JP7008236B2 - パワーモジュール用基板及びその製造方法 - Google Patents
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Description
ところが、セラミックス基板に銅等の金属を接合して回路層を形成する場合、例えば、セラミックス基板に回路層となる銅(Cu)板を接合する場合、通常、Ag-Cu-Ti系等の活性金属ろう材を用いて800℃以上の温度で加熱することが必要となる。このような温度域で加熱した場合、銅の結晶粒が加熱前よりも粗大化する。このため、パワーモジュール用基板(回路層)を介して回路層と半導体素子との接合界面(はんだ接合部)を超音波探査映像装置により検査する際に、回路層での超音波の反射が大きくなり、検査精度を低下させることが問題となっている。
一方、第1回路層領域の周辺の第2回路層領域は、第1回路層領域よりも平均結晶粒径を大きくしているので、第1回路層領域よりも第2回路層領域の表面の表面粗度(表面粗さ)を大きく設けることができる。回路層上に素子を実装したパワーモジュールを樹脂封止する際には、回路層の周縁に配置される角部に応力が集中しやすいので、周縁に配置される第2回路層領域の表面粗度を大きく設けておくことで、モールド樹脂を回路層の周縁に強固に固定でき、モールド樹脂と回路層との密着性を良好に確保できる。
図1は、本発明の第1実施形態のパワーモジュール用基板の製造方法により製造されるパワーモジュール用基板10を用いたパワーモジュール101を示している。このパワーモジュール101は、パワーモジュール用基板10と、パワーモジュール用基板10の表面に搭載された半導体素子等の素子91とを備え、素子91とパワーモジュール用基板10とがエポキシ樹脂等からなるモールド樹脂81により樹脂封止されたものである。このパワーモジュール101は、パワーモジュール101の露出面(パワーモジュール用基板10の露出面)をヒートシンク(図示略)等の表面に押し付けて固定された状態で使用される。
セラミックス基板11は、AlN(窒化アルミニウム)、Al2O3(アルミナ)、Si3N4(窒化ケイ素)等のセラミックス材料により形成される。
なお、図1の符号92は、素子91を固着するはんだ材等の接合層を示しており、素子91が搭載される領域とは、この接合層92の形成領域までを含むものとする。
第1回路層領域121の平均結晶粒径を上記範囲内に調整することにより、回路層12における超音波の反射を低減でき、回路層12を介して行う超音波探査映像装置(SAT)による検査精度を良好に確保できる。一方、回路層12上に素子91を実装したパワーモジュール101を樹脂封止する際には、回路層12の周縁に配置される角部に応力が集中しやすいことから、周縁に配置される第2回路層領域122の表面粗度を大きく設けておくことで、モールド樹脂81を回路層12の周縁に強固に固定できる。したがって、超音波探査映像装置による検査精度と、樹脂封止時の密着性との双方を、良好に確保できる。なお、樹脂封止時の密着性を確実に確保するためには、第1回路層領域121を回路層12の周縁から0.5mm以上内側の領域に形成し、第2回路層領域122の形成領域を確保することが望ましい。
なお、図1等では、金属層13が回路層12と同じ平面積で形成されているが、金属層13は回路層12と異なる平面積としてもよい。
また、前述した第1実施形態では、金属層13が第1金属層領域131と第2金属層領域132とを備える構成とされていたが、図5に示す第3実施形態のパワーモジュール用基板30のように、金属層33を第1金属層領域131のみで構成してもよい。
なお、第2実施形態及び第3実施形態において、第1実施形態と共通要素には同一符号を付して説明を省略する。
例えば、上記実施形態では、素子91の片面(下部電極部)をパワーモジュール用基板10の回路層12に搭載していたが、図6に示すパワーモジュール102のように、素子91の両面にパワーモジュール用基板10をそれぞれ配置する構成とすることにより、両面冷却構造とすることも可能である。
例えば、アルミニウムの鋳塊を所望の板厚まで圧延する圧延工程における1パス当たりの圧下率を調整することで、平均結晶粒径を制御できる。具体的には、1パス当たりの圧下率を大きくすると、平均結晶粒径を大きくできる。そして、このように平均結晶粒径が調整された圧延材を用いることで、第1回路層領域と第2回路層領域とで平均結晶粒径が異なる回路層を有するパワーモジュール用基板を容易に製造できる。
実施例1-1~1-3及び2-1~2-3では、回路層は、素子が搭載される第1回路層領域を、それ以外の第2回路層領域よりも平均結晶粒径を小さくして形成した。一方、比較例1-1~1-2及び2-1~2-2では、回路層を第1回路層領域と第2回路層領域とに区別することなく、一律の平均結晶粒径を有する金属板により形成した。また、比較例1-3及び比較例2-3では、素子が搭載される第1回路層領域を、それ以外の第2回路層領域よりも平均結晶粒径を大きくして形成した。
次いで、各パワーモジュール用基板の回路層(第1回路層領域)の表面に素子をはんだ材(Sn‐Cu系はんだ材)により接合し、パワーモジュールを製造した。そして、得られたパワーモジュールについて、回路層を介さない素子側と、回路層を介したパワーモジュール用基板側と、の双方からはんだ接合層を検査し、はんだ接合層中のボイド面積率を測定した。また、得られたパワーモジュールの素子とパワーモジュール用基板とを樹脂封止し、樹脂と回路層との密着性を評価した。なお、樹脂はエポキシ樹脂を用い、トランスファーモールドによって樹脂封止を行った。
回路層(第1回路層領域及び第2回路層領域)表面の表面粗さ(Ra)測定は、サーフテスター(Mitutoyo社製SJ-410)を用いて実施した。結果を表1及び表2に示す。
得られたパワーモジュールに対し、超音波探査映像装置(SAT、日立エンジニアリング・アンド・サービス社製ES5000)を用いて、回路層と素子との接合界面(はんだ接合層)を観察した。回路層と素子との接合界面の観察は、回路層を介したパワーモジュール用基板側と、回路層を介さない素子側との双方から行い、超音波探査映像装置により観察されるボイドの直径を各方向から測定した。ボイドの直径は、観察されたボイドの面積から、同じ面積を持つ円の直径を算出し、この円相当径をボイドの直径とした。なお、1つの接合界面内に複数のボイドが有る場合には、各ボイドの直径の平均値(平均直径)を算出した。また、素子側から観察した際のボイドの平均直径D1と、パワーモジュール用基板側から観察した際のボイドの平均直径D2と、の比率(D1/D2)×100[%]を算出した。
プリンカップ試験により、モールド樹脂とパワーモジュール用基板との密着性を評価した。プリンカップ試験は、樹脂‐金属接合特性評価試験方法の国際規格ISO19095‐1~4に準拠して行った。具体的には、パワーモジュール用基板の回路層の表面にプリンカップ形状の樹脂を形成し、その樹脂のせん断剥離強度試験を実施した。そして、得られたせん断剥離強度が15MPa以上の場合を、モールド樹脂とパワーモジュール用基板との密着性が良好「○」とし、せん断剥離強度が15MPa未満の場合を否「×」と評価した。結果を表3及び表4に示す。
11 セラミックス基板
12 回路層
13,33 金属層
81 モールド樹脂
91 素子
92 接合層
101,102 パワーモジュール
121 第1回路層領域
122 第2回路層領域
131 第1金属層領域
132 第2金属層領域
221a,221b 第1金属材
222a,222b 第2金属材
223 矩形孔
224 ろう接合材
251 回路層用積層体
252 金属層用積層体
Claims (5)
- セラミックス基板と該セラミックス基板の一方の面に形成された銅又はアルミニウムからなる回路層とを備え、
前記回路層は、素子が搭載される第1回路層領域と該第1回路層領域の周囲を囲むように配置された第2回路層領域とを備え、
前記第1回路層領域の平均結晶粒径が、前記第2回路層領域の平均結晶粒径よりも小さく設けられていることを特徴とするパワーモジュール用基板。 - 前記セラミックス基板の他方の面に前記回路層と同じ金属からなる金属層を備え、
前記金属層は少なくとも前記第1回路層領域に対向して配置される第1金属層領域を備え、
前記第1金属層領域が前記第1回路層領域と同じ平均結晶粒径に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール用基板。 - 前記回路層が銅のとき、前記第1回路層領域の平均結晶粒径が250μm未満であることを特徴とする請求項1又は2に記載のパワーモジュール用基板。
- 前記回路層がアルミニウムのとき、前記第1回路層領域の平均結晶粒径が375μm未満であることを特徴とする請求項1又は2に記載のパワーモジュール用基板。
- セラミックス基板の一方の面に回路層となる金属板を接合して前記セラミックス基板に前記回路層を形成する回路層形成工程を有しており、
前記回路層のうち、素子が搭載される第1回路層領域となる第1金属材として、前記第1回路層領域を除いた第2回路層領域となる第2金属材よりも加熱による結晶粒の粗大化が抑制された結晶粒抑制材を用意しておき、
前記回路層形成工程において、前記第1金属材と前記第2金属材とをろう接合材を介して隣接させて配置するとともに、これらの前記第1金属材と前記ろう接合材と前記第2金属材との回路層用積層体を前記ろう接合材と同じろう接合材を介して前記セラミックス基板の一方の面に重ねて配置した状態で、前記セラミックス基板と前記回路層用積層体との積層方向に加圧して加熱することにより、前記第1金属材と前記第2金属材とを接合するとともに、前記第1金属材と前記第2金属材とを前記セラミックス基板に接合して、前記セラミックス基板の一方の面に前記第1回路層領域と前記第2回路層領域とを有する前記回路層を形成することを特徴とするパワーモジュール用基板の製造方法。
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