KR101582634B1 - Probe module and manufacturing method of probe module - Google Patents

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Abstract

미세 피치의 수직형 프로브 모듈을 용이하게 조립 및 제작할 수 있는 프로브 모듈의 제조 방법이 개시된다. 프로브 모듈의 제조 방법은, 홀더 및 홀더에 한 줄로 정렬 부착된 복수의 프로브를 포함하는 프로브-홀더 유닛을 복수개 제조하는 단계와, 제1 가이드에 형성된 복수의 관통 홀에 복수의 프로브를 한 줄씩 순서대로 끼워 제1 가이드와 복수의 프로브-홀더 유닛을 조립하는 단계와, 제2 가이드에 형성된 복수의 관통 홀에 복수의 프로브를 한 번에 끼워 복수의 프로브-홀더 유닛과 제2 가이드를 조립하는 단계와, 홀더를 제거하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a probe module capable of easily assembling and fabricating a vertical probe module of fine pitch is disclosed. A method of manufacturing a probe module includes the steps of: preparing a plurality of probe-holder units each including a plurality of probes aligned in a line on a holder and a holder; arranging a plurality of probes in a plurality of through- Assembling a plurality of probe-holder units and a plurality of probe-holder units by sandwiching a plurality of probes in a plurality of through-holes formed in the second guide at one time; And removing the holder.

Description

프로브 모듈 및 프로브 모듈의 제조 방법 {PROBE MODULE AND MANUFACTURING METHOD OF PROBE MODULE}PROBE MODULE AND MANUFACTURING METHOD OF PROBE MODULE [0002]

본 발명은 프로브 카드용 프로브 모듈에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 수직형 프로브를 구비한 프로브 모듈의 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a probe module for a probe card, and more particularly, to a method of manufacturing a probe module having a vertical probe.

반도체 칩은 공정 단계마다 불량 여부를 검사하여 수율을 높여야 하며, 패키징되기 전의 웨이퍼 상태에서 프로브 카드를 이용하여 전기적 검사를 실시한다. 검사 결과에 따라 양품만 패키징되고, 패키징된 후에는 소켓을 이용하여 전기적 검사를 실시한다. 프로브 카드는 반도체 칩에 형성된 패드의 배열 형태에 따라 캔틸레버형과 수직형으로 분류된다.The semiconductor chip should be inspected for defects at each process step to increase the yield, and electrical inspection is performed using the probe card in the state of the wafer before packaging. According to the inspection result, only good products are packaged, and after packaging, electrical inspection is carried out using sockets. The probe card is classified into a cantilever type and a vertical type according to the arrangement of pads formed on the semiconductor chip.

메모리형 반도체 칩은 중앙에 2열로 배치된 패드 배열을 가지며, 이미지 센서형 반도체 칩은 외곽선을 따라 배치된 패드 배열을 가진다. 메모리형 반도체 칩과 이미지 센서형 반도체 칩의 경우에는 캔틸레버형 프로브 카드가 사용된다. 반면 시스템 반도체 칩은 2차원으로 배치된 패드 배열을 가지며, 이 경우에는 수직형 프로브 카드만 사용 가능하다.The memory-type semiconductor chip has a pad arrangement arranged in two rows in the center, and the image sensor type semiconductor chip has a pad arrangement arranged along the outline. In the case of the memory type semiconductor chip and the image sensor type semiconductor chip, a cantilever type probe card is used. On the other hand, the system semiconductor chip has a two-dimensionally arranged pad arrangement, in which case only a vertical probe card can be used.

최근 3차원 IC 칩의 경우 관통전극(TSV; Through Silicon Via)을 이용하여 여러 가지 종류의 반도체 칩을 적층시키는 방법으로 하나의 칩을 만들고 있다. 이러한 3차원 IC 칩의 경우 패드의 피치가 40㎛ 이하이고, 2차원으로 배치된 패드 배열을 가지고 있다. 이 경우 미세 피치의 수직형 프로브만 대응할 수 있으며, 이의 개발이 요구되고 있다.In recent years, a three-dimensional IC chip has been made by stacking various types of semiconductor chips using a through silicon via (TSV). In the case of such a three-dimensional IC chip, the pitch of the pads is 40 μm or less, and the pads are arrayed two-dimensionally. In this case, only a fine pitch vertical probe can be supported, and development thereof is required.

수직형 프로브는 스프링 핀으로도 불리는 포고핀형과, 중앙부가 휘어진 코브라형으로 분류된다. 일반적으로 포고핀형의 경우 150㎛ 이하의 미세 피치에 대응할 수 없으며, 코브라형은 개별 프로브의 제작은 가능하나 수작업에 의존해 프로브 모듈을 조립하고 있으므로 100㎛ 이하의 미세 피치 프로브 모듈 제작에 많은 제약이 있다.Vertical probes are classified into a pogo pin type, also called a spring pin, and a cobra type, bent at the center. Generally, in the case of the pogo pin type, it can not cope with the fine pitch of 150 μm or less. In the cobra type, it is possible to manufacture individual probes. However, since the probe module is assembled depending on the manual operation, .

본 발명은 프로브 카드에 적용되는 수직형 프로브 모듈에 있어서, 미세 피치의 수직형 프로브 모듈을 용이하게 조립 및 제작할 수 있는 프로브 모듈 및 프로브 모듈의 제조 방법을 제공하고자 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a probe module and a method of manufacturing a probe module that can easily assemble and manufacture a vertical probe module having a fine pitch in a vertical probe module applied to a probe card.

본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법은, 홀더 및 홀더에 한 줄로 정렬 부착된 복수의 프로브를 포함하는 프로브-홀더 유닛을 복수개 제조하는 단계와, 제1 가이드에 형성된 복수의 관통 홀에 복수의 프로브를 한 줄씩 순서대로 끼워 제1 가이드와 복수의 프로브-홀더 유닛을 조립하는 단계와, 제2 가이드에 형성된 복수의 관통 홀에 복수의 프로브를 한 번에 끼워 복수의 프로브-홀더 유닛과 제2 가이드를 조립하는 단계와, 홀더를 제거하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a probe module according to an embodiment of the present invention includes the steps of: preparing a plurality of probe-holder units including a plurality of probes aligned in a line on a holder and a holder; The method comprising the steps of: assembling a first guide and a plurality of probe-holder units by sequentially inserting a plurality of probes in a line; and inserting a plurality of probes into a plurality of through- Assembling the first guide and the second guide, and removing the holder.

복수의 프로브 각각은 제1 스토퍼와 제2 스토퍼를 형성할 수 있다. 제1 스토퍼와 제2 스토퍼 각각은 제1 가이드 및 제2 가이드와 접하여 복수의 프로브-홀더 유닛을 제1 가이드 및 제2 가이드에 정렬시킬 수 있다.Each of the plurality of probes may form a first stopper and a second stopper. Each of the first stopper and the second stopper may be in contact with the first guide and the second guide to align the plurality of probe-holder units with the first guide and the second guide.

홀더는 복수의 프로브를 정렬 고정시키는 지지부와, 지지부의 양측에서 지지부보다 큰 면적으로 돌출 형성된 한 쌍의 손잡이부로 구성될 수 있다. 한 쌍의 손잡이부 가운데 적어도 하나는 상측 또는 하측에 상하 방향을 구분하기 위한 절개부를 형성할 수 있다. 제1 가이드와 제2 가이드 사이에 지지 부재가 제공될 수 있으며, 지지 부재의 내측에 한 쌍의 손잡이부가 각각 끼워지는 복수의 가이드 홈이 형성될 수 있다.The holder may comprise a support portion for aligning and fixing a plurality of probes, and a pair of handle portions protruding from both sides of the support portion with a larger area than the support portion. At least one of the pair of grip portions may form a cut-out portion for separating the upper side or the lower side from the upper side or the lower side. A support member may be provided between the first guide and the second guide, and a plurality of guide grooves may be formed on the inner side of the support member, in which a pair of grip portions are respectively fitted.

다른 한편으로, 한 쌍의 손잡이부 각각의 하측과 상측에 제1 가이드 돌기와 제2 가이드 돌기가 각각 형성될 수 있고, 제1 가이드와 제2 가이드에는 제1 가이드 돌기 및 제2 가이드 돌기가 각각 끼워지는 가이드 홀 또는 가이드 홈이 형성될 수 있다.On the other hand, first guide protrusions and second guide protrusions can be respectively formed on the lower side and the upper side of each of the pair of grip portions, and the first guide protrusion and the second guide protrusion are respectively fitted to the first guide and the second guide The guide groove or the guide groove may be formed.

다른 한편으로, 홀더는 복수의 프로브를 정렬 고정시키는 지지부와, 지지부의 일측에서 지지부보다 큰 면적으로 돌출 형성된 하나의 손잡이부를 포함할 수 있다. 손잡이부는 복수의 프로브-홀더 유닛 가운데 홀수번째 프로브-홀더 유닛과 짝수번째 프로브-홀더 유닛에서 서로 반대측에 위치할 수 있다.On the other hand, the holder may include a support portion for aligning and fixing the plurality of probes, and a handle portion protruding from the support portion at a larger area than the support portion. The handle may be located on opposite sides of the odd-numbered probe-holder unit and the even-numbered probe-holder unit among the plurality of probe-holder units.

제1 가이드와 제2 가이드 사이에 지지 부재가 제공될 수 있고, 지지 부재의 내측에 손잡이부가 끼워지는 복수의 가이드 홈이 형성될 수 있다. 다른 한편으로, 손잡이부의 하측과 상측에 제1 가이드 돌기와 제2 가이드 돌기가 각각 형성될 수 있고, 제1 가이드와 제2 가이드에는 제1 가이드 돌기 및 제2 가이드 돌기가 각각 끼워지는 가이드 홀 또는 가이드 홈이 형성될 수 있다.A support member may be provided between the first guide and the second guide, and a plurality of guide grooves may be formed inside the support member to hold the handle. On the other hand, first guide protrusions and second guide protrusions can be respectively formed on the lower side and the upper side of the handle portion, and the first guide and the second guide are provided with guide holes or guides Grooves can be formed.

제1 가이드와 제2 가이드 및 지지 부재는 플라스틱, 세라믹, 및 산화실리콘으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 포함할 수 있다.The first guide, the second guide, and the support member may include any one selected from the group consisting of plastic, ceramic, and silicon oxide.

홀더를 제거할 때 식각액을 사용할 수 있으며, 복수의 프로브는 홀더의 식각액에 대해 식각 저항성을 가지는 금속으로 형성될 수 있다. 복수의 프로브는 니켈, 니켈-코발트, 니켈-철, 베릴륨-구리, 및 알루미늄으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 포함할 수 있고, 홀더는 고분자 물질, 구리, 및 알루미늄으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 포함할 수 있다.An etchant may be used to remove the holder, and the plurality of probes may be formed of a metal having an etch resistance to the etchant of the holder. The plurality of probes may include any one selected from the group consisting of nickel, nickel-cobalt, nickel-iron, beryllium-copper, and aluminum, and the holder may be any one selected from the group consisting of a polymer material, copper, .

프로브-홀더 유닛의 제조 단계는, 기판 상에 씨드 금속층을 형성하고, 씨드 금속층 위로 복수의 개구부를 가지는 제1 마스크층을 형성하고, 제1 마스크층의 개구부에 제1 금속을 전기 도금하여 복수의 프로브를 형성한 후 제1 마스크층을 제거하고, 씨드 금속층 위로 개구부를 가지는 제2 마스크층을 형성하고, 제2 마스크층의 개구부에 제2 금속을 전기 도금하여 홀더를 형성한 후 제2 마스크층을 제거하고, 씨드 금속층을 식각하여 프로브-홀더 유닛을 기판으로부터 분리시키는 과정들을 포함할 수 있다.The step of fabricating the probe-holder unit includes the steps of forming a seed metal layer on a substrate, forming a first mask layer having a plurality of openings on the seed metal layer, electroplating the first metal on the opening of the first mask layer, After the probe is formed, the first mask layer is removed, a second mask layer having an opening is formed on the seed metal layer, a second metal is electroplated on the opening of the second mask layer to form a holder, And etching the seed metal layer to separate the probe-holder unit from the substrate.

본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 모듈은 복수의 관통 홀을 형성하는 제1 가이드와, 제1 가이드와 이격 배치되며 제1 가이드의 관통 홀에 대응하는 복수의 관통 홀을 형성하는 제2 가이드와, 제1 가이드의 관통 홀과 제2 가이드의 관통 홀에 끼워져 위치하는 복수의 프로브를 포함한다. 복수의 프로브 각각은 제1 가이드의 내면과 접하는 제1 스토퍼와, 제2 가이드의 내면과 접하는 제2 스토퍼를 형성한다.A probe module according to an embodiment of the present invention includes a first guide forming a plurality of through holes, a second guide spaced apart from the first guide and forming a plurality of through holes corresponding to the through holes of the first guide, And a plurality of probes sandwiched between the through holes of the first guide and the through holes of the second guide. Each of the plurality of probes forms a first stopper in contact with the inner surface of the first guide and a second stopper in contact with the inner surface of the second guide.

본 실시예에 따르면, 홀더를 이용하여 복수의 프로브를 동시에 조작할 수 있으므로 프로브 조립에 따른 공정 수와 작업 시간을 효과적으로 줄일 수 있으며, 조립 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또한, 100㎛ 이하 미세 피치의 수직형 프로브를 용이하게 제조할 수 있다.According to the present embodiment, since a plurality of probes can be operated simultaneously using the holder, the number of processes and the working time due to the probe assembly can be effectively reduced, and the assembly precision can be improved. Further, a vertical probe having a fine pitch of 100 mu m or less can be easily manufactured.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법을 나타낸 공정 순서도이다.
도 2는 도 1에 도시한 제1 단계의 프로브-홀더 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 3a 내지 도 3g는 전기 도금법을 이용한 프로브-홀더 유닛의 제조 과정을 나타낸 개략 단면도이다.
도 4와 도 5는 전기 도금법으로 제작된 프로브-홀더 유닛을 촬영한 사진이다.
도 6은 도 1에 도시한 제2 단계의 제1 가이드와 복수의 프로브-홀더 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 7은 도 6의 단면도이다.
도 8은 도 1에 도시한 제3 단계의 프로브 모듈을 나타낸 사시도이다.
도 9는 도 8의 단면도이다.
도 10은 도 1에 도시한 제4 단계의 프로브 모듈을 나타낸 개략 단면도이다.
도 11은 완성된 프로브 모듈의 프로브들을 촬영한 사진이다.
도 12는 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법 중 제1 단계와 제2 단계의 프로브-홀더 유닛과 제1 가이드를 나타낸 사시도이다.
도 13은 도 12의 단면도이다.
도 14는 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법 중 제3 단계의 제1 및 제2 가이드와 프로브-홀더 유닛을 나타낸 단면도이다.
도 15는 본 발명의 제3 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법 중 제1 단계와 제2 단계의 프로브-홀더 유닛과 제1 가이드를 나타낸 사시도이다.
도 16은 도 15의 단면도이다.
도 17은 본 발명의 제3 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법 중 제3 단계의 제1 및 제2 가이드와 프로브-홀더 유닛을 나타낸 단면도이다.
도 18은 본 발명의 제4 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법 중 제1 단계와 제2 단계의 프로브-홀더 유닛과 제1 가이드를 나타낸 사시도이다.
도 19는 도 18의 단면도이다.
도 20은 본 발명의 제5 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법 중 제1 단계와 제2 단계의 프로브-홀더 유닛과 제1 가이드를 나타낸 사시도이다.
도 21은 도 20의 단면도이다.
도 22는 본 발명의 제5 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법 중 제3 단계의 제1 및 제2 가이드와 프로브-홀더 유닛을 나타낸 단면도이다.FIG. 1 is a flow chart illustrating a method of manufacturing a probe module according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing the probe-holder unit of the first step shown in FIG. 1. FIG.
3A to 3G are schematic cross-sectional views illustrating a process of manufacturing a probe-holder unit using an electroplating method.
4 and 5 are photographs of a probe-holder unit manufactured by an electroplating method.
FIG. 6 is a perspective view showing the first guide and the plurality of probe-holder units in the second step shown in FIG. 1;
Fig. 7 is a sectional view of Fig. 6. Fig.
8 is a perspective view showing the probe module of the third step shown in FIG.
Fig. 9 is a sectional view of Fig. 8. Fig.
10 is a schematic cross-sectional view of the probe module of the fourth step shown in FIG.
11 is a photograph of probes of the completed probe module.
12 is a perspective view illustrating probe-holder units and a first guide in a first step and a second step in a method of manufacturing a probe module according to a second embodiment of the present invention.
13 is a sectional view of Fig.
FIG. 14 is a cross-sectional view showing a first and a second guide and a probe-holder unit in a third step of a method of manufacturing a probe module according to a second embodiment of the present invention.
15 is a perspective view showing probe-holder units and a first guide in a first step and a second step in a method of manufacturing a probe module according to a third embodiment of the present invention.
Fig. 16 is a sectional view of Fig. 15. Fig.
17 is a cross-sectional view showing a first and a second guide and a probe-holder unit in a third step of a method of manufacturing a probe module according to a third embodiment of the present invention.
18 is a perspective view showing a probe-holder unit and a first guide in a first step and a second step in a method of manufacturing a probe module according to a fourth embodiment of the present invention.
19 is a sectional view of Fig.
20 is a perspective view illustrating probe-holder units and a first guide in a first step and a second step in a method of manufacturing a probe module according to a fifth embodiment of the present invention.
21 is a cross-sectional view of Fig.
FIG. 22 is a cross-sectional view showing a first and second guides and a probe-holder unit in a third step of a method of manufacturing a probe module according to a fifth embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be readily apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법을 나타낸 공정 순서도이다.FIG. 1 is a flow chart illustrating a method of manufacturing a probe module according to a first embodiment of the present invention.

본 실시예의 프로브 모듈 제조 방법은 홀더에 복수의 프로브를 정렬 부착시키고 홀더를 조작함으로써 복수의 프로브를 한 번에 이동 및 조립할 수 있는 편리함을 제공한다. 따라서 프로브를 하나씩 개별로 조작하던 종래의 번거로움을 해소할 수 있으며, 미세 피치의 프로브 모듈을 용이하게 제조할 수 있다.The probe module manufacturing method of this embodiment provides convenience in that a plurality of probes can be moved and assembled at one time by aligning a plurality of probes on a holder and operating a holder. Therefore, the conventional hassle of individually operating the probes individually can be solved, and a probe module with a fine pitch can be easily manufactured.

도 1을 참고하면, 프로브 모듈의 제조 방법은 복수의 프로브-홀더 유닛을 제조하는 제1 단계(S10)와, 제1 가이드에 형성된 복수의 관통 홀에 복수의 프로브를 한 줄씩 순서대로 끼워 제1 가이드와 복수의 프로브-홀더 유닛을 조립하는 제2 단계(S20)와, 제2 가이드에 형성된 복수의 관통 홀에 복수의 프로브를 한 번에 끼워 복수의 프로브-홀더 유닛과 제2 가이드를 조립하는 제3 단계(S30)와, 홀더를 제거하는 제4 단계(S40)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a method of manufacturing a probe module includes a first step (S10) of manufacturing a plurality of probe-holder units, a first step (S10) of inserting a plurality of probes into a plurality of through- A second step (S20) of assembling a plurality of probe-holder units and a plurality of probe-holder units, assembling a plurality of probe-holder units and a second guide by sandwiching a plurality of probes in a plurality of through holes formed in the second guide A third step (S30), and a fourth step (S40) of removing the holder.

도 2는 도 1에 도시한 제1 단계의 프로브-홀더 유닛을 나타낸 사시도이다.FIG. 2 is a perspective view showing the probe-holder unit of the first step shown in FIG. 1. FIG.

도 2를 참고하면, 제1 단계에서 복수의 프로브-홀더 유닛(10) 각각은 홀더(11)와, 홀더(11)에 한 줄로 정렬 부착된 복수의 프로브(15)로 구성된다.2, each of the plurality of probe-holder units 10 in the first step comprises a holder 11 and a plurality of probes 15 aligned and attached to the holder 11 in a line.

복수의 프로브(15)는 가운데 부분이 구부러진 수직형 프로브이며, 반도체 칩의 패드와 접하게 될 아래쪽 단부와 프로브 카드의 본체와 연결될 위쪽 단부에 뾰족한 접촉부를 형성할 수 있다. 완성된 프로브 모듈에서 프로브(15)는 하중이 가해질 때 변형되며, 반도체 칩의 패드와 접촉할 때 프로브(15)의 접촉력은 변형이 증가함에 따라 커진다. 도 2에서는 편의상 사각 단면 형상의 프로브(15)를 도시하였으나, 프로브(15)의 모양은 도시한 예로 한정되지 않는다.The plurality of probes 15 are vertical probes whose center portions are bent and can form sharp contact portions at the lower end to be in contact with the pad of the semiconductor chip and the upper end to be connected to the probe card body. In the completed probe module, the probe 15 is deformed when a load is applied, and the contact force of the probe 15 when the probe 15 is in contact with the pad of the semiconductor chip increases as the deformation increases. Although FIG. 2 shows a probe 15 having a rectangular cross section for the sake of convenience, the shape of the probe 15 is not limited to the illustrated example.

복수의 프로브(15) 각각은 제1 가이드 및 제2 가이드와의 조립 시 상호 위치를 맞추기 위한 제1 스토퍼(161)와 제2 스토퍼(162)를 형성한다. 제1 및 제2 스토퍼(161, 162)는 프로브(15)의 측면에 형성되어 프로브(15)의 측면을 일시적으로 돌출시키며, 예를 들어 삼각 형상으로 이루어질 수 있다.Each of the plurality of probes (15) forms a first stopper (161) and a second stopper (162) for mutual positioning when assembled with the first guide and the second guide. The first and second stoppers 161 and 162 are formed on the side surface of the probe 15 to temporarily protrude the side surface of the probe 15 and may have a triangular shape, for example.

제1 스토퍼(161)는 제1 가이드와 접하게 될 프로브(15)의 아래 부분에 형성되며, 제2 스토퍼(162)는 제2 가이드와 접하게 될 프로브(15)의 위쪽 부분에 형성된다. 복수의 프로브(15)는 정렬 방향을 따라 같은 위치에 같은 모양의 제1 스토퍼(161)와 제2 스토퍼(162)를 형성한다.The first stopper 161 is formed on a lower portion of the probe 15 to be in contact with the first guide and the second stopper 162 is formed on the upper portion of the probe 15 to be in contact with the second guide. The plurality of probes (15) form a first stopper (161) and a second stopper (162) having the same shape at the same position along the alignment direction.

홀더(11)는 일정한 두께를 가진 판 또는 막의 형태로 이루어지며, 복수의 프로브(15)를 한 줄로 정렬 고정시킨다. 홀더(11)는 복수의 프로브(15)를 지지하는 지지부(12)와, 프로브(15)의 정렬 방향(도 2의 기준으로 가로 방향)을 따라 지지부(12)의 양측에 위치하는 손잡이부(13)로 구성될 수 있다. 복수의 프로브(15)는 가운데 일부에서 지지부(12)에 고정된다.The holder 11 is in the form of a plate or film having a constant thickness, and aligns and fixes the plurality of probes 15 in one line. The holder 11 includes a support portion 12 for supporting a plurality of probes 15 and a handle portion 12 disposed on both sides of the support portion 12 along the alignment direction of the probes 15 13). A plurality of probes (15) are fixed to the support portion (12) at a central portion thereof.

지지부(12)는 복수의 프로브(15)가 이탈하지 않고 고정될 수 있는 최소의 면적으로 형성되고, 손잡이부(13)는 지지부(12)보다 큰 면적으로 돌출 형성되어 작업자가 홀더(11)를 조작할 때 조작이 쉽도록 한다. 지지부(12)와 손잡이부(13) 모두 사각형으로 형성될 수 있으며, 손잡이부(13)의 상측 또는 하측에는 상하 방향을 구분하기 위한 절개부(14)가 형성될 수 있다. 또한 손잡이부(13)에 번호를 넣어 프로브-홀더 유닛(10)을 구분하는데 사용할 수 있다.The support portion 12 is formed to have a minimum area that can be fixed without detaching the plurality of probes 15 and the handle portion 13 is formed to protrude larger than the support portion 12 so that the operator can hold the holder 11 Make it easy to operate when operating. Both the support portion 12 and the handle 13 may be formed in a square shape and a cutout portion 14 may be formed on the upper side or the lower side of the handle 13 to divide the upper side and the lower side. Further, the handle 13 can be numbered and used to separate the probe-holder unit 10.

도 2에서는 왼쪽 손잡이부(13)의 상측에 사선형 절개부(14)가 형성된 경우를 예로 들어 도시하였으나, 홀더(11)의 형상은 도시한 예로 한정되지 않는다. 홀더(11)는 복수의 프로브(15)를 한 번에 이동시켜 조립을 간편하게 하는 역할을 한다.In FIG. 2, the case 14 having the quadrangular cutout 14 formed on the upper side of the left handle 13 is shown as an example. However, the shape of the holder 11 is not limited to the illustrated example. The holder 11 serves to simplify assembly by moving a plurality of probes 15 at a time.

프로브(15)는 전기 전도성이 우수한 금속, 예를 들어 니켈, 니켈-코발트, 니켈-철, 베릴륨-구리, 및 알루미늄 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 홀더(11)는 포토레지스트와 같은 고분자 물질로 형성되거나 구리 또는 알루미늄과 같은 금속으로 형성될 수 있다. 이때 홀더(11)의 식각액에 프로브(15)가 식각되지 않아야 하며, 이 조건을 만족하는 소재로 홀더(11)를 제작한다. 즉 프로브(15)는 홀더(11)의 식각액에 대해 식각 저항성을 가진다.The probe 15 may include any one of a metal having excellent electrical conductivity, for example, nickel, nickel-cobalt, nickel-iron, beryllium-copper, and aluminum. The holder 11 may be formed of a polymer material such as a photoresist or may be formed of a metal such as copper or aluminum. At this time, the probe 15 should not be etched in the etching liquid of the holder 11, and the holder 11 is made of a material satisfying this condition. That is, the probe 15 has an etching resistance to the etching solution of the holder 11.

예를 들어, 프로브(15)가 니켈-코발트를 포함할 때 홀더(11)는 구리로 형성될 수 있다. 프로브(15)와 홀더(11) 모두가 금속 소재일 때 프로브-홀더 유닛(10)은 전기 도금법으로 제조될 수 있다. 도 3a 내지 도 3g는 전기 도금법을 이용한 프로브-홀더 유닛의 제조 과정을 나타낸 개략 단면도이다.For example, when the probe 15 includes nickel-cobalt, the holder 11 may be formed of copper. The probe-holder unit 10 can be manufactured by electroplating when both the probe 15 and the holder 11 are metallic. 3A to 3G are schematic cross-sectional views illustrating a process of manufacturing a probe-holder unit using an electroplating method.

도 3a를 참고하면, 기판(20) 위로 씨드 금속층(21)을 형성한다. 씨드 금속층(21)은 티타늄과 구리의 적층막일 수 있다. 이어서 씨드 금속층(21) 위로 제1 마스크층(22)을 형성하고, 이를 패터닝하여 프로브와 같은 모양 및 같은 개수의 개구부(23)를 형성한다. 제1 마스크층(22)은 공지의 포토레지스트 물질로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 3A, a seed metal layer 21 is formed on a substrate 20. The seed metal layer 21 may be a laminated film of titanium and copper. Next, a first mask layer 22 is formed on the seed metal layer 21 and patterned to form openings 23 having the same number and the same number as the probes. The first mask layer 22 may be formed of a known photoresist material.

도 3b와 도 3c를 참고하면, 제1 마스크층(22)의 개구부(23)에 제1 금속(24), 예를 들어 니켈-코발트를 전기 도금하고, 화학기계적 연마 처리를 거쳐 복수의 프로브(15)를 형성한다. 복수의 프로브(15)는 도면의 가로 방향을 따라 한 줄로 정렬되어 위치한다. 이후 제1 마스크층(22)을 제거한다.3B and 3C, a first metal 24, for example, nickel-cobalt, is electroplated on the opening 23 of the first mask layer 22, and a plurality of probes 15). The plurality of probes 15 are arranged in one line along the lateral direction of the drawing. Thereafter, the first mask layer 22 is removed.

도 3d를 참고하면, 기판(20) 위로 제2 마스크층(25)을 형성하고, 제2 마스크층(25)을 패터닝하여 홀더와 같은 모양의 개구부(26)를 형성한다. 복수의 프로브(15)는 제2 마스크층(25)의 개구부(26)에 의해 노출된다.Referring to FIG. 3D, a second mask layer 25 is formed on the substrate 20, and the second mask layer 25 is patterned to form an opening 26 like the holder. The plurality of probes 15 are exposed by the openings 26 of the second mask layer 25. [

도 3e와 도 3f를 참고하면, 제2 마스크층(25)의 개구부(26)에 제2 금속(27), 예를 들어 구리를 전기 도금하고, 화학기계적 연마 처리를 거쳐 홀더(11)를 형성한다. 이후 제2 마스크층(25)을 제거한다. 홀더(11)는 프로브들(15) 사이 공간에도 형성되어 각 프로브(15)의 세 면과 접할 수 있다. 이 경우 홀더(11)와 프로브(15)의 접촉 면적을 늘려 복수의 프로브(15)를 보다 안정적으로 지지할 수 있다.3E and 3F, a second metal 27, for example, copper is electroplated on the opening 26 of the second mask layer 25 and the holder 11 is formed through chemical mechanical polishing do. Thereafter, the second mask layer 25 is removed. The holder 11 may also be formed in the space between the probes 15 and be in contact with the three surfaces of the respective probes 15. In this case, the plurality of probes 15 can be more stably supported by increasing the contact area between the holder 11 and the probes 15.

도 3g를 참고하면, 씨드 금속층(21)을 식각으로 제거하여 기판(20)으로부터 프로브-홀더 유닛(10)을 분리시킨다. 전술한 전기 도금법으로 제작된 프로브-홀더 유닛의 사진을 도 4와 도 5에 나타내었다.Referring to FIG. 3G, the seed metal layer 21 is removed by etching to separate the probe-holder unit 10 from the substrate 20. A photograph of the probe-holder unit manufactured by the above-described electroplating method is shown in FIGS. 4 and 5. FIG.

전술한 방법으로 프로브-홀더 유닛(10)을 간편하게 제조할 수 있으며, 100㎛ 이하 미세 피치의 프로브(15)를 용이하게 제조할 수 있다. 도 3에서는 편의상 하나의 프로브-홀더 유닛(10)을 도시하였으나, 실제로는 하나의 기판(20) 위에서 복수의 프로브-홀더 유닛(10)을 동시에 제조한다.The probe-holder unit 10 can be easily manufactured by the above-described method, and the probe 15 having a fine pitch of 100 m or less can be easily manufactured. Although FIG. 3 shows a single probe-holder unit 10 for the sake of convenience, it actually produces a plurality of probe-holder units 10 on one substrate 20 at the same time.

한편, 홀더(11)는 포토레지스트와 같은 고분자 물질로 형성될 수 있으며, 이 경우 전기 도금 대신 액상 코팅과 경화 과정이 적용될 수 있다. 이때 홀더(11)를 구성하는 고분자 물질은 제2 마스크층(25)을 제거하는데 사용되는 식각액에 대해 식각 저항성을 가진다.Meanwhile, the holder 11 may be formed of a polymer material such as a photoresist. In this case, a liquid coating and a curing process may be applied instead of electroplating. At this time, the polymer material constituting the holder 11 has an etching resistance to the etching liquid used to remove the second mask layer 25. [

도 6은 도 1에 도시한 제2 단계의 제1 가이드와 복수의 프로브-홀더 유닛을 나타낸 사시도이고, 도 7은 도 6의 단면도이다.FIG. 6 is a perspective view showing a first guide and a plurality of probe-holder units in the second step shown in FIG. 1, and FIG. 7 is a sectional view of FIG.

도 6과 도 7을 참고하면, 제2 단계(S20)에서 복수의 관통 홀(31)이 형성된 제1 가이드(30)를 준비한다. 제1 가이드(30)는 프로브 모듈에서 프로브(15)의 아래쪽 일부를 지지하는 하부 가이드 블록으로 기능한다. 제1 가이드(30)의 관통 홀(31)은 제1 방향 및 이와 교차하는 제2 방향을 따라 일렬로 정렬되어 위치한다. 제1 가이드(30)의 관통 홀(31)은 2차원 구조로 배열되나 이에 한정되지 않으며 불규칙한 배열이 적용될 수도 있다.Referring to FIGS. 6 and 7, a first guide 30 having a plurality of through holes 31 is prepared in a second step S20. The first guide 30 functions as a lower guide block for supporting a lower part of the probe 15 in the probe module. The through holes 31 of the first guide 30 are aligned in a line along the first direction and the second direction intersecting the first direction. The through holes 31 of the first guide 30 are arranged in a two-dimensional structure, but the present invention is not limited thereto, and an irregular arrangement may be applied.

제1 가이드(30) 위로 지지 부재(40)가 배치될 수 있다. 지지 부재(40)는 제1 가이드(30)와 다음에 설명할 제2 가이드 사이에 위치하여 제1 가이드(30)와 제2 가이드의 간격을 일정하게 유지시키는 기능을 한다. 지지 부재(40)는 사각 프레임 모양이거나 막대 모양으로 형성될 수 있다. 도 6에서는 두 개의 막대 모양 지지 부재(40)가 제2 방향을 따라 서로 마주하도록 배치된 경우를 예로 들어 도시하였다. 지지 부재(40)의 조립은 도 1의 제1 단계(S10)와 제2 단계(S20) 사이 또는 제2 단계(S20)와 제3 단계(S30) 사이에서 이루어질 수 있다.The support member 40 may be disposed on the first guide 30. The support member 40 is positioned between the first guide 30 and the second guide to be described later, and functions to maintain a constant distance between the first guide 30 and the second guide. The support member 40 may have a square frame shape or a bar shape. In FIG. 6, the two rod-like supporting members 40 are arranged to face each other along the second direction. The support member 40 may be assembled between the first step S10 and the second step S20 of FIG. 1 or between the second step S20 and the third step S30.

이어서 홀더(11)를 조작하여 제1 가이드(30)의 관통 홀(31)에 한 줄의 프로브(15)를 동시에 끼워 하나의 프로브-홀더 유닛(10)을 제1 가이드(30)에 조립한다. 이후 같은 방법으로 홀더(11)를 조작하여 제1 가이드(30)의 관통 홀(31)에 복수의 프로브(15)를 한 줄씩 순서대로 끼워 복수의 프로브-홀더 유닛(10)을 제1 가이드(30)에 모두 조립한다.The holder 11 is operated so that one probe 15 is simultaneously inserted into the through hole 31 of the first guide 30 so that one probe-holder unit 10 is assembled to the first guide 30 . Thereafter, the holder 11 is operated in the same manner to sequentially fit a plurality of probes 15 into the through holes 31 of the first guide 30 in a line by line so as to connect the plurality of probe-holder units 10 to the first guide 30).

이때 복수의 프로브(15) 각각에 제1 스토퍼(161)가 형성되어 있으므로, 제1스토퍼(161)가 제1 가이드(30)의 윗면(내면)과 접한다. 복수의 프로브(15)는 제1 스토퍼(161)에 의해 제1 가이드(30)의 관통 홀(31)에 정렬되며, 제1 가이드(30)에 끼워진 후 흔들림이 억제된다.At this time, since the first stopper 161 is formed on each of the plurality of probes 15, the first stopper 161 contacts the upper surface (inner surface) of the first guide 30. The plurality of probes 15 are aligned with the through holes 31 of the first guide 30 by the first stopper 161 and are prevented from shaking after they are inserted into the first guide 30.

하나의 프로브-홀더 유닛(10)에 제공된 프로브(15)의 개수는 제1 방향을 따라 정렬된 관통 홀(31)의 개수와 동일하고, 제1 가이드(30)에 조립되는 프로브-홀더 유닛(10)의 개수는 제2 방향을 따라 정렬된 관통 홀(31)의 개수와 동일하다.The number of the probes 15 provided in one probe-holder unit 10 is equal to the number of the through-holes 31 aligned along the first direction, and the number of the probe- 10 are the same as the number of through holes 31 aligned along the second direction.

홀더(11)는 제2 방향을 따라 정렬된 프로브들(15)의 피치(중심간 거리)보다 작은 두께로 형성되어 조립 과정에서 다음 프로브-홀더 유닛(10)의 홀더(11)와 간섭이 일어나지 않도록 한다. 즉 제2 방향을 따라 정렬된 복수의 홀더(11)는 서로간 소정의 거리를 두고 위치한다.The holder 11 is formed to have a thickness smaller than the pitch (center-to-center distance) of the probes 15 aligned along the second direction so that interference occurs with the holder 11 of the next probe- . That is, the plurality of holders 11 aligned along the second direction are located at a predetermined distance from each other.

전술한 프로브-홀더 유닛(10)을 이용함에 따라 복수의 프로브(15)를 제1 가이드(30)의 관통 홀(31)에 끼우는 조작 회수를 줄여 조립을 간편하게 할 수 있으며, 제1 가이드(30)와 프로브들(15)의 조립 정밀도를 향상시킬 수 있다.It is possible to simplify the assembly by reducing the number of operations for inserting the plurality of probes 15 into the through holes 31 of the first guide 30 by using the probe-holder unit 10 described above, And the probes 15 can be improved.

도 8은 도 1에 도시한 제3 단계의 프로브 모듈을 나타낸 사시도이고, 도 9는 도 도 8의 단면도이다.FIG. 8 is a perspective view showing the probe module of the third step shown in FIG. 1, and FIG. 9 is a sectional view of FIG.

도 8과 도 9를 참고하면, 제3 단계(S30)에서 복수의 관통 홀(51)이 형성된 제2 가이드(50)를 준비한다. 제2 가이드(50)는 프로브 모듈에서 프로브(15)의 위쪽 일부를 지지하는 상부 가이드 블록으로 기능한다. 제2 가이드(50)의 관통 홀(51)은 제1 가이드(30)의 관통 홀(31)과 같은 위치에서 같은 개수로 형성된다.Referring to FIGS. 8 and 9, a second guide 50 having a plurality of through holes 51 is prepared in a third step S30. The second guide 50 functions as an upper guide block for supporting the upper portion of the probe 15 in the probe module. The through holes 51 of the second guide 50 are formed in the same number as the through holes 31 of the first guide 30.

제1 가이드(30)와 지지 부재(40)에 복수의 프로브-홀더 유닛(10)이 모두 조립된 상태이므로, 제3 단계(S30)에서는 제2 가이드(50)의 관통 홀(51)에 복수의 프로브(15)를 한 번에 끼워 조립한다. 이때 복수의 프로브(15) 각각에 제2 스토퍼(162)가 형성되어 있으므로, 제2 스토퍼(162)는 제2 가이드(50)의 아랫면(내면)과 접한다. 복수의 프로브(15)는 제2 스토퍼(162)에 의해 제2 가이드(50)의 관통 홀(51)에 정렬된다.A plurality of probe-holder units 10 are assembled to the first guide 30 and the support member 40. In the third step S30, a plurality of probe-holder units 10 are provided in the through holes 51 of the second guide 50, The probe 15 is assembled by inserting the probe 15 at one time. At this time, since the second stoppers 162 are formed in each of the plurality of probes 15, the second stopper 162 is in contact with the lower surface (inner surface) of the second guide 50. The plurality of probes 15 are aligned with the through holes 51 of the second guide 50 by the second stoppers 162.

제2 가이드(50)에는 가이드 홀(55)이 형성될 수 있고, 가이드 홀(55)과 마주하는 지지 부재(40) 또는 제1 가이드(30)에도 가이드 홀이 형성될 수 있다. 이 경우 복수의 프로브-홀더 유닛(10)과 제2 가이드(50)를 조립하는 과정에서 가이드 홀(55)에 막대 등을 끼워 제2 가이드(50)를 쉽게 위치시킬 수 있다.The guide hole 55 may be formed in the second guide 50 and the guide hole may be formed in the support member 40 or the first guide 30 facing the guide hole 55. [ In this case, the second guide 50 can be easily positioned by inserting a rod or the like into the guide hole 55 in the process of assembling the plurality of probe-holder units 10 and the second guide 50.

이로써 제1 가이드(30), 지지 부재(40), 복수의 프로브-홀더 유닛(10), 및 제2 가이드(50)를 일체로 조립한다. 제1 가이드(30)와 제2 가이드(50)는 지지 부재(40)를 사이에 두고 볼트(60)와 같은 체결 부재에 의해 견고하게 고정될 수 있다.Thus, the first guide 30, the support member 40, the plurality of probe-holder units 10, and the second guide 50 are integrally assembled. The first guide 30 and the second guide 50 can be firmly fixed by the fastening member such as the bolt 60 with the support member 40 interposed therebetween.

프로브(15)의 위쪽 일부는 제2 가이드(50)의 외측으로 돌출되고, 이후 프로브 카드(도시하지 않음)를 구성하는 인터포저에 연결되어 인쇄회로 기판의 전기 회로와 전기적으로 연결된다. 도 10은 도 1에 도시한 제4 단계의 프로브 모듈을 나타낸 개략 단면도이다.The upper part of the probe 15 protrudes outside the second guide 50 and is then connected to the interposer constituting the probe card (not shown) and electrically connected to the electric circuit of the printed circuit board. 10 is a schematic cross-sectional view of the probe module of the fourth step shown in FIG.

도 10을 참고하면, 제4 단계(S40)에서 홀더(11)는 식각으로 제거될 수 있다. 홀더(11)를 제거할 때 식각액을 사용할 수 있으며, 한 쌍의 지지 부재(40) 사이의 공간을 통해 제1 가이드(30)와 제2 가이드(50) 사이로 식각액이 흐를 수 있다.Referring to FIG. 10, in the fourth step S40, the holder 11 may be removed by etching. An etchant may be used to remove the holder 11 and the etchant may flow between the first guide 30 and the second guide 50 through a space between the pair of support members 40.

제4 단계(S40)에서 제1 가이드(30), 지지 부재(40), 제2 가이드(50), 및 복수의 프로브(15)는 홀더(11)의 식각액에 대해 식각 저항성을 가진다. 제1 가이드(30)와 제2 가이드(50) 및 지지 부재(40)는 플라스틱, 세라믹, 또는 산화실리콘(SiO2) 등의 소재로 형성될 수 있다.In the fourth step S40, the first guide 30, the support member 40, the second guide 50, and the plurality of probes 15 have an etching resistance to the etchant of the holder 11. The first guide 30, the second guide 50 and the support member 40 may be formed of a material such as plastic, ceramics, or silicon oxide (SiO 2 ).

제4 단계(S40)에서 홀더(11)가 제거됨에 따라, 제1 가이드(30), 지지 부재(40), 제2 가이드(50), 및 제1 스토퍼(161)와 제2 스토퍼(162)를 구비한 복수의 프로브(15)로 이루어진 프로브 모듈(100)이 완성된다. 제1 가이드(30)와 제2 가이드(50)는 복수의 관통 홀(31, 51)을 형성하여 프로브(15)를 2차원 배열로 정렬시키며, 지지 부재(40)는 제1 가이드(30)와 제2 가이드(50)의 간격을 일정하게 유지시킨다. 그리고 제1 스토퍼(161)는 제1 가이드(30)의 내면과 접하며, 제2 스토퍼(162)는 제2 가이드(50)의 내면과 접한다.The first guide 30, the support member 40, the second guide 50, and the first stopper 161 and the second stopper 162 as the holder 11 is removed in the fourth step S40. The probe module 100 including the plurality of probes 15 is completed. The first guide 30 and the second guide 50 form a plurality of through holes 31 and 51 to align the probes 15 in a two-dimensional array, And the second guide (50). The first stopper 161 is in contact with the inner surface of the first guide 30 and the second stopper 162 is in contact with the inner surface of the second guide 50.

전술한 방법으로 제조된 프로브 모듈에서 2차원으로 정렬 배치된 프로브들의 사진을 도 11에 나타내었다.A photograph of the probes arranged in two dimensions in the probe module manufactured by the above-described method is shown in FIG.

전술한 프로브 모듈(100)의 제조 방법에 따르면, 홀더(11)를 이용하여 복수의 프로브(15)를 동시에 조작할 수 있으므로 프로브(15) 조립에 따른 공정 수와 작업 시간을 효과적으로 줄일 수 있으며, 조립 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또한, 100㎛ 이하 미세 피치의 프로브(15)를 용이하게 제조할 수 있다.According to the above-described method of manufacturing the probe module 100, since the plurality of probes 15 can be operated simultaneously using the holder 11, the number of processes and the working time due to the assembly of the probes 15 can be effectively reduced, The assembly precision can be improved. Further, the probes 15 having a fine pitch of 100 mu m or less can be easily manufactured.

다음으로, 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법에 대해 설명한다.Next, a method of manufacturing a probe module according to a second embodiment of the present invention will be described.

제2 실시예의 제조 방법은 지지 부재에 홀더가 끼워지는 가이드 홈이 형성되는 것을 제외하고 전술한 제1 실시예의 제조 방법과 동일하다. 제1 실시예와 같은 부재에 대해서는 같은 도면 부호를 사용하며, 아래에서는 제1 실시예와 다른 부분에 대해 설명한다.The manufacturing method of the second embodiment is the same as the manufacturing method of the above-described first embodiment except that a guide groove in which the holder is fitted is formed in the support member. The same reference numerals are used for the same members as in the first embodiment, and a description will be given below of parts different from those of the first embodiment.

도 12는 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법 중 제1 단계와 제2 단계의 프로브-홀더 유닛과 제1 가이드를 나타낸 사시도이고, 도 13은 도 12의 단면도이다.FIG. 12 is a perspective view showing a probe-holder unit and a first guide in a first step and a second step of a method of manufacturing a probe module according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 13 is a sectional view of FIG.

도 12와 도 13을 참고하면, 제2 실시예의 제조 방법에서 지지 부재(40)는 홀더(11)의 길이 방향인 제1 방향을 따라 서로 마주하며, 각 지지 부재(40)의 내측에는 손잡이부(13)가 끼워지는 복수의 가이드 홈(41)이 형성된다. 지지 부재(40) 각각에 형성된 가이드 홈(41)의 개수는 프로브-홀더 유닛(10)의 개수와 동일하다.12 and 13, in the manufacturing method of the second embodiment, the support members 40 face each other along a first direction in the longitudinal direction of the holder 11, and inside the support members 40, A plurality of guide grooves 41 into which the guide grooves 13 are fitted are formed. The number of the guide grooves 41 formed in each of the support members 40 is the same as the number of the probe-holder units 10.

제2 단계(S20)에서 홀더(11)는 손잡이부(13)의 양쪽 끝이 지지 부재(40)의 가이드 홈(41)에 끼워지는 방식으로 지지 부재(40)와 조립된다. 이에 따라 프로브-홀더 유닛(10)은 제1 가이드(30)와 조립되는 과정에서 끼워지는 방향을 안내 받을 수 있고, 흔들림 없이 지지 부재에 견고하게 고정될 수 있다.The holder 11 is assembled with the support member 40 in such a manner that both ends of the handle 13 are fitted into the guide grooves 41 of the support member 40 in the second step S20. Accordingly, the probe-holder unit 10 can be guided in the fitting direction in the course of assembling with the first guide 30, and can be firmly fixed to the support member without shaking.

도 14는 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법 중 제3 단계의 제1 및 제2 가이드와 프로브-홀더 유닛을 나타낸 단면도이다.FIG. 14 is a cross-sectional view showing a first and a second guide and a probe-holder unit in a third step of a method of manufacturing a probe module according to a second embodiment of the present invention.

도 14를 참고하면, 제3 단계(S30)에서 제2 가이드(50)의 관통 홀(51)에 복수의 프로브(15)를 한 번에 끼워 조립한다. 이후 제4 단계(S40)에서 홀더(11)는 식각으로 제거된다.Referring to FIG. 14, in a third step S30, a plurality of probes 15 are inserted and assembled into the through holes 51 of the second guide 50 at once. Then, in the fourth step S40, the holder 11 is removed by etching.

다음으로, 본 발명의 제3 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법에 대해 설명한다.Next, a method of manufacturing the probe module according to the third embodiment of the present invention will be described.

제3 실시예의 제조 방법은 홀더의 손잡이부에 제1 및 제2 가이드 돌기가 형성됨과 아울러 제1 및 제2 가이드에 가이드 홀 또는 가이드 홈이 형성되는 것을 제외하고 전술한 제1 실시예의 제조 방법과 동일하다. 제1 실시예와 같은 부재에 대해서는 같은 도면 부호를 사용하며, 아래에서는 제1 실시예와 다른 부분에 대해 설명한다.The manufacturing method of the third embodiment is the same as the manufacturing method of the first embodiment except that first and second guide protrusions are formed on the handle of the holder and guide holes or guide grooves are formed in the first and second guides same. The same reference numerals are used for the same members as in the first embodiment, and a description will be given below of parts different from those of the first embodiment.

도 15는 본 발명의 제3 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법 중 제1 단계와 제2 단계의 프로브-홀더 유닛과 제1 가이드를 나타낸 사시도이고, 도 16은 도 15의 단면도이다.FIG. 15 is a perspective view showing a probe-holder unit and a first guide in a first step and a second step in a method of manufacturing a probe module according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 16 is a sectional view of FIG.

도 15와 도 16을 참고하면, 제3 실시예의 제조 방법에서 손잡이부(13)의 아랫면과 윗면에 각각 제1 가이드 돌기(171)와 제2 가이드 돌기(172)가 형성된다. 지지 부재(40)는 제2 방향을 따라 서로 마주할 수 있으며, 제1 가이드(30)는 제1 가이드 돌기(171)와 마주하는 부분에 제1 가이드 음각부를 형성한다. 제1 가이드 음각부는 가이드 홀(32) 또는 가이드 홈으로 이루어진다.Referring to FIGS. 15 and 16, in the manufacturing method of the third embodiment, the first guide protrusion 171 and the second guide protrusion 172 are formed on the lower surface and the upper surface of the handle 13, respectively. The support members 40 may face each other along the second direction, and the first guide 30 forms a first guide engraved portion at the portion facing the first guide projection 171. The first guide engraved portion is composed of a guide hole (32) or a guide groove.

제2 단계(S20)에서 홀더(11)는 제1 가이드 돌기(171)가 제1 가이드(30)의 가이드 홀(32)에 끼워지는 방식으로 제1 가이드(30)와 조립된다. 이에 따라 프로브-홀더 유닛(10)은 제1 가이드(30)에 안정적으로 조립되며 흔들림이 억제된다.The holder 11 is assembled with the first guide 30 in such a manner that the first guide protrusion 171 is fitted into the guide hole 32 of the first guide 30 in the second step S20. Thus, the probe-holder unit 10 is stably assembled to the first guide 30, and shaking is suppressed.

도 17은 본 발명의 제3 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법 중 제3 단계의 제1 및 제2 가이드와 프로브-홀더 유닛을 나타낸 단면도이다.17 is a cross-sectional view showing a first and a second guide and a probe-holder unit in a third step of a method of manufacturing a probe module according to a third embodiment of the present invention.

도 17을 참고하면, 제3 단계(S30)에서 제2 가이드(50)의 관통 홀(51)에 복수의 프로브(15)를 한 번에 끼워 조립한다. 이때 제2 가이드(50)는 제2 가이드 돌기(172)와 마주하는 부분에 제2 가이드 음각부를 형성하고 있다. 제2 가이드 음각부는 가이드 홀(52) 또는 가이드 홈으로 이루어진다. 제3 단계(S30)에서 홀더(11)는 제2 가이드 돌기(172)가 제2 가이드(50)의 가이드 홀(52)에 끼워지는 방식으로 제2 가이드(50)와 조립된다.Referring to FIG. 17, in the third step (S30), a plurality of probes 15 are fitted into the through holes 51 of the second guide 50 at one time. At this time, the second guide (50) forms a second guide intaglio portion at the portion facing the second guide projection (172). The second guide intaglio portion is formed of a guide hole 52 or a guide groove. The holder 11 is assembled with the second guide 50 in such a manner that the second guide protrusion 172 is fitted in the guide hole 52 of the second guide 50 in the third step S30.

이에 따라 프로브-홀더 유닛(10)은 제2 가이드(50)에 안정적으로 조립되며 흔들림이 억제된다. 이후 제4 단계(S40)에서 홀더(11)는 식각으로 제거된다. 제3 실시예의 경우 지지 부재(40)에 가이드 홈을 형성하는 과정을 생략할 수 있다.Thus, the probe-holder unit 10 is stably assembled to the second guide 50, and shaking is suppressed. Then, in the fourth step S40, the holder 11 is removed by etching. The process of forming the guide groove in the support member 40 may be omitted in the third embodiment.

다음으로, 본 발명의 제4 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법에 대해 설명한다.Next, a method of manufacturing the probe module according to the fourth embodiment of the present invention will be described.

제4 실시예의 제조 방법은 프로브-홀더 유닛의 홀더가 하나의 손잡이부를 형성함과 아울러 지지 부재에 형성된 가이드 홈의 개수가 절반으로 감소한 것을 제외하고 전술한 제2 실시예의 제조 방법과 동일하다. 제2 실시예와 같은 부재에 대해서는 같은 도면 부호를 사용하며, 아래에서는 제2 실시예와 다른 부분에 대해 설명한다.The manufacturing method of the fourth embodiment is the same as the manufacturing method of the second embodiment except that the holder of the probe-holder unit forms one knob and the number of guide grooves formed in the support member is reduced by half. The same reference numerals are used for the same members as those of the second embodiment, and a description will be given below of portions different from those of the second embodiment.

도 18은 본 발명의 제4 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법 중 제1 단계와 제2 단계의 프로브-홀더 유닛과 제1 가이드를 나타낸 사시도이고, 도 19는 도 18의 단면도이다.FIG. 18 is a perspective view showing a probe-holder unit and a first guide in a first step and a second step of a method of manufacturing a probe module according to a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 19 is a sectional view of FIG.

도 18과 도 19를 참고하면, 제4 실시예의 프로브-홀더 유닛(10)에서 홀더(11)는 하나의 손잡이부(13)를 포함한다. 즉 복수의 프로브(15)가 고정되는 지지부(12)의 일측에 하나의 손잡이부(13)가 형성된다. 복수의 프로브-홀더 유닛(10) 중 홀수번째 위치하는 프로브-홀더 유닛의 손잡이부(13)와 짝수번째 위치하는 프로브-홀더 유닛의 손잡이부(13)는 서로 반대측에 위치한다.Referring to Figs. 18 and 19, in the probe-holder unit 10 of the fourth embodiment, the holder 11 includes one knob 13. That is, one handle 13 is formed on one side of the supporting part 12 to which a plurality of probes 15 are fixed. The grip portions 13 of the probe-holder units located at odd positions with the grip portions 13 of the odd-numbered probe-holder units of the plurality of probe-holder units 10 are located on the opposite sides.

각 지지 부재(40)의 내측에는 손잡이부(13)가 끼워지는 복수의 가이드 홈(41)이 형성된다. 이때 어느 하나의 지지 부재(40)에는 홀수번째 프로브-홀더 유닛의 손잡이부(13)가 끼워지기 위한 복수의 가이드 홈(41)이 형성되고, 다른 하나의 지지 부재에는 짝수번째 프로브-홀더 유닛의 손잡이부(13)가 끼워지기 위한 복수의 가이드 홈(41)이 형성된다. 두 개의 지지 부재(40)에 형성된 가이드 홈(41)은 서로 어긋나게 배치된다.A plurality of guide grooves 41 are formed on the inner side of each of the support members 40, in which the handle 13 is fitted. At this time, a plurality of guide grooves 41 for fitting the grip portion 13 of the odd-numbered probe-holder unit are formed in any one of the support members 40, and the other one of the support- A plurality of guide grooves 41 for fitting the handle 13 are formed. The guide grooves 41 formed in the two support members 40 are arranged to be shifted from each other.

제2 단계(S20)에서 홀더(11)는 하나의 손잡이부(13)가 지지 부재(40)의 해당 가이드 홈(41)에 끼워지는 방식으로 지지 부재(40)와 조립된다. 홀더(11)에 하나의 손잡이부(13)만을 구비함으로써 제작이 어려운 작은 피치의 가이드 홈(41)을 효과적으로 이용할 수 있다.The holder 11 is assembled with the support member 40 in such a manner that one knob 13 is fitted into the corresponding guide groove 41 of the support member 40 in the second step S20. It is possible to effectively use the guide groove 41 having a small pitch, which is difficult to manufacture, by providing only one grip portion 13 in the holder 11.

다음으로, 본 발명의 제5 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법에 대해 설명한다.Next, a method of manufacturing a probe module according to a fifth embodiment of the present invention will be described.

제5 실시예의 제조 방법은 프로브-홀더 유닛의 홀더가 하나의 손잡이부를 형성함과 아울러 제1 가이드와 제2 가이드에 형성된 가이드 홀 또는 가이드 홈의 개수가 절반으로 감소한 것을 제외하고 전술한 제3 실시예의 제조 방법과 동일하다. 제3 실시예와 같은 부재에 대해서는 같은 도면 부호를 사용하며, 아래에서는 제3 실시예와 다른 부분에 대해 설명한다.The manufacturing method of the fifth embodiment is the same as the third embodiment except that the holder of the probe-holder unit forms one knob and the number of guide holes or guide grooves formed in the first guide and the second guide is reduced by half. This is the same as the example of the manufacturing method. The same reference numerals are used for the same members as those of the third embodiment, and a description will be given below of parts different from those of the third embodiment.

도 20은 본 발명의 제5 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법 중 제1 단계와 제2 단계의 프로브-홀더 유닛과 제1 가이드를 나타낸 사시도이고, 도 21은 도 20의 단면도이다.FIG. 20 is a perspective view showing a probe-holder unit and a first guide in a first step and a second step in a method of manufacturing a probe module according to a fifth embodiment of the present invention, and FIG. 21 is a sectional view of FIG.

도 20과 도 21을 참고하면, 제5 실시예의 프로브-홀더 유닛(10)에서 홀더(11)는 하나의 손잡이부(13)를 포함한다. 복수의 프로브-홀더 유닛(10) 중 홀수번째 위치하는 프로브-홀더 유닛의 손잡이부(13)와 짝수번째 위치하는 프로브-홀더 유닛의 손잡이부(13)는 서로 반대측에 위치한다.Referring to FIGS. 20 and 21, in the probe-holder unit 10 of the fifth embodiment, the holder 11 includes one knob 13. The grip portions 13 of the probe-holder units located at odd positions with the grip portions 13 of the odd-numbered probe-holder units of the plurality of probe-holder units 10 are located on the opposite sides.

제1 가이드(30)는 제1 가이드 돌기(171)와 마주하는 부분에 제1 가이드 음각부를 형성한다. 제1 가이드 음각부는 가이드 홀(32) 또는 가이드 홈으로 이루어진다. 제1 가이드(30)에서 관통 홀(31)의 일측에 위치하는 가이드 홀(32)과 타측에 위치하는 가이드 홀(32)은 서로 어긋나게 배치된다. 제2 단계(S20)에서 홀더(11)는 제1 가이드 돌기(171)가 제1 가이드(30)의 가이드 홀(32)에 끼워지는 방식으로 제1 가이드(10)와 조립된다.The first guide (30) forms a first guide engraved portion at a portion facing the first guide projection (171). The first guide engraved portion is composed of a guide hole (32) or a guide groove. The guide hole 32 located at one side of the through hole 31 in the first guide 30 and the guide hole 32 located at the other side are arranged to be shifted from each other. The holder 11 is assembled with the first guide 10 in such a manner that the first guide protrusion 171 is fitted into the guide hole 32 of the first guide 30 in the second step S20.

도 22는 본 발명의 제5 실시예에 따른 프로브 모듈의 제조 방법 중 제3 단계의 제1 및 제2 가이드와 프로브-홀더 유닛을 나타낸 단면도이다.FIG. 22 is a cross-sectional view showing a first and second guides and a probe-holder unit in a third step of a method of manufacturing a probe module according to a fifth embodiment of the present invention.

도 22를 참고하면, 제3 단계(S30)에서 제2 가이드(50)의 관통 홀(51)에 복수의 프로브(15)를 한 번에 끼워 조립한다. 이때 제2 가이드(50)는 제2 가이드 돌기(172)와 마주하는 부분에 제2 가이드 음각부를 형성하고 있다. 제2 가이드 음각부는 가이드 홀(52) 또는 가이드 홈으로 이루어진다. 제3 단계(S30)에서 홀더(11)는 제2 가이드 돌기(172)가 제2 가이드(50)의 가이드 홀(52)에 끼워지는 방식으로 제2 가이드(50)와 조립된다.Referring to FIG. 22, in the third step (S30), a plurality of probes 15 are fitted into the through holes 51 of the second guide 50 at one time. At this time, the second guide (50) forms a second guide intaglio portion at the portion facing the second guide projection (172). The second guide intaglio portion is formed of a guide hole 52 or a guide groove. The holder 11 is assembled with the second guide 50 in such a manner that the second guide protrusion 172 is fitted in the guide hole 52 of the second guide 50 in the third step S30.

홀더(11)에 하나의 손잡이부(13)만을 구비함으로써 제작이 어려운 작은 피치의 가이드 홀(32, 52)을 효과적으로 이용할 수 있다.It is possible to effectively use the guide holes 32 and 52 of small pitches, which are difficult to manufacture, by providing only one grip portion 13 in the holder 11. [

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, Of course.

10: 프로브-홀더 유닛 11: 홀더
12: 지지부 13: 손잡이부
15: 프로브 161: 제1 스토퍼
162: 제2 스토퍼 171: 제1 가이드 돌기
172: 제2 가이드 돌기 30: 제1 가이드
40: 지지 부재 41: 가이드 홈
50: 제2 가이드 31, 51: 관통 홀
100: 프로브 모듈10: probe-holder unit 11: holder
12: Support part 13: Handle part
15: probe 161: first stopper
162: second stopper 171: first guide projection
172: second guide projection 30: first guide
40: support member 41: guide groove
50: second guide 31, 51: through hole
100: probe module

Claims (28)

홀더 및 홀더에 한 줄로 정렬 부착된 복수의 프로브를 포함하는 프로브-홀더 유닛을 복수개 제조하는 단계;
상기 홀더에 부착된 상기 복수의 프로브를 제1 가이드에 형성된 복수의 관통 홀에 한 줄씩 순서대로 끼워 제1 가이드와 상기 복수의 프로브-홀더 유닛을 조립하는 단계;
상기 제1 가이드에 조립된 상기 복수의 프로브-홀더 유닛을 제2 가이드에 형성된 복수의 관통 홀에 한 번에 끼워 상기 복수의 프로브-홀더 유닛과 제2 가이드를 조립하는 단계; 및
상기 복수의 프로브에 고정된 상기 홀더를 제거하는 단계
를 포함하는 프로브 모듈의 제조 방법.A plurality of probe-holder units including a plurality of probes aligned in one line in a holder and a holder;
Assembling the first guide and the plurality of probe-holder units by sequentially inserting the plurality of probes attached to the holder into the plurality of through holes formed in the first guide, one by one in order;
Assembling the plurality of probe-holder units and the second guide by inserting the plurality of probe-holder units assembled in the first guide into a plurality of through-holes formed in the second guide at one time; And
Removing the holder fixed to the plurality of probes
Wherein the probe module comprises a plurality of probe modules. 제1항에 있어서,
상기 복수의 프로브 각각은 제1 스토퍼와 제2 스토퍼를 형성하며,
상기 제1 스토퍼와 상기 제2 스토퍼 각각은 상기 제1 가이드 및 상기 제2 가이드와 접하여 상기 복수의 프로브-홀더 유닛을 상기 제1 가이드 및 상기 제2 가이드에 정렬시키는 프로브 모듈의 제조 방법.The method according to claim 1,
Each of the plurality of probes forms a first stopper and a second stopper,
Wherein each of the first stopper and the second stopper contacts the first guide and the second guide to align the plurality of probe-holder units with the first guide and the second guide. 제2항에 있어서,
상기 홀더는 상기 복수의 프로브를 정렬 고정시키는 지지부와, 지지부의 양측에서 지지부보다 큰 면적으로 돌출 형성된 한 쌍의 손잡이부를 포함하는 프로브 모듈의 제조 방법.3. The method of claim 2,
Wherein the holder includes a support portion for aligning and fixing the plurality of probes and a pair of grip portions protruding from both sides of the support portion with a larger area than the support portion. 제3항에 있어서,
상기 한 쌍의 손잡이부 가운데 적어도 하나는 상측 또는 하측에 상하 방향을 구분하기 위한 절개부를 형성하는 프로브 모듈의 제조 방법.The method of claim 3,
Wherein at least one of the pair of grip portions forms an incision portion for separating the upper side or the lower side from the upper side or the lower side. 제3항에 있어서,
상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드 사이에 지지 부재가 제공되며,
상기 지지 부재의 내측에 상기 한 쌍의 손잡이부가 각각 끼워지는 복수의 가이드 홈이 형성되는 프로브 모듈의 제조 방법.The method of claim 3,
A support member is provided between the first guide and the second guide,
And a plurality of guide grooves are formed on the inner side of the support member to sandwich the pair of grip portions. 제3항에 있어서,
상기 한 쌍의 손잡이부 각각의 하측과 상측에 제1 가이드 돌기와 제2 가이드 돌기가 각각 형성되고,
상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드에는 상기 제1 가이드 돌기 및 상기 제2 가이드 돌기가 각각 끼워지는 가이드 홀 또는 가이드 홈이 형성되는 프로브 모듈의 제조 방법.The method of claim 3,
A first guide protrusion and a second guide protrusion are respectively formed on the lower side and the upper side of each of the pair of grip portions,
Wherein the first guide and the second guide have guide holes or guide grooves formed in the first guide protrusion and the second guide protrusion, respectively. 제2항에 있어서,
상기 홀더는 상기 복수의 프로브를 정렬 고정시키는 지지부와, 지지부의 일측에서 지지부보다 큰 면적으로 돌출 형성된 하나의 손잡이부를 포함하며,
상기 손잡이부는 상기 복수의 프로브-홀더 유닛 가운데 홀수번째 프로브-홀더 유닛과 짝수번째 프로브-홀더 유닛에서 서로 반대측에 위치하는 프로브 모듈의 제조 방법.3. The method of claim 2,
Wherein the holder includes a support for aligning and fixing the plurality of probes and a handle formed to protrude from one side of the support to a larger area than the support,
Wherein the handle portion is located on the opposite side of the odd-numbered probe-holder unit and the even-numbered probe-holder unit among the plurality of probe-holder units. 제7항에 있어서,
상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드 사이에 지지 부재가 제공되며,
상기 지지 부재의 내측에 상기 손잡이부가 끼워지는 복수의 가이드 홈이 형성되는 프로브 모듈의 제조 방법.8. The method of claim 7,
A support member is provided between the first guide and the second guide,
And a plurality of guide grooves are formed on the inside of the support member to fit the handle portion. 제7항에 있어서,
상기 손잡이부의 하측과 상측에 제1 가이드 돌기와 제2 가이드 돌기가 각각 형성되고,
상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드에는 상기 제1 가이드 돌기 및 상기 제2 가이드 돌기가 각각 끼워지는 가이드 홀 또는 가이드 홈이 형성되는 프로브 모듈의 제조 방법.8. The method of claim 7,
A first guide protrusion and a second guide protrusion are formed on the lower side and the upper side of the handle,
Wherein the first guide and the second guide have guide holes or guide grooves formed in the first guide protrusion and the second guide protrusion, respectively. 제5항 또는 제8항에 있어서,
상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드 및 상기 지지 부재는 플라스틱, 세라믹, 및 산화실리콘으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 포함하는 프로브 모듈의 제조 방법.9. The method according to claim 5 or 8,
Wherein the first guide, the second guide, and the support member include any one selected from the group consisting of plastic, ceramic, and silicon oxide. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 홀더를 제거할 때 식각액을 사용하며,
상기 복수의 프로브는 상기 홀더의 식각액에 대해 식각 저항성을 가지는 금속으로 형성되는 프로브 모듈의 제조 방법.10. The method according to any one of claims 1 to 9,
An etchant is used to remove the holder,
Wherein the plurality of probes are formed of a metal having an etching resistance to an etchant of the holder. 제11항에 있어서,
상기 복수의 프로브는 니켈, 니켈-코발트, 니켈-철, 베릴륨-구리, 및 알루미늄으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 포함하고,
상기 홀더는 고분자 물질, 구리, 및 알루미늄으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 포함하는 프로브 모듈의 제조 방법.12. The method of claim 11,
Wherein the plurality of probes comprises any one selected from the group consisting of nickel, nickel-cobalt, nickel-iron, beryllium-copper, and aluminum,
Wherein the holder comprises any one selected from the group consisting of a polymer material, copper, and aluminum. 제1항에 있어서,
상기 프로브-홀더 유닛의 제조 단계는,
기판 상에 씨드 금속층을 형성하고;
상기 씨드 금속층 위로 복수의 개구부를 가지는 제1 마스크층을 형성하고, 제1 마스크층의 개구부에 제1 금속을 전기 도금하여 복수의 프로브를 형성한 후 제1 마스크층을 제거하고;
상기 씨드 금속층 위로 개구부를 가지는 제2 마스크층을 형성하고, 제2 마스크층의 개구부에 제2 금속을 전기 도금하여 홀더를 형성한 후 제2 마스크층을 제거하고;
상기 씨드 금속층을 식각하여 상기 프로브-홀더 유닛을 상기 기판으로부터 분리시키는 과정들
을 포함하는 프로브 모듈의 제조 방법.The method according to claim 1,
Wherein the step of fabricating the probe-
Forming a seed metal layer on the substrate;
Forming a first mask layer having a plurality of openings on the seed metal layer, electroplating a first metal on the opening of the first mask layer to form a plurality of probes, and then removing the first mask layer;
Forming a second mask layer having an opening over the seed metal layer, electroplating a second metal on the opening of the second mask layer to form a holder and removing the second mask layer;
And etching the seed metal layer to separate the probe-holder unit from the substrate
The probe module comprising: 복수의 관통 홀을 형성하는 제1 가이드;
상기 제1 가이드와 이격 배치되며, 상기 제1 가이드의 관통 홀에 대응하는 복수의 관통 홀을 형성하는 제2 가이드;
손잡이부를 가지는 홀더에 의해 한 줄로 정렬 부착되고, 상기 제1 가이드의 관통 홀과 상기 제2 가이드의 관통 홀에 끼워져 위치하는 복수의 프로브; 및
상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드 사이에 위치하고, 상기 손잡이부를 지지하기 위한 가이드 홈을 형성하는 지지 부재를 포함하며,
상기 복수의 프로브 각각은 상기 제1 가이드의 내면과 접하는 제1 스토퍼와, 상기 제2 가이드의 내면과 접하는 제2 스토퍼를 형성하는 프로브 모듈.A first guide forming a plurality of through holes;
A second guide spaced apart from the first guide and defining a plurality of through holes corresponding to the through holes of the first guide;
A plurality of probes aligned in one line by a holder having a grip portion and positioned to be inserted into the through holes of the first guide and the through holes of the second guide; And
And a support member positioned between the first guide and the second guide and defining a guide groove for supporting the handle,
Wherein each of the plurality of probes forms a first stopper in contact with an inner surface of the first guide and a second stopper in contact with an inner surface of the second guide. 삭제delete 복수의 관통 홀과 더불어 제1 가이드 음각부를 형성하는 제1 가이드;
상기 제1 가이드와 이격 배치되며, 상기 제1 가이드의 관통 홀에 대응하는 복수의 관통 홀 및 상기 제1 가이드 음각부에 대응하는 제2 가이드 음각부를 형성하는 제2 가이드; 및
손잡이부를 가지는 홀더와, 상기 홀더에 한 줄로 정렬 부착되고 상기 제1 가이드의 관통 홀과 상기 제2 가이드의 관통 홀에 끼워져 위치하는 복수의 프로브를 가지는 복수의 프로브-홀더 유닛을 포함하며,
상기 손잡이부의 아랫면에 제1 가이드 돌기가 형성되어 상기 제1 가이드 음각부에 끼워지고, 상기 손잡이부의 윗면에 제2 가이드 돌기가 형성되어 상기 제2 가이드 음각부에 끼워지며,
상기 복수의 프로브-홀더 유닛의 상기 복수의 프로브 각각은 상기 제1 가이드의 내면과 접하는 제1 스토퍼와, 상기 제2 가이드의 내면과 접하는 제2 스토퍼를 형성하는 프로브 모듈.A first guide forming a first guide engraved portion together with a plurality of through holes;
A second guide which is spaced apart from the first guide and has a plurality of through holes corresponding to the through holes of the first guide and a second guide engraved portion corresponding to the first guide engraved portion; And
And a plurality of probe-holder units having a plurality of probes arranged in one line in the holder and sandwiched between the through-holes of the first guide and the through-holes of the second guide,
A first guide protrusion is formed on a lower surface of the handle and is fitted to the first guide engraved portion, a second guide protrusion is formed on an upper surface of the handle, and the guide protrusion is fitted to the second guide engraved portion,
Wherein each of the plurality of probes of the plurality of probe-holder units forms a first stopper in contact with the inner surface of the first guide and a second stopper in contact with the inner surface of the second guide. 삭제delete 삭제delete 복수의 관통 홀이 형성된 제1 가이드;
상기 제1 가이드와 이격 배치되며, 상기 제1 가이드의 관통 홀에 대응하는 복수의 관통 홀이 형성된 제2 가이드; 및
홀더 및 상기 홀더에 한 줄로 정렬 부착된 복수의 프로브를 포함하는 복수의 프로브-홀더 유닛을 포함하며,
상기 복수의 프로브는 상기 제1 가이드의 관통 홀과 상기 제2 가이드의 관통 홀에 끼워져 위치하고,
상기 홀더는 상기 복수의 프로브가 정렬 부착되는 지지부와, 상기 지지부의 적어도 일측에서 상기 지지부보다 큰 면적으로 돌출 형성된 손잡이부를 포함하는 프로브 모듈.A first guide having a plurality of through holes;
A second guide spaced apart from the first guide and having a plurality of through holes corresponding to the through holes of the first guide; And
And a plurality of probe-holder units including a holder and a plurality of probes aligned in one line in the holder,
Wherein the plurality of probes are sandwiched between a through hole of the first guide and a through hole of the second guide,
Wherein the holder includes a support portion in which the plurality of probes are aligned and attached, and a handle portion protruding from at least one side of the support portion to a larger area than the support portion. 제19항에 있어서,
상기 손잡이부는 상기 지지부의 양측에서 한 쌍으로 형성되는 프로브 모듈.20. The method of claim 19,
And the handle portion is formed as a pair on both sides of the support portion. 제20항에 있어서,
상기 한 쌍의 손잡이부 가운데 적어도 하나의 상측 또는 하측에 상하 방향을 구분하기 위한 절개부가 형성되는 프로브 모듈.21. The method of claim 20,
Wherein at least one of the pair of grip portions has a cut-out portion formed on an upper side or a lower side to divide the vertical direction. 제20항에 있어서,
상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드 사이에 위치하여 상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드의 간격을 일정하게 유지시키는 지지 부재를 더 포함하며,
상기 지지 부재는 그 내측에 상기 한 쌍의 손잡이부가 끼워지기 위한 복수의 가이드 홈을 형성하는 프로브 모듈.21. The method of claim 20,
And a support member positioned between the first guide and the second guide to maintain a constant distance between the first guide and the second guide,
And the support member has a plurality of guide grooves formed therein for fitting the pair of grip portions. 제20항에 있어서,
상기 한 쌍의 손잡이부 각각의 상측과 하측에 제1 가이드 돌기와 제2 가이드 돌기가 형성되고,
상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드는 상기 제1 가이드 돌기 및 상기 제2 가이드 돌기가 각각 끼워지는 제1 가이드 음각부와 제2 가이드 음각부를 형성하는 프로브 모듈.21. The method of claim 20,
A first guide protrusion and a second guide protrusion are formed on the upper and lower sides of each of the pair of grip portions,
Wherein the first guide and the second guide form a first engageable angle portion and a second engageable angle portion in which the first guide projection and the second guide projection are respectively fitted. 제19항에 있어서,
상기 손잡이부는 상기 지지부의 일측에 형성되며,
상기 복수의 프로브-홀더 유닛 가운데 홀수번째 프로브-홀더 유닛의 상기 손잡이부와 짝수번째 프로브-홀더 유닛의 상기 손잡이부는 서로 반대측에 위치하는 프로브 모듈.20. The method of claim 19,
Wherein the handle portion is formed on one side of the support portion,
Wherein the handle portion of the odd-numbered probe-holder unit and the handle portion of the even-numbered probe-holder unit among the plurality of probe-holder units are located on the opposite sides. 제24항에 있어서,
상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드 사이에 위치하여 상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드의 간격을 일정하게 유지시키는 지지 부재를 더 포함하며,
상기 지지 부재는 그 내측에 상기 손잡이부가 끼워지기 위한 복수의 가이드 홈을 형성하는 프로브 모듈.25. The method of claim 24,
And a support member positioned between the first guide and the second guide to maintain a constant distance between the first guide and the second guide,
And the support member has a plurality of guide grooves formed therein for fitting the handle. 제24항에 있어서,
상기 손잡이부의 상측과 하측에 제1 가이드 돌기와 제2 가이드 돌기가 각각 형성되고,
상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드에는 상기 제1 가이드 돌기 및 상기 제2 가이드 돌기가 각각 끼워지기 위한 제1 가이드 음각부 및 제2 가이드 음각부가 형성되는 프로브 모듈.25. The method of claim 24,
A first guide protrusion and a second guide protrusion are formed on the upper and lower sides of the handle,
Wherein the first guide and the second guide are provided with a first engaging angle portion and a second engaging angle portion for engaging the first guide projection and the second guide projection, respectively. 제19항 내지 제26항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 복수의 프로브 각각에는 상기 제1 가이드의 내면과 접하는 제1 스토퍼와, 상기 제2 가이드의 내면과 접하는 제2 스토퍼가 형성되는 프로브 모듈.27. The method according to any one of claims 19 to 26,
Wherein each of the plurality of probes has a first stopper contacting the inner surface of the first guide and a second stopper contacting the inner surface of the second guide. 제19항 내지 제26항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 가이드 및 상기 제2 가이드에 형성된 상기 복수의 관통 홀은 2차원 구조로 배열되는 프로브 모듈.27. The method according to any one of claims 19 to 26,
And the plurality of through holes formed in the first guide and the second guide are arranged in a two-dimensional structure.
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