JP6992482B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
特許文献1 特開2000-221091号公報
特許文献2 特開2015-10931号公報
Claims (12)
- 圧力センサであって、
基板のダイアフラムに設けられたセンサ部と、
前記基板に設けられ、前記センサ部と電気的に接続された回路部と、
前記基板の上方に設けられた導電性のパッドと、
前記パッド上に設けられた第1保護膜と
を備え、
前記センサ部は、
第1導電型のウェル領域と、
前記ウェル領域内に設けられた第2導電型の拡散領域と、
前記ウェル領域において、前記拡散領域と隣接して設けられた絶縁領域と、
を有し、
前記圧力センサは、前記絶縁領域の上方に設けられ、前記第1保護膜と異なる材料を有する第2保護膜を更に備え、
前記第1保護膜は、前記回路部の上方にも設けられている
圧力センサ。 - 前記第1保護膜は、前記回路部の全体を覆う
請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記第1保護膜は、前記センサ部の少なくとも一部を覆わない
請求項1又は2に記載の圧力センサ。 - 前記第1保護膜は、前記センサ部の一部を覆う
請求項1から3のいずれか一項に記載の圧力センサ。 - 前記第1保護膜は、金および白金の少なくとも1つを含む
請求項1から4のいずれか一項に記載の圧力センサ。 - 前記センサ部の上方に設けられたパッシベーション膜を更に備え、
前記第1保護膜は、前記パッシベーション膜上に設けられている
請求項1から5のいずれか一項に記載の圧力センサ。 - 前記第2保護膜は、前記パッシベーション膜の下方に設けられている
請求項6に記載の圧力センサ。 - 前記絶縁領域は、前記基板上に設けられた素子分離膜を有し、
前記第2保護膜は、前記素子分離膜上に設けられる
請求項1から7のいずれか一項に記載の圧力センサ。 - 前記回路部は、MOSトランジスタを有し、
前記第2保護膜は、前記MOSトランジスタのゲートのポリシリコンと同一の材料を有する
請求項1から8のいずれか一項に記載の圧力センサ。 - 前記第1保護膜の端部は、前記基板の上方において、前記第2保護膜と重複して設けられる
請求項1から9のいずれか一項に記載の圧力センサ。 - 前記第1保護膜および前記第2保護膜は、前記ウェル領域の端部の上方において重複して設けられる
請求項1から10のいずれか一項に記載の圧力センサ。 - 前記第2保護膜は、ポリシリコンを含む
請求項1から11のいずれか一項に記載の圧力センサ。
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