JP7009813B2 - 振動デバイス、電子機器及び移動体 - Google Patents
振動デバイス、電子機器及び移動体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7009813B2 JP7009813B2 JP2017145070A JP2017145070A JP7009813B2 JP 7009813 B2 JP7009813 B2 JP 7009813B2 JP 2017145070 A JP2017145070 A JP 2017145070A JP 2017145070 A JP2017145070 A JP 2017145070A JP 7009813 B2 JP7009813 B2 JP 7009813B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oscillator
- circuit
- clock signal
- circuit device
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 136
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 104
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 44
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 54
- 238000000034 method Methods 0.000 description 51
- 230000008569 process Effects 0.000 description 29
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 22
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 16
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 15
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 15
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 14
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 12
- 230000008859 change Effects 0.000 description 10
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 10
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 10
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 10
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 101000885387 Homo sapiens Serine/threonine-protein kinase DCLK2 Proteins 0.000 description 5
- 101100169873 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) DCK1 gene Proteins 0.000 description 5
- 102100039775 Serine/threonine-protein kinase DCLK2 Human genes 0.000 description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 108700003816 citrullinated- EBNA-2 protein (338-358) Proteins 0.000 description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000036772 blood pressure Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
- H03B5/00—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
- H03B5/30—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
- H03B5/32—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03L—AUTOMATIC CONTROL, STARTING, SYNCHRONISATION OR STABILISATION OF GENERATORS OF ELECTRONIC OSCILLATIONS OR PULSES
- H03L1/00—Stabilisation of generator output against variations of physical values, e.g. power supply
- H03L1/02—Stabilisation of generator output against variations of physical values, e.g. power supply against variations of temperature only
- H03L1/028—Stabilisation of generator output against variations of physical values, e.g. power supply against variations of temperature only of generators comprising piezoelectric resonators
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04F—TIME-INTERVAL MEASURING
- G04F10/00—Apparatus for measuring unknown time intervals by electric means
- G04F10/005—Time-to-digital converters [TDC]
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
- H03B5/00—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
- H03B5/02—Details
- H03B5/04—Modifications of generator to compensate for variations in physical values, e.g. power supply, load, temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
- H03B5/00—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
- H03B5/30—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
- H03B5/32—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator
- H03B5/36—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator active element in amplifier being semiconductor device
- H03B5/362—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator active element in amplifier being semiconductor device the amplifier being a single transistor
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
- H03B5/00—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
- H03B5/30—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
- H03B5/32—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator
- H03B5/36—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator active element in amplifier being semiconductor device
- H03B5/366—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator active element in amplifier being semiconductor device and comprising means for varying the frequency by a variable voltage or current
- H03B5/368—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator active element in amplifier being semiconductor device and comprising means for varying the frequency by a variable voltage or current the means being voltage variable capacitance diodes
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/205—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having multiple resonators
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03L—AUTOMATIC CONTROL, STARTING, SYNCHRONISATION OR STABILISATION OF GENERATORS OF ELECTRONIC OSCILLATIONS OR PULSES
- H03L1/00—Stabilisation of generator output against variations of physical values, e.g. power supply
- H03L1/02—Stabilisation of generator output against variations of physical values, e.g. power supply against variations of temperature only
- H03L1/022—Stabilisation of generator output against variations of physical values, e.g. power supply against variations of temperature only by indirect stabilisation, i.e. by generating an electrical correction signal which is a function of the temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03L—AUTOMATIC CONTROL, STARTING, SYNCHRONISATION OR STABILISATION OF GENERATORS OF ELECTRONIC OSCILLATIONS OR PULSES
- H03L7/00—Automatic control of frequency or phase; Synchronisation
- H03L7/06—Automatic control of frequency or phase; Synchronisation using a reference signal applied to a frequency- or phase-locked loop
- H03L7/08—Details of the phase-locked loop
- H03L7/099—Details of the phase-locked loop concerning mainly the controlled oscillator of the loop
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03L—AUTOMATIC CONTROL, STARTING, SYNCHRONISATION OR STABILISATION OF GENERATORS OF ELECTRONIC OSCILLATIONS OR PULSES
- H03L7/00—Automatic control of frequency or phase; Synchronisation
- H03L7/06—Automatic control of frequency or phase; Synchronisation using a reference signal applied to a frequency- or phase-locked loop
- H03L7/16—Indirect frequency synthesis, i.e. generating a desired one of a number of predetermined frequencies using a frequency- or phase-locked loop
- H03L7/22—Indirect frequency synthesis, i.e. generating a desired one of a number of predetermined frequencies using a frequency- or phase-locked loop using more than one loop
- H03L7/23—Indirect frequency synthesis, i.e. generating a desired one of a number of predetermined frequencies using a frequency- or phase-locked loop using more than one loop with pulse counters or frequency dividers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02086—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02102—Means for compensation or elimination of undesirable effects of temperature influence
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0504—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices
- H03H9/0514—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps
- H03H9/0519—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps for cantilever
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/13—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
Description
図1、図2に本実施形態の振動デバイス50の構成例を示す。図1は、振動デバイス50を上側から見た平面図であり、図2は斜め上側から見た斜視図である。振動デバイス50は、発振子XTAL1、XTAL2(第1、第2の発振子)と回路装置10を含む。また発振子XTAL3(第3の発振子)を更に含むことができる。なお図1、図2は振動デバイス50に3つの発振子が設けられる構成例であるが、本実施形態はこれに限定されず、発振子の個数は2つでもよいし、4つ以上であってもよい。
図3は、発振子を支持部により回路装置に支持させる構成の説明図である。図3に示すように、第1の発振子XTAL1は、第1の支持部SM1により回路装置10に支持される。同様に、第2の発振子XTAL2は、第2の支持部(不図示)により回路装置10に支持される。
図5は回路装置10のレイアウト配置例を示す図である。図5では回路装置10の辺SD1(第1の辺)から対向する辺SD2(第2の辺)に向かう方向をDR1し、辺SD1、SD2に交差(直交)する辺SD3(第3の辺)から対向する辺SD4(第4の辺)に向かう方向をDR2とする。
図6は、本実施形態の回路装置、及びその回路装置を含む振動デバイスの構成例である。振動デバイス50は、回路装置10、発振子XTAL1~XTAL3を含む。なお回路装置10、振動デバイス50は図6の構成に限定されず、これらの一部の構成要素(例えば発振子XTAL3、発振回路103、PLL回路130、時間デジタル変換回路20)を省略したり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。
次に時間デジタル変換の詳細例について説明する。図7は、信号STA(スタート信号)と信号STP(ストップ信号)の関係を示す図である。時間デジタル変換回路20は、信号STAとSTPの遷移タイミングの時間差TDFをデジタル値DQに変換する。なお図7では、TDFは信号STAとSTPの立ち上がりの遷移タイミング間(立ち上がりエッジ間)の時間差となっているが、信号STAとSTPの立ち下がりの遷移タイミング間(立ち下がりエッジ間)の時間差であってもよい。本実施形態の振動デバイス50は、発振器のみならず、物理量測定装置に用いることができる。この場合には物理量測定装置である振動デバイス50は、図7に示すように信号STAを用いて照射光(例えばレーザー光)を対象物(例えば車の周囲の物体)に出射する。そして対象物からの反射光の受光により信号STPが生成される。例えば受光信号を波形整形することで信号STPを生成する。このようにすれば、信号STAとSTPの遷移タイミングの時間差TDFをデジタル値DQに変換することで、例えばタイムオブフライト(TOF)の方式で、対象物との距離を物理量として測定でき、例えば車の自動運転やロボットの動作制御などに利用できる。
図10は、回路装置の第1の詳細な構成例である。図10には、温度センサー14を含む温度検出回路105の構成例を主に示す。図10の回路装置10は温度検出回路105、チョッピング復調部82(ロジック回路)、ローパスフィルター部72(ローパスフィルター)、制御回路110(チョッピング制御部)を含む。
次にクロック信号CK1、CK2の信号線でのシールド線の配線手法について説明する。例えば図16に示すように回路装置10は、クロック信号CK1を時間デジタル変換回路20に供給する信号線LC1(第1の信号線)と、クロック信号CK2を時間デジタル変換回路20に供給する信号線LC2(第2の信号線)を含む。具体的には、信号線LC1は、例えばPLL回路120(発振回路102)と時間デジタル変換回路20を接続する信号線であり、信号線LC2は、例えばPLL回路130(発振回路103)と時間デジタル変換回路20を接続する信号線である。信号線LC1は、図16において左側に配置されるPLL回路120から、2つのコーナーで屈曲しながら、時間デジタル変換回路20の中央部の信号入力ノードに向かって配線されている。信号線LC2は、右側に配置されるPLL回路130から、2つのコーナーで屈曲しながら、時間デジタル変換回路20の中央部の信号入力ノードに向かって配線されている。
次に本実施形態の種々の変形例について説明する。例えば本実施形態では3つの発振子XTAL1~XTAL3を設ける場合について主に説明したが、本実施形態はこれに限定されず、発振子の個数は2つであってもよいし、4つ以上であってもよい。例えば図17の本実施形態の変形例では、2つの発振子XTAL1、XTAL2と、1つのPLL回路120が設けられている。
図18は、本実施形態の振動デバイス50(回路装置)を含む電子機器の構成例である。この電子機器500は、回路装置10と発振子XTAL1~XTAL3を有する振動デバイス50と、処理部520を含む。また通信部510、操作部530、表示部540、記憶部550、アンテナANTを含むことができる。
24…電圧変換回路、30…チョッピング変調回路、41…増幅回路、
50…振動デバイス、52…パッケージ、53…ベース部、54…枠部、
55…A/D変換回路、60…段差部、61…電極、62…ボンディングワイヤー、
63…段差部、64…電極、65…ボンディングワイヤー、66…段差部、
67…電極、68…ボンディングワイヤー、72…ローパスフィルター部、
80…チョッピング復調回路、82…チョッピング復調部、
90…チョッピング変調回路、101…第1の発振回路、102…第2の発振回路、
103…第3の発振回路、105…温度検出回路、110…制御回路、
120…第1のPLL回路、122…分周回路、124…分周回路、
126…位相検出器、128…チャージポンプ回路、130…第2のPLL回路、
132…分周回路、134…分周回路、136…位相検出器、
138…チャージポンプ回路、140…発振信号生成回路、180…デジタル処理回路、
182…温度補償部、206…自動車、207…車体、208…制御装置、
209…車輪、500…電子機器、510…通信部、520…処理部、530…操作部、
540…表示部、550…記憶部、
CK1…第1のクロック信号、CK2…第2のクロック信号、
CKR…基準クロック信号、LC1…第1の信号線、LC2…第2の信号線、
P1…第1の端子、P3…第2の端子、SL…第1のシールド線、
SL1…第2のシールド線、SL2…第3のシールド線、SM1…第1の支持部、
XTAL1…第1の発振子、XTAL2…第2の発振子、XTAL3…第3の発振子
Claims (12)
- 基準クロック信号を生成するための第1の発振子と、
前記基準クロック信号に基づいて周波数が調整される第1のクロック信号を生成するための第2の発振子と、
前記基準クロック信号に基づいて周波数が調整される第2のクロック信号を生成するための第3の発振子と、
前記第1の発振子の発振周波数の温度補償用の温度センサーを備える回路装置と、
を含み、
前記回路装置は、
前記第1のクロック信号と前記第2のクロック信号に基づいて、時間をデジタル値に変換する時間デジタル変換回路を含み、
前記回路装置の基板に直交する方向での平面視において、前記第1の発振子、前記第2の発振子及び前記第3の発振子が前記回路装置に重なるように配置されると共に、前記第1の発振子と前記第2の発振子と前記第3の発振子とが互いに重ならないように配置され、
前記平面視において、前記第1の発振子と前記温度センサーとが重なるように前記温度センサーが前記回路装置に配置されることを特徴とする振動デバイス。 - 基準クロック信号を生成するための第1の発振子と、
前記基準クロック信号に基づいて周波数が調整される第1のクロック信号を生成するための第2の発振子と、
前記第1の発振子の発振周波数の温度補償用の温度センサーを備える回路装置と、
を含み、
前記回路装置は、
前記基準クロック信号と前記第1のクロック信号に基づいて、時間をデジタル値に変換する時間デジタル変換回路を含み、
前記回路装置の基板に直交する方向での平面視において、前記第1の発振子及び前記第2の発振子が前記回路装置に重なるように配置されると共に、前記第1の発振子と前記第2の発振子が互いに重ならないように配置され、
前記平面視において、前記第1の発振子と前記温度センサーとが重なるように前記温度センサーが前記回路装置に配置されることを特徴とする振動デバイス。 - 請求項1又は2に記載の振動デバイスにおいて、
前記第1の発振子は、第1の支持部により前記回路装置に支持され、
前記第2の発振子は、第2の支持部により前記回路装置に支持されることを特徴とする振動デバイス。 - 請求項3に記載の振動デバイスにおいて、
前記第1の支持部は、前記第1の発振子の一方側電極の端子電極と前記回路装置の第1の端子とを電気的に接続し、
前記第2の支持部は、前記第2の発振子の一方側電極の端子電極と前記回路装置の第2の端子とを電気的に接続することを特徴とする振動デバイス。 - 請求項3又は4に記載の振動デバイスにおいて、
前記第1の支持部及び前記第2の支持部は、導電性のバンプであることを特徴とする振動デバイス。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の振動デバイスにおいて、
前記平面視において、前記第1の発振子及び前記第2の発振子の面積は、前記回路装置の面積より小さいことを特徴とする振動デバイス。 - 請求項1に記載の振動デバイスにおいて、
前記回路装置は、
前記基準クロック信号と前記第1のクロック信号の位相同期を行う第1のPLL回路と、
前記基準クロック信号と前記第2のクロック信号の位相同期を行う第2のPLL回路と、
を含むことを特徴とする振動デバイス。 - 請求項1乃至7のいずれか一項に記載の振動デバイスにおいて、
前記回路装置は、
前記第1の発振子を用いて前記基準クロック信号を生成するための第1の発振回路と、
前記第2の発振子を用いて前記第1のクロック信号を生成するための第2の発振回路と、
を含み、
前記平面視において、前記第1の発振子と前記温度センサーとが重なると共に前記第1の発振子と前記第1の発振回路とが重なるように配置され、
前記平面視において、前記第2の発振子と前記第2の発振回路とが重なるように配置されることを特徴とする振動デバイス。 - 請求項1に記載の振動デバイスにおいて、
前記回路装置は、
前記第1のクロック信号を前記時間デジタル変換回路に供給する第1の信号線と、
前記第2のクロック信号を前記時間デジタル変換回路に供給する第2の信号線と、
を含み、
前記第1の信号線と前記第2の信号線の間に第1のシールド線が配線されることを特徴とする振動デバイス。 - 請求項9に記載の振動デバイスにおいて、
前記回路装置は、
第2のシールド線と第3のシールド線とを含み、
前記第1の信号線は、前記第2のシールド線と前記第1のシールド線との間に配置され、
前記第2の信号線は、前記第3のシールド線と前記第1のシールド線との間に配置されることを特徴とする振動デバイス。 - 請求項1乃至10のいずれか一項に記載の振動デバイスを含むことを特徴とする電子機器。
- 請求項1乃至10のいずれか一項に記載の振動デバイスを含むことを特徴とする移動体。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017145070A JP7009813B2 (ja) | 2017-07-27 | 2017-07-27 | 振動デバイス、電子機器及び移動体 |
CN201810817078.0A CN109309478B (zh) | 2017-07-27 | 2018-07-24 | 振动器件、电子设备以及移动体 |
US16/046,098 US10608586B2 (en) | 2017-07-27 | 2018-07-26 | Resonator device, electronic apparatus, and vehicle |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017145070A JP7009813B2 (ja) | 2017-07-27 | 2017-07-27 | 振動デバイス、電子機器及び移動体 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019029737A JP2019029737A (ja) | 2019-02-21 |
JP2019029737A5 JP2019029737A5 (ja) | 2020-07-30 |
JP7009813B2 true JP7009813B2 (ja) | 2022-01-26 |
Family
ID=65038983
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017145070A Active JP7009813B2 (ja) | 2017-07-27 | 2017-07-27 | 振動デバイス、電子機器及び移動体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10608586B2 (ja) |
JP (1) | JP7009813B2 (ja) |
CN (1) | CN109309478B (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10615809B2 (en) * | 2017-09-28 | 2020-04-07 | Stmicroelectronics International N.V. | Calibration of a voltage controlled oscillator to trim the gain thereof, using a phase locked loop and a frequency locked loop |
JP7314553B2 (ja) * | 2019-03-22 | 2023-07-26 | セイコーエプソン株式会社 | 回路装置、発振器、電子機器及び移動体 |
JP7247135B2 (ja) * | 2020-03-18 | 2023-03-28 | 日立Astemo株式会社 | 検知装置 |
CN111474522A (zh) * | 2020-04-23 | 2020-07-31 | 西安电子工程研究所 | 一种不同时钟相位同步的补偿电路 |
EP4007161A1 (en) * | 2020-11-30 | 2022-06-01 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Clock oscillator and method for preparing clock oscillator |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001141853A (ja) | 1999-11-11 | 2001-05-25 | Communication Research Laboratory Mpt | タイムインターバルカウンタ装置 |
JP2004015444A (ja) | 2002-06-06 | 2004-01-15 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Pll制御発振器 |
JP2011097553A (ja) | 2009-09-30 | 2011-05-12 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動子、発振器及び発振器パッケージ |
JP2014150453A (ja) | 2013-02-01 | 2014-08-21 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 圧電デバイス |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3196254B2 (ja) | 1991-09-28 | 2001-08-06 | スズキ株式会社 | 微小時間計測方法及び微小時間計測装置 |
JPH0738333A (ja) * | 1993-07-23 | 1995-02-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 水晶発振器 |
JP3157765B2 (ja) * | 1998-01-26 | 2001-04-16 | 日本電気アイシーマイコンシステム株式会社 | 半導体集積回路 |
US6946919B2 (en) * | 2002-01-14 | 2005-09-20 | Cts Corporation | Controllable crystal oscillator component |
US7471162B2 (en) * | 2006-04-24 | 2008-12-30 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Surface mount type temperature-compensated crystal oscillator |
JP2009065334A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-26 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 表面実装用の水晶発振器 |
JP4944223B2 (ja) * | 2010-03-26 | 2012-05-30 | 日本電波工業株式会社 | 多機能型とした電圧制御型の温度補償水晶発振器 |
JP6548411B2 (ja) * | 2014-03-31 | 2019-07-24 | 日本電波工業株式会社 | 発振装置 |
JP6536780B2 (ja) * | 2015-01-22 | 2019-07-03 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体回路装置、発振器、電子機器および移動体 |
JP2016187154A (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-27 | セイコーエプソン株式会社 | 発振器、電子機器及び移動体 |
US20170134030A1 (en) * | 2015-11-06 | 2017-05-11 | Qualcomm Incorporated | All-digital phase lock loop spur reduction using a crystal oscillator fractional divider |
JP6728652B2 (ja) * | 2015-11-30 | 2020-07-22 | セイコーエプソン株式会社 | 回路装置、発振器、電子機器、移動体及び発振器の製造方法 |
US10367510B2 (en) * | 2016-05-13 | 2019-07-30 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Crystal oscillator and method for manufacturing crystal oscillator |
-
2017
- 2017-07-27 JP JP2017145070A patent/JP7009813B2/ja active Active
-
2018
- 2018-07-24 CN CN201810817078.0A patent/CN109309478B/zh active Active
- 2018-07-26 US US16/046,098 patent/US10608586B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001141853A (ja) | 1999-11-11 | 2001-05-25 | Communication Research Laboratory Mpt | タイムインターバルカウンタ装置 |
JP2004015444A (ja) | 2002-06-06 | 2004-01-15 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Pll制御発振器 |
JP2011097553A (ja) | 2009-09-30 | 2011-05-12 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動子、発振器及び発振器パッケージ |
JP2014150453A (ja) | 2013-02-01 | 2014-08-21 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 圧電デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190035848A1 (en) | 2019-01-31 |
US10608586B2 (en) | 2020-03-31 |
CN109309478B (zh) | 2023-09-29 |
JP2019029737A (ja) | 2019-02-21 |
CN109309478A (zh) | 2019-02-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7009813B2 (ja) | 振動デバイス、電子機器及び移動体 | |
JP6862900B2 (ja) | 回路装置、物理量測定装置、電子機器及び移動体 | |
JP6834299B2 (ja) | 回路装置、物理量測定装置、電子機器及び移動体 | |
CN107870558B (zh) | 物理量测定装置、电子设备和移动体 | |
CN107870555B (zh) | 电路装置、物理量测量装置、电子设备和移动体 | |
CN107870556B (zh) | 集成电路装置、电子设备和移动体 | |
JP6834830B2 (ja) | 集積回路装置、物理量測定装置、電子機器及び移動体 | |
JP2020098988A (ja) | 回路装置、発振器、電子機器及び移動体 | |
JP6870518B2 (ja) | 集積回路装置、物理量測定装置、電子機器及び移動体 | |
CN109217822B (zh) | 振动器件、电子设备和移动体 | |
CN109217823B (zh) | 振动器件、电子设备和移动体 | |
US11018645B2 (en) | Oscillator, electronic apparatus and vehicle | |
JP6946743B2 (ja) | 物理量測定装置、電子機器及び移動体 | |
JP6897314B2 (ja) | 集積回路装置、電子機器及び移動体 | |
JP2018056673A (ja) | 回路装置、物理量測定装置、電子機器及び移動体 | |
US20190326855A1 (en) | Circuit device, oscillator, electronic apparatus, and vehicle | |
JP7367350B2 (ja) | 回路装置、発振器、電子機器及び移動体 | |
JP2020039102A (ja) | 回路装置、発振器、電子機器及び移動体 | |
JP2018056676A (ja) | 回路装置、物理量測定装置、電子機器及び移動体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200526 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200526 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210316 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210330 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210519 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210608 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210712 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211214 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211227 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7009813 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |