JP2008147623A - フォトニック結晶を用いた構造体、及び面発光レーザ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 高屈折率である第1の部材1010に複数の孔が周期的に配列されているフォトニック結晶層1000と、低屈折率である第2の部材1020とを有する構造体であって、第1の部材1010の上には第3の部材1015が形成されている。この第3の部材1015の屈折率は、1.0よりも大きく、また第1の部材1000が有する屈折率よりも低い。そして、フォトニック結晶層1000に設けられている孔の深さは、第1の部材1010の厚さの20%以上80%以下である。
【選択図】 図2
Description
OPTICS EXPRESS,vol.13,No.17,6564(2005)
本実施形態に係る構造体について、図1、及び図2を用いて説明する。なお、図2は、図1におけるa−a’面での断面図である。
第1の部材が有する第1の屈折率n1としては、例えば1.2から4.0の範囲である。具体的な材料としては、Si、SiO2、SiN、GaAs、AlxGa1−xAs、GaN、AlxGa1−xN、InPなどである。
a=500nm
t=750nm
r=(a)0.08a、(b)0.10a、(c)0.12a、(d)0.14a
n1=3.446(例えば、材料Al0.5Ga0.5Asである。)n2=3.200(例えば、材料Al0.8Ga0.2Asである。)
ここで、aはフォトニック結晶層の格子定数(四角格子の周期に該当する。)、tは前記第1の部材(スラブ)の厚さ、rはフォトニック結晶層に設けられている孔の半径、n1は第1の部材の屈折率、n2は第2の部材(クラッド層)の屈折率である。なお、この計算において、第1の部材の上には第3の部材は設けられていない。
本実施形態に係る垂直共振器型面発光レーザ(VCSEL:Vertical Cavity Surface Emitting Laser)に関して説明する。図5は、VCSELの構成に関して、その断面図を模式的に示したものである。
活性層5900は、例えばGaInP/AlGaInP、GaN/InGaNなどの材料を用いた多重量子井戸構造である。
本実施形態に係るDFB型レーザ(Distributed Feed−Back Laser)に関する面発光レーザに関して説明する。図14は、DFBレーザの構成に関して、その断面図を模式的に示したものである。
実施例1では、本発明を適用して構成した2次元フォトニック結晶ミラーについて説明する。図10(d)に、本実施例におけるミラーの構成を示す。
実施例2では、本発明を適用して構成した面発光レーザ(VCSEL)について説明する。図12に、本実施例における面発光レーザの構成を示す。
1010 第1の部材
1015 第3の部材
1016 孔
1017 第3の部材
1020 第2の部材
5000 下部反射ミラー
5020 上部クラッド層
5050 基板
5900 活性層
6000 クラッド層
8000 サファイア基板
8030 核形成層
8050 フォトニック結晶層
Claims (9)
- フォトニック結晶層を有する構造体であって、
第1の屈折率(n1)を有する第1の部材に複数の孔が周期的に配列されているフォトニック結晶層と、
前記第1の屈折率よりも低い第2の屈折率(n2)を有し、前記フォトニック結晶層に隣接している第2の部材と、
1.0よりも大きく、前記第1の屈折率よりも低い第3の屈折率(n3)を有し、前記第1の部材の上に形成されている第3の部材とを備え、
前記第1の屈折率と第2の屈折率との比屈折率差(=(n1−n2)/n1)が0.10以下であり、かつ、
前記フォトニック結晶層に設けられている前記孔の深さは、該第1の部材の厚さの20%以上80%以下であることを特徴とする構造体。 - 前記第3の部材が、前記フォトニック結晶層に形成されている前記孔に充填されていることを特徴とする請求項1に記載の構造体。
- 前記第3の部材が、前記フォトニック結晶層の上に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の構造体。
- 前記フォトニック結晶層の面内方向に導波した光が、該フォトニック結晶層の外に取り出されることを特徴とする請求項1に記載の構造体。
- 面発光レーザであって、
請求項1に記載の構造体を含み構成される第1の反射ミラーと、
前記第1の反射ミラーと対向して配置されている第2の反射ミラーと、
前記第1の反射ミラーと前記第2の反射ミラーとの間に配置されている活性層とを有することを特徴とする面発光レーザ。 - 前記第2の反射ミラーは請求項1に記載の構造体を含み構成されていることを特徴とする請求項5に記載の面発光レーザ。
- 面発光レーザであって、
請求項1に記載の構造体を含み構成される光共振層と、
前記光共振層に光を入射させることのできる位置に配置されている活性層とを有することを特徴とする面発光レーザ。 - 前記活性層は、前記光共振層の上に形成されていることを特徴とする請求項7に記載の面発光レーザ。
- 前記活性層は、前記光共振層の内部に配置されていることを特徴とする請求項7に記載の面発光レーザ。
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