JP6983680B2 - インクジェットヘッド、及びその製造方法、並びにインクジェットプリンタ - Google Patents
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Description
1−1.構成
以下、図面を参照しながら実施形態を説明する。
図1は、実施形態に係る、インクジェットプリンタのヘッドキャリッジに搭載して使用するオンデマンド型のインクジェットヘッド1を示す斜視図である。以下の説明では、X軸、Y軸、Z軸からなる直交座標系を用いる。図中の矢印の指し示す方向を便宜上プラス方向とする。X軸方向は印刷幅方向に対応する。Y軸方向は記録媒体が搬送される方向に対応する。Z軸プラス方向は記録媒体に対向する方向である。
このインクジェットヘッド1は、いわゆるせん断モードシェアードウォールのサイドシューター型である。
圧電部材30は、後述するノズルNと連通する位置に圧力室32を形成し、圧力室32内の圧力を変化させて圧力室32内のインクを吐出させる。なお、インクが流通する圧力室32は、隣り合った2つのチャネル壁の間の溝に位置した空間である。圧力室32の幅、ここでは、圧力室32のX軸方向に沿った寸法は、好ましくは20乃至100μmの範囲内にあり、より好ましくは、30乃至70μmの範囲内にある。
ここで、「黄色」とは、JIS Z 8781−4:2013「測色‐第4部:CIE1976L*a*b*色空間」に準拠して測定される色座標が、以下の範囲内にあることを意味する。すなわち、電極保護膜34が黄色であるとは、その色をL*a*b*色空間で表した場合に、明度指数L*が80乃至90の範囲内にあり、色座標a*が−2乃至0の範囲内にあり、且つ色座標b*が3乃至5の範囲内にあることを意味する。明度指数L*は85乃至88の範囲内にあり、色座標a*は−1.2乃至−1.0の範囲内にあり、且つ色座標b*は3.8乃至4.4の範囲内にあることが好ましい。
電極保護膜34は、ポリパラキシレン骨格を有する化合物として、以下の一般式(I)で表される繰返し単位を含んでいることが好ましい。
図5Bに示すように、電極保護膜34の表面領域341には、酸化に伴う変性が認められる。この表面領域341の厚さは、10乃至100nmの範囲内にあることが好ましく、20乃至60nmの範囲内にあることがより好ましい。この表面領域341の厚さが大きすぎると、電極保護膜34の初期における絶縁性が不十分となる虞がある。表面領域341の厚さが小さすぎると、電圧パルスを繰返し印加した後の絶縁性が不十分となる虞がある。
以下、圧電部材30の動作を説明する。ここでは、隣り合う3つの圧力室32のうち中央の圧力室32に着目して動作を説明する。なお、隣り合う3つの圧力室32に対応する電極33を電極A、B及びCとし、中央の圧力室32に対応した電極33は、電極Bであるとする。
次に、図1乃至図4に示すインクジェットヘッド1の製造方法を説明する。
上記のインクジェットヘッド1は、以下の方法によって製造する。まず、圧電部材30と電極33とを備えた構造体を形成する。具体的には、インクが供給される圧力室32を形成し、この圧力室32内の圧力を変化させて圧力室32内のインクを吐出させる圧電部材30と、圧電部材30のうち圧力室32と隣接した部分に位置し、圧電部材30に駆動パルスを印加する電極33とを備えた構造体を形成する。なお、構造体の形成は、従来公知の方法によって行なうことができる。
紫外線の照射は、膜の色が黄色へと変化するまで行なうことが好ましい。例えば、紫外線の照射は、紫外線照射後の膜と、紫外線照射前の膜との色差ΔEが、2乃至4の範囲内となるように行なうことが好ましく、2乃至3.5の範囲内となるように行なうことがより好ましい。ここで、色差ΔEは、L*a*b*色空間における、紫外線照射前の膜の色座標と、紫外線照射後の膜の色座標との間の距離を意味する。
図6Aは、紫外線照射前の膜表面のFE−SEMによる画像である。図6Bは、紫外線照射後の膜表面のFE−SEMによる画像である。図6A及び図6Bに示す画像は、それぞれ、紫外線照射前及び照射後の電極保護膜に金粒子を蒸着させ、これをFE−SEMによって撮像して得られた画像である。
すなわち、膜の形成を、重合蒸着等の気相堆積法によって行なうと、膜の最表面に近づく程、重合が不十分となる傾向にある。特に、上述したように、電極保護膜34として使用する膜は薄膜であるため、成膜直後の電極保護膜34は比較的多量のピンホールを含んでいる。
例えば、紫外線照射以外の表面処理として酸素プラズマ処理を行った場合、以下に説明するように、電極保護膜に変色やピンホールの消失は生じない。
図7は、紫外線照射又は酸素プラズマ処理による酸化処理を行なった膜の色と、紫外線照射又は酸素プラズマ処理を行なう前の膜の色との色差を測定した結果を示すグラフである。
酸素プラズマ処理前の膜は無色透明であり、色差ΔEは0.6乃至1.6の範囲内にあった。すなわち、酸素プラズマ処理を施した膜も無色透明であった。
紫外線照射後の膜は黄色であり、この色差ΔEは2.25乃至3.00の範囲内にあった。すなわち、紫外線照射を施すことにより、膜は、無色透明から黄色へと色を大きく変化させた。
さらに、成膜直後の膜にコロナ放電を行なうと、膜に局所的に大電流が流れ、膜表面が炭化する。その結果、膜は黒色へと変化するとともに、ピンホールが増加する。
2−1.構成
図8に、インクジェットプリンタ100の模式図を示す。
実施形態に係るインクジェットプリンタ100は、インクジェットヘッド1と、インクジェットヘッド1に対向して記録媒体を保持する媒体保持機構110とを備えている。
次に、このインクジェットプリンタ100の画像形成動作について説明する。
まず、画像処理手段(図示しない)が、記録のための画像処理を開始し、画像データに対応した画像信号を生成するとともに、各種ローラや負圧チャンバ111などの動作を制御する制御信号を生成する。
上記のインクジェットヘッド1は、ポリパラキシレン骨格を有する化合物を含んだ黄色の電極保護膜を備えている。このような構成によれば、優れた絶縁耐久性を達成することができる。以下にその理由を説明する。
(例1)
図1乃至図4に示すインクジェットヘッド1を、以下のように作製した。
まず、圧電部材30と電極33とを備えた構造体を形成した。
次に、電極33上にポリモノクロロパラキシリレンからなる膜を気相堆積法により成膜した後、この膜に対して、照度15mW/cm2において5分間の紫外線照射を行なった。ここで、紫外線の照射には、卓上型光表面処理装置(PL16−110D、セン特殊光源株式会社)を使用した。
以下、このようにして作製したインクジェットヘッド1を、インクジェットヘッドN1と表記する。
以下のことを除いて、例1と同様にインクジェットヘッド1を作製した。
すなわち、紫外線照射を省略したこと以外は、例1と同様にインクジェットヘッド1を作製した。なお、ここで、電極保護膜は無色透明の膜であった。そして、紫外線照射前の電極保護膜の見かけ上の表面積に対するピンホールの開口部の合計面積の比は、1×10−10であった。
以上の方法により、図1乃至図4に示すインクジェットヘッド1を作製した。以下、このインクジェットヘッド1をインクジェットヘッドC1と表記する。
インクジェットヘッドN1及びC1の電極33に対して電圧を印加し、リーク電流値を観測した。具体的には、まず、インクジェットヘッドN1又はC1の電極33に対して、振幅が60Vの電圧パルスを1×107回印加した。その後、電極33とインクとの間での電流のリークを測定した。同様の測定を、1×107回、1×108回、1×109回、1×1010回、1×1011回及び1×1012回の電圧パルスの印加を行なったインクジェットヘッドについても行なった。結果を図9に示す。図9は、電圧パルスを印加した回数に対する電極保護膜のリーク電流値の関係を示すグラフである。
一方、インクジェットヘッドN1は、電圧の印加を1×1012回繰返しても、リーク電流値の変化を生じなかった。すなわち、優れた絶縁耐久性を達成することができた。
一方、インクジェットヘッドN1は、600Vの電圧パルスを印加した場合にリークする電流は1×10−6A程度であった。すなわち、インクジェットヘッドN1は大電圧の印加による局所的な絶縁破壊は生じにくく、優れた耐久性を達成することができた。
以下に、当初の特許請求の範囲に記載していた発明を付記する。
[1]
記録媒体へ向けてインクを吐出するノズルが設けられたノズルプレートと、
前記ノズルと連通する位置に圧力室を形成し、前記圧力室内の圧力を変化させて前記圧力室内の前記インクを吐出させる圧電部材と、
前記圧電部材のうち前記圧力室と隣接した部分に位置し、前記圧電部材に駆動パルスを印加する電極と、
前記電極を被覆する電極保護膜と
を備え、
前記電極保護膜は、ポリパラキシレン骨格を有する化合物を含んだ黄色の膜であるインクジェットヘッド。
[2]
前記ポリパラキシレン骨格を有する化合物は、以下の一般式(I)に示す繰返し単位を含み、下記一般式(I)において、R1乃至R8は、互いに独立に、水素原子又はハロゲン原子を表す項1に記載のインクジェットヘッド。
前記電極保護膜は、前記圧電部材と前記圧力室との間に位置する部分の膜厚が1μm乃至10μmの範囲内にある項1又は2に記載のインクジェットヘッド。
[4]
項1乃至3の何れか1項に記載のインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドに対向して前記記録媒体を保持する媒体保持機構と
を備えたインクジェットプリンタ。
[5]
インクが供給される圧力室を形成し、前記圧力室内の圧力を変化させて前記圧力室内の前記インクを吐出させる圧電部材と、前記圧電部材のうち前記圧力室と隣接した部分に位置し、前記圧電部材に駆動パルスを印加する電極とを備えた構造体を形成することと、
前記電極上に、ポリパラキシレン骨格を有する化合物を含んだ膜を形成することと、
前記膜に紫外線を照射して、前記電極を被覆した電極保護膜を得ることと、
記録媒体へ向けて前記インクを吐出するノズルが設けられたノズルプレートを、前記ノズルが前記圧力室と連通するように設置することと
を含んだインクジェットヘッドの製造方法。
[6]
前記膜の色が黄色へ変化するまで紫外線を照射する項5に記載の製造方法。
[7]
10乃至50mJ/cm 2 の範囲内の露光量で前記膜へ紫外線を照射する項5又は6に記載の製造方法。
Claims (6)
- 記録媒体へ向けてインクを吐出するノズルが設けられたノズルプレートと、
前記ノズルと連通する位置に圧力室を形成し、前記圧力室内の圧力を変化させて前記圧力室内の前記インクを吐出させる圧電部材と、
前記圧電部材のうち前記圧力室と隣接した部分に位置し、前記圧電部材に駆動パルスを印加する電極と、
前記電極を被覆する電極保護膜と
を備え、
前記電極保護膜は、ポリパラキシレン骨格を有する化合物からなる黄色の膜であるインクジェットヘッド。 - 前記電極保護膜は、前記圧電部材と前記圧力室との間に位置する部分の膜厚が1μm乃至10μmの範囲内にある請求項1又は2に記載のインクジェットヘッド。
- 請求項1乃至3の何れか1項に記載のインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドに対向して前記記録媒体を保持する媒体保持機構と
を備えたインクジェットプリンタ。 - インクが供給される圧力室を形成し、前記圧力室内の圧力を変化させて前記圧力室内の前記インクを吐出させる圧電部材と、前記圧電部材のうち前記圧力室と隣接した部分に位置し、前記圧電部材に駆動パルスを印加する電極とを備えた構造体を形成することと、
前記電極上に、ポリパラキシレン骨格を有する化合物を含んだ膜を形成することと、
前記膜に紫外線を照射して、前記電極を被覆した電極保護膜を得ることと、
記録媒体へ向けて前記インクを吐出するノズルが設けられたノズルプレートを、前記ノズルが前記圧力室と連通するように設置することと
を含み、
前記膜の色が黄色へ変化するまで紫外線を照射するインクジェットヘッドの製造方法。 - 10乃至50mW/cm2の範囲内の照度で前記膜へ紫外線を照射する請求項5に記載の製造方法。
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