JP7018978B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
102…シャワープレート、
103…誘電体窓、
104…処理室、
105…導波管、
106…電源、
107…コイル、
109…ウエハ、
110…真空排気口、
111…誘電体膜、
112…接地電極、
113…サセプタカバー、
114…基材、
115…試料台、
116…プラズマ、
124…高周波電源、
125…高周波カットフィルタ、
126,132…直流電源、
129…整合器、
200…温調アレイ、
201…断熱性配置台、
202…断熱層、
203…大気給電部、
204…大気ステーション、
206…バイパスリレー、
207…定電流電源、
208…極性切り替え器、
210…ドライエア導入口、
211…ドライエア排出口、
212…大気圧保持ボルト、
213…平坦度保持面、
214…熱の流れ、
215…Oリング、
216…キャップ型構造体、
217…冷却板、
218…温度センサ、
220…導電膜、
221…導電膜、
300…温調アレイ、
301…膜状構造体、
318…温度センサ、
400,401…温調アレイ。
Claims (6)
- 真空容器内部に配置され内側を減圧可能な処理室と、この処理室内に配置され処理対象の試料が載せられて保持される試料台と、前記処理室内に供給されたガスを用いてプラズマを形成するプラズマ形成手段とを備え、前記試料を前記プラズマを用いて処理するプラズマ処理装置であって、
前記試料台を構成し接地された金属製の基材の上方に配置され内側に高周波電力が供給される膜状の電極を備えた誘電体の膜と、前記基材内で前記処理室内部より大きな所定の圧力にされた空間の内部で前記基材に連結された温度調節用のアレイであって各々が供給された電力に応じて発熱及び冷却する機能を有して直列に接続され前記空間の上面に対して温度センサを挟んで取り付けられた複数の素子を含む少なくとも1つの温度調節アレイと、この温度調節アレイに供給する電力の極性を切り替えて前記複数の素子の発熱および冷却の機能を切り替える切り替え器と、前記温度センサからの出力に応じて前記複数の素子への電力の供給を調節してこれら各々の素子の動作を調節する制御器とを備えたプラズマ処理装置。
- 請求項1に記載のプラズマ処理装置であって、
前記温度調節用のアレイは前記複数の素子が前記試料の周方向に配置されたプラズマ処理装置。
- 請求項2に記載のプラズマ処理装置であって、
前記試料台の内部に複数の前記温度調節用のアレイが配置され、これら温度調節用のアレイの各々が前記試料の異なる複数の半径位置においてその周方向に円弧状に配置された前記複数の素子を備えたプラズマ処理装置。
- 請求項1乃至3の何れかに記載のプラズマ処理装置であって、
前記温度調節用のアレイに電力を供給する給電経路上に前記高周波電力が流れることを抑制するフィルタを備えないプラズマ処理装置。
- 請求項1乃至4の何れかに記載のプラズマ処理装置であって、
前記基材内の前記複数の温度調節用のアレイの下方に配置され当該基材の温度を調節する冷媒が通流する冷媒流路を備えたプラズマ処理装置。
- 請求項5に記載のプラズマ処理装置であって、
前記冷媒が、水またはエチレングリコールまたは絶縁性の冷媒であるプラズマ処理装置。
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