JP6969392B2 - 物品搬送装置 - Google Patents
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Description
これにより、パレット〔3〕が、搬送車〔2〕からハンドリング装置〔6〕へと引き渡される。
第1場所から第2場所まで物品を搬送する物品搬送装置であって、
設定搬送高さに設けられて物品が載置される搬送載置台を有し、前記第1場所と前記第2場所との間で往復移動する搬送車と、
前記第1場所に設けられて、前記搬送車に物品を引き渡す引渡部と、
前記第2場所に設けられて、前記搬送車から物品を受け取る受取部と、を備え、
前記引渡部は、物品が載置される第1載置台と、当該第1載置台を昇降させる第1昇降機構と、を有し、
前記受取部は、物品が載置される第2載置台と、当該第2載置台を昇降させる第2昇降機構と、を有し、
前記第1昇降機構は、前記第2場所側から前記第1場所へ向かって移動する前記搬送車に押されて当該搬送車の動きに従動して前記第1載置台を下降させる第1従動部を有し、前記搬送車の前記第1場所への到着に合せて、前記設定搬送高さより上の位置から前記設定搬送高さより下の位置まで前記第1載置台を下降させ、前記第1載置台に載置された物品を前記搬送載置台に移載し、
前記第2昇降機構は、前記第1場所側から前記第2場所へ向かって移動する前記搬送車に押されて当該搬送車の動きに従動して前記第2載置台を上昇させる第2従動部を有し、前記搬送車の前記第2場所への到着に合せて、前記設定搬送高さより下の位置から前記設定搬送高さより上の位置まで前記第2載置台を上昇させて、前記搬送載置台に載置された物品を前記第2載置台に移載する。
第1場所から第2場所まで物品を搬送する物品搬送装置であって、
設定搬送高さに設けられて物品が載置される搬送載置台を有し、前記第1場所と前記第2場所との間で往復移動する搬送車と、
前記第1場所に設けられて、前記搬送車に物品を引き渡す引渡部と、
前記第2場所に設けられて、前記搬送車から物品を受け取る受取部と、を備え、
前記引渡部は、物品が載置される第1載置台と、当該第1載置台を昇降させる第1昇降機構と、を有し、
前記受取部は、物品が載置される第2載置台と、当該第2載置台を昇降させる第2昇降機構と、を有し、
前記第1昇降機構は、前記第2場所側から前記第1場所へ向かって移動する前記搬送車の動きに従動して前記第1載置台を下降させる第1従動部を有し、前記搬送車の前記第1場所への到着に合せて、前記設定搬送高さより上の位置から前記設定搬送高さより下の位置まで前記第1載置台を下降させ、前記第1載置台に載置された物品を前記搬送載置台に移載し、
前記第2昇降機構は、前記第1場所側から前記第2場所へ向かって移動する前記搬送車の動きに従動して前記第2載置台を上昇させる第2従動部を有し、前記搬送車の前記第2場所への到着に合せて、前記設定搬送高さより下の位置から前記設定搬送高さより上の位置まで前記第2載置台を上昇させて、前記搬送載置台に載置された物品を前記第2載置台に移載し、
前記搬送載置台は、物品の底面に設けられた係合凹部に係合する係合突部を備え、
前記第1昇降機構は、前記第1載置台を、前記第2場所側から前記第1場所側へ向かって移動させながら下降させ、
前記第2昇降機構は、前記第2載置台を、前記第1場所側から前記第2場所側へ向かって移動させながら上昇させる。
第1場所から第2場所まで物品を搬送する物品搬送装置であって、
設定搬送高さに設けられて物品が載置される搬送載置台を有し、前記第1場所と前記第2場所との間で往復移動する搬送車と、
前記第1場所に設けられて、前記搬送車に物品を引き渡す引渡部と、
前記第2場所に設けられて、前記搬送車から物品を受け取る受取部と、を備え、
前記引渡部は、物品が載置される第1載置台と、当該第1載置台を昇降させる第1昇降機構と、を有し、
前記受取部は、物品が載置される第2載置台と、当該第2載置台を昇降させる第2昇降機構と、を有し、
前記第1昇降機構は、前記第2場所側から前記第1場所へ向かって移動する前記搬送車の動きに従動して前記第1載置台を下降させる第1従動部を有し、前記搬送車の前記第1場所への到着に合せて、前記設定搬送高さより上の位置から前記設定搬送高さより下の位置まで前記第1載置台を下降させ、前記第1載置台に載置された物品を前記搬送載置台に移載し、
前記第2昇降機構は、前記第1場所側から前記第2場所へ向かって移動する前記搬送車の動きに従動して前記第2載置台を上昇させる第2従動部を有し、前記搬送車の前記第2場所への到着に合せて、前記設定搬送高さより下の位置から前記設定搬送高さより上の位置まで前記第2載置台を上昇させて、前記搬送載置台に載置された物品を前記第2載置台に移載し、
前記第1昇降機構は、前記第1載置台を上昇方向に付勢する第1付勢部を有し、前記搬送車が前記第1場所から離れたことに合せて、前記設定搬送高さより下の位置から前記設定搬送高さより上の位置まで前記第1載置台を上昇させ、
前記第2昇降機構は、前記第2載置台を下降方向に付勢する第2付勢部を有し、前記搬送車が前記第2場所から離れたことに合せて、前記設定搬送高さより上の位置から前記設定搬送高さより下の位置まで前記第2載置台を下降させる。
物品搬送装置の第1実施形態について図面を参照して説明する。物品搬送装置100は、第1場所10から第2場所20まで物品8を搬送するものである。このような物品搬送装置100を、例えば、半導体ウェハ、又はレチクルなどの搬送や保管を行うための物品搬送設備Fに適用することができる。以下では、一例として、物品搬送装置100が、上記のような物品搬送設備Fに適用される例について説明する。
図1に示すように、物品8は、第1場所10から第2場所20に搬送されるものである。例えば、物品8は、半導体ウェハが収容されるFOUP(Front Opening Unified Pod)である。但し、これに限定されることなく、物品8は、レチクルが収容されるレチクルポッドであっても良い。
次に、物品搬送装置100の詳細について説明する。
3つの係合ピンは3つの係合凹部81に対応する位置に配置されている。
空間部21Aは、後述する搬送車30の搬送載置台31に対して第2載置台21が上下方向に通過するための第2通過部21Aとして機能する。なお、空間部21Aが搬送方向Lの両側に開口していることで、例えば第2搬送装置T2がフォーク機構により物品8の底面を支持するように構成されている場合、第2載置台21に載置されている物品8を、当該第2搬送装置T2によって搬送方向第2側L2から掬うことが可能となっている。
搬送載置台31は、搬送車30が搬送方向第1側L1に向かって移動することにより、設定搬送高さHTに位置したままの状態で搬送方向第1側L1に向かって移動する。第1載置台11は、搬送載置台31の搬送方向第1側L1への移動に合せて下降する。そして、搬送載置台31が第1重複領域10R(図2参照)に対して完全に重複した状態で、第1載置台11が設定搬送高さHTとなり、更に搬送車30が搬送方向第1側L1に向かって移動することにより、図3の下図に示すように、搬送載置台31よりも下方まで移動(通過)する。これにより、第1載置台11から搬送載置台31に物品8が移載される。なお、本実施形態において「第1重複領域10R」とは、図2に示すように、上下方向視において物品8が第1載置台11に載置された場合における当該物品8の外形によって定義される領域である。ここでは、物品8の外形よりも内側の領域が第1重複領域10Rとなっている。
搬送載置台31は、搬送車30が搬送方向第2側L2に向かって移動することにより、設定搬送高さHTに位置したままの状態で搬送方向第2側L2に向かって移動する。第2載置台21は、搬送載置台31の搬送方向第2側L2への移動に合せて上昇する。そして、搬送載置台31が第2重複領域20R(図2参照)に対して完全に重複した状態で、第2載置台21が設定搬送高さHTとなり、更に搬送車30が搬送方向第2側L2に向かって移動することにより、図4の下図に示すように、搬送載置台31よりも上方まで移動(通過)する。これにより、搬送載置台31から第2載置台21に物品8が移載される。なお、本実施形態において「第2重複領域20R」とは、図2に示すように、上下方向視において物品8が第2載置台21に載置された場合における当該物品8の外形によって定義される領域である。ここでは、物品8の外形よりも内側の領域が第2重複領域20Rとなっている。
次に、物品搬送装置の第2実施形態について説明する。以下では、上記の第1実施形態と異なる点を主として説明する。特に説明しない点については、上記の第1実施形態と同様である。
次に、物品搬送装置の第3実施形態について説明する。以下では、上記の第1実施形態と異なる点を主として説明する。特に説明しない点については、第1実施形態と同様である。
これにより、第2載置台21の搬送方向Lへの移動に伴い、第2移動部材42Eも同方向(搬送方向L)に移動する。従って、搬送経路部9に対して相対的な第2載置台21の搬送方向Lへの移動が許容される。
次に、物品搬送装置のその他の実施形態について説明する。
しかし、このような例に限定されることなく、第1従動部13は、第2場所20側から第1場所10へ向かって移動する搬送車30の水平方向に沿う動きを、第1載置台11の下降動作に変換するリンク機構及びカム機構の少なくとも一方を備えていれば良い。そのため、例えば第1従動部13は、リンク機構及びカム機構の双方を備えていても良い。また、第2従動部23についても同様に、第1場所10側から第2場所20へ向かって移動する搬送車30の水平方向に沿う動きを、第2載置台21の上昇動作に変換するリンク機構及びカム機構の少なくとも一方を備えていれば良い。そのため、例えば第2従動部23は、リンク機構及びカム機構の双方を備えていても良い。
以下、上記において説明した物品搬送装置の概要について説明する。
設定搬送高さに設けられて物品が載置される搬送載置台を有し、前記第1場所と前記第2場所との間で往復移動する搬送車と、
前記第1場所に設けられて、前記搬送車に物品を引き渡す引渡部と、
前記第2場所に設けられて、前記搬送車から物品を受け取る受取部と、を備え、
前記引渡部は、物品が載置される第1載置台と、当該第1載置台を昇降させる第1昇降機構と、を有し、
前記受取部は、物品が載置される第2載置台と、当該第2載置台を昇降させる第2昇降機構と、を有し、
前記第1昇降機構は、前記第2場所側から前記第1場所へ向かって移動する前記搬送車に押されて当該搬送車の動きに従動して前記第1載置台を下降させる第1従動部を有し、前記搬送車の前記第1場所への到着に合せて、前記設定搬送高さより上の位置から前記設定搬送高さより下の位置まで前記第1載置台を下降させ、前記第1載置台に載置された物品を前記搬送載置台に移載し、
前記第2昇降機構は、前記第1場所側から前記第2場所へ向かって移動する前記搬送車に押されて当該搬送車の動きに従動して前記第2載置台を上昇させる第2従動部を有し、前記搬送車の前記第2場所への到着に合せて、前記設定搬送高さより下の位置から前記設定搬送高さより上の位置まで前記第2載置台を上昇させて、前記搬送載置台に載置された物品を前記第2載置台に移載する。
設定搬送高さに設けられて物品が載置される搬送載置台を有し、前記第1場所と前記第2場所との間で往復移動する搬送車と、
前記第1場所に設けられて、前記搬送車に物品を引き渡す引渡部と、
前記第2場所に設けられて、前記搬送車から物品を受け取る受取部と、を備え、
前記引渡部は、物品が載置される第1載置台と、当該第1載置台を昇降させる第1昇降機構と、を有し、
前記受取部は、物品が載置される第2載置台と、当該第2載置台を昇降させる第2昇降機構と、を有し、
前記第1昇降機構は、前記第2場所側から前記第1場所へ向かって移動する前記搬送車の動きに従動して前記第1載置台を下降させる第1従動部を有し、前記搬送車の前記第1場所への到着に合せて、前記設定搬送高さより上の位置から前記設定搬送高さより下の位置まで前記第1載置台を下降させ、前記第1載置台に載置された物品を前記搬送載置台に移載し、
前記第2昇降機構は、前記第1場所側から前記第2場所へ向かって移動する前記搬送車の動きに従動して前記第2載置台を上昇させる第2従動部を有し、前記搬送車の前記第2場所への到着に合せて、前記設定搬送高さより下の位置から前記設定搬送高さより上の位置まで前記第2載置台を上昇させて、前記搬送載置台に載置された物品を前記第2載置台に移載し、
前記搬送載置台は、物品の底面に設けられた係合凹部に係合する係合突部を備え、
前記第1昇降機構は、前記第1載置台を、前記第2場所側から前記第1場所側へ向かって移動させながら下降させ、
前記第2昇降機構は、前記第2載置台を、前記第1場所側から前記第2場所側へ向かって移動させながら上昇させる。
設定搬送高さに設けられて物品が載置される搬送載置台を有し、前記第1場所と前記第2場所との間で往復移動する搬送車と、
前記第1場所に設けられて、前記搬送車に物品を引き渡す引渡部と、
前記第2場所に設けられて、前記搬送車から物品を受け取る受取部と、を備え、
前記引渡部は、物品が載置される第1載置台と、当該第1載置台を昇降させる第1昇降機構と、を有し、
前記受取部は、物品が載置される第2載置台と、当該第2載置台を昇降させる第2昇降機構と、を有し、
前記第1昇降機構は、前記第2場所側から前記第1場所へ向かって移動する前記搬送車の動きに従動して前記第1載置台を下降させる第1従動部を有し、前記搬送車の前記第1場所への到着に合せて、前記設定搬送高さより上の位置から前記設定搬送高さより下の位置まで前記第1載置台を下降させ、前記第1載置台に載置された物品を前記搬送載置台に移載し、
前記第2昇降機構は、前記第1場所側から前記第2場所へ向かって移動する前記搬送車の動きに従動して前記第2載置台を上昇させる第2従動部を有し、前記搬送車の前記第2場所への到着に合せて、前記設定搬送高さより下の位置から前記設定搬送高さより上の位置まで前記第2載置台を上昇させて、前記搬送載置台に載置された物品を前記第2載置台に移載し、
前記第1昇降機構は、前記第1載置台を上昇方向に付勢する第1付勢部を有し、前記搬送車が前記第1場所から離れたことに合せて、前記設定搬送高さより下の位置から前記設定搬送高さより上の位置まで前記第1載置台を上昇させ、
前記第2昇降機構は、前記第2載置台を下降方向に付勢する第2付勢部を有し、前記搬送車が前記第2場所から離れたことに合せて、前記設定搬送高さより上の位置から前記設定搬送高さより下の位置まで前記第2載置台を下降させる。
前記第1昇降機構は、上下方向視で前記搬送載置台に載置された物品が前記第1載置台と重複する第1重複領域から前記搬送車が離れるまで、前記第1載置台が前記設定搬送高さより上に上昇しないように規制する第1規制部を有し、
前記第2昇降機構は、上下方向視で前記搬送載置台が前記第2載置台に載置された物品と重複する第2重複領域から前記搬送車が離れるまで、前記第2載置台が前記設定搬送高さより下に下降しないように規制する第2規制部を有すると好適である。
前記第1規制部は、第1速度制限装置及び第1係合装置の少なくとも一方を有し、
前記第1速度制限装置は、前記第1付勢部の付勢力による前記第1載置台の上昇速度を遅く制限する装置であり、
前記第1係合装置は、前記搬送車が前記第1重複領域内にいる場合には前記第1載置台又は前記第1載置台と共に上昇する部材に第1係合部材を係合し、前記搬送車が前記第1重複領域から離れた場合に前記第1係合部材の係合を解除する装置であり、
前記第2規制部は、第2速度制限装置及び第2係合装置の少なくとも一方を有し、
前記第2速度制限装置は、前記第2付勢部の付勢力による前記第2載置台の下降速度を遅く制限する装置であり、
前記第2係合装置は、前記搬送車が前記第2重複領域内にいる場合には前記第2載置台又は前記第2載置台と共に下降する部材に第2係合部材を係合し、前記搬送車が前記第2重複領域から離れた場合に前記第2係合部材の係合を解除する装置であると好適である。
前記第1従動部は、前記第2場所側から前記第1場所へ向かって移動する前記搬送車の水平方向に沿う動きを、第1載置台の下降動作に変換するリンク機構及びカム機構の少なくとも一方を備え、
前記第2従動部は、前記第1場所側から前記第2場所へ向かって移動する前記搬送車の水平方向に沿う動きを、第2載置台の上昇動作に変換するリンク機構及びカム機構の少なくとも一方を備えると好適である。
1 :引渡部
2 :受取部
8 :物品
10 :第1場所
10R :第1重複領域
11 :第1載置台
12 :第1昇降機構
13 :第1従動部
13X :第1リンク機構
13Y :第1カム機構
14 :第1付勢部
15 :第1規制部
16 :第1速度制限装置
17 :第1係合装置
17A :第1係合部材
20 :第2場所
20R :第2重複領域
21 :第2載置台
22 :第2昇降機構
23 :第2従動部
23X :第2リンク機構
23Y :第2カム機構
24 :第2付勢部
25 :第2規制部
26 :第2速度制限装置
27 :第2係合装置
27A :第2係合部材
30 :搬送車
31 :搬送載置台
31A :係合突部
81 :係合凹部
HT :設定搬送高さ
Claims (6)
- 第1場所から第2場所まで物品を搬送する物品搬送装置であって、
設定搬送高さに設けられて物品が載置される搬送載置台を有し、前記第1場所と前記第2場所との間で往復移動する搬送車と、
前記第1場所に設けられて、前記搬送車に物品を引き渡す引渡部と、
前記第2場所に設けられて、前記搬送車から物品を受け取る受取部と、を備え、
前記引渡部は、物品が載置される第1載置台と、当該第1載置台を昇降させる第1昇降機構と、を有し、
前記受取部は、物品が載置される第2載置台と、当該第2載置台を昇降させる第2昇降機構と、を有し、
前記第1昇降機構は、前記第2場所側から前記第1場所へ向かって移動する前記搬送車に押されて当該搬送車の動きに従動して前記第1載置台を下降させる第1従動部を有し、前記搬送車の前記第1場所への到着に合せて、前記設定搬送高さより上の位置から前記設定搬送高さより下の位置まで前記第1載置台を下降させ、前記第1載置台に載置された物品を前記搬送載置台に移載し、
前記第2昇降機構は、前記第1場所側から前記第2場所へ向かって移動する前記搬送車に押されて当該搬送車の動きに従動して前記第2載置台を上昇させる第2従動部を有し、前記搬送車の前記第2場所への到着に合せて、前記設定搬送高さより下の位置から前記設定搬送高さより上の位置まで前記第2載置台を上昇させて、前記搬送載置台に載置された物品を前記第2載置台に移載する、物品搬送装置。 - 第1場所から第2場所まで物品を搬送する物品搬送装置であって、
設定搬送高さに設けられて物品が載置される搬送載置台を有し、前記第1場所と前記第2場所との間で往復移動する搬送車と、
前記第1場所に設けられて、前記搬送車に物品を引き渡す引渡部と、
前記第2場所に設けられて、前記搬送車から物品を受け取る受取部と、を備え、
前記引渡部は、物品が載置される第1載置台と、当該第1載置台を昇降させる第1昇降機構と、を有し、
前記受取部は、物品が載置される第2載置台と、当該第2載置台を昇降させる第2昇降機構と、を有し、
前記第1昇降機構は、前記第2場所側から前記第1場所へ向かって移動する前記搬送車の動きに従動して前記第1載置台を下降させる第1従動部を有し、前記搬送車の前記第1場所への到着に合せて、前記設定搬送高さより上の位置から前記設定搬送高さより下の位置まで前記第1載置台を下降させ、前記第1載置台に載置された物品を前記搬送載置台に移載し、
前記第2昇降機構は、前記第1場所側から前記第2場所へ向かって移動する前記搬送車の動きに従動して前記第2載置台を上昇させる第2従動部を有し、前記搬送車の前記第2場所への到着に合せて、前記設定搬送高さより下の位置から前記設定搬送高さより上の位置まで前記第2載置台を上昇させて、前記搬送載置台に載置された物品を前記第2載置台に移載し、
前記搬送載置台は、物品の底面に設けられた係合凹部に係合する係合突部を備え、
前記第1昇降機構は、前記第1載置台を、前記第2場所側から前記第1場所側へ向かって移動させながら下降させ、
前記第2昇降機構は、前記第2載置台を、前記第1場所側から前記第2場所側へ向かって移動させながら上昇させる、物品搬送装置。 - 第1場所から第2場所まで物品を搬送する物品搬送装置であって、
設定搬送高さに設けられて物品が載置される搬送載置台を有し、前記第1場所と前記第2場所との間で往復移動する搬送車と、
前記第1場所に設けられて、前記搬送車に物品を引き渡す引渡部と、
前記第2場所に設けられて、前記搬送車から物品を受け取る受取部と、を備え、
前記引渡部は、物品が載置される第1載置台と、当該第1載置台を昇降させる第1昇降機構と、を有し、
前記受取部は、物品が載置される第2載置台と、当該第2載置台を昇降させる第2昇降機構と、を有し、
前記第1昇降機構は、前記第2場所側から前記第1場所へ向かって移動する前記搬送車の動きに従動して前記第1載置台を下降させる第1従動部を有し、前記搬送車の前記第1場所への到着に合せて、前記設定搬送高さより上の位置から前記設定搬送高さより下の位置まで前記第1載置台を下降させ、前記第1載置台に載置された物品を前記搬送載置台に移載し、
前記第2昇降機構は、前記第1場所側から前記第2場所へ向かって移動する前記搬送車の動きに従動して前記第2載置台を上昇させる第2従動部を有し、前記搬送車の前記第2場所への到着に合せて、前記設定搬送高さより下の位置から前記設定搬送高さより上の位置まで前記第2載置台を上昇させて、前記搬送載置台に載置された物品を前記第2載置台に移載し、
前記第1昇降機構は、前記第1載置台を上昇方向に付勢する第1付勢部を有し、前記搬送車が前記第1場所から離れたことに合せて、前記設定搬送高さより下の位置から前記設定搬送高さより上の位置まで前記第1載置台を上昇させ、
前記第2昇降機構は、前記第2載置台を下降方向に付勢する第2付勢部を有し、前記搬送車が前記第2場所から離れたことに合せて、前記設定搬送高さより上の位置から前記設定搬送高さより下の位置まで前記第2載置台を下降させる、物品搬送装置。 - 前記第1昇降機構は、上下方向視で前記搬送載置台に載置された物品が前記第1載置台と重複する第1重複領域から前記搬送車が離れるまで、前記第1載置台が前記設定搬送高さより上に上昇しないように規制する第1規制部を有し、
前記第2昇降機構は、上下方向視で前記搬送載置台が前記第2載置台に載置された物品と重複する第2重複領域から前記搬送車が離れるまで、前記第2載置台が前記設定搬送高さより下に下降しないように規制する第2規制部を有する、請求項3に記載の物品搬送装置。 - 前記第1規制部は、第1速度制限装置及び第1係合装置の少なくとも一方を有し、
前記第1速度制限装置は、前記第1付勢部の付勢力による前記第1載置台の上昇速度を遅く制限する装置であり、
前記第1係合装置は、前記搬送車が前記第1重複領域内にいる場合には前記第1載置台又は前記第1載置台と共に上昇する部材に第1係合部材を係合し、前記搬送車が前記第1重複領域から離れた場合に前記第1係合部材の係合を解除する装置であり、
前記第2規制部は、第2速度制限装置及び第2係合装置の少なくとも一方を有し、
前記第2速度制限装置は、前記第2付勢部の付勢力による前記第2載置台の下降速度を遅く制限する装置であり、
前記第2係合装置は、前記搬送車が前記第2重複領域内にいる場合には前記第2載置台又は前記第2載置台と共に下降する部材に第2係合部材を係合し、前記搬送車が前記第2重複領域から離れた場合に前記第2係合部材の係合を解除する装置である、請求項4に記載の物品搬送装置。 - 前記第1従動部は、前記第2場所側から前記第1場所へ向かって移動する前記搬送車の水平方向に沿う動きを、第1載置台の下降動作に変換するリンク機構及びカム機構の少なくとも一方を備え、
前記第2従動部は、前記第1場所側から前記第2場所へ向かって移動する前記搬送車の水平方向に沿う動きを、第2載置台の上昇動作に変換するリンク機構及びカム機構の少なくとも一方を備える、請求項1から5のいずれか一項に記載の物品搬送装置。
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