JP6965062B2 - インプリント装置、インプリント方法および、物品製造方法 - Google Patents
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Description
(第1実施形態)
インプリント装置100は、レプリカモールド保持機構110、マスターモールド保持機構120、アライメント計測部130、照明部140、ディスペンサ150、および制御部160を含む。
アライメントマークは、基板としてのレプリカモールドRMおよび、型としてのマスターモールドMMに形成されうる。
(第2実施形態)
(第3実施形態)
(物品の製造方法)
以上、本発明の実施の形態を説明してきたが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の範囲内において様々な変更が可能である。
110 レプリカモールド保持機構
111 レプリカモールド保持部
120 マスターモールド保持機構
121 マスターモールド保持部
211 第1計測部
212 第1調整部
221 第2計測部
222 第2調整部
RM レプリカモールド
MM マスターモールド
Claims (10)
- 型を用いて基板の上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記基板の温度を計測する第1計測部と、
前記基板の温度を調整する第1調整部と、
前記型の温度を計測する第2計測部と、
前記型の温度を調整する第2調整部と、
前記第1計測部から取得した第1計測結果が第1目標温度に近づくように前記第1調整部を制御し、前記第2計測部から取得した第2計測結果が第2目標温度に近づくように前記第2調整部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記第1調整部および前記第2調整部の制御をしつつ前記基板と前記型とを接触させた状態において、前記第1調整部および前記第2調整部のうちいずれか一方の制御を停止し、前記停止させた状態で取得した前記第1計測結果および前記第2計測結果の差分に基づいて前記第1目標温度および前記第2目標温度のうちいずれか一方を変更して前記第1調整部および前記第2調整部を制御することを特徴とする、インプリント装置。 - 前記制御部は、前記停止させた状態で前記第1計測結果および前記第2計測結果の変化の幅を求め、前記幅が所定の閾値以下となった後に前記第1計測結果および前記第2計測結果を取得して前記差分を求めることを特徴とする、請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記所定の閾値は、0.02℃であることを特徴とする、請求項2に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記停止させた状態を所定の期間継続した後に前記第1計測結果および前記第2計測結果を取得して前記差分を求めることを特徴とする、請求項1記載のインプリント装置。
- 前記所定の期間は、前記基板と前記型とを接触させた状態において、前記第1計測結果および前記第2計測結果の変化の幅が所定の閾値以下となるまでの時間であることを特徴とする、請求項4に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記型に形成されたパターン部に前記基板の上の未硬化の前記インプリント材が充填された後に前記第1計測結果および前記第2計測結果を取得して前記差分を求めることを特徴とする、請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記基板と前記型とが接触する度に前記変更をすることを特徴とする、請求項1乃至6の何れか1項に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記基板と前記型とが所定の回数接触した場合に前記変更をすることを特徴とする、請求項1乃至6の何れか1項に記載のインプリント装置。
- 型を用いて基板の上にインプリント材のパターンを形成するインプリント方法であって、
前記基板の温度および前記型の温度をそれぞれの目標温度に近づくように調整し、
前記基板と前記型とを接触させ、
前記基板および前記型のうちいずれか一方の温度の調整を停止し、
前記基板の温度および前記型の温度の差分を求め、
前記求めた差分に基づいて、前記基板および前記型のうちいずれか一方の前記目標温度を変更する、
ことを特徴とする、インプリント方法。 - 請求項1乃至8のいずれか1項に記載のインプリント装置を用いてパターン形成を基板上に行う工程と、
前記工程で前記パターン形成を行われた前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする、物品製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017168372A JP6965062B2 (ja) | 2017-09-01 | 2017-09-01 | インプリント装置、インプリント方法および、物品製造方法 |
KR1020180102417A KR102316813B1 (ko) | 2017-09-01 | 2018-08-30 | 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017168372A JP6965062B2 (ja) | 2017-09-01 | 2017-09-01 | インプリント装置、インプリント方法および、物品製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019046962A JP2019046962A (ja) | 2019-03-22 |
JP2019046962A5 JP2019046962A5 (ja) | 2020-10-08 |
JP6965062B2 true JP6965062B2 (ja) | 2021-11-10 |
Family
ID=65758735
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017168372A Active JP6965062B2 (ja) | 2017-09-01 | 2017-09-01 | インプリント装置、インプリント方法および、物品製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6965062B2 (ja) |
KR (1) | KR102316813B1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117369210B (zh) * | 2023-12-05 | 2024-03-01 | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 | 一种纳米压印模具工作温度监测方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4173306B2 (ja) * | 2001-11-30 | 2008-10-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 信頼性評価試験装置、信頼性評価試験システム及び信頼性評価試験方法 |
JP4217551B2 (ja) | 2003-07-02 | 2009-02-04 | キヤノン株式会社 | 微細加工方法及び微細加工装置 |
KR101046828B1 (ko) * | 2008-10-15 | 2011-07-06 | 국민대학교산학협력단 | 온도제어 기능을 가진 uv 나노 임프린트 리소그래피를수행하는 장치 및 온도제어방법 |
JP2013125817A (ja) | 2011-12-14 | 2013-06-24 | Canon Inc | インプリント装置およびインプリント方法、それを用いた物品の製造方法 |
CN203210594U (zh) | 2013-03-05 | 2013-09-25 | 励茂华 | 测温式压塑模具 |
-
2017
- 2017-09-01 JP JP2017168372A patent/JP6965062B2/ja active Active
-
2018
- 2018-08-30 KR KR1020180102417A patent/KR102316813B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102316813B1 (ko) | 2021-10-25 |
JP2019046962A (ja) | 2019-03-22 |
KR20190025507A (ko) | 2019-03-11 |
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