JP7008295B2 - 発光装置およびプロジェクター - Google Patents
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Description
基体と、
前記基体に設けられ電流が注入されることで発光可能な複数の柱状部、および隣り合う前記柱状部の間に設けられ前記柱状部において生じた光を伝搬させる光伝搬層を有する発光部と、
前記発光部の側壁に設けられ、前記光伝搬層の屈折率よりも低い屈折率を有する低屈折率部と、
を含む。
前記柱状部は、
第1半導体層と、
前記第1半導体層と導電型の異なる第2半導体層と、
前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に設けられ、電流が注入されることで発光可能な発光層と、
を有してもよい。
前記光伝搬層の屈折率は、前記発光層の屈折率よりも低くてもよい。
前記低屈折率部の表面に設けられた金属層を含んでもよい。
前記第1半導体層は、前記基体と前記発光層との間に設けられ、
前記金属層は、前記第2半導体層と電気的に接続された配線に接続されていてもよい。
前記低屈折率部は、前記発光部を囲んで設けられていてもよい。
前記低屈折率部は、分布ブラッグ反射器であってもよい。
前記発光部に対応して設けられたトランジスターを含んでもよい。
前記発光部は、アレイ状に設けられていてもよい。
本発明に係る発光装置を含む。
1.1. 発光装置
まず、第1実施形態に係る発光装置について、図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る発光装置100を模式的に示す平面図である。図2は、第1実施形態に係る発光装置100を模式的に示す図1のII-II線断面図である。図3は、第1実施形態に係る発光装置100を模式的に示す図1のIII-III線断面図である。図4は、第1実施形態に係る発光装置100の回路図である。なお、図1~図3および後述する図5,6では、互いに直交する3軸として、X軸、Y軸、およびZ軸を図示している。
次に、第1実施形態に係る発光装置100の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図7~図9は、第1実施形態に係る発光装置100の製造工程を模式的に示す断面図である。
1.3.1. 第1変形例
次に、第1実施形態の第1変形例に係る発光装置について、図面を参照しながら説明する。図10は、第1実施形態の第1変形例に係る発光装置110を模式的に示す断面図である。なお、図10では、互いに直交する3軸として、X軸、Y軸、およびZ軸を図示している。
次に、第1実施形態の第2変形例に係る発光装置について、図面を参照しながら説明する。図11は、第1実施形態の第2変形例に係る発光装置110を模式的に示す断面図である。
2.1. 発光装置
次に、第2実施形態に係る発光装置について、図面を参照しながら説明する。図12は、第2実施形態に係る発光装置200を模式的に示す断面図である。なお、図12および後述する図13では、互いに直交する3軸として、X軸、Y軸、およびZ軸を図示している。
次に、第2実施形態に係る発光装置200の製造方法について説明する。第2実施形態に係る発光装置200の製造方法は、例えば、スパッタ法や真空蒸着法などによる成膜、およびパターニングによって金属層90を形成すること以外は、上述した第1実施形態に係る発光装置100の製造方法と、基本的に同じである。したがって、その詳細な説明を省略する。
次に、第2実施形態の変形例に係る発光装置について、図面を参照しながら説明する。図14は、第2実施形態の変形例に係る発光装置210を模式的に示す平面図である。図15は、第2実施形態の変形例に係る発光装置210を模式的に示す図14のXV-XV線断面図である。なお、図14および図15では、互いに直交する3軸として、X軸、Y軸、およびZ軸を図示している。
次に、第3実施形態に係るプロジェクターについて、図面を参照しながら説明する。図15は、第3実施形態に係るプロジェクター300を模式的に示す図である。
Claims (8)
- 基体と、
前記基体に設けられ電流が注入されることで発光可能な複数の柱状部、および隣り合う前記柱状部の間に設けられ前記柱状部において生じた光を伝搬させる光伝搬層を有する発光部と、
前記発光部の側壁に設けられ、前記光伝搬層の屈折率よりも低い屈折率を有する低屈折率部と、
を含み、
前記柱状部は、
第1半導体層と、
前記第1半導体層と導電型の異なる第2半導体層と、
前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に設けられ、電流が注入されることで発光可能な発光層と、
を有し、
前記柱状部と前記低屈折率部との間に、前記光伝搬層が設けられ、
前記発光部は、前記第1半導体層と前記発光層との積層方向に沿う方向に光を射出し、
前記光伝搬層と前記低屈折率部とは、互いに接しており、
前記低屈折率部の前記積層方向における厚みは、前記光伝搬層と前記低屈折率部とが接する側面から遠ざかるにつれて漸減し、
前記低屈折率部は、前記光伝搬層と反対側に、前記積層方向と平行ではない側面を有し、
前記積層方向と平行ではない前記側面に、金属層が設けられている、発光装置。 - 請求項1において、
前記光伝搬層の屈折率は、前記発光層の屈折率よりも低い、発光装置。 - 請求項1または2において、
前記第1半導体層は、前記基体と前記発光層との間に設けられ、
前記金属層は、前記第2半導体層と電気的に接続された配線に接続されている、発光装置。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記低屈折率部は、前記発光部を囲んで設けられている、発光装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記低屈折率部は、分布ブラッグ反射器である、発光装置。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記発光部に対応して設けられたトランジスターを含む、発光装置。 - 請求項1ないし6のいずれか1項において、
前記発光部は、アレイ状に設けられている、発光装置。 - 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の発光装置を含む、プロジェクター。
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