JP7001773B2 - Vertical test equipment and its sheet probe - Google Patents

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Description

本発明はプローブヘッドに関し、特に垂直型テスト装置及びそのシート状プローブに関する。 The present invention relates to a probe head, and more particularly to a vertical test apparatus and a sheet-shaped probe thereof.

既存の垂直型テスト装置は、複数の基板及び、該複数の基板を挿通した複数の導電探針を含む。かつ、パーティションに関して反対側に設けられる２つの基板要素の位置ずれにより、各導電探針が位置決められる。その場合、各導電探針が変形されて彎曲部が形成されることになる。それにより、前記導電探針でテストを行うために必要な弾性移動量を提供することができる。それで、既存の垂直型テスト装置における導電探針は、埋込やメンテナンス、交換が容易ではないため、生産コストやメンテナンスコストの低減が困難である。 The existing vertical test apparatus includes a plurality of substrates and a plurality of conductive probes inserted through the plurality of substrates. In addition, each conductive probe is positioned by the misalignment of the two substrate elements provided on opposite sides of the partition. In that case, each conductive probe is deformed to form a curved portion. Thereby, it is possible to provide the amount of elastic movement required for performing the test with the conductive probe. Therefore, the conductive probe in the existing vertical test apparatus is not easy to embed, maintain, and replace, so that it is difficult to reduce the production cost and the maintenance cost.

本発明に係る実施形態は、既存の垂直テスト装置の導電性プローブの潜在的な欠陥を効果的に改善できる垂直型テスト装置及びそのシート状プローブを提供する。 An embodiment of the present invention provides a vertical test device and a sheet-shaped probe thereof that can effectively improve potential defects of the conductive probe of the existing vertical test device.

本発明に係る実施形態は、互いに対応的に配置される第１の基板要素及び第２の基板要素と、複数のシート状プローブとを具備する垂直型テスト装置を開示している。なかでも、前記第１の基板要素は、２つ第１の基板を備え、かつ、２つの前記第１の基板のそれぞれに、複数の第１の長孔が形成される。各前記第１の長孔は長さ方向に平行する。なかでも、一方の前記第１の基板における複数の前記第１の長孔は、前記長さ方向に垂直する高さ方向に沿って、他方の前記第１の基板における複数の前記第１の長孔とそれぞれ対応して配置される。複数のシート状プローブの両端部はそれぞれ、前記第１の基板要素及び前記第２の基板要素を挿通し、かつ、各前記シート状プローブには、シート本体、第１の接触部、進退部、及び第２の接触部が含まれている。シート本体は、前記第１の基板のそれぞれに穿設され互いに対応的に配置される２つの前記第１の長孔に挿入して配置されると共に、２つの前記第１の基板で挟持される。なかでも、前記シート本体が前記長さ方向に所定の長さを有し、前記シート本体が前記長さ方向と前記高さ方向に垂直する厚さ方向に所定の厚さを有し、前記所定の長さを前記厚さで割った比の値は２５～８５である。第１の接触部は、前記シート本体の上縁から延伸して形成されるものである。かつ、前記第１の接触部は２つの前記第１の基板から露出する。進退部は、前記シート本体の下縁から前記シート本体から離れる方向に向かって彎曲して形成されるものである。かつ、前記進退部が前記長さ方向にける延在距離は、前記所定の長さの２倍以下である。なかでも、前記進退部は、前記第１の基板要素と前記第２の基板要素との間に介在する。また、前記進退部は、外力を抵抗する回復弾性力を有する。第２の接触部は、前記進退部における前記シート本体から離れた端部から前記高さ方向に沿って延伸して形成されるものである。かつ、前記第２の接触部は、前記第２の基板要素を挿通している。 An embodiment of the present invention discloses a vertical test apparatus including a first substrate element and a second substrate element arranged so as to correspond to each other, and a plurality of sheet-shaped probes. Among them, the first substrate element includes two first substrates, and a plurality of first elongated holes are formed in each of the two first substrates. Each of the first elongated holes is parallel to the length direction. Among them, the plurality of the first elongated holes in the one substrate have the plurality of first lengths in the other substrate along the height direction perpendicular to the length direction. Arranged corresponding to each hole. Both ends of the plurality of sheet-shaped probes are inserted with the first substrate element and the second substrate element, respectively, and each of the sheet-shaped probes has a sheet body, a first contact portion, an advancing / retreating portion, and the like. And a second contact part is included. The sheet body is inserted and arranged in the two first elongated holes which are formed in each of the first substrates and are arranged so as to correspond to each other, and is sandwiched between the two first substrates. .. Among them, the sheet body has a predetermined length in the length direction, and the sheet body has a predetermined thickness in the thickness direction perpendicular to the length direction and the height direction. The value of the ratio of the length divided by the thickness is 25 to 85. The first contact portion is formed by extending from the upper edge of the sheet body. Moreover, the first contact portion is exposed from the two first substrates. The advancing / retreating portion is formed by bending from the lower edge of the sheet body toward the direction away from the sheet body. Moreover, the extending distance that the advancing / retreating portion makes in the length direction is twice or less the predetermined length. Above all, the advancing / retreating portion is interposed between the first substrate element and the second substrate element. Further, the advancing / retreating portion has a recovery elastic force that resists an external force. The second contact portion is formed by extending from the end portion of the advancing / retreating portion away from the sheet body along the height direction. Moreover, the second contact portion inserts the second substrate element.

本発明に係る実施形態は、シート本体、第１の接触部、進退部及び第２の接触部を備えるシート状プローブをさらに開示している。シート本体が長さ方向に所定の長さを有し、前記シート本体が前記長さ方向に垂直する厚さ方向に所定の厚さを有し、かつ、前記所定の長さを前記厚さで割った比の値は２５～８５である。第１の接触部は、前記シート本体の上縁から延伸して形成されたものである。進退部は、前記シート本体の下縁から前記シート本体から離れる方向に向かって彎曲して形成されたものである。かつ、前記進退部における前記長さ方向に沿う延在距離は、前記所定の長さの２倍以下である。なかでも、前記進退部は外力に抵抗する回復弾性力を有する。第２の接触部は、前記進退部における前記シート本体から離れた端部から前記高さ方向に沿って延伸して形成されるものである。 The embodiment according to the present invention further discloses a sheet-shaped probe including a sheet body, a first contact portion, an advancing / retreating portion, and a second contact portion. The sheet body has a predetermined length in the length direction, the sheet body has a predetermined thickness in the thickness direction perpendicular to the length direction, and the predetermined length has the predetermined thickness. The value of the divided ratio is 25-85. The first contact portion is formed by extending from the upper edge of the sheet body. The advancing / retreating portion is formed by bending from the lower edge of the sheet body toward the direction away from the sheet body. Moreover, the extending distance along the length direction of the advancing / retreating portion is not more than twice the predetermined length. Above all, the advancing / retreating portion has a recovery elastic force that resists an external force. The second contact portion is formed by extending from the end portion of the advancing / retreating portion away from the sheet body along the height direction.

前記を踏まえて、本発明に係る実施形態が開示する垂直型テスト装置及びそのシート状プローブは、シート本体によって第１の基板要素に位置決められるので、前記進退部では、第１の基板要素と第２の基板要素との位置ずれに頼らなくても前記シート状プローブのテストに必要な弾性移動量を提供することができる。それで、前記垂直型テスト装置による前記シート状プローブの挿入およびメンテナンスが容易になり、製造コストおよびメンテナンスコストを低減することができる。 Based on the above, the vertical test apparatus and the sheet-shaped probe thereof disclosed in the embodiment of the present invention are positioned on the first substrate element by the sheet body, and therefore, in the advancing / retreating portion, the first substrate element and the first substrate element are used. It is possible to provide the amount of elastic movement required for testing the sheet-shaped probe without relying on the positional deviation from the substrate element of 2. Therefore, the insertion and maintenance of the sheet-shaped probe by the vertical test apparatus can be facilitated, and the manufacturing cost and the maintenance cost can be reduced.

本発明に係る実施形態の垂直型テスト装置を示す斜視模式図である。It is a perspective schematic diagram which shows the vertical type test apparatus of embodiment which concerns on this invention. 本発明に係る実施形態のシート状プローブを示す斜視模式図である。It is a perspective schematic diagram which shows the sheet-like probe of the embodiment which concerns on this invention. 本発明に係る実施形態の垂直型テスト装置を示す断面模式図である。It is sectional drawing which shows the vertical type test apparatus of embodiment which concerns on this invention. 図２におけるシート状プローブの別の実施形態を示す斜視模式図である。FIG. 3 is a schematic perspective view showing another embodiment of the sheet-shaped probe in FIG. 2. 図４におけるシート状プローブのさらに別の実施形態を示す斜視模式図である。FIG. 3 is a schematic perspective view showing still another embodiment of the sheet-shaped probe in FIG. 4. 本発明に係る第２の実施形態の垂直型テスト装置を示す断面模式図である。It is sectional drawing which shows the vertical type test apparatus of 2nd Embodiment which concerns on this invention. 図６における垂直型テスト装置の下面模式図である。It is a lower side schematic diagram of the vertical type test apparatus in FIG. 図６における垂直型テスト装置で探針の埋め込みを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the embedding of a probe in the vertical type test apparatus in FIG. 本発明に係る第３の実施形態の垂直型テスト装置を示す斜視模式図である。It is a perspective schematic diagram which shows the vertical type test apparatus of 3rd Embodiment which concerns on this invention. 本発明に係る第４の実施形態の垂直型テスト装置を示す斜視模式図である。It is a perspective schematic diagram which shows the vertical type test apparatus of 4th Embodiment which concerns on this invention. 図１０における垂直型テスト装置を示す下面模式図である。It is a lower side schematic diagram which shows the vertical type test apparatus in FIG.

［第１の実施形態］
図１乃至図５を参照されたい。図１～図５は、本発明に係る第１の実施形態である。本実施形態に公開された垂直型テスト装置１０００は、プローブヘッド１００と、該プローブヘッド１００（ｐｒｏｂｅ ｈｅａｄ）の一方側（例えば、図１におけるプローブヘッド１００に上側）に当接するアダプタープレート２００（ｓｐａｃｅ ｔｒａｎｓｆｏｒｍｅｒ）とを含む。かつ、前記プローブヘッド１００の他方側（図１におけるプローブヘッド１００の下側）は、テスト対象物（ｄｅｖｉｃｅ ｕｎｄｅｒ ｔｅｓｔ，ＤＵＴ）を当接するためのものであり、図示されないが、テスト対象物としては、例えば、半導体ウエハーが挙げられる。 [First Embodiment]
See FIGS. 1-5. 1 to 5 are the first embodiment of the present invention. The vertical test apparatus 1000 disclosed in the present embodiment has an adapter plate 200 (space) that abuts on the probe head 100 and one side of the probe head 100 (for example, the upper side of the probe head 100 in FIG. 1). Includes "transformer". The other side of the probe head 100 (lower side of the probe head 100 in FIG. 1) is for abutting a test object (device semiconductor test, DUT), and although not shown, the test object is not shown. For example, a semiconductor wafer can be mentioned.

本実施形態を理解しやすく、前記垂直型テスト装置１０００の各素子構成と連接関係を便宜上に示すために、図面では前記垂直型テスト装置１０００の局部構造のみを呈するが、本発明は図面の例に制限されないことが説明しておきたい。以下、前記プローブヘッド１００の各素子構成及びそれらの連接関係についてそれぞれ説明を行う。 In order to make the present embodiment easy to understand and to show the element configuration and the connection relationship of the vertical test apparatus 1000 for convenience, only the local structure of the vertical test apparatus 1000 is shown in the drawings, but the present invention is an example of the drawings. I would like to explain that you are not limited to. Hereinafter, each element configuration of the probe head 100 and its connection relationship will be described.

前記プローブヘッド１００は、第１の基板要素１と、前記第１の基板要素１と間隔をあけて配置される第２の基板要素２と、前記第１の基板要素１と前記第２の基板要素２との間に位置される複数のガスケット３と、複数の前記ガスケット３により、前記第１の基板要素１と前記第２の基板要素２との間に挟持されたパーティション４と、両端部がそれぞれ前記第１の基板要素１及び前記第２の基板要素２を挿通した複数のシート状プローブ５と、を含む。 The probe head 100 includes a first substrate element 1, a second substrate element 2 arranged at a distance from the first substrate element 1, the first substrate element 1, and the second substrate. A plurality of gaskets 3 located between the elements 2 and a partition 4 sandwiched between the first substrate element 1 and the second substrate element 2 by the plurality of gaskets 3, and both ends. Includes a plurality of sheet-like probes 5 through which the first substrate element 1 and the second substrate element 2 are inserted, respectively.

本実施形態において、前記第１の基板要素１と前記第２の基板要素２は互いに対応的に配置されると共に、前記プローブヘッド１００は、前記第１の基板要素１及び前記第２の基板要素２以外のいずれの基板要素も含んでいないことをまず説明しておきたい。また、本実施形態において、前記シート状プローブ５は、上述した素子（例えば、第１の基板要素１、第２の基板要素２）と合わせて説明することになるが、前記シート状プローブ５は、別の素子と合わせたり、独立に使ったり（例えば、販売）してもよい。 In the present embodiment, the first substrate element 1 and the second substrate element 2 are arranged so as to correspond to each other, and the probe head 100 has the first substrate element 1 and the second substrate element. First, I would like to explain that it does not include any board elements other than 2. Further, in the present embodiment, the sheet-shaped probe 5 will be described together with the above-mentioned elements (for example, the first substrate element 1 and the second substrate element 2), but the sheet-shaped probe 5 is described. , May be combined with another element or used independently (eg, sold).

なかでも、前記第１の基板要素１は、２つの第１の基板１１、及び２つの前記第１の基板１１の間に挟持された増高板１２を含む。２つの前記第１の基板１１のそれぞれには、複数の第１の長孔１１１が形成され、各前記第１の長孔１１１（の延在方向）は、長さ方向Ｌに平行する。なかでも、一方の前記第１の基板１１における複数の前記第１の長孔１１１は、前記長さ方向Ｌと垂直する高さ方向Ｈに沿って、他方の前記第１の基板１１における複数の前記第１の長孔１１１と対応するように配置される。本実施形態において、いずれか１つの前記第１の長孔１１１は長方形に形成されたが、本発明はこの例に制限されない。 Among them, the first substrate element 1 includes two first substrates 11 and a heightened plate 12 sandwiched between the two first substrates 11. A plurality of first elongated holes 111 are formed in each of the two first elongated substrates 11, and each of the first elongated holes 111 (in the extending direction) is parallel to the length direction L. Among them, the plurality of the first elongated holes 111 in the one first substrate 11 are a plurality of the plurality in the other first substrate 11 along the height direction H perpendicular to the length direction L. It is arranged so as to correspond to the first elongated hole 111. In the present embodiment, any one of the first elongated holes 111 is formed in a rectangular shape, but the present invention is not limited to this example.

前記増高板１２は環状に形成されてもよい。また、前記増高板１２は２つの前記第１の基板１１における互いに対向した外縁の一部によって挟持されるように構成される。それにより、２つの前記第１の基板１１は互いに間隔をあけて平行に配置されるが、本発明はこの例に制限されない。例えば、本発明に係る図示されない別の実施形態において、増高板１２を省略して、２つの前記第１の基板１１における互いに対向する外縁のそれぞれに突出部を配置し、それらの突出部を互いに当接するように構成されてもよい。 The heightened plate 12 may be formed in an annular shape. Further, the heightened plate 12 is configured to be sandwiched by a part of outer edges facing each other in the two first substrates 11. Thereby, the two first substrates 11 are arranged in parallel with each other spaced apart from each other, but the present invention is not limited to this example. For example, in another embodiment (not shown) according to the present invention, the heightening plate 12 is omitted, and protrusions are arranged on each of the outer edges of the two first substrates 11 facing each other, and the protrusions are formed. It may be configured to abut against each other.

本実施形態において、前記第２の基板要素２は、単一の基板として形成され、かつ、それに複数の第２の穿孔２１が形成されている。複数の前記第２の穿孔２１はそれぞれ複数の前記第１の長孔１１１（例えば、本実施形態において、各前記第２の穿孔２１は対応的な前記第１の長孔１１１の直下方に位置されるが、本発明はこの例に制限されない。）に対応して位置される。かつ、各前記第１の長孔１１１のサイズは、それに対応した前記第２の穿孔２１のサイズよりも大きい。なお、本発明に係る図示されない別の実施形態において、前記第２の基板要素２は、複数の基板と、いずれか２つの隣接する基板の間に教示された増高板とを含んでもよい。 In the present embodiment, the second substrate element 2 is formed as a single substrate, and a plurality of second perforations 21 are formed therein. Each of the plurality of the second perforations 21 is a plurality of the first elongated holes 111 (for example, in the present embodiment, each of the second perforations 21 is located immediately below the corresponding first elongated hole 111. However, the present invention is not limited to this example). Moreover, the size of each of the first elongated holes 111 is larger than the size of the corresponding second perforation 21. In another embodiment (not shown) according to the present invention, the second substrate element 2 may include a plurality of substrates and a heightened plate taught between any two adjacent substrates.

複数の前記ガスケット３はそれぞれ、前記第１の基板要素１と前記第２の基板要素２との互いに隣接する表面（例えば、図３では下方にある第１の基板１１の下面、及び第２の基板要素２の上面）に配置される。かつ、複数の前記ガスケット３はそれぞれ、前記第１の基板要素１と前記第２の基板要素２との対応する外縁の一部に配置される。なかでも、いずれか１つの前記ガスケット３は、ユーザーのニーズに応じて調整でき、例えば、前記ガスケット３を選択的に外してもよい。 Each of the plurality of gaskets 3 has a surface adjacent to each other between the first substrate element 1 and the second substrate element 2 (for example, the lower surface of the first substrate 11 below in FIG. 3 and the second surface). It is arranged on the upper surface of the substrate element 2). Moreover, each of the plurality of gaskets 3 is arranged on a part of the corresponding outer edges of the first substrate element 1 and the second substrate element 2. Among them, any one of the gaskets 3 can be adjusted according to the needs of the user, and for example, the gasket 3 may be selectively removed.

さらに、前記パーティション４は環状に形成されてもよい。前記パーティション４は複数の前記ガスケット３における対向した外縁の一部によって前記第１の基板要素１と前記第２の基板要素２との間に（例えば、前記パーティション４は、前記プローブヘッド１００の縁部従って配置される）挟持されている。それにより、前記第１の基板要素１と前記第２の基板要素２は、互いに間隔をあけて平行に配置されるが、本発明はこの例に制限されない。例えば、本発明に係る図示されない別の実施形態において、パーティション４を省略して、前記第１の基板要素１と第２の基板要素２のそれぞれにおける外縁部の位置に、互いに当接する突出部を配置するように構成されてもよい。それにより、前記プローブヘッド１００の前記パーティション４を省略し、又は別の素子と交換してもよい。前記パーティション４は、本発明の改善ポイントとの関連性が強くないため、前記パーティション４の詳細についてはここで省略する。 Further, the partition 4 may be formed in a ring shape. The partition 4 is between the first substrate element 1 and the second substrate element 2 by a part of the opposite outer edges of the plurality of gaskets 3 (for example, the partition 4 is the edge of the probe head 100). It is sandwiched (placed according to the partition). Thereby, the first substrate element 1 and the second substrate element 2 are arranged in parallel with a distance from each other, but the present invention is not limited to this example. For example, in another embodiment (not shown) according to the present invention, the partition 4 is omitted, and protrusions that abut against each other are provided at the positions of the outer edges of the first substrate element 1 and the second substrate element 2. It may be configured to be placed. Thereby, the partition 4 of the probe head 100 may be omitted or replaced with another element. Since the partition 4 is not strongly related to the improvement points of the present invention, the details of the partition 4 will be omitted here.

複数の前記シート状プローブ５の一方端は、それぞれ前記第１の基板要素１における２つの前記第１の基板１１の複数の前記第１の長孔１１１を挿通して、かつ、複数の前記シート状プローブ５の他方端は、それぞれ前記第２の基板要素２における複数の第２の穿孔２１を挿通する。さらに言えば、各前記シート状プローブ５の一部（例えば、下記進退部５４）は、前記第１の基板要素１と前記第２の基板要素２との間に位置される。なかでも、本実施形態において、前記シート状プローブ５は、導電性のあるワンピース構造である。かつ、前記シート状プローブ５が微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）技術により製造されたものであってもよいが、本発明はこの例に制限されない。 One end of each of the plurality of sheet-shaped probes 5 is inserted through the plurality of the first elongated holes 111 of the two first substrates 11 in the first substrate element 1, and the plurality of the sheets are formed. The other end of the shape probe 5 inserts a plurality of second perforations 21 in the second substrate element 2, respectively. Furthermore, a part of each sheet-shaped probe 5 (for example, the following advancing / retreating portion 54) is located between the first substrate element 1 and the second substrate element 2. Above all, in the present embodiment, the sheet-shaped probe 5 has a conductive one-piece structure. Moreover, the sheet-shaped probe 5 may be manufactured by a microelectromechanical system (MEMS) technique, but the present invention is not limited to this example.

ところで、本実施形態の図１において、複数の前記シート状プローブ５を、前記プローブヘッド１００の一方の辺縁に沿って列に配列した例で説明したが、本実施形態において、図示されない別の部分では、複数の前記シート状プローブ５は、前記プローブヘッド１００の少なくとも２つの辺縁に沿って配列されてもよいが、さらに前記プローブヘッド１００の一方の辺縁に沿って配置された複数の前記シート状プローブ５でも少なくとも２列に配列されてもよい。即ち、複数の前記シート状プローブ５は、前記プローブヘッド１００での配列態様は、実際のニーズに応じて調整でき、本実施形態の例に制限されない。 By the way, in FIG. 1 of the present embodiment, the example in which a plurality of the sheet-shaped probes 5 are arranged in a row along one edge of the probe head 100 has been described, but in the present embodiment, another not shown. In portions, the plurality of sheet-like probes 5 may be arranged along at least two edges of the probe head 100, but may be further arranged along one edge of the probe head 100. The sheet-shaped probe 5 may also be arranged in at least two rows. That is, the arrangement of the plurality of sheet-shaped probes 5 in the probe head 100 can be adjusted according to actual needs, and is not limited to the example of the present embodiment.

本実施形態における前記プローブヘッド１００の複数の前記シート状プローブ５は実質的に同様であるため、下記は１つの前記シート状プローブ５を例として挙げられるが、本発明はこの例に制限されない。例えば、本発明に係る図示されない別の実施形態において、前記プローブヘッド１００における複数の前記シート状プローブ５は異なる構造に形成されてもよい。また、理解しやすくように、下記では、前記前記プローブヘッド１００が差込位置での状況にて前記シート状プローブ５にて、シート状プローブ５を説明する。 Since the plurality of sheet-shaped probes 5 of the probe head 100 in the present embodiment are substantially the same, the following may be given as an example of one sheet-shaped probe 5, but the present invention is not limited to this example. For example, in another embodiment (not shown) according to the present invention, the plurality of sheet-shaped probes 5 in the probe head 100 may be formed in different structures. Further, for easy understanding, the sheet-shaped probe 5 will be described below with the sheet-shaped probe 5 in a situation where the probe head 100 is in the insertion position.

前記シート状プローブ５は、シート本体５１と、前記シート本体５１の上縁から延伸して形成した第１の接触部５２と、前記シート本体５１の下縁から延伸して形成した進退部５４と、前記進退部５４の端部から延伸して形成した第２の接触部５３とを含む。詳しくは、前記シート本体５１は、対応的に２つの前記第１の長孔１１１を挿通し、前記第２の接触部５３は、対応的に前記第２の穿孔２１に挿通する。前記進退部５４は、前記シート本体５１と前記第２の接触部５３を接続する。前記第１の接触部５２は、前記第１の基板要素１の表面に露出する。別の視角から見れば、本実施形態にかかる前記第１の基板要素１に面する前記第１の接触部５２の一端（例えば、図３における第１の接触部５２の上縁）には、前記シート本体５１、前記進退部５４、及び前記第２の接触部５３が順次に形成される。 The sheet-shaped probe 5 includes a sheet body 51, a first contact portion 52 formed by extending from the upper edge of the sheet body 51, and an advancing / retreating portion 54 formed by extending from the lower edge of the sheet body 51. , A second contact portion 53 formed by extending from the end portion of the advance / retreat portion 54. Specifically, the sheet body 51 is correspondingly inserted through the two first elongated holes 111, and the second contact portion 53 is correspondingly inserted through the second perforation 21. The advancing / retreating portion 54 connects the seat body 51 and the second contact portion 53. The first contact portion 52 is exposed on the surface of the first substrate element 1. Seen from another viewing angle, one end of the first contact portion 52 facing the first substrate element 1 according to the present embodiment (for example, the upper edge of the first contact portion 52 in FIG. 3) The sheet body 51, the advancing / retreating portion 54, and the second contact portion 53 are sequentially formed.

さらに言えば、前記シート本体５１のそれぞれが、異なる前記第１の基板１１における互いに対応した２つの前記第１の長孔１１１に配置されると共に、前記シート本体５１のそれぞれが、２つの前記第１の基板１１により挟持される。即ち、前記シート本体５１は、互いに対応的に２つの前記第１の長孔１１１に配置されると共に、前記第１の基板要素１に固定されている。それで、２つの前記第１の基板１１同士が互いに平行に相対移動することで前記シート本体５１に摩擦力を生成する。それにより、前記シート状プローブ５を安定的に固定することができる。それで、前記プローブヘッド１００をさらに移動又は旋回する時、前記シート状プローブ５は脱落し難くなる。 Further, each of the sheet main bodies 51 is arranged in the two first elongated holes 111 corresponding to each other in the different first substrate 11, and each of the sheet main bodies 51 has two said first. It is sandwiched by the substrate 11 of 1. That is, the sheet body 51 is arranged in the two first elongated holes 111 corresponding to each other, and is fixed to the first substrate element 1. Therefore, the two first substrates 11 move relative to each other in parallel with each other to generate a frictional force on the sheet body 51. Thereby, the sheet-shaped probe 5 can be stably fixed. Therefore, when the probe head 100 is further moved or swiveled, the sheet-shaped probe 5 is less likely to fall off.

さらに、前記高さ方向Ｈに垂直する前記シート本体５１の断面は実質的に長方形をなしている。前記シート本体５１は、前記長さ方向Ｌに所定の長さＬ５１を有し、前記シート本体５１は、前記長さ方向Ｌと前記高さ方向Ｈと垂直する厚さ方向Ｄの所定の厚さＤ５１を有し、かつ、前記長さＬ５１を前記厚さＤ５１で割った比の値は２５～８５である。 Further, the cross section of the seat body 51 perpendicular to the height direction H is substantially rectangular. The sheet body 51 has a predetermined length L51 in the length direction L, and the sheet body 51 has a predetermined thickness in the thickness direction D perpendicular to the length direction L and the height direction H. It has a D51, and the value of the ratio of the length L51 divided by the thickness D51 is 25 to 85.

本実施形態において、例えば、図１乃至図３、又は図４ないし図５に示すように、前記厚さ方向Ｄに垂直する前記第１の接触部５２の表面は実質的にＴ字形又はＬ字形を呈する。かつ、前記第１の接触部５２は２つの前記第１の基板１１に露出するが、本発明はこの例に制限されない。例えば、本発明に係る図示されない別の実施形態において、前記第１の接触部５２は、長方形に形成されてもよい。また、前記プローブヘッド１００は、図１に示した複数のシート状プローブ５の配置パターンで、同時に図４ないし図５に示した複数のシート状プローブ５を採用すると共に、さらに第１の接触部５２を互いに離れるように配置することにより、２つの前記第１の接触部５２同士の間の距離を大きくすることで、さらに前記アダプタープレート２００の間隔配置距離を変更でき、アダプタープレート２００の製作の困難さを減少することができる。 In the present embodiment, for example, as shown in FIGS. 1 to 3 or 4 to 5, the surface of the first contact portion 52 perpendicular to the thickness direction D is substantially T-shaped or L-shaped. Present. Moreover, the first contact portion 52 is exposed to the two first substrates 11, but the present invention is not limited to this example. For example, in another embodiment (not shown) according to the present invention, the first contact portion 52 may be formed in a rectangular shape. Further, the probe head 100 adopts the plurality of sheet-shaped probes 5 shown in FIGS. 4 to 5 at the same time in the arrangement pattern of the plurality of sheet-shaped probes 5 shown in FIG. 1, and further adopts the first contact portion. By arranging the 52s so as to be separated from each other, the distance between the two first contact portions 52 can be increased, and the spacing arrangement distance of the adapter plate 200 can be further changed. Difficulty can be reduced.

即ち、前記第１の接触部５２は、前記シート本体５１一方端に近接して構成され、前記第１の接触部５２における前記長さ方向Ｌでの長さが前記シート本体５１における前記長さＬ５１よりも大きい、それにより、前記第１の接触部５２は前記第１の基板要素１の上縁（例えば、図３における第１の基板要素１の上方）に配置し得る。さらに詳しく言えば、前記第１の接触部５２は、前記第１の基板要素１における前記第２の基板要素２から離れた表面に係止され、かつ、前記第１の接触部５２の上端部が前記アダプタープレート２００に固定されている。 That is, the first contact portion 52 is configured close to one end of the sheet body 51, and the length of the first contact portion 52 in the length direction L is the length of the sheet body 51. Larger than L51, the first contact portion 52 may be located on the upper edge of the first substrate element 1 (eg, above the first substrate element 1 in FIG. 3). More specifically, the first contact portion 52 is locked to the surface of the first substrate element 1 away from the second substrate element 2, and the upper end portion of the first contact portion 52. Is fixed to the adapter plate 200.

前記進退部５４は、前記シート本体５１の下縁から前記シート本体５１から離れる方向に向かって彎曲して形成される。なかでも、前記進退部５４は、前記第１の基板要素１と前記第２の基板要素２との間に位置される。即ち、前記進退部５４は、前記パーティション４で囲まれた空間に配置される。さらに言えば、前記進退部５４における前記長さ方向Ｌでの延在距離Ｌ５４が前記長さＬ５１よりも大きい。本実施形態において、前記進退部５４における前記長さ方向Ｌに沿う前記延在距離Ｌ５４は、前記長さＬ５１の２倍以下であることが好ましいが、本発明はそれに制限されない。 The advancing / retreating portion 54 is formed by bending from the lower edge of the sheet body 51 toward a direction away from the sheet body 51. Above all, the advancing / retreating portion 54 is located between the first substrate element 1 and the second substrate element 2. That is, the advancing / retreating portion 54 is arranged in the space surrounded by the partition 4. Further, the extending distance L54 in the length direction L in the advancing / retreating portion 54 is larger than the length L51. In the present embodiment, the extending distance L54 along the length direction L in the advancing / retreating portion 54 is preferably not more than twice the length L51, but the present invention is not limited thereto.

なかでも、前記進退部５４は、湾曲部５４１を有し、かつ、前記進退部５４の湾曲部５４１は外力に抵抗し得る回復弾性力を有し、それにより、前記シート状プローブ５が動作する場合に必要な移動量を提供する。なかでも、前記高さ方向Ｈに垂直する前記湾曲部５４１の横断面は、実質的に長方形をなしており、かつ、前記湾曲部５４１の曲率半径は、前記シート本体５１から前記第２の接触部５３に向かって徐々に増加するように構成されてもよいが、本発明はこの例に制限されない。例えば、本発明に係る図示されない別の実施形態において、前記湾曲部５４１は波状のものなど、弧状構造でなくでも良い。 Among them, the advancing / retreating portion 54 has a curved portion 541, and the curved portion 541 of the advancing / retreating portion 54 has a recovery elastic force capable of resisting an external force, whereby the sheet-shaped probe 5 operates. Provide the required amount of movement in case. Above all, the cross section of the curved portion 541 perpendicular to the height direction H is substantially rectangular, and the radius of curvature of the curved portion 541 is the second contact from the sheet body 51. The invention may be configured to gradually increase towards portion 53, but the invention is not limited to this example. For example, in another embodiment (not shown) according to the present invention, the curved portion 541 may not have an arc-shaped structure such as a wavy shape.

前記第２の接触部５３は、前記進退部５４における前記シート本体５１から離れる端部（例えば、図１における前記進退部５４の下縁）から前記高さ方向Ｈに沿って延伸して形成されたものであり、前記高さ方向Ｈに垂直する前記第２の接触部５３の横断面は実質的に長方形をなしている。前記第２の接触部５３の一部が対応的に前記第２の穿孔２１に位置すると共に、前記第２の接触部５３の他の部分が前記第２の穿孔２１から伸び出し、即ち、図３における第２の基板要素２の下方に位置する。前記第２の接触部５３は、取り外し可能に前記テスト対象物に当接するために用いられる。 The second contact portion 53 is formed by extending along the height direction H from an end portion of the advancing / retreating portion 54 away from the sheet body 51 (for example, the lower edge of the advancing / retreating portion 54 in FIG. 1). The cross section of the second contact portion 53 perpendicular to the height direction H is substantially rectangular. A part of the second contact portion 53 is correspondingly located in the second perforation 21, and another portion of the second contact portion 53 extends from the second perforation 21, that is, the figure. It is located below the second substrate element 2 in 3. The second contact portion 53 is used to detachably abut the test object.

ところで、前記シート状プローブ５における前記第１の接触部５２及び前記第２の接触部５３はそれぞれそれらの用途に応じて形成されたものであるため、前記第１の接触部５２と前記第２の接触部５３とは交換する可能性はないという。例えば、本実施形態における複数の前記シート状プローブ５における前記第１の接触部５２は、前記アダプタープレート２００に固定される一方で、複数の前記シート状プローブ５における前記第２の接触部５３は、取り外し可能にテスト対象物に当接するために用いられる。そのため、該第２の接触部５３及び前記第１の接触部５２の構成は、互いに置換する動機づけはないという。 By the way, since the first contact portion 52 and the second contact portion 53 of the sheet-shaped probe 5 are formed according to their respective uses, the first contact portion 52 and the second contact portion 52 are formed. There is no possibility of replacing it with the contact portion 53 of. For example, the first contact portion 52 of the plurality of sheet-shaped probes 5 in the present embodiment is fixed to the adapter plate 200, while the second contact portion 53 of the plurality of sheet-shaped probes 5 is fixed to the adapter plate 200. , Used to detachably contact the test object. Therefore, it is said that the configurations of the second contact portion 53 and the first contact portion 52 have no motivation to replace each other.

さらに、前記シート状プローブ５が対応的な前記第１の長孔１１１に挿入する場合、各前記シート状プローブ５は、前記高さ方向Ｈに対して４５度未満の埋め込み角度で順次に前記第１の基板要素１と前記第２の基板要素２に挿入するようになってもよい。前記シート本体５１は、対応的な第１の長孔１１１に固定され、前記第２の接触部５３の一部が前記第２の穿孔２１に挿通し、かつ、前記第２の接触部５３における前記第１の接触部５２から離れる端部が前記第２の基板要素２の表面から突出する。 Further, when the sheet-shaped probe 5 is inserted into the corresponding first elongated hole 111, each of the sheet-shaped probes 5 is sequentially said to have an embedding angle of less than 45 degrees with respect to the height direction H. It may be inserted into the substrate element 1 of 1 and the second substrate element 2. The sheet body 51 is fixed to the corresponding first elongated hole 111, a part of the second contact portion 53 is inserted into the second perforation 21, and the second contact portion 53 is formed. An end portion away from the first contact portion 52 projects from the surface of the second substrate element 2.

詳しくは、前記シート状プローブ５における前記第１の接触部５２、前記進退部５４、及び前記第２の接触部５３はいずれも前記、シート本体５１における前記長さ方向Ｌと前記高さ方向Ｈに沿って形成された仮想空間に配置されることが好ましいが、本発明はこの例に制限されない。 Specifically, the first contact portion 52, the advance / retreat portion 54, and the second contact portion 53 of the sheet-shaped probe 5 are all the length direction L and the height direction H of the sheet body 51. The present invention is not limited to this example, although it is preferable to arrange it in a virtual space formed along the above.

各前記第２の接触部５３が前記テスト対象物に当接すると、前記進退部５４の前記湾曲部５４１の弾性力によって、各前記第２の接触部５３は確実に前記テスト対象物と接続できる。これにより、前記第２の接触部５３と前記テスト対象物との接続がより安定的になる。 When each of the second contact portions 53 abuts on the test object, the elastic force of the curved portion 541 of the advance / retreat portion 54 ensures that each of the second contact portions 53 can be connected to the test object. .. As a result, the connection between the second contact portion 53 and the test object becomes more stable.

前記を踏まえて、前記垂直型テスト装置１０００における前記シート状プローブ５は、前記シート本体５１で前記第１の基板要素１に位置決められるようになり、それにより、前記第１の基板要素１と前記第２の基板要素２との位置ずれに頼らなくても、前記進退部５４は、前記シート状プローブ５でテストを行うために必要な弾性移動量を提供することができ、既存の構成と区別し得る前記垂直型テスト装置１０００及びその前記シート状プローブ５をさらに提供することができる。さらに、前記第１の基板要素１と前記第２の基板要素２とは、位置ずれなくでも前記シート状プローブ５を位置決めることができるため、前記シート状プローブ５の長さは効果的に減縮でき、効果的にテストの効能を高めることができる。 Based on the above, the sheet-shaped probe 5 in the vertical test apparatus 1000 is positioned on the first substrate element 1 by the sheet body 51, whereby the first substrate element 1 and the said. The advancing / retreating portion 54 can provide the amount of elastic movement required for testing with the sheet-shaped probe 5 without relying on misalignment with the second substrate element 2, distinguishing it from existing configurations. Further, the vertical test apparatus 1000 and the sheet-shaped probe 5 thereof can be provided. Further, since the sheet-shaped probe 5 can be positioned without the positional deviation between the first substrate element 1 and the second substrate element 2, the length of the sheet-shaped probe 5 is effectively reduced. It can effectively enhance the efficacy of the test.

［第２の実施形態］
図６乃至図８を参照されたい。図６乃至図８は、本発明の第２の実施形態を示す。本実施形態は上記第１の実施形態とほぼ同様であるため、２つの実施形態の同じ点は繰り返さない。なお、以下は、本実施形態と上記第１の実施形態との差異点を説明する。 [Second Embodiment]
See FIGS. 6-8. 6 to 8 show a second embodiment of the present invention. Since the present embodiment is substantially the same as the first embodiment, the same points of the two embodiments are not repeated. The differences between the present embodiment and the first embodiment will be described below.

本実施形態における各前記シート状プローブ５において、前記進退部５４は前記シート本体５１が前記高さ方向Ｈに沿って正投影した投影エリアＰに配置され、それにより、各前記シート状プローブ５は、前記高さ方向Ｈに沿って順次に前記第１の基板要素１及び前記第２の基板要素２に挿入される。 In each of the sheet-shaped probes 5 in the present embodiment, the advancing / retreating portion 54 is arranged in a projection area P on which the sheet body 51 is orthographically projected along the height direction H, whereby each of the sheet-shaped probes 5 is arranged. , Are sequentially inserted into the first substrate element 1 and the second substrate element 2 along the height direction H.

詳しくは、前記シート状プローブ５における前記進退部５４、及び前記第２の接触部５３のいずれも、前記シート本体５１が前記高さ方向Ｈに沿って延伸する仮想空間に位置されることが好ましいが、本発明はこの例に制限されない。 Specifically, it is preferable that both the advancing / retreating portion 54 and the second contact portion 53 of the sheet-shaped probe 5 are located in a virtual space in which the sheet body 51 extends along the height direction H. However, the present invention is not limited to this example.

前記を踏まえて、前記垂直型テスト装置１０００における前記シート状プローブ５は、前記進退部５４と同様に、前記シート本体５１が前記高さ方向Ｈに沿って正投影した前記投影エリアＰに配置されてもよい。それにより、前記シート状プローブ５は前記高さ方向Ｈに沿って直接に上下に移動することができるため、前記シート状プローブ５は、前記シート状プローブ５の探針の埋め込み効率及びメンテナンス作業にメリットがある。 Based on the above, the sheet-shaped probe 5 in the vertical test apparatus 1000 is arranged in the projection area P on which the sheet body 51 is orthographically projected along the height direction H, similarly to the advancing / retreating portion 54. You may. As a result, the sheet-shaped probe 5 can move directly up and down along the height direction H, so that the sheet-shaped probe 5 can be used for embedding efficiency and maintenance work of the probe of the sheet-shaped probe 5. There are merits.

［第３の実施形態］
図９を参照されたい。図９は、本発明の第３の実施形態を示す。本実施形態は上記第１の実施形態とほぼ同様であるため、２つの実施形態の同じ点は繰り返さない。なお、以下は、本実施形態と上記第１の実施形態との差異点を説明する。 [Third Embodiment]
See FIG. FIG. 9 shows a third embodiment of the present invention. Since the present embodiment is substantially the same as the first embodiment, the same points of the two embodiments are not repeated. The differences between the present embodiment and the first embodiment will be described below.

本実施形態において、前記第１の基板要素１は、対応的の２つの前記第１の長孔１１１に配置される。２つの前記第１の長孔１１１における一方の前記第１の長孔１１１内にホゾ１１２（横断面が略長方形に形成される）が形成され、他方の前記第１の長孔１１１内に前記ホゾ１１２が形成されないが、本発明はこの例に制限されない。例えば、本発明に係る図示されない別の実施形態において、対応的な２つの前記第１の長孔１１１のそれぞれに１つの前記ホゾ１１２を形成してもよいが、本発明はこれらの例に制限されない。 In this embodiment, the first substrate element 1 is arranged in two corresponding first elongated holes 111. A tenon 112 (with a substantially rectangular cross section) is formed in one of the first elongated holes 111 in the two first elongated holes 111, and the said in the other first elongated hole 111. The tenon 112 is not formed, but the invention is not limited to this example. For example, in another embodiment (not shown) according to the present invention, one tenon 112 may be formed in each of the corresponding two first elongated holes 111, but the present invention is limited to these examples. Not done.

各前記シート本体５１における対応的に２つの前記第１の長孔１１１に配置される部分において、前記シート本体５１における前記厚さ方向Ｄに垂直する表面にホゾ穴５１１が凹設されている。各前記ホゾ穴５１１は、前記ホゾ１１２と対応的に配置され、かつ、前記ホゾ穴５１１は、前記シート本体５１の両側まで貫通されているが、本発明はこの例に制限されない。例えば、本発明に係る図示されない別の実施形態において、前記ホゾ穴５１１は、同時に２つの前記ホゾ１１２を収容してもよいが、本発明はこれらの例に制限されない。 In each portion of the sheet body 51 that is correspondingly arranged in the two first elongated holes 111, a mortise hole 511 is recessed in the surface of the sheet body 51 that is perpendicular to the thickness direction D. Each mortise hole 511 is arranged corresponding to the mortise 112, and the mortise hole 511 penetrates to both sides of the sheet body 51, but the present invention is not limited to this example. For example, in another embodiment (not shown) according to the present invention, the mortise hole 511 may accommodate two mortises 112 at the same time, but the present invention is not limited to these examples.

さらに、前記ホゾ１１２が形成された前記第１の基板１１を、前記厚さ方向Ｄに向かって移動させることにより、前記ホゾ１１２のそれぞれが対応的に前記シート状プローブ５の前記ホゾ穴５１１に挿入することになり、前記シート本体５１をさらに安定的に前記第１の基板要素１に固定させることができる。 Further, by moving the first substrate 11 on which the mortise 112 is formed toward the thickness direction D, each of the mortises 112 corresponds to the mortise hole 511 of the sheet-shaped probe 5. By inserting the sheet body 51, the sheet body 51 can be more stably fixed to the first substrate element 1.

前記を踏まえて、前記垂直型テスト装置１０００における前記シート状プローブ５は、前記ホゾ穴５１１に対応的に配置された前記第１の長孔１１１における前記ホゾ１１２によって、前記シート状プローブ５をさらに安定的に前記第１の基板要素１に固定させ、それにより、前記シート状プローブ５が前記第１の基板要素１から脱落することから避けることができる。 Based on the above, the sheet-shaped probe 5 in the vertical test apparatus 1000 further obtains the sheet-shaped probe 5 by the mortise 112 in the first elongated hole 111 correspondingly arranged in the mortise hole 511. It is stably fixed to the first substrate element 1, whereby the sheet-shaped probe 5 can be prevented from falling off from the first substrate element 1.

［第４の実施形態］
図１０及び図１１を参照されたい。図１０及び図１１は、本発明の第４の実施形態である。本実施形態は上記第１の実施形態とほぼ同様であるため、２つの実施形態の同じ点は繰り返さない。なお、以下は、本実施形態と上記第１の実施形態との差異点を説明する。 [Fourth Embodiment]
See FIGS. 10 and 11. 10 and 11 are the fourth embodiments of the present invention. Since the present embodiment is substantially the same as the first embodiment, the same points of the two embodiments are not repeated. The differences between the present embodiment and the first embodiment will be described below.

本実施形態において、複数の前記シート状プローブ５は、前記第１の基板要素１と前記第２の基板要素２との間に挿通され、複数の前記第２の接触部５３は、前記厚さ方向Ｄに沿って列に配列される。なお、該前記第２の接触部５３の列に対する反対側において、複数の前記シート本体５１はそれぞれ位置ずれに配置される。それで、前記垂直型テスト装置１０００における複数の前記シート状プローブ５は、上記の配置パターンによって、前記第１の接触部５２を対応的に異なるアダプタープレート２００と組わせることができ、さらに前記シート状プローブ５の適用性を高めることができる。さらに、前記プローブヘッド１００は、図１０に示すように複数の前記第１の接触部５２の配置パターンでは、隣り合う２つの前記第１の接触部５２同士の間の間隔を効果的に拡大させることができ、前記アダプタープレート２００の間隔距離にさらに影響が与えられる。例えば、図１０に示した前記プローブヘッド１００は、さらに回路板と接続するのみで済み、電気品質の増加又はコストの減少を果たすことができる。 In the present embodiment, the plurality of sheet-shaped probes 5 are inserted between the first substrate element 1 and the second substrate element 2, and the plurality of second contact portions 53 have the thickness. Arranged in a row along direction D. On the opposite side of the row of the second contact portions 53, the plurality of sheet main bodies 51 are arranged so as to be displaced from each other. Therefore, the plurality of sheet-shaped probes 5 in the vertical test apparatus 1000 can be combined with the first contact portion 52 with a correspondingly different adapter plate 200 by the above-mentioned arrangement pattern, and further, the sheet. The applicability of the shape probe 5 can be enhanced. Further, as shown in FIG. 10, the probe head 100 effectively increases the distance between two adjacent first contact portions 52 in the arrangement pattern of the plurality of first contact portions 52. This can further affect the spacing of the adapter plates 200. For example, the probe head 100 shown in FIG. 10 only needs to be further connected to a circuit board, and can achieve an increase in electrical quality or a decrease in cost.

１０００：垂直型テスト装置
１００：プローブヘッド
１：第１の基板要素
１１：第１の基板
１１１：第１の長孔
１１２：ホゾ
１２：増高板
２：第２の基板要素
２１：第２の穿孔
３：ガスケット
４：パーティション
５：シート状プローブ
５１：シート本体
５１１：ホゾ穴
５２：第１の接触部
５３：第２の接触部
５４：進退部
５４１：湾曲部
２００：アダプタープレート
Ｌ：長さ方向
Ｈ：高さ方向
Ｄ：厚さ方向
Ｐ：投影エリア
Ｌ５１：長度
Ｄ５１：厚さ
Ｌ５４：延在距離 1000: Vertical test device 100: Probe head 1: First substrate element 11: First substrate 111: First elongated hole 112: Tenon 12: Increasing plate 2: Second substrate element 21: Second Drilling 3: Gasket 4: Partition 5: Sheet probe 51: Sheet body 511: Mortise hole 52: First contact portion 53: Second contact portion 54: Advance / retreat portion 541: Curved portion 200: Adapter plate L: Length Direction H: Height direction D: Thickness direction P: Projection area L51: Length D51: Thickness L54: Extension distance

Claims (8)

互いに対応して配置される第１の基板要素及び第２の基板要素と、複数のシート状プローブとを備える垂直型テスト装置であって、
前記第１の基板要素は２つの第１の基板を含み、かつ、２つの前記第１の基板のそれぞれに複数の第１の長孔が配置され、各前記第１の長孔は長さ方向に平行し、一方の前記第１の基板における複数の前記第１の長孔は、前記長さ方向に垂直する高さ方向に沿って、他方の前記第１の基板における複数の前記第１の長孔と対応的に配置され、
複数のシート状プローブの両端部のそれぞれは、前記第１の基板要素及び前記第２の基板要素を挿通し、前記シート状プローブは、シート本体、第１の接触部、進退部、及び第２の接触部を含み、
前記シート本体は、
異なる前記第１の基板に属すると共に互いに対応した２つの前記第１の長孔に挿通し、前記シート本体は、２つの前記第１の基板に挟持され、前記シート本体が前記長さ方向に所定の長さを有し、前記シート本体が前記長さ方向と前記高さ方向に垂直する厚さ方向に所定の厚さを有し、かつ、前記所定の長さを前記所定の厚さで割った比の値は２５～８５であり、
前記第１の接触部は、
前記シート本体の上縁から延伸して形成され、かつ、前記第１の接触部は２つの前記第１の基板に露出し、
前記第１の基板要素における前記第２の基板要素から離れた表面に係止されるように、前記長さ方向において、前記第１の長孔の長さよりも長く構成され、
前記進退部は、
前記シート本体の下縁から前記シート本体から離れる方向に向かって彎曲して形成され、かつ、前記進退部が前記長さ方向に沿う延在距離は前記所定の長さの２倍以下であり、前記進退部は、前記第１の基板要素と前記第２の基板要素との間に位置され、かつ、前記進退部が外力に抵抗する回復弾性力を有し、
前記第２の接触部は、
前記進退部における前記シート本体から離れた端部から前記高さ方向に延伸して形成され、かつ、前記第２の接触部は、前記第２の基板要素を挿通し、
各前記シート状プローブにおいて、前記進退部、及び前記第２の接触部のいずれも、前記シート本体が前記高さ方向に沿って延伸して形成された仮想空間に位置される、
ことを特徴とする垂直型テスト装置。 A vertical test apparatus including a first substrate element and a second substrate element arranged so as to correspond to each other, and a plurality of sheet-shaped probes.
The first substrate element includes two first substrates, and a plurality of first elongated holes are arranged in each of the two first substrates, and each of the first elongated holes is in the length direction. The plurality of the first elongated holes in one of the first substrates are parallel to the above, and the plurality of the first elongated holes in the other substrate are along the height direction perpendicular to the length direction. Arranged correspondingly to the long hole,
Each of both ends of the plurality of sheet-shaped probes inserts the first substrate element and the second substrate element, and the sheet-shaped probe has a sheet body, a first contact portion, an advancing / retreating portion, and a second. Including the contact part of
The seat body is
The sheet body is sandwiched between the two first substrates, and the sheet body is predetermined in the length direction. The sheet body has a predetermined thickness in the thickness direction perpendicular to the length direction and the height direction, and the predetermined length is divided by the predetermined thickness. The value of the ratio is 25 to 85,
The first contact portion is
It is formed by extending from the upper edge of the sheet body, and the first contact portion is exposed to the two first substrates.
It is configured to be longer than the length of the first elongated hole in the length direction so as to be locked to the surface of the first substrate element away from the second substrate element.
The advance / retreat part is
It is formed by bending from the lower edge of the sheet body toward the direction away from the sheet body, and the extending distance of the advancing / retreating portion along the length direction is twice or less the predetermined length. The advancing / retreating portion is located between the first substrate element and the second substrate element, and the advancing / retreating portion has a recovery elastic force that resists an external force.
The second contact portion is
The advancing / retreating portion is formed by extending in the height direction from the end portion away from the sheet body, and the second contact portion is formed by inserting the second substrate element.
In each of the sheet-shaped probes, both the advancing / retreating portion and the second contact portion are located in a virtual space formed by extending the sheet body along the height direction.
A vertical test device characterized by that. 各前記シート状プローブにおける対応的に２つの前記第１の長孔に配置する部分において、前記シート本体における前記厚さ方向に垂直する表面にホゾ穴が凹設され、前記ホゾ穴と対応的に、前記第１の基板要素における２つの前記第１の長孔の少なくとも１つにホゾが配置され、前記ホゾが配置された前記第１の基板を、前記厚さ方向に向かって移動させることにより、各前記ホゾは対応的に前記シート状プローブにおける前記ホゾ穴に差し込む、請求項１に記載の垂直型テスト装置。 In each of the sheet-shaped probes correspondingly arranged in the two first elongated holes, a mortise hole is recessed in the surface of the sheet body perpendicular to the thickness direction, corresponding to the mortise hole. By disposing a tenon in at least one of the two first elongated holes in the first substrate element and moving the first substrate on which the tenon is arranged in the thickness direction. The vertical test apparatus according to claim 1, wherein each mortise is correspondingly inserted into the mortise hole in the sheet-shaped probe. 各前記シート状プローブにおいて、前記進退部は湾曲部を有し、かつ、前記湾曲部の曲率半径は前記シート本体から前記第２の接触部に従って徐々に増加し、前記湾曲部は外力に抵抗し得る回復弾性力を有する、請求項１に記載の垂直型テスト装置。 In each sheet-shaped probe, the advancing / retreating portion has a curved portion, and the radius of curvature of the curved portion gradually increases from the sheet body according to the second contact portion, and the curved portion resists an external force. The vertical test apparatus according to claim 1, which has a recovery elastic force to be obtained. 各前記シート状プローブにおいて、前記進退部は前記シート本体が前記高さ方向に向かって正投影した投影エリア内に位置されることにより、各前記シート状プローブは、前記高さ方向に沿って順次に前記第１の基板要素及び前記第２の基板要素に挿入する、請求項１に記載の垂直型テスト装置。 In each of the sheet-shaped probes, the advancing / retreating portion is located in the projection area where the sheet body is orthographically projected toward the height direction, so that the sheet-shaped probes are sequentially projected along the height direction. The vertical test apparatus according to claim 1, which is inserted into the first substrate element and the second substrate element. 各前記シート状プローブにおいて、前記第１の接触部はＴ字形又はＬ字形に形成され、かつ、前記第１の接触部は、前記第１の基板要素における前記第２の基板要素から離れた端部に係止される、請求項１に記載の垂直型テスト装置。 In each of the sheet-shaped probes, the first contact portion is formed in a T-shape or an L-shape, and the first contact portion is an end of the first substrate element separated from the second substrate element. The vertical test apparatus according to claim 1, which is locked to a portion. 前記垂直型テスト装置はアダプタープレートをさらに含み、かつ、各前記シート状プローブにおける前記第１の接触部のいずれも前記アダプタープレートに固定され、各前記シート状プローブにおける前記第２の接触部は取り外し可能にテスト対象物に当接するために用いられる、請求項１に記載の垂直型テスト装置。 The vertical test apparatus further includes an adapter plate, and any of the first contact portions of the sheet-shaped probe is fixed to the adapter plate, and the second contact portion of each sheet-shaped probe is removed. The vertical test apparatus according to claim 1, which is used to potentially abut the test object. 前記垂直型テスト装置はさらに、
前記第１の基板要素と前記第２の基板要素との互いに隣り合う表面に、それぞれ配置される複数のガスケットと、
複数の前記ガスケットによって前記第１の基板要素と前記第２の基板要素との間に挟持されるパーティションと、
２つの前記第１の基板同士の間に挟持される増高板と、
を含み、
いずれか１つの前記ガスケットを選択的に前記垂直型テスト装置から外すことが可能である、請求項１に記載の垂直型テスト装置。 The vertical test device further
A plurality of gaskets arranged on the surfaces of the first substrate element and the second substrate element adjacent to each other, respectively.
A partition sandwiched between the first substrate element and the second substrate element by the plurality of gaskets.
A heightened plate sandwiched between the two first substrates,
Including
The vertical test apparatus according to claim 1, wherein any one of the gaskets can be selectively removed from the vertical test apparatus. シート本体、第１の接触部、進退部、及び第２の接触部を備えるシート状プローブであって、
前記シート本体が長さ方向に所定の長さを有し、前記シート本体が前記長さ方向に垂直する厚さ方向に所定の厚さを有し、かつ前記所定の長さを前記所定の厚さで割った比の値は２５～８５であり、
前記第１の接触部は、
前記シート本体の上縁から延伸して形成され、前記長さ方向において、前記シート本体の長さよりも長く構成され、
前記進退部は、
前記シート本体の下縁から前記シート本体から離れる方向に向かって彎曲して形成され、かつ、前記進退部における前記長さ方向での延在距離は前記所定の長さの２倍以下であり、前記進退部は外力に抵抗し得る回復弾性力を有し、
前記第２の接触部は、
前記進退部における前記シート本体から離れた端部から前記長さ方向及び前記厚さ方向のいずれにも垂直となる高さ方向に沿って延伸して形成され、
前記進退部、及び前記第２の接触部のいずれも、前記シート本体が前記高さ方向に沿って延伸して形成された仮想空間に位置される、
ことを特徴とするシート状プローブ。 A sheet-like probe including a sheet body, a first contact portion, an advancing / retreating portion, and a second contact portion.
The sheet body has a predetermined length in the length direction, the sheet body has a predetermined thickness in the thickness direction perpendicular to the length direction, and the predetermined length is the predetermined thickness. The value of the ratio divided by the vertical is 25 to 85,
The first contact portion is
It is formed by extending from the upper edge of the sheet body, and is configured to be longer than the length of the sheet body in the length direction.
The advance / retreat part is
It is formed by bending from the lower edge of the sheet body toward the direction away from the sheet body, and the extending distance in the length direction of the advancing / retreating portion is twice or less the predetermined length. The advancing / retreating portion has a recovery elastic force capable of resisting an external force, and has a recovery elastic force.
The second contact portion is
It is formed by extending from an end portion of the advancing / retreating portion away from the sheet body along a height direction perpendicular to both the length direction and the thickness direction .
Both the advancing / retreating portion and the second contact portion are located in a virtual space formed by extending the seat body along the height direction.
A sheet-like probe characterized by this.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20240055555A (en) * 2022-10-20 2024-04-29 주식회사 에이엠에스티 Manufacturing method for probe card

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020155735A1 (en) 2000-02-14 2002-10-24 Yu Zhou Contact structure and production method thereof and probe contact assembly using same
US20060066328A1 (en) 2004-09-30 2006-03-30 Probelogic, Inc. Buckling beam probe test assembly
JP2006284297A (en) 2005-03-31 2006-10-19 Kanai Hiroaki Manufacturing method of contact probe structure
US20090102495A1 (en) 2007-10-19 2009-04-23 January Kister Vertical guided probe array providing sideways scrub motion
US20140352460A1 (en) 2013-06-03 2014-12-04 Mpi Corporation Probe Needle and Probe Module Using the Same
JP2017122686A (en) 2016-01-08 2017-07-13 株式会社日本マイクロニクス Probe, probe card, and contact inspection device
JP2018513389A (en) 2015-03-13 2018-05-24 テクノプローベ エス．ピー．エー． Test head with vertical probe that optimizes probe retention in the test head in various operating conditions and improves sliding in each guide hole
US20190041430A1 (en) 2017-08-04 2019-02-07 Leeno Industrial Inc. Test device

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5977787A (en) * 1997-06-16 1999-11-02 International Business Machines Corporation Large area multiple-chip probe assembly and method of making the same
JPH11233216A (en) * 1998-02-16 1999-08-27 Nippon Denki Factory Engineering Kk Ic socket for test
CN101395481B (en) * 2006-03-03 2012-07-18 日本发条株式会社 Conductive contact unit
KR100927157B1 (en) * 2009-02-26 2009-11-18 (주)기가레인 Probe block
KR101519529B1 (en) * 2013-09-13 2015-05-13 (주) 루켄테크놀러지스 Vertical type probe unit block
TW201537181A (en) * 2014-03-25 2015-10-01 Mpi Corp Vertical probe device and supporter used in the same
TW201623976A (en) * 2014-12-24 2016-07-01 Mpi Corp Vertical probe device with positioning plates
JP6515877B2 (en) * 2016-06-17 2019-05-22 オムロン株式会社 Probe pin
KR101869044B1 (en) * 2016-11-10 2018-07-19 윌테크놀러지(주) Needle unit for vertical probe card with reduced scrub phenomenon and vertical probe using thereof
KR101845652B1 (en) 2017-01-17 2018-04-04 주식회사 텝스 Hybrid probe card for component mounted wafer test
KR101962644B1 (en) * 2017-08-23 2019-03-28 리노공업주식회사 A test probe and test device using the same
KR101913355B1 (en) 2017-09-19 2018-12-28 윌테크놀러지(주) Needle unit for vertical probe card with
TWI638168B (en) * 2018-04-03 2018-10-11 中華精測科技股份有限公司 Probe card device and probe head
KR102145398B1 (en) 2020-07-09 2020-08-19 피엠피(주) Vertical probe pin and probe card with the same

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020155735A1 (en) 2000-02-14 2002-10-24 Yu Zhou Contact structure and production method thereof and probe contact assembly using same
US20060066328A1 (en) 2004-09-30 2006-03-30 Probelogic, Inc. Buckling beam probe test assembly
JP2006284297A (en) 2005-03-31 2006-10-19 Kanai Hiroaki Manufacturing method of contact probe structure
US20090102495A1 (en) 2007-10-19 2009-04-23 January Kister Vertical guided probe array providing sideways scrub motion
US20140352460A1 (en) 2013-06-03 2014-12-04 Mpi Corporation Probe Needle and Probe Module Using the Same
JP2018513389A (en) 2015-03-13 2018-05-24 テクノプローベ エス．ピー．エー． Test head with vertical probe that optimizes probe retention in the test head in various operating conditions and improves sliding in each guide hole
JP2017122686A (en) 2016-01-08 2017-07-13 株式会社日本マイクロニクス Probe, probe card, and contact inspection device
US20190041430A1 (en) 2017-08-04 2019-02-07 Leeno Industrial Inc. Test device

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