び対物レンズ202の焦点201をサンプル保持部101の内側底面103の上方から下方へ走査する点で、第1の実施形態と異なる。
予め、ユーザーは、サンプル容器100をXYステージ300に設置し、制御PC400へ動作開始の指示を入力して、観察装置1のオートフォーカス動作をスタートさせる。ここで、オートフォーカスユニット206の照射部は、1つ目のサンプル保持部101の底面へ光の照射を開始し、オートフォーカスユニット206の光検出部は、反射光の検出を開始する。光検出部は、検出した反射光を反射光強度分布としてフォーカス制御部207及び反射光強度判定部209へ送信する。
図5Aは、サンプル保持部101の内側底面103の上方に対物レンズ202の焦点201が位置する状態を示している。まず、ステップS21において、制御PC400は、対物レンズアクチュエータ203を上方へ駆動させ、対物レンズ202を上端原点へ復帰させる。図5Aに示すように、ユーザーは、予め、対物レンズ202の焦点201が内側底面103よりも上に位置するように上端原点の位置を調整しておく。
ステップS22において、制御PC400は、対物レンズアクチュエータ203を下方へ駆動して、対物レンズ202の焦点201を走査する。
ステップS23において、反射光強度判定部209は、オートフォーカスユニット206の光検出部から受信した反射光強度分布に基づいて、対物レンズ202の焦点201がサンプル液102中、サンプル保持部101の底面の樹脂中、空気中のいずれに位置しているかを判定する。図7に示すように、焦点201の位置によって、反射光強度が異なる。焦点201が空気中にある場合、反射光強度のベースラインは最も低く、焦点201がサンプル液102中にある場合、反射光強度のベースラインは最も高くなる。反射光強度判定部209は、予め焦点201の位置ごとの反射光強度の範囲を記憶しておき、反射光強度の範囲を参照することにより、焦点201の位置を判定する。図7に示すように、オートフォーカス動作を開始した直後は、焦点201がサンプル液102中に位置するため、反射光強度のベースラインは最も高い。反射光強度判定部209は、判定した焦点201の位置を制御PC400へ送信する。なお、対物レンズ202の焦点201の位置は、カメラ204が取得する画像から、制御PC400が判定してもよい。
ステップS24において、制御PC400は、反射光強度判定部209により、又はカメラ204により取得される画像により判定された焦点201の位置に基づいて、対物レンズアクチュエータ203の駆動方向を決定する。焦点201がサンプル液102中に位置する場合、制御PC400は、対物レンズアクチュエータ203を下方へ駆動させ続ける。焦点201がサンプル保持部101の底面の樹脂中又は空気中に位置する場合、制御PC400は、対物レンズアクチュエータ203の駆動方向を切り替え、上方へ駆動させる。
ステップS25において、制御PC400は、対物レンズアクチュエータ203を駆動している間、対物レンズアクチュエータ203の駆動範囲内であるか、駆動範囲の下限に達したかを判定する。対物レンズアクチュエータ203の駆動範囲内である場合には、制御PC400は、対物レンズアクチュエータ203の駆動を続行する。対物レンズアクチュエータ203の駆動範囲の下限に達した場合は、ステップS22に戻り、制御PC400は、対物レンズアクチュエータ203を上方へ駆動して上端原点へ復帰させた後、下方へ駆動する。
ステップS26において、フォーカス制御部207は、光検出器から受信した反射光強度分布に基づいて、対物レンズアクチュエータ203を駆動している間、反射光強度のピークの有無を判定する。反射光強度のピークが検出されない場合、ステップS23に戻る。
反射光強度のピークが検出された場合、反射光強度判定部209は、反射光強度分布に基づいて、ピークが検出される直前のベースラインの高さから、焦点201の位置を判定して、検出されたピークが内側底面103によるものか、外側底面104によるものかを判定する。ピーク直前のベースラインの高さから、焦点201がサンプル液102中に位置すると判定される場合、対物レンズアクチュエータ203は下方へ駆動しているため、検出されたピークは内側底面103によるものと判定する。ピーク直前のベースラインの高さから、焦点201がサンプル保持部101の底面の樹脂中に位置すると判定される場合、対物レンズアクチュエータ203は上方へ駆動しているため、検出されたピークは内側底面103によるものと判定する。ピーク直前のベースラインの高さから、焦点201が空気中に位置すると判定される場合、対物レンズアクチュエータ203は上方へ駆動しているため、検出されたピークは外側底面104によるものと判定する。検出されたピークが外側底面104によるものであると判定した場合、ステップS23に戻る。
内側底面103による反射光強度のピークが検出された場合、ステップS27において、フォーカス制御部207は、対物レンズアクチュエータ203を駆動して、内側底面103に正確に焦点201を合わせる。これは、反射光強度がピークとなったことを検出した際にも対物レンズアクチュエータ203は駆動しているため、対物レンズ202の焦点201は、内側底面103より下方へ移動してしまっているためである。図5Bは、サンプル保持部101の内側底面103の上方に対物レンズ202の焦点201が合った状態を示している。
焦点201を内側底面103に合わせた後、ステップS28において、フォーカス制御部207は、反射光強度判定部209に指示を送信する。このとき、反射光強度判定部209は、内側底面103における反射光強度から、サンプル保持部101内のサンプル液102の有無を判定する。反射光強度判定部209は、予め、サンプル保持部101内にサンプル液102が存在しないと判定するための反射光強度の閾値を記憶しておき、該閾値と、内側底面103における反射光強度とを比較することにより、サンプル液102の有無を判定する。
サンプル液102が存在する場合、反射光強度判定部209は、制御PC400に結果を送信する。ステップS29において、制御PC400は、カメラ204に指示を送信し、カメラ204は、フォーカス位置の顕微鏡画像を撮像する。ここで、サンプル液102中の細胞に厚みがある場合、顕微鏡画像のピントが合わない可能性がある。従って、制御PC400は、調節機構に指示を送信し、対物レンズ202の焦点201より上方がカメラ204に結像されるように、カメラ204又は結像レンズ205の位置を微調整する。
サンプル液102が存在しない場合、反射光強度判定部209は、ステップS30において、制御PC400に結果を送信する。制御PC400は、サンプル液102が無いことを警告として表示部に表示してもよい。
ステップS29又はS30の後、ステップS31において、制御PC400は、観察を行ったサンプル保持部101が最後のサンプル保持部101であるか否かを判定する。予め、制御PC400に、サンプル保持部101の数を記憶させておくことで、最後のサンプル保持部101であるか否かを判定するようにしてもよい。観察を行ったサンプル保持部101が最後のサンプル保持部101である場合(Yes)、制御PC400は、観察を終了する。
観察を行ったサンプル保持部101が最後のサンプル保持部101でない場合(No)、ステップS32において、制御PC400は、XYステージ300を駆動して、次のサンプル保持部101を対物レンズ202の上方へ移動する。
ステップS33において、制御PC400は、対物レンズアクチュエータ203を上方に駆動して、焦点201を所定の距離だけ上方に移動させる。このとき焦点201を移動させる距離は、サンプル液102の高さより小さいことが好ましい。サンプル液102の高さや、ステップS33において対物レンズアクチュエータ203を上方へ駆動させる距離は、予め制御PC400に記憶させておく。これにより、図5Aに示すように、2つ目以降のサンプル保持部101のオートフォーカスを開始する際は、焦点201がサンプル液102中に位置する。
その後、ステップS23に戻り、2つ目以降のサンプル保持部101においても上記と同様に、ステップS23~S33を行う。
なお、サンプル容器100の底面の厚さのばらつきが大きい場合、上述のステップS32及びステップS33において次のサンプル保持部101に移動し、焦点201を所定の距離だけ上方に移動させた際に、焦点201の位置がサンプル保持部101の底面の樹脂内、あるいは外側底面104の下方となる場合がある。図5Cは、対物レンズ202の焦点201がサンプル保持部101の底面の樹脂内に位置する状態を示している。図5Dは、対物レンズ202の焦点201がサンプル保持部101の外側底面104の下方に位置する状態を示している。
このように、ステップS32及びステップS33の後に、焦点201がサンプル液102中に位置しない場合においても、ステップS23に戻る。
以上のように、本実施形態における観察方法において、対物レンズ202の焦点201をサンプル保持部101のサンプル液102中から下方へ走査させる例を説明したが、外側底面104の下方から焦点201を走査する構成を採用することもできる。
また、本実施形態における観察方法は、第1の実施形態と組み合わせて実施することもできる。例えば、第1の実施形態のステップS3とステップS4の間に、本実施形態のステップS23及びステップS24を行ってもよい。
(3)技術的効果
以上のように、本実施形態は、反射光強度分布から、対物レンズ202の焦点201の位置を判定して対物レンズアクチュエータ203の駆動方向を決定し、内側底面103(フォーカス位置)に焦点201を合わせる構成を採用している。これにより、フォーカス位置へのオートフォーカスを一意的に高精度に行うことができる。また、本実施形態は、サンプル保持部101内のサンプル液102の有無を判定する構成を有することにより、人為的エラーによる誤った検査結果の出力を防止することができる。
100…サンプル容器
101…サンプル保持部
102…サンプル液
103…内側底面
104…外側底面
200…撮像ユニット
201…焦点
202…対物レンズ
203…対物レンズアクチュエータ
204…カメラ
205…結像レンズ
206…オートフォーカスユニット
207…フォーカス制御部
208…カウント部
209…反射光強度判定部
300…XYステージ
400…制御PC

Claims (15)

  1. サンプル液が収容されるサンプル容器内のフォーカス位置の画像を撮像する観察装置において、
    前記サンプル容器を保持する保持部と、
    前記フォーカス位置の画像を撮像する光学系と、
    前記光学系を制御する演算装置と、を備え、
    前記光学系は、
    前記サンプル容器の下方に配置される対物レンズと、
    前記対物レンズを光軸方向に駆動させる対物レンズアクチュエータと、
    前記サンプル容器の底面に光を照射する照射部と、
    前記光の反射光の反射光強度を検出する検出部と、
    前記反射光強度がピークを示す反射面に前記対物レンズの焦点を合わせるフォーカス制御部と、
    前記反射光の強度分布における、前記反射光強度のピークが検出される直前のベースラインの高さに基づいて、前記焦点の位置を判定する反射光強度判定部と、
    前記反射面のカウントを行うカウント部と、を有し、
    前記演算装置は、前記反射光強度判定部により判定される前記対物レンズの前記焦点の位置に基づいて、前記対物レンズアクチュエータの駆動方向を決定し、
    前記フォーカス制御部は、前記反射光強度のピークが検出された場合、前記対物レンズアクチュエータを駆動して、前記反射面に前記焦点を合わせ、
    前記カウント部は、前記フォーカス制御部により前記反射面に前記焦点を合わせた場合、前記反射面のカウントを行い、
    前記演算装置は、前記カウントの値に基づいて、前記焦点が前記フォーカス位置に合っているか否かを判定し、
    前記焦点が前記フォーカス位置に合っている場合に前記光学系に撮像を行わせ、前記焦点が前記フォーカス位置に合っていない場合に、前記対物レンズアクチュエータを駆動することを特徴とする観察装置。
  2. 請求項1に記載の観察装置において、
    前記反射光強度判定部は、前記演算装置により、前記焦点が前記フォーカス位置に合っていると判定された場合に、前記ピークにおける前記反射光強度に基づいて、前記サンプル容器内に前記サンプル液が存在するか否かを判定することを特徴とする観察装置。
  3. 請求項1に記載の観察装置において、
    前記光学系は、前記フォーカス位置の像を撮像するカメラと、前記カメラに前記フォーカス位置の像を結像させる結像レンズと、をさらに備えることを特徴とする観察装置。
  4. 請求項3に記載の観察装置において、
    前記カメラ又は前記結像レンズを駆動して、前記カメラに結像される前記フォーカス位置の像を調節する調節機構をさらに備えることを特徴とする観察装置。
  5. 請求項1に記載の観察装置において、
    前記対物レンズアクチュエータは、前記対物レンズの前記焦点が前記サンプル容器の底面の下方に位置する状態から駆動を開始して上方へ駆動し、
    前記演算装置は、前記カウントが2の場合に前記焦点が前記フォーカス位置に合っていると判定することを特徴とする観察装置。
  6. 請求項1に記載の観察装置において、
    前記対物レンズアクチュエータは、前記対物レンズの前記焦点が前記サンプル液内に位置する状態から駆動を開始して下方へ駆動し、
    前記演算装置は、前記カウントが1の場合に前記焦点が前記フォーカス位置に合っていると判定することを特徴とする観察装置。
  7. サンプル液が収容されるサンプル容器内のフォーカス位置の画像を撮像する観察装置において、
    前記サンプル容器を保持する保持部と、
    前記フォーカス位置の画像を撮像する光学系と、
    前記光学系を制御する演算装置と、を備え、
    前記光学系は、
    前記サンプル容器の下方に配置される対物レンズと、
    前記対物レンズを光軸方向に走査させる対物レンズアクチュエータと、
    前記サンプル容器の底面に光を照射する照射部と、
    前記光の反射光の反射光強度を検出する検出部と、
    前記反射光強度のピークを示す反射面に前記対物レンズの焦点を合わせるフォーカス制御部と、
    前記反射光の強度分布に基づいて、前記焦点の位置を判定する反射光強度判定部と、を有し、
    前記演算装置は、前記反射光強度判定部により判定される前記対物レンズの前記焦点の位置に基づいて、前記対物レンズアクチュエータの駆動方向を決定し、
    前記反射光強度判定部は、前記反射光強度のピークが検出された場合、前記反射光の強度分布及び前記ピークが検出された時点の前記対物レンズアクチュエータの駆動方向に基づいて、前記ピークにおいて前記焦点が前記フォーカス位置に合っているか否かを判定し、
    前記ピークにおいて前記焦点が前記フォーカス位置に合っていた場合、前記フォーカス制御部は、前記対物レンズアクチュエータを駆動して、前記フォーカス位置に前記焦点を合わせ、
    前記演算装置は、前記焦点が前記フォーカス位置に合っている場合に前記光学系に撮像を行わせ、前記焦点が前記フォーカス位置に合っていない場合に、前記対物レンズアクチュエータを駆動することを特徴とする観察装置。
  8. 請求項7に記載の観察装置において、
    前記反射光強度判定部は、前記反射光強度のピークが検出される直前の前記焦点の位置が前記サンプル液中であり、且つ前記対物レンズアクチュエータが下方へ駆動している場合、又は前記反射光強度のピークが検出される直前の前記焦点の位置が前記サンプル容器の底面内であり、前記対物レンズアクチュエータが上方へ駆動している場合に、前記ピークにおいて前記焦点が前記フォーカス位置に合っていると判定することを特徴とする観察装置。
  9. 請求項7に記載の観察装置において、
    前記反射光強度判定部は、前記焦点が前記フォーカス位置に合っている場合に、前記ピークにおける前記反射光強度に基づいて、前記サンプル容器内に前記サンプル液が存在するか否かを判定することを特徴とする観察装置。
  10. 請求項7に記載の観察装置において、
    前記光学系は、前記フォーカス位置の像を撮像するカメラと、前記カメラに前記フォーカス位置の像を結像させる結像レンズと、をさらに備えることを特徴とする観察装置。
  11. 請求項10に記載の観察装置において、
    前記カメラ又は前記結像レンズを駆動して、前記カメラに結像される前記フォーカス位置の像を調節する調節機構をさらに備えることを特徴とする観察装置。
  12. 請求項7に記載の観察装置において、
    前記対物レンズアクチュエータは、前記対物レンズの前記焦点が前記サンプル容器の底面の下方に位置する状態から駆動を開始し、上方へ駆動することを特徴とする観察装置。
  13. 請求項7に記載の観察装置において、
    前記対物レンズアクチュエータは、前記対物レンズの前記焦点が前記サンプル液内に位置する状態から駆動を開始し、下方へ駆動することを特徴とする観察装置。
  14. 請求項7に記載の観察装置において、
    前記反射光強度判定部は、前記反射光強度のピークが検出される直前のベースラインの高さに基づいて、前記焦点の位置を判定することを特徴とする観察装置。
  15. サンプル液が収容されるサンプル容器内のフォーカス位置の画像を撮像する観察装置において、
    前記サンプル容器を保持する保持部と、
    前記フォーカス位置の画像を撮像する光学系と、
    前記光学系を制御する演算装置と、を備え、
    前記光学系は、
    前記サンプル容器の下方に配置される対物レンズと、
    前記対物レンズを光軸方向に走査させる対物レンズアクチュエータと、
    前記サンプル容器の底面に光を照射する照射部と、
    前記光の反射光の反射光強度を検出する検出部と、
    前記反射光強度のピークを示す反射面に前記対物レンズの焦点を合わせるフォーカス制御部と、
    前記焦点の位置の像を撮像するカメラと、
    前記カメラに前記焦点の位置の像を結像させる結像レンズと、を有し、
    前記演算装置は、前記カメラの画像から、前記対物レンズの前記焦点の位置が、前記サンプル液中、前記サンプル容器の底面内及び空気中のいずれであるかを判定し、前記焦点の位置に基づいて、前記対物レンズアクチュエータの駆動方向を決定し、
    前記反射光強度のピークが検出された場合、前記カメラの画像及び前記ピークが検出された時点の前記対物レンズアクチュエータの駆動方向に基づいて、前記ピークにおいて前記焦点が前記フォーカス位置に合っているか否かを判定し、
    前記ピークにおいて前記焦点が前記フォーカス位置に合っていた場合、前記フォーカス制御部は、前記対物レンズアクチュエータを駆動して、前記フォーカス位置に前記焦点を合わせ、
    前記演算装置は、前記焦点が前記フォーカス位置に合っている場合に前記光学系に撮像を行わせ、前記焦点が前記フォーカス位置に合っていない場合に、前記対物レンズアクチュエータを駆動することを特徴とする観察装置。
JP2020525148A 2018-06-20 2018-06-20 観察装置 Active JP7034280B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2018/023455 WO2019244275A1 (ja) 2018-06-20 2018-06-20 観察装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2019244275A1 JPWO2019244275A1 (ja) 2021-06-24
JP7034280B2 true JP7034280B2 (ja) 2022-03-11

Family

ID=68982791

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020525148A Active JP7034280B2 (ja) 2018-06-20 2018-06-20 観察装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11892706B2 (ja)
EP (1) EP3812823A4 (ja)
JP (1) JP7034280B2 (ja)
WO (1) WO2019244275A1 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024101416A1 (ja) * 2022-11-10 2024-05-16 キヤノン株式会社 走査方法、走査システム及び位置情報取得方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001091821A (ja) 1999-09-21 2001-04-06 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡用オートフォーカスシステム
JP2005227098A (ja) 2004-02-12 2005-08-25 Olympus Corp 分析装置及びそのプログラム
JP2007271979A (ja) 2006-03-31 2007-10-18 Yokogawa Electric Corp 生物顕微鏡
JP2008122629A (ja) 2006-11-13 2008-05-29 Yokogawa Electric Corp 3次元顕微鏡システム
JP2011022327A (ja) 2009-07-15 2011-02-03 Yokogawa Electric Corp 共焦点顕微鏡装置
WO2014020967A1 (ja) 2012-08-02 2014-02-06 オリンパス株式会社 共焦点顕微鏡又は多光子顕微鏡の光学系を用いた光分析装置、光分析方法及び光分析用コンピュータプログラム
WO2015181951A1 (ja) 2014-05-30 2015-12-03 株式会社ニコン 焦点調節装置、顕微鏡装置、焦点調節方法、及び制御プログラム
JP2016534401A (ja) 2013-08-22 2016-11-04 ソーラボス インコーポレイテッド オートフォーカス装置
JP2017187436A (ja) 2016-04-08 2017-10-12 株式会社Screenホールディングス 底面位置検出装置、画像取得装置、底面位置検出方法および画像取得方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09281384A (ja) 1996-04-17 1997-10-31 Citizen Watch Co Ltd オートフォーカス制御装置
US6130745A (en) * 1999-01-07 2000-10-10 Biometric Imaging, Inc. Optical autofocus for use with microtiter plates
IL148664A0 (en) * 2002-03-13 2002-09-12 Yeda Res & Dev Auto-focusing method and device
EP1840623B1 (en) 2006-03-31 2013-05-08 Yokogawa Electric Corporation Microscope comprising a focus error detecting optical system
JP2008267842A (ja) 2007-04-17 2008-11-06 Yokogawa Electric Corp 生物観察容器並びにこれを用いる生物顕微鏡及び生物観察装置
JP2008276070A (ja) * 2007-05-02 2008-11-13 Olympus Corp 拡大撮像装置
US7646482B2 (en) * 2007-05-31 2010-01-12 Genetix Limited Methods and apparatus for optical analysis of samples in biological sample containers
US9134522B2 (en) * 2009-10-16 2015-09-15 Thorlabs, Inc. Autofocus apparatus
US9360659B2 (en) * 2011-08-10 2016-06-07 Molecular Devices, Llc Method for presenting and evaluation of images of micro-titer plate properties

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001091821A (ja) 1999-09-21 2001-04-06 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡用オートフォーカスシステム
JP2005227098A (ja) 2004-02-12 2005-08-25 Olympus Corp 分析装置及びそのプログラム
JP2007271979A (ja) 2006-03-31 2007-10-18 Yokogawa Electric Corp 生物顕微鏡
JP2008122629A (ja) 2006-11-13 2008-05-29 Yokogawa Electric Corp 3次元顕微鏡システム
JP2011022327A (ja) 2009-07-15 2011-02-03 Yokogawa Electric Corp 共焦点顕微鏡装置
WO2014020967A1 (ja) 2012-08-02 2014-02-06 オリンパス株式会社 共焦点顕微鏡又は多光子顕微鏡の光学系を用いた光分析装置、光分析方法及び光分析用コンピュータプログラム
JP2016534401A (ja) 2013-08-22 2016-11-04 ソーラボス インコーポレイテッド オートフォーカス装置
WO2015181951A1 (ja) 2014-05-30 2015-12-03 株式会社ニコン 焦点調節装置、顕微鏡装置、焦点調節方法、及び制御プログラム
JP2017187436A (ja) 2016-04-08 2017-10-12 株式会社Screenホールディングス 底面位置検出装置、画像取得装置、底面位置検出方法および画像取得方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP3812823A1 (en) 2021-04-28
US11892706B2 (en) 2024-02-06
JPWO2019244275A1 (ja) 2021-06-24
US20210263262A1 (en) 2021-08-26
WO2019244275A1 (ja) 2019-12-26
EP3812823A4 (en) 2022-02-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101303269B (zh) 光学系统评价装置及光学系统评价方法
JP7055793B2 (ja) 選択的平面照明を伴う明視野顕微鏡
JP5580206B2 (ja) レーザ光機械加工
US5994691A (en) Near-field scanning optical microscope
JP6662529B2 (ja) 光学機器の連続非同期オートフォーカスのためのシステムおよび方法
CN113795778A (zh) 用于无限远校正显微镜的自校准和定向聚焦系统和方法
JP7023677B2 (ja) 実質的に水平な側方視で、走査型プローブ顕微鏡の試料とプローブとの間のギャップを撮像する走査型プローブ顕微鏡及び方法
JP6685849B2 (ja) 光干渉測定装置及び光干渉測定方法
US20040071394A1 (en) Optical system and method for exciting and measuring fluorescence on or in samples treated with fluorescent pigments
JP7034280B2 (ja) 観察装置
JP4725967B2 (ja) 微小高さ測定装置及び変位計ユニット
KR102400976B1 (ko) 고침 렌즈 홀더 및 화상 취득 장치
JP2009293925A (ja) 光学検査装置の誤差補正装置
JP2008267842A (ja) 生物観察容器並びにこれを用いる生物顕微鏡及び生物観察装置
KR100913508B1 (ko) 공초점을 이용한 3차원 스캐닝 장치 및 스캐닝 방법
JP2008261829A (ja) 表面測定装置
JP2007304058A (ja) 微小高さ測定装置
JP2004102032A (ja) 走査型共焦点顕微鏡装置
JP2007286147A (ja) 赤外顕微鏡
JP2009058473A (ja) 探針の形状計測方法、試料の形状計測方法、及びプローブ顕微鏡
JP2016080494A (ja) 近接場測定方法および近接場光学顕微鏡
US20240045189A1 (en) Apparatus and method of focusing a laser-scanning cytometer using the reflection of the laser
JPH07208917A (ja) 自動焦点合わせ方法及び装置
WO2023139777A1 (ja) 粒子計測装置、粒子計測方法、サンプル容器
WO2021181482A1 (ja) 顕微鏡画像撮像方法および顕微鏡画像撮像装置

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20201208

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20201208

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20211124

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220120

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220208

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220301

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7034280

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150