JP6992266B2 - 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、インク等の液体を吐出する技術に関する。

インク等の液体をノズルから吐出することで、記録媒体に画像を形成する液体吐出ヘッドが従来から提案されている。例えば、特許文献１には、駆動信号により駆動される圧電素子と、内部に液体が充填され、圧電素子の駆動に応じて内部の圧力が変動する圧力室と、圧力室に連通し、圧力室内の圧力の変動に応じて、圧力室に充填された液体を吐出するノズルと、圧電素子に駆動信号を供給するか否かを切り替えるスイッチ回路等の集積回路と、を備える液体吐出ヘッドが開示されている。

特開２０１４－０５１００８号公報

ところで、駆動信号は、大振幅の信号である。このため、スイッチ回路は、駆動信号の供給に伴い発熱する。すなわち、圧電素子への駆動信号の供給に伴い、スイッチ回路の温度は上昇する。スイッチ回路の温度が上昇していくと、スイッチ回路の耐久温度を超えてしまいスイッチ回路が安定動作できなくなる可能性がある。
また、例えば、３００ｄｐｉ（dots per inch）以上の解像度で画像を形成するために、高密度でノズルが並べられた液体吐出ヘッドにおいては、スイッチ回路を高集積化する必要があるため、単位面積あたりに流れる電流量の増加、スイッチ回路の小型化に伴うインピータンスの上昇、集密化に伴う廃熱性の低下などによって、スイッチ回路の温度の上昇はより大きな問題となる。また、例えば、高密度でノズルを並べられた液体吐出ヘッドを外乱ノイズ等の影響なく駆動させたいとの要求から、スイッチ回路を、前記圧電素子の近くである液体吐出ヘッドの内部に設けられる場合があり、この場合には、スイッチ回路と、液体吐出ヘッドの外部の空気とが接触する面積が小さくなり、スイッチ回路で発せられた熱を効率的に放熱することが困難となるため、相対的にスイッチ回路の温度が上昇しやすくなる。これらの場合には、スイッチ回路の温度が、スイッチ回路の耐久温度を超えることに起因して、スイッチ回路の動作が不安定となる可能性がより高くなる。

本発明は、上述した事情を鑑みてなされたものであり、スイッチ回路が設けられた液体吐出ヘッドにおいて、スイッチ回路が高温となる可能性を低減することを可能とする技術の提供を、解決課題の一つとする。

以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様に係る液体吐出ヘッドは、液体が充填された圧力室、前記圧力室に充填された前記液体を吐出可能なノズルに連通する連通流路、前記圧力室の壁面を構成する振動板、及び、駆動信号により駆動される圧電素子、を含む吐出部と、前記吐出部上に設けられた回路基板と、前記回路基板上に設けられ、前記駆動信号を前記圧電素子に供給するか否かを切り替えるスイッチ回路と、前記圧力室に供給される前記液体を貯留する貯留室と、を備え、前記圧電素子は、前記回路基板と前記吐出部とを含む複数の部材により構成された封止空間に設けられ、前記圧力室は、前記貯留室内の前記液体を前記圧力室に流入させるための流入口と、前記圧力室内の前記液体を前記貯留室に流出させるための流出口と、前記圧力室内の前記液体を前記連通流路に供給するための供給口と、を備え、前記液体は、少なくとも前記圧電素子が駆動される場合に、前記圧力室において、前記流入口から、前記流出口及び前記供給口の少なくとも一方に流れる、ことを特徴とする。

この態様によれば、スイッチ回路が実装される回路基板が、吐出部上に位置するので、スイッチ回路において生じた熱を、流入口から流出口または供給口へと流れる液体により、効率的に放熱することができる。このため、この態様によれば、圧力室に流出口が設けられない場合と比較して、スイッチ回路が高温となる可能性を低減することが可能となる。

また、本発明の好適な態様に係る液体吐出ヘッドは、液体が充填された圧力室、前記圧力室に充填された前記液体を吐出可能なノズルに連通する連通流路、前記圧力室の壁面を構成する振動板、及び、駆動信号により駆動される圧電素子、を含む吐出部と、前記吐出部上に設けられた回路基板と、前記回路基板上に設けられ、前記駆動信号を前記圧電素子に供給するか否かを切り替えるスイッチ回路と、前記圧力室に供給される前記液体を貯留する貯留室と、を備え、前記圧電素子は、前記回路基板と前記吐出部とを含む複数の部材により構成された封止空間に設けられ、前記圧力室は、前記貯留室内の前記液体を前記圧力室に流入させるための流入口と、前記圧力室内の前記液体を前記連通流路に供給するための供給口と、を備え、前記連通流路は、前記連通流路内の前記液体を前記貯留室に流出させるための流出口を備え、前記液体は、少なくとも前記圧電素子が駆動される場合に、前記流入口から、前記供給口及び前記連通流路を経由して、前記流出口及び前記ノズルの少なくとも一方に流れる、ことを特徴とする。

この態様によれば、スイッチ回路が実装される回路基板が、吐出部上に位置するので、スイッチ回路において生じた熱を、流入口から供給口を経由して流出口へと流れる液体により、効率的に放熱することができる。

上述した液体吐出ヘッドにおいて、前記貯留室は、前記流入口を介して前記圧力室に前記液体を流入させるための第１流路と、前記流出口から流出される前記液体を回収するための第２流路と、を備え、前記第２流路は前記第１流路に連通する、ことを特徴としてもよい。

この態様によれば、貯留室内の液体が循環するため、スイッチ回路において生じた熱を、貯留室内の液体を介して、効率的に放熱することができる。

上述した液体吐出ヘッドにおいて、前記回路基板の少なくとも一部は、前記貯留室と前記圧力室との間に設けられる、ことを特徴としてもよい。

この態様によれば、スイッチ回路が設けられる回路基板が、貯留室及び圧力室の間に設けられるため、スイッチ回路において生じた熱を、貯留室及び圧力室内の液体を介して、効率的に放熱することができる。

上述した液体吐出ヘッドは、複数の前記ノズルを備え、前記複数のノズルには、第１ノズルと、平面視で前記第２流路よりも前記第１ノズルとは反対側に位置する第２ノズルと、が含まれる、ことを特徴としてもよい。

この態様によれば、スイッチ回路において生じた熱を、第１流路及び第２流路内の液体を介して、効率的に放熱することができる。

上述した液体吐出ヘッドは、複数の前記ノズルを備え、前記複数のノズルは、１インチあたり３００個以上の密度で設けられる、ことを特徴としてもよい。

この態様によれば、液体吐出ヘッドから吐出される液体により、例えば画像を形成する場合に、高解像度の画像を形成することが可能となる。

上述した液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電素子は、前記圧力室に充填された前記液体を前記ノズルから１秒間に３００００回以上吐出させるように駆動可能である、ことを特徴としてもよい。

この態様によれば、液体吐出ヘッドから吐出される液体により、例えば画像を形成する場合に、高速で画像を形成することが可能となる。

上述した液体吐出ヘッドにおいて、前記流入口の断面積は、前記流出口の断面積よりも大きい、ことを特徴としてもよい。

この態様によれば、流出口の断面積が流入口の断面積よりも大きい場合と比較して、ノズルから液体を吐出させることが容易となる。

上述した液体吐出ヘッドにおいて、前記スイッチ回路の少なくとも一部は、前記圧電素子と前記貯留室との間に位置する、ことを特徴としてもよい。

この態様によれば、例えば、貯留室が、スイッチ回路と圧電素子との間に位置する場合と比較して、スイッチ回路と圧電素子との間の距離を短くすることができる。このため、スイッチ回路と圧電素子とを電気的に接続するための配線の長さを短くすることができ、当該配線により駆動信号を伝送する場合の発熱量を低減させることができる。

上述した液体吐出ヘッドにおいて、前記貯留室の少なくとも一部は、前記圧電素子の少なくとも一部と前記スイッチ回路の少なくとも一部との双方に平面視で重なる、ことを特徴としてもよい。

この態様によれば、貯留室が、圧電素子及びスイッチ回路の上方の空間を含むように形成されるため、貯留室が、当該空間を含まないように形成される場合と比較して、貯留室の容量を確保し易くなる。

上述した液体吐出ヘッドは、複数の前記圧電素子と、前記回路基板のうち、前記複数の圧電素子が配列する方向の端部に設置され、前記スイッチ回路に電気的に接続された配線部材と、を備える、ことを特徴としてもよい。

この態様によれば、配線部材と回路基板とが、回路基板の端部において接続されるため、回路基板の中央部において接続される場合と比較して、配線部材を設けるためのスペースを小さくすることができる。これにより、液体吐出ヘッドの小型化が可能となる。

上述した液体吐出ヘッドにおいて、前記スイッチ回路は、前記圧電素子への前記駆動信号の供給するか否かの切り替えに伴い発熱し、前記回路基板は、前記スイッチ回路において生じた熱が、前記圧力室の液体に伝搬するように設けられる、ことを特徴としてもよい。

この態様によれば、スイッチ回路において生じた熱を、圧力室内の液体を介して、効率的に放熱することができる。

上述した液体吐出ヘッドは、前記圧電素子が駆動される際、前記スイッチ回路の温度は、前記圧力室内の液体の温度よりも高く、前記スイッチ回路の熱が、前記圧力室内の液体へと伝搬することにより、前記スイッチ回路の温度上昇が抑制される、ことを特徴としてもよい。

この態様によれば、スイッチ回路において生じた熱を、圧力室内の液体を介して、効率的に放熱することができる。

また、本発明の好適な態様に係る液体吐出ヘッドは、液体が充填された第１圧力室と、前記液体が充填された第２圧力室と、前記第１圧力室及び前記第２圧力室に供給される前記液体を貯留する貯留室と、一端が前記第１圧力室に連通し、他端が前記貯留室に連通する第１接続流路と、一端が前記第２圧力室に連通し、他端が前記貯留室に連通する第２接続流路と、一端が前記第１圧力室に連通し、他端が前記第２圧力室に連通する連結流路と、前記第１圧力室に充填された前記液体を吐出可能なノズルと、前記第１圧力室の壁面を構成する振動板と、駆動信号により駆動される圧電素子と、前記振動板上に設けられた回路基板と、前記回路基板上に設けられ、前記駆動信号を前記圧電素子に供給するか否かを切り替えるスイッチ回路と、を備え、前記圧電素子は、前記回路基板を含む複数の部材により構成された封止空間に設けられる、ことを特徴とする。

この態様によれば、スイッチ回路が実装される回路基板が、振動板上に位置するので、スイッチ回路において生じた熱を、例えば、第１接続流路から第１圧力室と連結流路と第２圧力室とを経由して第２接続流路へと流れる液体により、効率的に放熱することができる。このため、この態様によれば、液体吐出ヘッドが連結流路を有していない場合と比較して、スイッチ回路が高温となる可能性を低減することが可能となる。

本発明の好適な態様に係る液体吐出装置は、以上に例示した各態様に係る液体吐出ヘッドを具備する。液体吐出装置の好例は、インクを吐出する印刷装置であるが、本発明に係る液体吐出装置の用途は印刷に限定されない。

本発明の第１実施形態に係る液体吐出装置１００の構成図である。 液体吐出ヘッド２６の分解斜視図である。 リザーバーＱの分解斜視図である。 液体吐出ヘッド２６の断面図である。 圧電素子３７の近傍を拡大した断面図である。 第２実施形態に係る液体吐出ヘッド２６Ａの分解斜視図である。 リザーバーＱAの分解斜視図である。 液体吐出ヘッド２６Ａの断面図である。 第３実施形態に係る液体吐出ヘッド２６Ｂの分解斜視図である。 リザーバーＱBの分解斜視図である。 液体吐出ヘッド２６Ｂの断面図である。 第４実施形態に係る液体吐出ヘッド２６Ｃの分解斜視図である。 リザーバーＱCの分解斜視図である。 液体吐出ヘッド２６Ｃの断面図である。 第５実施形態に係る液体吐出ヘッド２６Ｄの分解斜視図である。 液体吐出ヘッド２６Ｄの断面図である。 変形例３に係る液体吐出装置１００Ａの構成図である。

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。但し、各図において、各部の寸法及び縮尺は、実際のものと適宜に異ならせてある。また、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。

＜＜第１実施形態＞＞
以下、図１乃至図５を参照しつつ、第１実施形態に係る液体吐出装置１００について説明する。

＜＜１．液体吐出装置の概要＞＞
図１は、第１実施形態に係る液体吐出装置１００を例示する構成図である。第１実施形態に係る液体吐出装置１００は、液体の一例であるインクを媒体１２に吐出するインクジェット方式の印刷装置である。媒体１２は、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の印刷対象が媒体１２として利用され得る。
図１に例示される通り、液体吐出装置１００は、インクを貯留する液体容器１４を備える。液体容器１４としては、例えば、液体吐出装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、またはインクを補充可能なインクタンク等を採用することができる。液体容器１４には、色彩が相違する複数種のインクが貯留される。

図１に例示される通り、液体吐出装置１００は、制御装置２０と搬送機構２２と移動機構２４と複数の液体吐出ヘッド２６とを具備する。
制御装置２０は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリ等の記憶回路とを含み、液体吐出装置１００の各要素を制御する。本実施形態において、搬送機構２２は、制御装置２０による制御のもとで媒体１２を＋Ｙ方向に搬送する。なお、以下では、＋Ｙ方向と、＋Ｙ方向とは反対の方向である－Ｙ方向とを、Ｙ軸方向と総称する場合がある。

移動機構２４は、制御装置２０による制御のもとで、複数の液体吐出ヘッド２６を、＋Ｘ方向、及び、＋Ｘ方向とは反対の方向である－Ｘ方向に往復動させる。ここで、＋Ｘ方向とは、媒体１２が搬送される＋Ｙ方向に交差（典型的には直交）する方向である。以下では、＋Ｘ方向及び－Ｘ方向をＸ軸方向と総称する場合がある。移動機構２４は、複数の液体吐出ヘッド２６を収容する略箱型の搬送体（キャリッジ）２４２と、搬送体２４２が固定された無端ベルト２４４とを具備する。なお、液体容器１４を液体吐出ヘッド２６とともに搬送体２４２に搭載することも可能である。

複数の液体吐出ヘッド２６の各々には、液体容器１４からインクが供給される。また、複数の液体吐出ヘッド２６の各々には、制御装置２０から、液体吐出ヘッド２６を駆動するための駆動信号Ｃomと、液体吐出ヘッド２６を制御するための制御信号ＳIと、が供給される。そして、複数の液体吐出ヘッド２６の各々は、制御信号ＳIによる制御のもとで、駆動信号Ｃomにより駆動され、２Ｍ個のノズル（吐出孔）の一部又は全部から、＋Ｚ方向にインクを吐出させる（Ｍは、１以上の自然数）。
ここで、＋Ｚ方向は、＋Ｘ方向及び＋Ｙ方向に交差（典型的には直交）する方向である。以下では、＋Ｚ方向と、＋Ｚ方向とは反対の方向である－Ｚ方向とを、Ｚ軸方向と総称する場合がある。各液体吐出ヘッド２６は、搬送機構２２による媒体１２の搬送と、搬送体２４２の往復動とに連動して、２Ｍ個のノズルの一部又は全部からインクを吐出させて、当該吐出されたインクを媒体１２の表面に着弾させることで、媒体１２の表面に所望の画像を形成する。

＜＜２．液体吐出ヘッドの構造＞＞
図２は、各液体吐出ヘッド２６の分解斜視図であり、図３は、各液体吐出ヘッド２６に設けられたリザーバーＱ（「貯留室」の一例）を説明するための分解斜視図であり、図４は、図２におけるIII－III線の断面図である。

図２に例示される通り、液体吐出ヘッド２６は、Ｙ軸方向に配列された２Ｍ個のノズルＮを具備する。本実施形態において、２Ｍ個のノズルＮは、列Ｌ1と列Ｌ2との２列に区分されて配列される。以下では、列Ｌ1に属するＭ個のノズルＮの各々を、ノズルＮ1（「第１ノズル」の一例）と称し、列Ｌ2に属するＭ個のノズルＮの各々を、ノズルＮ2（「第２ノズル」の一例）と称する場合がある。本実施形態では、一例として、列Ｌ1に属するＭ個のノズルＮ1のうち、－Ｙ側からｍ番目のノズルＮ1と、列Ｌ2に属するＭ個のノズルＮ2のうち、－Ｙ側からｍ番目のノズルＮ2との、Ｙ軸方向の位置が略一致する場合を想定する（ｍは、１≦ｍ≦Ｍを満たす自然数）。ここで、「略一致」とは、完全に一致する場合の他に、誤差を考慮すれば同一と看做せる場合を含む概念である。
なお、２Ｍ個のノズルＮは、列Ｌ1に属するＭ個のノズルＮ1のうち、－Ｙ側からｍ番目のノズルＮ1と、列Ｌ2に属するＭ個のノズルＮ2のうち、－Ｙ側からｍ番目のノズルＮ2との、Ｙ軸方向の位置が相違するように、所謂、千鳥状またはスタガ状に配列されてもよい。

図２～図４に例示される通り、液体吐出ヘッド２６は流路基板３２を具備する。流路基板３２は、面Ｆ1と面ＦAとを含む板状部材である。面Ｆ1は＋Ｚ側の表面（液体吐出ヘッド２６から見て媒体１２側の表面）であり、面ＦAは面Ｆ1とは反対側（－Ｚ側）の表面である。面ＦAの面上には、圧力室基板３４と振動部３６と複数の圧電素子３７と保護部材３８と筐体部４０とが設置され、面Ｆ1の面上には、ノズル板５２と吸振体５４とが設置される。液体吐出ヘッド２６の各要素は、概略的には流路基板３２と同様にＹ方向に長尺な板状部材であり、例えば接着剤を利用して相互に接合される。なお、流路基板３２と圧力室基板３４と保護部材３８とノズル板５２とが積層される方向をＺ軸方向として把握することも可能である。

ノズル板５２は、２Ｍ個のノズルＮが形成された板状部材であり、例えば接着剤を利用して流路基板３２の面Ｆ1に設置される。各ノズルＮは、ノズル板５２に設けられた貫通孔である。ノズル板５２は、例えば、エッチング等の半導体製造技術を利用してシリコン（Ｓi）の単結晶基板を加工することで製造される。但し、ノズル板５２の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

本実施形態では、ノズル板５２において、列Ｌ1及び列Ｌ2の各々に対応するＭ個のノズルＮが、１インチあたり３００個以上の密度で設けられる場合を想定する。但し、列Ｌ1及び列Ｌ2の各々に対応するＭ個のノズルＮは、ノズル板５２において、少なくとも、１インチあたり１００個以上の密度で設けられていればよく、好ましくは、１インチあたり２００個以上の密度で設けられていればよい。

流路基板３２は、インクの流路を形成するための板状部材である。図２乃至図４に例示される通り、流路基板３２には、流路ＲAが形成されている。流路ＲAは、列Ｌ1に対応して設けられた流路ＲA1と、列Ｌ2に対応して設けられた流路ＲA2と、流路ＲA1及び流路ＲA2を連結する流路ＲA3と、流路ＲA1及び流路ＲA2を連結する流路ＲA4と、を含む。流路ＲA1は、Ｙ軸方向に沿う長尺状に形成された開口である。流路ＲA2は、流路ＲA1から見て＋Ｘ方向に位置し、Ｙ軸方向に沿う長尺状に形成された開口である。流路ＲA3は、流路ＲA1のうち領域ＹA1（図３参照）に位置する－Ｙ側の端部と、流路ＲA2のうち領域ＹA1に位置する－Ｙ側の端部と、を連結するように形成された開口である。流路ＲA4は、流路ＲA1のうち領域ＹA2（図３参照）に位置する＋Ｙ側の端部と、流路ＲA2のうち領域ＹA2に位置する＋Ｙ側の端部と、を連結するように形成された開口である。

流路基板３２には、２Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するように、２Ｍ個の流路３２２と、２Ｍ個の流路３２４（「連通流路」の一例）と、が形成される。図４に例示される通り、流路３２２及び流路３２４は、流路基板３２を貫通するように形成された開口である。流路３２４は、当該流路３２４に対応するノズルＮに連通する。

また、図４に例示される通り、流路基板３２の面Ｆ1には、２つの流路３２６が形成される。２つの流路３２６のうち一方は、流路ＲA1と、列Ｌ1に属するＭ個のノズルＮ1に１対１に対応するＭ個の流路３２２と、を連結する流路であり、２つの流路３２６のうち他方は、流路ＲA2と、列Ｌ2に属するＭ個のノズルＮ2に１対１に対応するＭ個の流路３２２と、を連結する流路である。

図２及び図４に例示される通り、圧力室基板３４は、２Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するように２Ｍ個の開口３４２が形成された板状部材であり、例えば接着剤を利用して流路基板３２の面ＦAに設置される。
流路基板３２及び圧力室基板３４は、例えば、半導体製造技術を利用してシリコン（Ｓi）の単結晶基板を加工することで製造される。但し、流路基板３２及び圧力室基板３４の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

図２及び図４に例示される通り、圧力室基板３４のうち流路基板３２とは反対側の表面には振動部３６が設置される。振動部３６は、弾性的に振動可能な板状部材である。なお、振動部３６を構成する板状部材のうち、開口３４２に対応する領域について、板厚方向の一部を選択的に除去することで、圧力室基板３４と振動部３６とを一体に形成することも可能である。

図４から理解される通り、流路基板３２の面ＦAと振動部３６とは、各開口３４２の内側で相互に間隔をあけて対向する。開口３４２の内側で流路基板３２の面ＦAと振動部３６との間に位置する空間は、当該空間に充填されたインクに圧力を付与するための圧力室Ｃとして機能する。すなわち、本実施形態において、振動部３６は、圧力室Ｃの壁面を構成する「振動板」の一例である。圧力室Ｃは、例えば、Ｘ軸方向を長手方向としてＹ軸方向を短手方向とする空間である。液体吐出ヘッド２６には、２Ｍ個のノズルＮに１対１に対応するように、２Ｍ個の圧力室Ｃが設けられる。図４に例示される通り、ノズルＮ1に対応して設けられた圧力室Ｃは、流路３２２及び流路３２６を介して流路ＲA1に連通するとともに、流路３２４を介してノズルＮ1に連通する。また、ノズルＮ2に対応して設けられた圧力室Ｃは、流路３２２及び流路３２６を介して流路ＲA2に連通するとともに、流路３２４を介してノズルＮ2に連通する。

図２及び図４に例示される通り、振動部３６のうち圧力室Ｃとは反対側の面上には、２Ｍ個の圧力室Ｃに１対１に対応するように、２Ｍ個の圧電素子３７が設けられる。圧電素子３７は、駆動信号Ｃomの供給に応じて変形する受動素子である。

図５は、圧電素子３７の近傍を拡大した断面図である。図５に例示される通り、圧電素子３７は、相互に対向する電極３７１及び電極３７２の間に圧電体層３７３を介在させた積層体である。圧電素子３７は、例えば、－Ｚ方向から平面視したときに、電極３７１と電極３７２と圧電体層３７３とが重なる部分である。
上述の通り、圧電素子３７は、駆動信号Ｃomの供給に応じて変形（駆動）する。また、振動部３６は、圧電素子３７の変形に連動して振動する。振動部３６が振動すると、圧力室Ｃ内の圧力が変動する。そして、圧力室Ｃ内の圧力が変動することで、圧力室Ｃに充填されたインクが、流路３２４及びノズルＮを経由して、吐出される。本実施形態では、駆動信号Ｃomが、１秒間に３００００回以上、ノズルＮからインクが吐出されるように、圧電素子３７を駆動することができる場合を想定する。
なお、圧力室Ｃ、流路３２２、ノズルＮ、振動部３６、及び、圧電素子３７は、圧力室Ｃに充填されたインクを吐出させるための「吐出部」として機能する。

図２及び図４に例示された保護部材３８は、振動部３６に形成された２Ｍ個の圧電素子３７を保護するための板状部材であり、振動部３６の表面、または、圧力室基板３４の表面に設けられる。すなわち、本実施形態において、保護部材３８は、吐出部上に設けられる。保護部材３８は、例えば、半導体製造技術を利用してシリコン（Ｓi）の単結晶基板を加工することで製造される。但し、保護部材３８の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

図５に例示される通り、保護部材３８のうち＋Ｚ側の表面である面Ｇ1には、２つの収容空間３８２が形成される。２つの収容空間３８２のうち一方は、Ｍ個のノズルＮ1に対応するＭ個の圧電素子３７を収容するための空間であり、２つの収容空間３８２のうち他方は、Ｍ個のノズルＮ2に対応するＭ個の圧電素子３７を収容するための空間である。当該収容空間３８２は、保護部材３８を吐出部上に配置した場合に、圧電素子３７が酸素または水分等の影響により変質することを防ぐために封止された「封止空間」として機能する。なお、収容空間３８２（または封止空間）の、Ｚ軸方向の幅（高さ）は、圧電素子３７が変位しても、圧電素子３７と保護部材３８とが接触しないように、十分な大きさを有している。このため、圧電素子３７が変位する場合であっても、圧電素子３７の変位に伴い生じるノイズが、収容空間３８２（または封止空間）の外部に伝播することが防止される。

保護部材３８のうち－Ｚ側の表面である面Ｇ2には、集積回路６２（「スイッチ回路」の一例）が設けられる。すなわち、保護部材３８は、集積回路６２を実装するための「回路基板」として機能する。
集積回路６２は、制御信号ＳIによる制御のもとで、各圧電素子３７に対して、駆動信号Ｃomを供給するか否かを切り替える。なお、本実施形態では、駆動信号Ｃomは、制御装置２０において生成されるが、本発明はこのような態様に限定されるものではなく、駆動信号Ｃomは、集積回路６２において生成されてもよい。

図２、図４、及び、図５に例示される通り、本実施形態に係る集積回路６２は、平面視した場合、液体吐出ヘッド２６に設けられた２Ｍ個の圧電素子３７のうち、少なくとも一部の圧電素子３７に重なる。また、本実施形態に係る集積回路６２は、平面視した場合、ノズルＮ1に対応する圧電素子３７と、ノズルＮ2に対応する圧電素子３７との双方に重なる。

図２に例示される通り、保護部材３８の面Ｇ2には、例えば、２Ｍ個の圧電素子３７と１対１に対応するように、２Ｍ本の配線３８４が形成されている。各配線３８４は、集積回路６２に電気的に接続される。また、図５に例示される通り、各配線３８４は、保護部材３８を貫通する導通孔（コンタクトホール）Ｈを介して、面Ｇ1に設けられた接続端子３８６に電気的に接続される。接続端子３８６は、圧電素子３７の電極３７２に電気的に接続される。このため、集積回路６２から出力された駆動信号Ｃomは、配線３８４と導通孔Ｈと接続端子３８６とを介して、圧電素子３７に供給される。

また、図２に例示される通り、保護部材３８の面Ｇ2には、集積回路６２に電気的に接続された複数の配線３８８が形成される。複数の配線３８８は、保護部材３８の面Ｇ2のうち＋Ｙ側の端部である領域Ｅまで延在する。面Ｇ2の領域Ｅには配線部材６４が接合される。配線部材６４は、制御装置２０と集積回路６２とを電気的に接続する複数の配線が形成された部品である。配線部材６４としては、例えば、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）、または、ＦＦＣ（Flexible Flat Cable）等の、可撓性の配線基板を採用してもよい。

図２乃至図４に例示された筐体部４０は、２Ｍ個の圧力室Ｃ（さらには２Ｍ個のノズルＮ）に供給されるインクを貯留するためのケースである。筐体部４０のうち＋Ｚ側の表面である面ＦBは、例えば、接着剤により、流路基板３２の面ＦAに固定される。図２及び図４に例示される通り、筐体部４０の面ＦBには、Ｙ軸方向に延在する溝状の凹部４２が形成される。保護部材３８及び集積回路６２は、凹部４２の内側に収容される。保護部材３８の領域Ｅに接合された配線部材６４は、凹部４２の内側を通過するようにＹ軸方向に延在する。図２から理解される通り、配線部材６４の幅Ｗ1（Ｘ軸方向の寸法の最大値）は、筐体部４０の幅Ｗ2未満である（Ｗ1＜Ｗ2）。

本実施形態において、筐体部４０は、流路基板３２や圧力室基板３４とは別個の材料で形成される。筐体部４０は、例えば、樹脂材料の射出成形により形成される。但し、筐体部４０の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。筐体部４０の材料としては、例えば、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール（ザイロン（登録商標））等の合成繊維や液晶ポリマー等の樹脂材料が好適である。

図３及び図４に例示される通り、筐体部４０には、流路ＲBが形成される。流路ＲBは、流路ＲA1に連通する流路ＲB1と、流路ＲA2に連通する流路ＲB2とを含む。流路ＲA及び流路ＲBは、２Ｍ個の圧力室Ｃに供給されるインクを貯留するリザーバーＱとして機能する。
筐体部４０のうち－Ｚ側の表面である面Ｆ2には、液体容器１４から供給されるインクをリザーバーＱに導入するための２つの導入口４３が設けられている。２つの導入口４３のうちの一方（以下、導入口４３１と称する場合がある）は、流路ＲB1に連通し、２つの導入口４３のうちの他方（以下、導入口４３２と称する場合がある）は、流路ＲB2に連通する。

図３及び図４に例示される通り、流路ＲB1は、Ｙ軸方向に長尺な空間であり、流路ＲA1に連通する流路ＲB11と、導入口４３に連通する流路ＲB12と、を含む。流路ＲB2は、Ｙ軸方向に長尺な空間であり、流路ＲA2に連通する流路ＲB21と、導入口４３に連通する流路ＲB22と、を含む。
図４から理解される通り、保護部材３８及び集積回路６２は、流路ＲB11と流路ＲB21との間に位置する。すなわち、保護部材３８及び集積回路６２は、流路ＲB11と流路ＲB21との間の空間に設けられる。換言すれば、Ｘ軸方向（＋Ｘ方向または－Ｘ方向）から断面視した場合に、保護部材３８及び集積回路６２が設けられる領域は、流路ＲB11または流路ＲB21が設けられる領域に包含される。
また、図４から理解される通り、＋Ｚ方向または－Ｚ方向から平面視したときに、保護部材３８の少なくとも一部、及び、集積回路６２の少なくとも一部は、流路ＲB12または流路ＲB22と、圧力室Ｃとの間に位置する。すなわち、保護部材３８の少なくとも一部、及び、集積回路６２の少なくとも一部は、リザーバーＱと圧力室Ｃとの間に設けられる。
また、図４から理解される通り、保護部材３８の少なくとも一部、及び、集積回路６２の少なくとも一部は、圧電素子３７と、流路ＲB12または流路ＲB22との間に位置する。保護部材３８の少なくとも一部、及び、集積回路６２の少なくとも一部は、リザーバーＱと圧電素子３７との間に設けられる。換言すれば、平面視したときに、リザーバーＱの少なくとも一部は、保護部材３８の少なくとも一部と、集積回路６２の少なくとも一部と、圧電素子３７の少なくとも一部と、に重なる。

図４に破線の矢印で図示した通り、液体容器１４から導入口４３１に供給されたインクは、流路ＲB12及び流路ＲB11を経由して流路ＲA1に流入する。そして、流路ＲA1に流入したインクの一部は、流路３２６及び流路３２２を経由して、ノズルＮ1に対応する圧力室Ｃに供給される。ノズルＮ1に対応する圧力室Ｃに充填されたインクは、例えば、流路３２４を＋Ｚ方向に流動し、ノズルＮ1から吐出される。
液体容器１４から導入口４３２に供給されたインクは、流路ＲB22及び流路ＲB21を経由して流路ＲA2に流入する。そして、流路ＲA2に流入したインクの一部は、流路３２６及び流路３２２を経由して、ノズルＮ2に対応する圧力室Ｃに供給される。ノズルＮ2に対応する圧力室Ｃに充填されたインクは、例えば、流路３２４を＋Ｚ方向に流動し、ノズルＮ2から吐出される。

また、図３に例示されるとおり、流路ＲAは、環状の流路である。より具体的には、上述したように、流路ＲA1の－Ｙ側の端部と、流路ＲA2の－Ｙ側の端部とが、流路ＲA3により連結され、流路ＲA1の＋Ｙ側の端部と、流路ＲA2の＋Ｙ側の端部とが、流路ＲA4により連結されることで、例えば、「流路ＲA1→流路ＲA3→流路ＲA2→流路ＲA4→流路ＲA1」という循環経路が形成される。このため、導入口４３を介して流路ＲA1または流路ＲA2に供給されたインクは、流路ＲA内を循環することができる。

図２及び図４に例示される通り、筐体部４０の面Ｆ2には、上述した２つの導入口４３が形成されるほか、上述したリザーバーＱに対応する開口４４が形成される。また、筐体部４０の面Ｆ2には、開口４４を閉塞するように、２つの吸振体４６が設けられる。各吸振体４６は、リザーバーＱ内のインクの圧力変動を吸収する可撓性のフィルム（コンプライアンス基板）であり、リザーバーＱの壁面を構成する。
また、図２に例示される通り、流路基板３２の面Ｆ1には、流路ＲA1及び流路ＲA2と２つの流路３２６と複数の流路３２２とを閉塞するように、吸振体５４が設けられる。吸振体５４は、リザーバーＱ内のインクの圧力変動を吸収する可撓性のフィルム（コンプライアンス基板）であり、リザーバーＱの壁面を構成する。

＜＜３．実施形態の効果＞＞
一般的に、圧電素子３７を駆動するための駆動信号Ｃomは大振幅の信号である。このため、集積回路６２は、駆動信号Ｃomを圧電素子３７に供給する場合に発熱する。特に、本実施形態のように、圧電素子３７の単位時間当たりの駆動回数が多い場合には、集積回路６２における発熱量が大きくなる。また、本実施形態のように、液体吐出ヘッド２６においてノズルＮ及び圧電素子３７を含む吐出部を高密度で設ける場合には、集積回路６２における単位面積当たりの発熱量が大きくなる。そして、液体吐出ヘッド２６を小型化するために、集積回路６２を小型化する場合には、集積回路６２における単位面積当たりの発熱量が大きくなる。さらに、本実施形態のように、集積回路６２が設けられる保護部材３８を、吐出部上に設ける場合には、集積回路６２及び保護部材３８が、液体吐出ヘッド２６の外部の空気に触れない（または、集積回路６２及び保護部材３８と、液体吐出ヘッド２６の外部の空気とが接触する面積が小さくなる）ため、集積回路６２からの放熱効率が低下し、集積回路６２が高温になる場合があった。

これに対して、本実施形態では、集積回路６２及び保護部材３８が、流路ＲB11と流路ＲB21との間に設けられる。このため、本実施形態では、集積回路６２及び保護部材３８が、液体吐出ヘッド２６の外部の空気に直接的には接触しない場合であっても、集積回路６２から発せられた熱を、リザーバーＱ内のインクを介して放熱することが可能となる。

また、本実施形態では、流路ＲAにおいて、「流路ＲA1→流路ＲA3→流路ＲA2→流路ＲA4→流路ＲA1」という循環経路が形成される。このため、本実施形態では、リザーバーＱがインクの循環経路を有さない構成である場合と比較して、集積回路６２から発せられた熱を、リザーバーＱ内のインクを介して効率的に放熱することができる。

また、本実施形態では、集積回路６２及び保護部材３８が、リザーバーＱと圧力室Ｃとの間に設けられる。このため、本実施形態では、集積回路６２から発せられた熱を、リザーバーＱ内のインクと圧力室Ｃ内のインクとを介して、効率的に放熱することができる。

また、本実施形態では、リザーバーＱが、保護部材３８の少なくとも一部と、集積回路６２の少なくとも一部と、に平面視で重なる部分である、流路ＲB12及び流路ＲB22を備える。このため、本実施形態では、リザーバーＱが、平面視で保護部材３８及び集積回路６２と重ならない構成である場合と比較して、液体吐出ヘッド２６を小型化と、リザーバーＱの大容量化との両立が容易となる。

また、本実施形態では、保護部材３８の面Ｇ1に形成された収容空間３８２に圧電素子３７が収容され、保護部材３８の面Ｇ2に集積回路６２が設けられる。換言すれば、本実施形態では、集積回路６２が形成される基板の裏面に、圧電素子３７が収納される。このため、本実施形態では、集積回路６２が形成される基板の裏面とは異なる場所に圧電素子３７が設けられる場合と比較して、集積回路６２と圧電素子３７とを電気的に接続するための配線の経路長を短くすることができる。これにより、本実施形態では、当該配線の抵抗成分や容量成分に起因して、駆動信号Ｃomの波形が乱れることを抑制することが可能となるとともに、当該配線抵抗を小さくして当該配線における発熱量を低減することが可能となる。

また、本実施形態では、保護部材３８の端部の領域Ｅに配線部材６４が設置されるため、配線部材６４が保護部材３８の端部から中央付近に至るまでの領域に延在する場合と比較して、配線部材６４を設置するためのスペースを小さくすることが可能となる。このため、本実施形態では、液体吐出ヘッド２６の小型化と、リザーバーＱの大容量化との両立が容易となる。

また、本実施形態では、吸振体５４および吸振体４６によりリザーバーＱ内の圧力変動が吸収されるから、リザーバーＱ内の圧力変動が圧力室Ｃに伝播してインクの吐出特性（例えば吐出量、吐出速度、吐出方向）が変動する可能性を低減することが可能となる。

＜＜第２実施形態＞＞
以下、図６乃至図８を参照しつつ、第２実施形態に係る液体吐出装置について説明する。なお、以下に例示する各形態において作用や機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。

図６は、第２実施形態に係る液体吐出装置に設けられた液体吐出ヘッド２６Ａの分解斜視図であり、図７は、液体吐出ヘッド２６Ａに設けられたリザーバーＱA（「貯留室」の他の例）を説明するための分解斜視図であり、図８は、図６におけるIII－III線の断面図である。
なお、第２実施形態に係る液体吐出装置は、液体吐出ヘッド２６の代わりに液体吐出ヘッド２６Ａを具備する点を除き、図１に示す液体吐出装置１００と同様の構成を有する。

図６に例示される通り、液体吐出ヘッド２６Ａは、筐体部４０の代わりに筐体部４０Ａを備える点と、流路基板３２の代わりに流路基板３２Ａを備える点とを除き、図２に示す液体吐出ヘッド２６と同様の構成を有する。

流路基板３２Ａは、インクの流路を形成するための板状部材である。図６乃至図８に例示される通り、流路基板３２Ａには、流路ＲCが形成されている。流路ＲCは、列Ｌ1に対応して設けられた流路ＲC1と、列Ｌ2に対応して設けられた流路ＲC2と、を含む。流路ＲC1は、流路ＲA1と同様に、Ｙ軸方向に沿う長尺状に形成された開口である。流路ＲC2は、流路ＲA2と同様に、流路ＲC1の＋Ｘ側に位置し、Ｙ軸方向に沿う長尺状に形成された開口である。すなわち、流路基板３２Ａに設けられた流路ＲCは、流路ＲA3と流路ＲA4とを有さない点において、流路基板３２に設けられた流路ＲAと相違している。

筐体部４０Ａは、開口４４の代わりに開口４４Ａが設けられた点と（図６参照）、２つの吸振体４６の代わりに１つの吸振体４６Ａが設けられた点と（図６参照）、流路ＲBの代わりに流路ＲDが設けられた点と（図７参照）、を除き、図２乃至図４に示す筐体部４０と同様の構成を有する。

図７及び図８に例示される通り、筐体部４０Ａには、流路ＲDが形成される。流路ＲC及び流路ＲDは、２Ｍ個の圧力室Ｃに供給されるインクを貯留するリザーバーＱAとして機能する。
流路ＲDは、流路ＲC1に連通する流路ＲD1と、流路ＲC2に連通する流路ＲD2と、流路ＲD1及び流路ＲD2を連結する流路ＲD3と、流路ＲD1及び流路ＲD2を連結する流路ＲD4と、を含む。
このうち、流路ＲD1は、Ｙ軸方向に沿う長尺状に形成された開口であり、流路ＲC1に連通する流路ＲD11と、導入口４３１に連通する流路ＲD12とを含む。流路ＲD2は、流路ＲD1から見て＋Ｘ側に位置し、Ｙ軸方向に沿う長尺状に形成された開口であり、流路ＲC2に連通する流路ＲD21と、導入口４３２に連通する流路ＲD22とを含む。流路ＲD3は、流路ＲD1のうち領域ＹD1（図７参照）に位置する－Ｙ側の端部と、流路ＲD2のうち領域ＹD1に位置する－Ｙ側の端部と、を連結するように形成された開口である。流路ＲD4は、流路ＲD1のうち領域ＹD2（図７参照）に位置する＋Ｙ側の端部と、流路ＲD2のうち領域ＹD2に位置する＋Ｙ側の端部と、を連結するように形成された開口である。

図８に破線の矢印で図示した通り、液体容器１４から導入口４３１に供給されたインクは、流路ＲD12及び流路ＲD11を経由して流路ＲC1に流入する。そして、流路ＲC1に流入したインクの一部は、流路３２６及び流路３２２を経由して、ノズルＮ1に対応する圧力室Ｃに供給される。ノズルＮ1に対応する圧力室Ｃに充填されたインクは、例えば、流路３２４を＋Ｚ方向に流動し、ノズルＮ1から吐出される。
液体容器１４から導入口４３２に供給されたインクは、流路ＲD22及び流路ＲD21を経由して流路ＲC2に流入する。そして、流路ＲC2に流入したインクの一部は、流路３２６及び流路３２２を経由して、ノズルＮ2に対応する圧力室Ｃに供給される。ノズルＮ2に対応する圧力室Ｃに充填されたインクは、例えば、流路３２４を＋Ｚ方向に流動し、ノズルＮ2から吐出される。

図７に例示されるとおり、流路ＲDは、環状の流路である。より具体的には、上述したように、流路ＲD1の－Ｙ側の端部と、流路ＲD2の－Ｙ側の端部とが、流路ＲD3により連結され、流路ＲD1の＋Ｙ側の端部と、流路ＲD2の＋Ｙ側の端部とが、流路ＲD4により連結されることで、例えば、「流路ＲD1→流路ＲD3→流路ＲD2→流路ＲD4→流路ＲD1」という循環経路が形成される。このため、導入口４３を介して流路ＲD1または流路ＲD2に供給されたインクは、流路ＲD内を循環することができる。

図８に例示される通り、本実施形態では、集積回路６２及び保護部材３８が、流路ＲD11と流路ＲD21との間に設けられる。このため、本実施形態では、集積回路６２及び保護部材３８が、液体吐出ヘッド２６の外部の空気に直接的には接触しない場合であっても、集積回路６２から発せられた熱を、リザーバーＱA内のインクを介して放熱することが可能となる。

＜＜第３実施形態＞＞
以下、図９乃至図１１を参照しつつ、第３実施形態に係る液体吐出装置について説明する。以下に例示する各形態において作用や機能が第１実施形態または第２実施形態と同様である要素については、第１実施形態または第２実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。

図９は、第３実施形態に係る液体吐出装置に設けられた液体吐出ヘッド２６Ｂの分解斜視図であり、図１０は、液体吐出ヘッド２６Ｂに設けられたリザーバーＱB（「貯留室」の他の例）を説明するための分解斜視図であり、図１１は、図９におけるIII－III線の断面図である。
なお、第３実施形態に係る液体吐出装置は、液体吐出ヘッド２６の代わりに液体吐出ヘッド２６Ｂを具備する点を除き、図１に示す液体吐出装置１００と同様の構成を有する。

図９に例示される通り、液体吐出ヘッド２６Ｂは、流路基板３２の代わりに流路基板３２Ｂを備える点と、圧力室基板３４の代わりに圧力室基板３４Ｂを備える点とを除き、図２に示す液体吐出ヘッド２６と同様の構成を有する。

流路基板３２Ｂは、インクの流路を形成するための板状部材である。図９乃至図１１に例示される通り、流路基板３２Ｂには、流路ＲEが形成されている。
流路ＲEは、列Ｌ1に対応して設けられた流路ＲE1と、列Ｌ2に対応して設けられた流路ＲE2と、流路ＲE1及び流路ＲE2を連結する流路ＲE3と、流路ＲE1及び流路ＲE2を連結する流路ＲE4と、流路ＲE3及び流路ＲE4を連結する流路ＲE5と、を含む。
このうち、流路ＲE1は、流路ＲA1と同様に、Ｙ軸方向に沿う長尺状に形成された開口である。流路ＲE2は、流路ＲA2と同様に、流路ＲE1の＋Ｘ側に位置し、Ｙ軸方向に沿う長尺状に形成された開口である。流路ＲE3は、流路ＲA3と同様に、流路ＲE1のうち領域ＹE1（図１０参照）に位置する－Ｙ側の端部と、流路ＲE2のうち領域ＹE1に位置する－Ｙ側の端部と、を連結するように形成された開口である。流路ＲE4は、流路ＲA4と同様に、流路ＲE1のうち領域ＹE2（図１０参照）に位置する＋Ｙ側の端部と、流路ＲE2のうち領域ＹE2に位置する＋Ｙ側の端部と、を連結するように形成された開口である。流路ＲE5は、流路ＲE1及び流路ＲE2の間に位置し、Ｙ軸方向に沿う長尺状に形成された開口である。
すなわち、流路基板３２Ｂに設けられた流路ＲEは、流路ＲE5を有する点において、流路基板３２に設けられた流路ＲA（図２参照）と相違している。
なお、本実施形態では、平面視したときに、流路ＲE5は、ノズルＮ1とノズルＮ2との間に位置することとする。

圧力室基板３４Ｂは、２Ｍ個のノズルＮと１対１に対応する２Ｍ個の開口３４２と、流路ＲE5に連通する流路ＲFと、２Ｍ個の開口３４２及び流路ＲFを連結するために、２Ｍ個の開口３４２と１対１に対応するように設けられた２Ｍ個の流路３４３と、を備える。すなわち、圧力室基板３４Ｂは、流路ＲFが設けられた点と、２Ｍ個の流路３４３が設けられた点とを除き、図２及び図４に示す圧力室基板３４と同様の構成を有する。
なお、本実施形態では、平面視したときに、流路ＲFが、ノズルＮ1とノズルＮ2との間に位置することとする。

図１１に例示される通り、開口３４２の内側で流路基板３２Ｂの面ＦAと振動部３６との間に位置する空間は、当該空間に充填されたインクに圧力を付与するための圧力室ＣBとして機能する。圧力室ＣBは、流路３２２に連通する連通口Ｋ1と、流路３２４に連通する連通口Ｋ2と、流路３４３に連通する連通口Ｋ3と、を有する。すなわち、圧力室ＣBは、連通口Ｋ3を有する点を除き、図４に示す圧力室Ｃと同様の構成を有する。なお、本実施形態において、連通口Ｋ1の断面積は、連通口Ｋ3の断面積よりも大きいこととする。

図１０に例示される通り、液体吐出ヘッド２６Ｂに設けられた筐体部４０は、流路ＲBを有する。すなわち、本実施形態において、流路ＲB、流路ＲE、及び、流路ＲFは、２Ｍ個の圧力室ＣBに供給されるインクを貯留するリザーバーＱBとして機能する。

図１１に破線の矢印で図示した通り、液体容器１４から導入口４３１に供給されたインクは、流路ＲB12及び流路ＲB11を経由して流路ＲE1に流入する。そして、流路ＲE1に流入したインクの一部は、流路３２６、流路３２２、及び、連通口Ｋ1を経由して、ノズルＮ1に対応する圧力室ＣBに供給される。ノズルＮ1に対応する圧力室ＣBに充填されたインクは、連通口Ｋ2及び連通口Ｋ3の一方または両方に流れる。ノズルＮ1に対応する圧力室ＣBの連通口Ｋ2から流出したインクは、流路３２４を＋Ｚ方向に流動し、ノズルＮ1から吐出される。ノズルＮ1に対応する圧力室ＣBの連通口Ｋ3から流出したインクは、流路３４３及び流路ＲFを経由して、流路ＲE5に流れる。
また、液体容器１４から導入口４３２に供給されたインクは、流路ＲB22及び流路ＲB21を経由して流路ＲE2に流入する。そして、流路ＲE2に流入したインクの一部は、流路３２６、流路３２２、及び、連通口Ｋ1を経由して、ノズルＮ2に対応する圧力室ＣBに供給される。ノズルＮ2に対応する圧力室ＣBに充填されたインクは、連通口Ｋ2及び連通口Ｋ3の一方または両方に流れる。ノズルＮ2に対応する圧力室ＣBの連通口Ｋ2から流出したインクは、流路３２４を＋Ｚ方向に流動し、ノズルＮ2から吐出される。ノズルＮ2に対応する圧力室ＣBの連通口Ｋ3から流出したインクは、流路３４３及び流路ＲFを経由して、流路ＲE5に流れる。

図９及び図１０に例示されるとおり、流路ＲE5は、流路ＲE3または流路ＲE4を介して、流路ＲE1及び流路ＲE2に連通する。このため、流路ＲE5に流入したインクは、流路ＲE3または流路ＲE4を経由して、流路ＲE1または流路ＲE2へと循環する。すなわち、本実施形態において、液体吐出ヘッド２６Ｂには、少なくとも、「流路ＲE1→流路３２６→流路３２２→連通口Ｋ1→圧力室ＣB→連通口Ｋ3→流路３４３→流路ＲF→流路ＲE5→流路ＲE3または流路ＲE4→流路ＲE1」という循環経路と、「流路ＲE2→流路３２６→流路３２２→連通口Ｋ1→圧力室ＣB→連通口Ｋ3→流路３４３→流路ＲF→流路ＲE5→流路ＲE3または流路ＲE4→流路ＲE2」という循環経路と、が形成される。換言すれば、連通口Ｋ1を介して圧力室ＣBに供給されたインクの少なくとも一部は、連通口Ｋ3から流出するように循環（流動）する。
また、本実施形態において、液体吐出ヘッド２６Ｂには、「流路ＲE5→流路ＲE3または流路ＲE4→流路ＲE1または流路ＲE2→流路ＲE4または流路ＲE3→流路ＲE5」という循環経路と、「流路ＲE1→流路ＲE3→流路ＲE2→流路ＲE4→流路ＲE1」という循環経路と、が形成される。

図１１に例示される通り、本実施形態では、集積回路６２及び保護部材３８が、流路ＲB11と流路ＲB21との間に設けられる。このため、本実施形態では、集積回路６２及び保護部材３８が、液体吐出ヘッド２６Ｂの外部の空気に直接的には接触しない場合であっても、集積回路６２から発せられた熱を、リザーバーＱB内のインクを介して放熱することが可能となる。

また、本実施形態では、圧力室ＣBにおいて、インクが、連通口Ｋ1から、連通口Ｋ2及び連通口Ｋ3の少なくとも一方へと流れる。そして、保護部材３８は、圧力室ＣBを含む吐出部上に設けられる。このため、本実施形態では、集積回路６２から発せられた熱を、圧力室ＣB内のインクを介して放熱することが可能となる。

なお、本実施形態において、流路ＲE1及び流路ＲE2の一方または両方は、「第１流路」の一例であり、流路ＲF及び流路ＲE5は、「第２流路」の一例である。
また、本実施形態において、連通口Ｋ1は、リザーバーＱB内のインクを圧力室ＣBに流入させるための「流入口」の一例であり、連通口Ｋ2は、圧力室ＣB内のインクを流路３２４に供給するための「供給口」の一例であり、連通口Ｋ3は、圧力室ＣB内のインクをリザーバーＱBに流出させるための「流出口」の一例である。

＜＜第４実施形態＞＞
以下、図１２乃至図１４を参照しつつ、第４実施形態に係る液体吐出装置について説明する。以下に例示する各形態において作用や機能が第１実施形態乃至第３実施形態と同様である要素については、第１実施形態乃至第３実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。

図１２は、第４実施形態に係る液体吐出装置に設けられた液体吐出ヘッド２６Ｃの分解斜視図であり、図１３は、液体吐出ヘッド２６Ｃに設けられたリザーバーＱC（「貯留室」の他の例）を説明するための分解斜視図であり、図１４は、図１２におけるIII－III線の断面図である。
なお、第４実施形態に係る液体吐出装置は、液体吐出ヘッド２６の代わりに液体吐出ヘッド２６Ｃを具備する点を除き、図１に示す液体吐出装置１００と同様の構成を有する。

図１２に例示される通り、液体吐出ヘッド２６Ｂは、流路基板５６を備える点と、流路基板３２の代わりに、第２実施形態において説明した流路基板３２Ａを備える点と、を除き、図２に示す液体吐出ヘッド２６と同様の構成を有する。すなわち、液体吐出ヘッド２６Ｂは、流路ＲBを有する筐体部４０と、流路ＲCを有する流路基板３２Ａと、を備える。

流路基板５６は、インクの流路を形成するための板状部材である。流路基板５６は、例えば、半導体製造技術を利用してシリコン（Ｓi）の単結晶基板を加工することで製造される。但し、流路基板５６の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。
流路基板５６のうち＋Ｚ側の表面である面Ｆ3には、ノズル板５２と吸振体５４とが設置される。また、流路基板５６のうち－Ｚ側の表面である面Ｆ4は、流路基板３２Ａの面Ｆ1に接合される。

図１２乃至図１４に例示される通り、流路基板５６には、流路ＲGが形成されている。
流路ＲGは、流路ＲG1と、流路ＲG2と、流路ＲG3と、を備える。このうち、流路ＲG2は、Ｘ軸方向に沿う長尺状に形成された開口であり、－Ｘ側の端部である領域ＸG1において、流路基板３２Ａに設けられた流路ＲC1に連通し、＋Ｘ側の端部である領域ＸG2において、流路基板３２Ａに設けられた流路ＲC2に連通する。流路ＲG3は、流路ＲG2の＋Ｙ側に位置し、Ｘ軸方向に沿う長尺状に形成された開口であり、領域ＸG1において、流路ＲC1に連通し、領域ＸG2において、流路ＲC2に連通する。流路ＲG1は、Ｙ軸方向に沿う長尺状に形成された開口であり、流路ＲG2及び流路ＲG3を連結する。なお、本実施形態では、平面視したときに、流路ＲG1が、ノズルＮ1とノズルＮ2との間に位置することとする。
本実施形態において、流路ＲB、流路ＲC、及び、流路ＲGは、２Ｍ個の圧力室Ｃに供給されるインクを貯留するリザーバーＱCとして機能する。

図１２乃至図１４に例示される通り、流路基板５６には、２Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するように設けられた２Ｍ個の流路５６２と、２Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するように設けられた２Ｍ個の流路５６４と、が形成されている。図１４に例示される通り、流路５６２は、流路基板３２Ａに設けられた流路３２４と、ノズルＮとを連結する。すなわち、本実施形態では、流路３２４及び流路５６２からなる流路が、「連通流路」の一例である。また、流路５６４は、流路５６２と流路ＲG1とを連結する。

図１４に例示される通り、開口３４２の内側で流路基板３２Ａの面ＦAと振動部３６との間に位置する空間は、当該空間に充填されたインクに圧力を付与するための圧力室Ｃとして機能する。圧力室Ｃは、流路３２２に連通する連通口Ｋ1と、流路３２４に連通する連通口Ｋ2と、を有する。また、流路５６２は、流路５６４に連通する連通口Ｋ3を有する。なお、本実施形態において、連通口Ｋ1の断面積は、連通口Ｋ3の断面積よりも大きいこととする。

図１４に破線の矢印で図示した通り、液体容器１４から導入口４３１に供給されたインクは、流路ＲB12及び流路ＲB11を経由して流路ＲC1に流入する。そして、流路ＲC1に流入したインクの一部は、流路３２６、流路３２２、及び、連通口Ｋ1を経由して、ノズルＮ1に対応する圧力室Ｃに供給される。ノズルＮ1に対応する圧力室Ｃに充填されたインクは、連通口Ｋ2及び流路３２４を経由して、流路５６２に流入する。流路５６２内のインクは、ノズルＮ1及び連通口Ｋ3の一方または両方に流れる。流路５６２の連通口Ｋ3から流出したインクは、流路５６４を経由して流路ＲG1に流入する。
また、液体容器１４から導入口４３２に供給されたインクは、流路ＲB22及び流路ＲB21を経由して流路ＲC2に流入する。そして、流路ＲC2に流入したインクの一部は、流路３２６、流路３２２、及び、連通口Ｋ1を経由して、ノズルＮ2に対応する圧力室Ｃに供給される。ノズルＮ2に対応する圧力室Ｃに充填されたインクは、連通口Ｋ2及び流路３２４を経由して、流路５６２に流入する。流路５６２内のインクは、ノズルＮ2及び連通口Ｋ3の一方または両方に流れる。流路５６２の連通口Ｋ3から流出したインクは、流路５６４を経由して流路ＲG1に流入する。

図１２及び図１３に例示される通り、流路ＲG1は、流路ＲG2または流路ＲG3を介して、流路ＲC1及び流路ＲC2に連通する。このため、流路ＲG1に流入したインクは、流路ＲG2または流路ＲG3を経由して、流路ＲC1または流路ＲC2へと循環する。すなわち、本実施形態において、液体吐出ヘッド２６Ｂには、少なくとも、「流路ＲC1→流路３２６→流路３２２→連通口Ｋ1→圧力室Ｃ→連通口Ｋ2→流路３２４→流路５６２→連通口Ｋ3→流路５６４→流路ＲG1→流路ＲG2または流路ＲG3→流路ＲC1」という循環経路と、「流路ＲC2→流路３２６→流路３２２→連通口Ｋ1→圧力室Ｃ→連通口Ｋ2→流路３２４→流路５６２→連通口Ｋ3→流路５６４→流路ＲG1→流路ＲG2または流路ＲG3→流路ＲC2」という循環経路と、が形成される。換言すれば、連通口Ｋ1を介して圧力室Ｃに供給されたインクの少なくとも一部は、連通口Ｋ2、流路３２４、及び、流路５６２を経由して、連通口Ｋ3から流出するように循環（流動）する。
また、本実施形態において、液体吐出ヘッド２６Ｃには、例えば、「流路ＲC1→流路ＲG2→流路ＲC2→流路ＲG3→流路ＲC1」という循環経路が形成される。

図１４に例示される通り、本実施形態では、集積回路６２及び保護部材３８が、流路ＲB11と流路ＲB21との間に設けられる。このため、本実施形態では、集積回路６２及び保護部材３８が、液体吐出ヘッド２６Ｂの外部の空気に直接的には接触しない場合であっても、集積回路６２から発せられた熱を、リザーバーＱC内のインクを介して放熱することが可能となる。

また、本実施形態では、圧力室Ｃ及び連通流路において、インクの少なくとも一部が、連通口Ｋ1から連通口Ｋ2を経由して連通口Ｋ3へと流れる。そして、保護部材３８は、圧力室Ｃを含む吐出部上に設けられる。このため、本実施形態では、集積回路６２から発せられた熱を、圧力室Ｃ内のインクを介して放熱することが可能となる。

なお、本実施形態において、流路ＲC1及び流路ＲC2の一方または両方は、「第１流路」の一例であり、流路ＲG1は、「第２流路」の一例である。
また、本実施形態において、連通口Ｋ1は、リザーバーＱC内のインクを圧力室Ｃに流入させるための「流入口」の一例であり、連通口Ｋ2は、圧力室Ｃ内のインクを流路３２４及び流路５６２に供給するための「供給口」の一例であり、連通口Ｋ3は、流路５６２内のインクをリザーバーＱCに流出させるための「流出口」の一例である。

＜＜第５実施形態＞＞
以下、図１５及び図１６を参照しつつ、第５実施形態に係る液体吐出装置について説明する。以下に例示する各形態において作用や機能が第１実施形態乃至第４実施形態と同様である要素については、第１実施形態乃至第４実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。

図１５は、第５実施形態に係る液体吐出装置に設けられた液体吐出ヘッド２６Ｄの分解斜視図であり、図１６は、図１５におけるIII－III線の断面図である。
なお、第５実施形態に係る液体吐出装置は、液体吐出ヘッド２６の代わりに液体吐出ヘッド２６Ｄを具備する点を除き、図１に示す液体吐出装置１００と同様の構成を有する。

図１５に例示される通り、液体吐出ヘッド２６Ｄは、流路基板５８を備える点と、流路基板３２の代わりに流路基板３２Ａを備える点と、を除き、図２に示す液体吐出ヘッド２６と同様の構成を有する。すなわち、液体吐出ヘッド２６Ｄは、流路ＲBを有する筐体部４０と、流路ＲCを有する流路基板３２Ａと、を備える。本実施形態において、流路ＲB及び流路ＲCは、２Ｍ個の圧力室Ｃに供給されるインクを貯留するリザーバーＱD（「貯留室」の他の例）として機能する。

流路基板５８は、インクの流路を形成するための板状部材である。流路基板５８は、例えば、半導体製造技術を利用してシリコン（Ｓi）の単結晶基板を加工することで製造される。但し、流路基板５８の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。
流路基板５８のうち＋Ｚ側の表面である面Ｆ5には、ノズル板５２と吸振体５４とが設置される。また、流路基板５８のうち－Ｚ側の表面である面Ｆ6は、流路基板３２Ａの面Ｆ1に接合される。

図１５及び図１６に例示される通り、流路基板５８には、２Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するように２Ｍ個の流路５８２が形成されている。図１６に例示される通り、流路５８２は、流路基板３２Ａに設けられた流路３２４と、ノズルＮとを連結する。本実施形態では、流路３２４及び流路５８２からなる流路が、「連通流路」の一例である。また、流路基板５８には、ノズルＮ1に対応する流路５８２と、ノズルＮ2に対応する流路５８２とを連結するための、Ｍ個の流路５８４（「連結流路」の一例）が形成されている。

図１６に例示される通り、開口３４２の内側で流路基板３２Ａの面ＦAと振動部３６との間に位置する空間は、当該空間に充填されたインクに圧力を付与するための圧力室Ｃとして機能する。圧力室Ｃは、流路３２２に連通する連通口Ｋ1と、流路３２４に連通する連通口Ｋ2と、を有する。また、流路５８２は、流路５８４に連通する連通口Ｋ3を有する。なお、本実施形態において、連通口Ｋ1の断面積は、連通口Ｋ3の断面積よりも大きいこととする。

図１６に破線の矢印で図示した通り、液体容器１４から導入口４３１に供給されたインクは、流路ＲB12及び流路ＲB11を経由して流路ＲC1に流入する。そして、流路ＲC1に流入したインクの一部は、流路３２６、流路３２２、及び、連通口Ｋ1を経由して、ノズルＮ1に対応する圧力室Ｃに供給される。ノズルＮ1に対応する圧力室Ｃに充填されたインクは、連通口Ｋ2及び流路３２４を経由して、流路５８２に流入する。流路５８２内のインクは、ノズルＮ1及び連通口Ｋ3の一方または両方に流れる。流路５８２の連通口Ｋ3から流出したインクは、流路５８４と、ノズルＮ2に対応する流路５８２及び流路３２４とを経由して、ノズルＮ2に対応する圧力室Ｃに流入する。
また、液体容器１４から導入口４３２に供給されたインクは、流路ＲB22及び流路ＲB21を経由して流路ＲC2に流入する。そして、流路ＲC2に流入したインクの一部は、流路３２６、流路３２２、及び、連通口Ｋ1を経由して、ノズルＮ2に対応する圧力室Ｃに供給される。ノズルＮ2に対応する圧力室Ｃに充填されたインクは、連通口Ｋ2及び流路３２４を経由して、流路５８２に流入する。流路５８２内のインクは、ノズルＮ2及び連通口Ｋ3の一方または両方に流れる。流路５８２の連通口Ｋ3から流出したインクは、流路５８４と、ノズルＮ1に対応する流路５８２及び流路３２４とを経由して、ノズルＮ1に対応する圧力室Ｃに流入する。

図１５及び図１６に例示される通り、液体吐出ヘッド２６Ｄにおいて、例えば、「流路ＲC1→流路３２６→流路３２２→連通口Ｋ1→ノズルＮ1に対応する圧力室Ｃ→連通口Ｋ2→ノズルＮ1に対応する流路３２４→ノズルＮ1に対応する流路５８２→連通口Ｋ3→流路５８４→連通口Ｋ3→ノズルＮ2に対応する流路５８２→ノズルＮ2に対応する流路３２４→連通口Ｋ2→ノズルＮ2に対応する圧力室Ｃ→連通口Ｋ1→流路３２２→流路３２６→流路ＲC2」という経路、または、当該経路とは逆の経路で、インクを流動させることができる。
なお、制御装置２０は、これらの経路に沿ってインクを流動させるために、流路５８４を介して連通する１対のノズルＮのうち、一方のノズルＮに対応する圧電素子３７を＋Ｚ方向に変位させる場合に、他方のノズルＮに対応する圧電素子３７を－Ｚ方向に変位させてもよい。

本実施形態に係る液体吐出ヘッド２６Ｄは、流路５８４により連結される１対の流路５８２の両方がノズルＮに連通する構成を有するが、本発明はこのような態様に限定されるものではなく、流路５８４により連結される１対の流路５８２のうち、一方の流路５８２に対応するノズルＮのみが設けられ、他方の流路５８２に対応するノズルＮは設けられないような構成であってもよい。

以上において説明したように、本実施形態では、圧力室Ｃ及び連通流路において、インクの少なくとも一部が、連通口Ｋ1から連通口Ｋ2を経由して連通口Ｋ3へと流れる。そして、保護部材３８は、圧力室Ｃを含む吐出部上に設けられる。このため、本実施形態では、集積回路６２から発せられた熱を、圧力室Ｃ内のインクを介して放熱することが可能となる。

本実施形態では、連通口Ｋ1は、リザーバーＱD内のインクを圧力室Ｃに流入させるための「流入口」の一例であり、連通口Ｋ2は、圧力室Ｃ内のインクを流路３２４及び流路５８２に供給するための「供給口」の一例であり、連通口Ｋ3は、流路５８２内のインクを、圧力室Ｃを経由してリザーバーＱDに流出させるための「流出口」の一例である。
また、本実施形態において、ノズルＮ1に対応して設けられる圧力室Ｃが「第１圧力室」の一例であり、ノズルＮ1に対応して設けられる圧力室Ｃと流路ＲC1とを連結する流路３２６及び流路３２２が「第１接続流路」の一例であり、ノズルＮ2に対応して設けられる圧力室Ｃが「第２圧力室」の一例であり、ノズルＮ2に対応して設けられる圧力室Ｃと流路ＲC2とを連結する流路３２６及び流路３２２が「第２接続流路」の一例である。

＜＜変形例＞＞
以上に例示した各形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

＜変形例１＞
上述した第１実施形態乃至第４実施形態に係るリザーバー（リザーバーＱ、ＱA、ＱB、及び、ＱC）は、リザーバー内の循環経路に沿ってインクを流動させるための、ポンプ等の液体流動手段を備えていてもよい。

＜変形例２＞
上述した第１実施形態乃至第４実施形態及び変形例１に係るリザーバー及び導入口４３は、リザーバー内の循環経路に沿ってインクが流動するような構造を有していてもよい。
例えば、第１実施形態において、流路ＲB11の形状を、Ｚ軸方向に対して傾きを有するような形状とすることで、流路ＲB11から流路ＲA1に流入するインクを、流路ＲA1において－Ｙ方向に流動させ、流路ＲB21の形状を、Ｚ軸方向に対して流路ＲB11とは反対の傾きを有するような形状とすることで、流路ＲB21から流路ＲA2に流入するインクを、流路ＲA2において＋Ｙ方向に流動させてもよい（図３及び図４参照）。この場合、リザーバーＱ内のインクを、「流路ＲA1→流路ＲA3→流路ＲA2→流路ＲA4→流路ＲA1」という循環経路に沿って循環させることができる。
また、例えば、第２実施形態において、導入口４３１の形状を、Ｚ軸方向に対して傾きを有するような形状とすることで、導入口４３１から流路ＲD1に流入するインクを、流路ＲD1において－Ｙ方向に流動させ、導入口４３２の形状を、Ｚ軸方向に対して導入口４３１とは反対の傾きを有するような形状とすることで、導入口４３２から流路ＲD2に流入するインクを、流路ＲD2において＋Ｙ方向に流動させてもよい（図７参照）。この場合、リザーバーＱA内のインクを、「流路ＲD1→流路ＲD3→流路ＲD2→流路ＲD4→流路ＲD1」という循環経路に沿って循環させることができる。
また、例えば、第３実施形態において、流路ＲB11の形状を、Ｚ軸方向に対して傾きを有するような形状とすることで、流路ＲB11から流路ＲE1に流入するインクを、流路ＲE1において－Ｙ方向に流動させ、流路ＲB21の形状を、Ｚ軸方向に対して流路ＲB11とは反対の傾きを有するような形状とすることで、流路ＲB21から流路ＲE2に流入するインクを、流路ＲE2において＋Ｙ方向に流動させてもよい（図１０及び図１１参照）。この場合、リザーバーＱB内のインクを、「流路ＲE1→流路ＲE3→流路ＲE2→流路ＲE4→流路ＲE1」という循環経路に沿って循環させることができる。
また、例えば、第４実施形態において、流路ＲB11の形状を、Ｚ軸方向に対して傾きを有するような形状とすることで、流路ＲB11から流路ＲC1に流入するインクを、流路ＲC1において－Ｙ方向に流動させ、流路ＲB21の形状を、Ｚ軸方向に対して流路ＲB11とは反対の傾きを有するような形状とすることで、流路ＲB21から流路ＲC2に流入するインクを、流路ＲC2において＋Ｙ方向に流動させてもよい（図１３及び図１４参照）。この場合、リザーバーＱC内のインクを、「流路ＲC1→流路ＲG2→流路ＲC2→流路ＲG3→流路ＲC1」という循環経路に沿って循環させることができる。

＜変形例３＞
上述した実施形態及び変形例では、液体吐出ヘッドを搭載した搬送体２４２を往復させるシリアル方式の液体吐出装置を例示したが、本発明はこのような態様に限定されるものではなく、液体吐出装置は、複数のノズルＮが媒体１２の全幅にわたり分布するライン方式の液体吐出装置であってもよい。
図１７は、本変形例に係る液体吐出装置１００Ａの構成の一例を示す図である。液体吐出装置１００Ａは、液体容器１４と、制御装置２０と、搬送機構２２と、複数の液体吐出ヘッド２６と、当該複数の液体吐出ヘッド２６を搭載する搭載機構２４０と、を備える。すなわち、本変形例に係る液体吐出装置１００Ａは、無端ベルト２４４を備えない点と、搬送体２４２の代わりに搭載機構２４０を備える点と、を除き、図１に示す液体吐出装置１００と同様の構成を有する。液体吐出装置１００Ａにおいて、搬送機構２２は、媒体１２を、＋Ｘ方向に搬送する。また、液体吐出装置１００Ａにおいて、搭載機構２４０には、Ｙ軸方向を長手方向とする複数の液体吐出ヘッド２６が、媒体１２の全幅にわたり分布するように設けられる。なお、搭載機構２４０には、液体吐出ヘッド２６の代わりに、液体吐出ヘッド２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、または、２６Ｄを搭載してもよい。

＜変形例４＞
上述した実施形態及び変形例では、吸振体４６及び吸振体５４の双方を設置した構成を例示したが、例えばリザーバー内の圧力変動が特段の問題とならない場合には、吸振体４６及び吸振体５４の一方または双方を省略することも可能である。吸振体４６及び吸振体５４の一方または双方を省略した構成によれば、双方を設置した構成と比較して製造コストが削減されるという利点がある。

＜変形例５＞
上述した実施形態及び変形例では、圧力室Ｃ（または圧力室ＣB）の内部に圧力を付与する要素（駆動素子）として、圧電素子３７を例示したが、本発明はこのような態様に限定されるものではない。例えば、加熱により圧力室の内部に気泡を発生させて圧力を変動させる発熱素子を駆動素子として利用することも可能である。発熱素子は、駆動信号の供給により発熱体が発熱する要素である。以上の例示から理解される通り、駆動素子は、圧力室内の液体をノズルＮから吐出させる要素（典型的には圧力室の内部に圧力を付与する要素）として包括的に表現され、動作方式（圧電方式／熱方式）や具体的な構成の如何は不問である。

＜変形例６＞
上述した実施形態及び変形例で例示した液体吐出装置は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体吐出装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。

１４…液体容器、２０…制御装置、２２…搬送機構、２４…移動機構、２６…液体吐出ヘッド、３２…流路基板、３４…圧力室基板、３６…振動部、３７…圧電素子、３８…保護部材、４０…筐体部、６２…集積回路、１００…液体吐出装置、３２４…流路、３４２…開口、Ｃ…圧力室、Ｎ…ノズル、Ｑ…リザーバー、ＲA…流路、ＲB…流路。

Claims (12)

1. 液体が充填された第１圧力室と、
   前記液体が充填された第２圧力室と、
   前記第１圧力室及び前記第２圧力室に供給される前記液体を貯留する貯留室と、
   一端が前記第１圧力室に連通し、他端が前記貯留室に連通する第１接続流路と、
   一端が前記第２圧力室に連通し、他端が前記貯留室に連通する第２接続流路と、
   一端が前記第１圧力室に連通し、他端が前記第２圧力室に連通する連結流路と、
   前記第１圧力室に充填された前記液体を吐出可能なノズルと、
   前記第１圧力室の壁面を構成する振動板と、
   駆動信号により駆動される圧電素子と、
   前記振動板上に設けられた回路基板と、
   前記回路基板上に設けられ、前記駆動信号を前記圧電素子に供給するか否かを切り替えるスイッチ回路と、
   を備え、
   前記圧電素子は、
   前記回路基板を含む複数の部材により構成された封止空間に設けられる、
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
   
2. 前記回路基板の少なくとも一部は、
   前記貯留室と前記第１圧力室との間に設けられる、
   ことを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
   
3. 複数の前記ノズルを備え、
   前記複数のノズルには、
   第１ノズルと、前記回路基板の基板面と垂直な方向から見て平面視で前記連結流路よりも前記第１ノズルとは反対側に位置する第２ノズルと、が含まれる、
   ことを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
   
4. 複数の前記ノズルを備え、
   前記複数のノズルは、１インチあたり３００個以上の密度で設けられる、
   ことを特徴とする、請求項１乃至３のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
   
5. 前記圧電素子は、
   前記圧力室に充填された前記液体を前記ノズルから１秒間に３００００回以上吐出させるように駆動可能である、
   ことを特徴とする、請求項１乃至４のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
   
6. 前記第１圧力室は、
   前記貯留室内の前記液体を前記第１圧力室に流入させるための流入口と、
   前記第１圧力室内の前記液体を前記第１圧力室に充填された前記液体を吐出可能なノズルに連通する連通流路に供給するための供給口と、
   前記第１圧力室から流入した前記連通流路の前記液体を、前記第２圧力室に流出させるための流出口と、
   を備え、
   前記流入口の断面積は、
   前記流出口の断面積よりも大きい、
   ことを特徴とする、請求項１乃至５のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
   
7. 前記スイッチ回路の少なくとも一部は、
   前記圧電素子と前記貯留室との間に位置する、
   ことを特徴とする、請求項１乃至６のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
   
8. 前記貯留室の少なくとも一部は、
   前記圧電素子の少なくとも一部と前記スイッチ回路の少なくとも一部との双方に、前記回路基板の基板面と垂直な方向から見て平面視で重なる、
   ことを特徴とする、請求項１乃至７のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
   
9. 複数の前記圧電素子と、
   前記回路基板のうち、前記複数の圧電素子が配列する方向の端部に設置され、前記スイッチ回路に電気的に接続された配線部材と、
   を備える、
   ことを特徴とする、請求項１乃至８のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
   
10. 前記スイッチ回路は、
    前記圧電素子への前記駆動信号の供給するか否かの切り替えに伴い発熱し、
    前記回路基板は、
    前記スイッチ回路において生じた熱が、前記第１圧力室の液体に伝搬するように設けられる、
    ことを特徴とする、請求項１乃至９のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
    
11. 前記圧電素子が駆動される際、
    前記スイッチ回路の温度は、前記第１圧力室内の液体の温度よりも高く、
    前記スイッチ回路の熱が、前記第１圧力室内の液体へと伝搬することにより、
    前記スイッチ回路の温度上昇が抑制される、
    ことを特徴とする、請求項１乃至１０のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
    
12. 請求項１乃至１１のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッドを具備する液体吐出装置。
    

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